CN215297941U

CN215297941U - 一种曝光镜头的倍率调节结构

Info

Publication number: CN215297941U
Application number: CN202120901889.6U
Authority: CN
Inventors: 桂立
Original assignee: Suzhou Saiyuan Optical Technology Co ltd
Current assignee: Suzhou Saiyuan Optical Technology Co ltd
Priority date: 2021-04-28
Filing date: 2021-04-28
Publication date: 2021-12-24
Anticipated expiration: 2031-04-28

Abstract

本实用新型公开了一种曝光镜头的倍率调节结构，包括前透镜组、光阑以及后透镜组，光阑位于前透镜组及后透镜组之间，前透镜组包括依次设置的第一透镜、第二透镜、第三透镜、第四透镜；后透镜组包括依次设置的第五透镜、第六透镜、第七透镜、第八透镜；第一透镜、第二透镜、第三透镜、第四透镜、第五透镜、第六透镜以及第七透镜安装于镜筒，镜筒固定安装于法兰筒一端，法兰筒另一端设有外螺纹，第八透镜安装于调节筒，调节筒转动安装于法兰筒另一端，调节筒相对法兰筒转动调节第八透镜与第七透镜之间的距离，本实用新型曝光镜头的倍率调节结构通过转动调节筒就能调节第八透镜与第七透镜之间的距离，从而调节曝光镜头的倍率，操作简单，方便。

Description

一种曝光镜头的倍率调节结构

技术领域

本实用新型涉及光学镜头，尤其是涉及一种曝光镜头的倍率调节结构。

背景技术

在微电子、光学、线路板等微加工领域，紫外曝光机具有非常重要的应用。传统掩膜式曝光机使用的是大尺寸平行紫外光源加掩膜的曝光形式。而目前现有无掩膜曝光机采用的是光源、光源准直系统、DMD芯片以及投影模组的结构。但现有的曝光镜头的放大倍率无法调节，造成使用不便。

实用新型内容

为了克服现有技术的不足，本实用新型的目的之一在于提供一种曝光镜头的放大倍率能够调节的曝光镜头的倍率调节结构。

本实用新型的目的之一采用以下技术方案实现：

一种曝光镜头的倍率调节结构，包括前透镜组、光阑以及后透镜组，所述光阑位于所述前透镜组及所述后透镜组之间，所述前透镜组包括依次设置的第一透镜，所述第一透镜为凸凹透镜；第二透镜，所述第二透镜为凸平透镜；第三透镜，所述第三透镜为凸凹透镜；第四透镜，所述第四透镜为平凸透镜；所述后透镜组包括依次设置的第五透镜，所述第五透镜为凹平透镜；第六透镜，所述第六透镜为凹凸透镜；第七透镜，所述第七透镜为凹凸透镜；第八透镜，所述第八透镜为凸平透镜，所述曝光镜头的倍率调节结构还包括镜筒、法兰筒以及调节筒，所述第一透镜、第二透镜、第三透镜、第四透镜、第五透镜、第六透镜以及第七透镜安装于所述镜筒，所述镜筒固定安装于所述法兰筒一端，所述法兰筒另一端设有外螺纹，所述第八透镜安装于所述调节筒，所述调节筒转动安装于所述法兰筒另一端，所述调节筒相对所述法兰筒转动调节所述第八透镜与所述第七透镜之间的距离。

