CN215181404U - 一种用于蓝宝石衬底加工用曝光机的冷却机构 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及一种用于蓝宝石衬底加工用曝光机的冷却机构，包括底座，所述底座顶端一侧固定连接有支柱，所述支柱顶端固定连接有冷却柜，所述冷却柜右端内壁固定连接有抽风机，所述冷却柜左端内部设置有过滤网，所述冷却柜内部中间设置有冷却板，所述冷却板左端经第一连接管固定连接有冷却液箱，所述冷却板右端经第一连接管固定连接有抽液泵，所述抽液泵另一端经进液管固定连接有集液箱，所述冷却柜底端右侧固定连接有出风管，所述出风管周侧缠绕有冷却管，所述冷却管底部一端经第二连接管固定连接有水泵，本实用新型通过上述等装置的配合实现了对蓝宝石衬底加工用曝光机的曝光室和工作台的降温效果，同时确保了曝光机内部气压的稳定的效果。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种冷却机构，具体为一种用于蓝宝石衬底加工用曝光机的冷却机构，属于蓝宝石衬底加工技术领域。
背景技术
蓝宝石衬底有着诸多优点，在对蓝宝石衬底加工时需要曝光机工作，而曝光机在工作时发光源温度会很高，灯管会不停发热，长时间之后会影响曝光效果，同时会减少灯管寿命，同时工作台温度不能太高，会影响曝光操作，所以需要冷却机构对曝光室和工作台面降温，现有降温装置容易造成曝光机内部气压失衡，影响正常曝光机的使用，因此需要进行改进。
实用新型内容
本实用新型的目的就在于为了解决上述问题而提供一种用于蓝宝石衬底加工用曝光机的冷却机构，实现了对蓝宝石衬底加工用曝光机的曝光室和工作台的降温效果，同时确保了曝光机内部气压的稳定的效果，解决了以上背景中提出的问题。
本实用新型通过以下技术方案来实现上述目的，一种用于蓝宝石衬底加工用曝光机的冷却机构，包括底座，所述底座顶端一侧固定连接有支柱，所述支柱顶端固定连接有冷却柜，所述冷却柜右端内壁固定连接有抽风机，所述冷却柜左端内部设置有过滤网，所述冷却柜内部中间设置有冷却板，所述冷却板左端经第一连接管固定连接有冷却液箱，所述冷却板右端经第一连接管固定连接有抽液泵，所述抽液泵另一端经进液管固定连接有集液箱，所述冷却柜底端右侧固定连接有出风管，所述出风管周侧缠绕有冷却管，所述冷却管底部一端经第二连接管固定连接有水泵，所述水泵另一端经第二连接管固定连接有降温柜。
优选的，所述降温柜内部设置有盛放槽，所述盛放槽正上方的降温柜内壁上设置有降温风扇，所述降温柜两侧开设有透风口。
优选的，所述冷却柜左端固定连接有进风连接软管，所述出风管左端贯穿支柱且固定连接有出风连接软管。
优选的，所述冷却板前后两侧固定连接在冷却柜内壁。
优选的，所述冷却板由若干组矩形冷却管组合而成且所述第一连接管底端伸入冷却柜与位于冷却板最左端的矩形冷却管顶端中间连接。
优选的，所述第一连接管设置为两个，且右侧第一连接管底端固定连接在冷却板右端顶部。
本实用新型的有益效果是：
本实用新型通过设置的抽风机在冷却柜抽进热风，经过滤板过滤灰尘等颗粒，再启动抽液泵经冷却液箱将冷却液抽进冷却板内部，热风流经冷却板进行降温，在流进出风管，启动水泵经冷却管的约束使得冷水在冷却管内循环流动，启动降温风扇可以对流经盛放槽的含有热量的水降温，实现对曝光机内部的热风二次降温的效果，再经出风连接软管流回曝光机内部，进而实现了对蓝宝石衬底加工用曝光机的曝光室和工作台的降温效果，同时确保了曝光机内部气压的稳定的效果。
附图说明
图1是本实用新型的结构示意图。
图2是本实用新型的冷却板结构图。
图3是本实用新型的图1中A处放大图。
图4是本实用新型的主视图。
图中标号：1、底座；2、支柱；3、冷却柜；4、抽风机；5、过滤网；6、冷却板；7、第一连接管；8、冷却液箱；9、抽液泵；10、进液管；11、集液箱；12、进风连接软管；13、出风管；14、出风连接软管；15、冷却管；16、第二连接管；17、水泵；18、降温柜；19、盛放槽；20、透风口；21、降温风扇。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例，基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
