CN214839844U - 一种具备防护功能的等离子体刻蚀机 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种具备防护功能的等离子体刻蚀机，包括承载板和等离子体刻蚀机本体，所述承载板的顶部中端固定安装有风机，所述风机的输出端固定连接有通风槽，所述承载板的顶部两端均固定连接有壳体。本实用新型人们通过推杆和万向轮将本装置移动至指定位置后通过外置控制器启动等离子体刻蚀机本体进行工作，通过外置控制器启动风机，通过风机将风由通风槽输送进壳体的内部，通过空气注满通槽后，气压会推动通槽向上移动，通过通槽推动顶杆向上移动，解决了现有的等离子刻蚀机防护功能较差，在正常工作中，等离子刻蚀机的防撞能力较差，无法保证在碰撞后保持正常工作运行的问题。
Description
技术领域
本实用新型涉及等离子刻蚀机技术领域，具体为一种具备防护功能的等离子体刻蚀机。
背景技术
等离子刻蚀机又叫等离子蚀刻机、等离子平面刻蚀机、等离子体刻蚀机、等离子表面处理仪、等离子清洗系统等，等离子刻蚀是干法刻蚀中最常见的一种形式，其原理是暴露在电子区域的气体形成等离子体，现有的等离子刻蚀机防护功能较差，在正常工作中，等离子刻蚀机的防撞能力较差，无法保证在碰撞后保持正常的工作运行，为此，我们提出一种具备防护功能的等离子体刻蚀机。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种具备防护功能的等离子体刻蚀机，具备防护功能的优点，解决了现有的等离子刻蚀机防护功能较差，在正常工作中，等离子刻蚀机的防撞能力较差，无法保证在碰撞后保持正常工作运行的问题。
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种具备防护功能的等离子体刻蚀机，包括承载板和等离子体刻蚀机本体，所述承载板的顶部中端固定安装有风机，所述风机的输出端固定连接有通风槽，所述承载板的顶部两端均固定连接有壳体，所述通风槽的顶部固定连接于壳体的底部，所述承载板的两侧均固定连接有立柱，所述立柱的内侧滑动连接有隔板，所述隔板的内侧和等离子体刻蚀机本体的两侧呈固定连接，所述等离子体刻蚀机本体的底部四周均固定连接有顶杆，所述顶杆的底部滑动连接于壳体的内腔中。
优选的，所述隔板的底部固定连接有弹簧，所述弹簧的底部固定连接于承载板的顶部。
优选的，所述立柱的内侧开设有滑槽，所述隔板的表面滑动连接于滑槽的内腔中。
优选的，所述承载板的底部通过轴承活动安装有万向轮，左侧所述立柱的左侧上方固定连接有推杆。
优选的，所述顶杆的底部固定连接有密封块，所述密封块的表面滑动连接于壳体的内腔中，所述壳体的内腔开设有限位槽，所述密封块的表面滑动连接于限位槽的内腔中，所述顶杆的内腔开设有通槽，所述承载板的顶部开设有放置槽，所述风机和放置槽的底部均固定连接于放置槽的内腔中。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：
1、本实用新型人们通过推杆和万向轮将本装置移动至指定位置后通过外置控制器启动等离子体刻蚀机本体进行工作，通过外置控制器启动风机，通过风机将风由通风槽输送进壳体的内部，通过空气注满通槽后，气压会推动通槽向上移动，通过通槽推动顶杆向上移动，通过顶杆带动等离子体刻蚀机本体向上移动顶住滑槽进行固定，此时弹簧会发生形变，通过弹簧对隔板进行拉动，提高本装置的稳定性，达到了防护的效果，解决了现有的等离子刻蚀机防护功能较差，在正常工作中，等离子刻蚀机的防撞能力较差，无法保证在碰撞后保持正常工作运行的问题。
2、本实用新型通过滑槽的设置，提高隔板的稳定性，避免隔板发生偏移，通过放置槽的设置，避免等离子体刻蚀机本体向下移动时，导致风机和壳体出现破损，通过通槽的设置，可将空气进行收集有助于顶杆向上移动，通过限位槽的设置，起到限位密封块的作用，提高顶杆的稳定性，避免出现顶杆发生晃动的现象，通过密封块的设置，提高顶杆在移动时与壳体的密封性，避免空气排出。
附图说明
图1为本实用新型结构主视图；
图2为本实用新型结构剖视图；
图3为本实用新型结构壳体剖视图。
图中：1、承载板；2、万向轮；3、壳体；4、立柱；5、隔板；6、等离子体刻蚀机本体；7、推杆；8、顶杆；9、弹簧；10、通风槽； 11、风机；12、滑槽；13、限位槽；14、密封块；15、通槽；16、放置槽。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
在实用新型的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“内”、“外”“前端”、“后端”、“两端”、“一端”、“另一端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
在实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“设置有”、“连接”等，应做广义理解，例如“连接”，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