进一步地，所述法兰筒设有外螺纹，所述调节筒设有内螺纹，内螺纹与外螺纹配合使所述调节筒转动安装于所述法兰筒。

进一步地，所述调节筒还设有螺纹孔，紧固件转动安装于所述螺纹孔并且所述紧固件端部与法兰筒抵触使所述调节筒与所述法兰筒固定。

进一步地，所述前透镜组前为物面，所述后透镜后为像面；或者所述前透镜组前为像面，所述后透镜后为物面。

进一步地，所述第一透镜靠近物面为凸面，靠近像面为凹面，所述第二透镜靠近物面为凸面，靠近像面为平面，所述第三透镜靠近物面为凸面，靠近像面为凹面。

进一步地，所述第四透镜靠近物面为平面，靠近像面为凸面。

进一步地，所述第五透镜靠近物面为凹面，靠近像面为平面。

进一步地，所述第六透镜靠近物面为凹面，靠近像面为凸面。

进一步地，所述第七透镜靠近物面为凹面，靠近像面为凸面。

进一步地，所述第八透镜靠近物面为凸面，靠近像面为平面。

相比现有技术，本实用新型曝光镜头的倍率调节结构通过转动调节筒就能调节第八透镜与第七透镜之间的距离，从而调节曝光镜头的倍率，操作简单，方便。

附图说明

图1为本实用新型曝光镜头的倍率调节结构的光路示意图；

图2为图1的曝光镜头的倍率调节结构的立体图；

图3为图2的曝光镜头的倍率调节结构的分解图；

图4为图2的曝光镜头的倍率调节结构的剖视图。

图中：10、DMD芯片组件；20、镜头窗口；30、前透镜组；31、第一透镜；32、第二透镜；33、第三透镜；34、第四透镜；40、光阑；50、后透镜组；51、第五透镜；52、第六透镜；53、第七透镜；54、第八透镜；60、安装件；70、镜筒；80、法兰筒；81、外螺纹；90、调节筒；91、螺纹孔。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

需要说明的是，当组件被称为“固定于”另一个组件，它可以直接在另一个组件上或者也可以存在另一中间组件，通过中间组件固定。当一个组件被认为是“连接”另一个组件，它可以是直接连接到另一个组件或者可能同时存在另一中间组件。当一个组件被认为是“设置于”另一个组件，它可以是直接设置在另一个组件上或者可能同时存在另一中间组件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的。

除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本实用新型的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本实用新型的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本实用新型。本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。

请参阅图1至图4，本实用新型一种曝光镜头的倍率调节结构包括DMD芯片组件10、镜头窗口20、前透镜组30、光阑40、后透镜组50、安装件60、镜筒70、法兰筒80以及调节筒90。

DMD芯片组件10以及镜头窗口20两侧均为平面。物面为DMD芯片，像面为曝光面。

光阑40位于前透镜组30以及后透镜组50之间。

前透镜组30包括第一透镜31、第二透镜32、第三透镜33以及第四透镜34。第一透镜31、第二透镜32、第三透镜33以及第四透镜34依次设置。第一透镜31为凸凹透镜，第一透镜31靠近物面为凸面，靠近像面为凹面，凸面的曲率半径大于凹面的曲率半径。第二透镜32为凸平透镜，第二透镜32靠近物面为凸面，靠近像面为平面。第三透镜33为凸凹透镜，第三透镜33靠近物面为凸面，靠近像面为凹面，凸面的曲率半径小于凹面的曲率半径。第四透镜34为平凸透镜，第四透镜34靠近物面为平面，靠近像面为凸面。

后透镜组50包括依次设置的第五透镜51、第六透镜52、第七透镜53以及第八透镜54。第五透镜51为凹平透镜，第五透镜51靠近物面为凹面，靠近像面为平面。第六透镜52为凹凸透镜，第六透镜52靠近物面为凹面，靠近像面为凸面，凸面的曲率半径小于凹面的曲率半径。第七透镜53为凹凸透镜，第七透镜53靠近物面为凹面，靠近像面为凸面，凸面的曲率半径小于凹面的曲率半径。第八透镜54为凸平透镜，第八透镜54靠近物面为凸面，靠近像面为平面。

需要说明的是，上述第一透镜31、第二透镜32至第八透镜54的描述，第一、第二等仅是为了区分透镜的命名方式，不代表排列顺序。

较佳的，曝光镜头的倍率调节结构的曲率半径R的范围如下：

第一透镜31的物侧：110mm<R<140mm，第一透镜31的像侧：90mm<R<120mm；

第二透镜32的物侧：30mm<R<50mm，第二透镜32的像侧：无穷大；

第三透镜33的物侧：20mm<R<40mm，第三透镜33的像侧：60mm<R<80mm；

第四透镜34的物侧：无穷大，第四透镜34的像侧：20mm<R<35mm；

第五透镜51的物侧：10mm<R<20mm，第五透镜51的像侧：无穷大；

第六透镜52的物侧：65mm<R<85mm，第六透镜52的像侧：25mm<R<45mm；

第七透镜53的物侧：90mm<R<115mm，第七透镜53的像侧：25mm<R<35mm；

第八透镜54的物侧：85mm<R<105mm，第八透镜54的像侧：无穷大。

上述透镜使用火石玻璃或冕牌玻璃等材料制成。

下面以具体的实施例进行说明，所述曝光镜头的各项参数如下表：

组装曝光镜头的倍率调节结构时，镜头窗口20安装于安装件60内部，DMD芯片组件10位于安装件60一端。第一透镜31、第二透镜32、第三透镜33、第四透镜34、第五透镜51、第六透镜52、第七透镜53安装于镜筒70中。安装件60安装于镜筒70一端，法兰筒80固定于安装件60另一端。第八透镜54安装于调节筒90。调节筒90通过内螺纹与法兰筒80的外螺纹81配合使调节筒90转动安装于法兰筒80。紧固件转动安装于调节筒90的螺纹孔91，并且紧固件端部与法兰筒80抵触，防止不需要调节倍率时调节筒90相对法兰筒80转动。在本实施例中，紧固件为螺钉。此时DMD芯片组件10、安装件60、镜筒70、法兰筒80、调节筒90位于同一直线。