实施例1，请参阅图1-4所示，一种用于蓝宝石衬底加工用曝光机的冷却机构，包括底座1，所述底座1顶端一侧固定连接有支柱2，所述支柱2顶端固定连接有冷却柜3，所述冷却柜3右端内壁固定连接有抽风机4，所述冷却柜3左端内部设置有过滤网5，所述冷却柜3内部中间设置有冷却板6，所述冷却板6左端经第一连接管7固定连接有冷却液箱8，所述冷却板6右端经第一连接管7固定连接有抽液泵9，所述抽液泵9另一端经进液管10固定连接有集液箱11，所述冷却柜3底端右侧固定连接有出风管13，所述出风管13周侧缠绕有冷却管15，所述冷却管15底部一端经第二连接管16固定连接有水泵17，所述水泵17另一端经第二连接管16固定连接有降温柜18。
作为本实用新型的一种优选技术方案，所述冷却柜3左端固定连接有进风连接软管12，所述出风管13左端贯穿支柱2且固定连接有出风连接软管14，便于连接曝光机。
作为本实用新型的一种优选技术方案，所述冷却板6前后两侧固定连接在冷却柜3内壁，且所述冷却板6与冷却柜3均为矩形块，确保了冷却板6的稳定性。
作为本实用新型的一种优选技术方案，所述冷却板6由若干组矩形冷却管15组合而成且所述第一连接管7底端伸入冷却柜3与位于冷却板6最左端的矩形冷却管15顶端中间连接且第一连接管7顶端固定连接有冷却液箱8，确保了冷却板6的良好的冷却效果。
作为本实用新型的一种优选技术方案，所述第一连接管7设置为两个，且右侧第一连接管7底端固定连接在冷却板6右端顶部且第一连接管7的顶端伸出冷却柜3固定连接在抽液泵9的底端，确保了抽液泵9的工作效果。
实施例2，请参阅图3所示，所述降温柜18内部设置有盛放槽19，所述盛放槽19正上方的降温柜18内壁上设置有降温风扇21，所述降温柜18两侧开设有透风口20，盛放槽19的设置可以方便冷却管15内的含有热量的水在降温风扇21的作用下降温冷却。
本实用新型在使用时，进风连接软管12伸入曝光机内部，启动抽风机4在冷却柜3抽进热风，经过滤板5过滤灰尘等颗粒，再启动抽液泵9经冷却液箱8将冷却液抽进冷却板6内部，热风流经冷却板6进行降温，在流进出风管13，启动水泵17经冷却管15的约束使得冷水在冷却管15内循环流动，启动降温风扇21可以对流经盛放槽19的含有热量的水降温，实现对曝光机内部的热风二次降温的效果，再经出风连接软管14流回曝光机内部。
对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型，因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内，不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。
此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。
Claims (6)
1.一种用于蓝宝石衬底加工用曝光机的冷却机构，包括底座（1），其特征在于：所述底座（1）顶端一侧固定连接有支柱（2），所述支柱（2）顶端固定连接有冷却柜（3），所述冷却柜（3）右端内壁固定连接有抽风机（4），所述冷却柜（3）左端内部设置有过滤网（5），所述冷却柜（3）内部中间设置有冷却板（6），所述冷却板（6）左端经第一连接管（7）固定连接有冷却液箱（8），所述冷却板（6）右端经第一连接管（7）固定连接有抽液泵（9），所述抽液泵（9）另一端经进液管（10）固定连接有集液箱（11），所述冷却柜（3）底端右侧固定连接有出风管（13），所述出风管（13）周侧缠绕有冷却管（15），所述冷却管（15）底部一端经第二连接管（16）固定连接有水泵（17），所述水泵（17）另一端经第二连接管（16）固定连接有降温柜（18）。
2.根据权利要求1所述的一种用于蓝宝石衬底加工用曝光机的冷却机构，其特征在于：所述降温柜（18）内部设置有盛放槽（19），所述盛放槽（19）正上方的降温柜（18）内壁上设置有降温风扇（21），所述降温柜（18）两侧开设有透风口（20）。
3.根据权利要求1所述的一种用于蓝宝石衬底加工用曝光机的冷却机构，其特征在于：所述冷却柜（3）左端固定连接有进风连接软管（12），所述出风管（13）左端贯穿支柱（2）且固定连接有出风连接软管（14）。
4.根据权利要求1所述的一种用于蓝宝石衬底加工用曝光机的冷却机构，其特征在于：所述冷却板（6）前后两侧固定连接在冷却柜（3）内壁。
5.根据权利要求1所述的一种用于蓝宝石衬底加工用曝光机的冷却机构，其特征在于：所述冷却板（6）由若干组矩形冷却管组合而成且所述第一连接管（7）底端伸入冷却柜（3）与位于冷却板（6）最左端的矩形冷却管顶端中间连接。
6.根据权利要求1所述的一种用于蓝宝石衬底加工用曝光机的冷却机构，其特征在于：所述第一连接管（7）设置为两个，且右侧第一连接管（7）底端固定连接在冷却板（6）右端顶部。
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