本实用新型的承载板1、万向轮2、壳体3、立柱4、隔板5、等离子体刻蚀机本体6、推杆7、顶杆8、弹簧9、通风槽10、风机11、滑槽12、限位槽13、密封块14、通槽15和放置槽16部件均为通用标准件或本领域技术人员知晓的部件，其结构和原理都为本技术人员均可通过技术手册得知或通过常规实验方法获知。
请参阅图1-3，一种具备防护功能的等离子体刻蚀机，包括承载板1和等离子体刻蚀机本体6，承载板1的顶部中端固定安装有风机 11，风机11的输出端固定连接有通风槽10，承载板1的顶部两端均固定连接有壳体3，通风槽10的顶部固定连接于壳体3的底部，承载板1的两侧均固定连接有立柱4，立柱4的内侧滑动连接有隔板5，隔板5的内侧和等离子体刻蚀机本体6的两侧呈固定连接，等离子体刻蚀机本体6的底部四周均固定连接有顶杆8，顶杆8的底部滑动连接于壳体3的内腔中。
隔板5的底部固定连接有弹簧9，弹簧9的底部固定连接于承载板1的顶部。
立柱4的内侧开设有滑槽12，隔板5的表面滑动连接于滑槽12 的内腔中。
承载板1的底部通过轴承活动安装有万向轮2，左侧立柱4的左侧上方固定连接有推杆7。
顶杆8的底部固定连接有密封块14，密封块14的表面滑动连接于壳体3的内腔中，壳体3的内腔开设有限位槽13，密封块14的表面滑动连接于限位槽13的内腔中，顶杆8的内腔开设有通槽15，承载板1的顶部开设有放置槽16，风机11和放置槽16的底部均固定连接于放置槽16的内腔中，通过滑槽12的设置，提高隔板5的稳定性，避免隔板5发生偏移，通过放置槽16的设置，避免等离子体刻蚀机本体6向下移动时，导致风机11和壳体3出现破损，通过通槽 15的设置，可将空气进行收集有助于顶杆8向上移动，通过限位槽 13的设置，起到限位密封块14的作用，提高顶杆8的稳定性，避免出现顶杆8发生晃动的现象，通过密封块14的设置，提高顶杆8在移动时与壳体3的密封性，避免空气排出。
使用时，人们通过推杆7和万向轮2将本装置移动至指定位置后通过外置控制器启动等离子体刻蚀机本体6进行工作，通过外置控制器启动风机11，通过风机11将风由通风槽10输送进壳体3的内部，通过空气注满通槽15后，气压会推动通槽15向上移动，通过通槽 15推动顶杆8向上移动，通过顶杆8带动等离子体刻蚀机本体6向上移动顶住滑槽12进行固定，此时弹簧9会发生形变，通过弹簧9 对隔板5进行拉动，提高本装置的稳定性，达到了防护的效果，解决了现有的等离子刻蚀机防护功能较差，在正常工作中，等离子刻蚀机的防撞能力较差，无法保证在碰撞后保持正常工作运行的问题(本申请中外置控制器为PLC控制器，同时，外置控制器的两个接线端通过导线连接有电源插头，且本申请中采用市电进行供电)。
尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。
Claims (5)
1.一种具备防护功能的等离子体刻蚀机，包括承载板(1)和等离子体刻蚀机本体(6)，其特征在于：所述承载板(1)的顶部中端固定安装有风机(11)，所述风机(11)的输出端固定连接有通风槽(10)，所述承载板(1)的顶部两端均固定连接有壳体(3)，所述通风槽(10)的顶部固定连接于壳体(3)的底部，所述承载板(1)的两侧均固定连接有立柱(4)，所述立柱(4)的内侧滑动连接有隔板(5)，所述隔板(5)的内侧和等离子体刻蚀机本体(6)的两侧呈固定连接，所述等离子体刻蚀机本体(6)的底部四周均固定连接有顶杆(8)，所述顶杆(8)的底部滑动连接于壳体(3)的内腔中。
2.根据权利要求1所述的一种具备防护功能的等离子体刻蚀机，其特征在于：所述隔板(5)的底部固定连接有弹簧(9)，所述弹簧(9)的底部固定连接于承载板(1)的顶部。
3.根据权利要求1所述的一种具备防护功能的等离子体刻蚀机，其特征在于：所述立柱(4)的内侧开设有滑槽(12)，所述隔板(5)的表面滑动连接于滑槽(12)的内腔中。
4.根据权利要求1所述的一种具备防护功能的等离子体刻蚀机，其特征在于：所述承载板(1)的底部通过轴承活动安装有万向轮(2)，左侧所述立柱(4)的左侧上方固定连接有推杆(7)。
5.根据权利要求1所述的一种具备防护功能的等离子体刻蚀机，其特征在于：所述顶杆(8)的底部固定连接有密封块(14)，所述密封块(14)的表面滑动连接于壳体(3)的内腔中，所述壳体(3)的内腔开设有限位槽(13)，所述密封块(14)的表面滑动连接于限位槽(13)的内腔中，所述顶杆(8)的内腔开设有通槽(15)，所述承载板(1)的顶部开设有放置槽(16)，所述风机(11)和放置槽(16)的底部均固定连接于放置槽(16)的内腔中。
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ID=78757045
Family Applications (1)
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