当需要调节曝光镜头的倍率时，将紧固件旋松。转动调节筒90，就能调节第八透镜54与第七透镜53之间的距离，从而调节曝光镜头的倍率，操作简单，方便。

具体的，在设计状态下，曝光镜头的放大率为1.9494倍。当调节筒90下旋2mm时，曝光镜头的放大率为1.9625倍；当调节筒90上旋2mm时，曝光镜头的放大率为1.9365倍。

对上述曝光镜头的倍率调节结构进行光学检测，检测光源波长为370nm、390nm以及410nm。结果显示，场曲像差小；畸变小，达到衍射极限，曝光镜头的像面中心的远心度曲线在0.4mrad以内，具有非常好的远心度。

通过上述具体实施例，可以知晓，本实用新型曝光镜头的倍率调节结构能够实现370nm-410nm范围内的消色差成像，成像效果好，透过率高、畸变低、像面远心度小。

以上实施例仅表达了本实用新型的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和改进演变，都是依据本实用新型实质技术对以上实施例做的等同修饰与演变，这些都属于本实用新型的保护范围。

Claims

1.一种曝光镜头的倍率调节结构，包括前透镜组、光阑以及后透镜组，所述光阑位于所述前透镜组及所述后透镜组之间，其特征在于：所述前透镜组包括依次设置的第一透镜，所述第一透镜为凸凹透镜；第二透镜，所述第二透镜为凸平透镜；第三透镜，所述第三透镜为凸凹透镜；第四透镜，所述第四透镜为平凸透镜；所述后透镜组包括依次设置的第五透镜，所述第五透镜为凹平透镜；第六透镜，所述第六透镜为凹凸透镜；第七透镜，所述第七透镜为凹凸透镜；第八透镜，所述第八透镜为凸平透镜，所述曝光镜头的倍率调节结构还包括镜筒、法兰筒以及调节筒，所述第一透镜、第二透镜、第三透镜、第四透镜、第五透镜、第六透镜以及第七透镜安装于所述镜筒，所述镜筒固定安装于所述法兰筒一端，所述法兰筒另一端设有外螺纹，所述第八透镜安装于所述调节筒，所述调节筒转动安装于所述法兰筒另一端，所述调节筒相对所述法兰筒转动调节所述第八透镜与所述第七透镜之间的距离。

2.根据权利要求1所述的曝光镜头的倍率调节结构，其特征在于：所述法兰筒设有外螺纹，所述调节筒设有内螺纹，内螺纹与外螺纹配合使所述调节筒转动安装于所述法兰筒。

3.根据权利要求1所述的曝光镜头的倍率调节结构，其特征在于：所述调节筒还设有螺纹孔，紧固件转动安装于所述螺纹孔并且所述紧固件端部与法兰筒抵触使所述调节筒与所述法兰筒固定。

4.根据权利要求1所述的曝光镜头的倍率调节结构，其特征在于：所述前透镜组前为物面，所述后透镜后为像面；或者所述前透镜组前为像面，所述后透镜后为物面。

5.根据权利要求4所述的曝光镜头的倍率调节结构，其特征在于：所述第一透镜靠近物面为凸面，靠近像面为凹面，所述第二透镜靠近物面为凸面，靠近像面为平面，所述第三透镜靠近物面为凸面，靠近像面为凹面。

6.根据权利要求4所述的曝光镜头的倍率调节结构，其特征在于：所述第四透镜靠近物面为平面，靠近像面为凸面。

7.根据权利要求4所述的曝光镜头的倍率调节结构，其特征在于：所述第五透镜靠近物面为凹面，靠近像面为平面。

8.根据权利要求4所述的曝光镜头的倍率调节结构，其特征在于：所述第六透镜靠近物面为凹面，靠近像面为凸面。

9.根据权利要求4所述的曝光镜头的倍率调节结构，其特征在于：所述第七透镜靠近物面为凹面，靠近像面为凸面。

10.根据权利要求4所述的曝光镜头的倍率调节结构，其特征在于：所述第八透镜靠近物面为凸面，靠近像面为平面。