CN2148322Y - 离子束溅射沉积薄膜压力传感器 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种离子束溅射沉积薄膜压
力传感器，传感器的主外壳两端分别有压力敏感组件
及放大器组件，中间以细颈结构相连，引压嘴下端有
阻尼声学滤波头，上端经基座与弹性元件相连，基座
与弹性元件底部有带应力隔离的沟槽。该传感器具
有机械阻尼特性，可提供瞬间压力过载保护，适于高
可靠、长期稳定工作条件使用。
Description
本实用新型涉及一种压力测量装置，属于压力传感器。
现有压力传感器，都由引压接咀、弹性与敏感元件及包含在同一外壳内，靠近敏感元件的放大器电路等组成。这种结构存在如下问题：引压咀无阻尼特性，无法避免测量压力瞬间扰动对精度的不良影响，尤其在高压液体介质测量时扰动产生的水锤效应将可能导致弹性元件瞬间过载使传感器丧失精度、甚至损坏；接咀基座与弹性元件间无应力隔离或单应力隔离设计，不能减小传感器使用安装应力及制造工艺中热应力的不良影响；放大电路离测量点近，易受温度的影响，使得传感器的可靠性与长期稳定性下降。
本实用新型目的在于克服上述不足，提供一种高可靠、高精度、长期稳定的压力传感器。
本实用新型的目的是以如下方式完成的：传感器主外壳两端分别有压力敏感元件组件及放大器接线合组件，中间以细颈结构相连，组成一个测量与输出接线的整体。引压咀经通孔将被测流体压力传递到弹性与敏感元件，为敏感元件组件主体；引压咀前端有一可拆卸、带阻尼特性（细孔或阻尼材料）的声学滤波头，后端经基座与弹性元件相连（电子束焊），基座与弹性元件底部有带应力隔离的沟、槽（双隔离槽）。
本实用新型有如下优点与效果：声学滤波头提供对外界高频压力扰动或水锤效应的衰减，防止弹性元件瞬间过载，可延长传感器使用寿命；弹性敏感元件与引压咀基座双应力槽可分别减少传感器使用时安装应力及焊接制造工艺中的剩余应力，提高稳定性；温度承受能力较低的放大器（或调节电路）远离与测量介质接触的安装处，细颈结构、独立外壳，减少从接咀、壳体至精密电子元器间的热传导，提高传感器工作的稳定性，便于维修。
以下结合附图对实用新型进行说明。
图1是实用新型的剖视图。
图2是实用新型的使用安装示意图。
参照附图，在传感器引压咀［1］的下端装有螺纹联接的毛细管或阻尼纤维小室所组成的声学滤波头［2］；杯形弹性元件（膜片）［3］及引压咀后端焊接基座结构上分别有应力隔离沟槽［4］与［5］；传感器敏感元件主外壳［6］及放大器、接线合外壳［8］分隔，中间采用细颈连接结构［7］；放大器［9］灌封于壳体［8］中，其上端为接线合盖［10］，一侧为测量电缆引出孔［11］，［12］为测量管道示意。
Claims (3)
1、一种离子束溅射沉积薄膜压力传感器，由外壳、接管咀、敏感元件及放大电路等组成，其特征是：主外壳[6]两端分别有压力敏感元件组件[3]及放大器、接线合组件[9]，中间以细颈结构[7]相连；引压咀[1]下端有阻尼声学滤波头[2]，上端经基座与弹性元件相连，基座与弹性元件底部有带应力隔离的沟槽。
2、根据权利要求1所述的压力传感器，其特征是：声学滤波头［2］为毛细管状或采用纤维阻尼材料。
3、根据权利要求2所述的压力传感器，其特征是：应力隔离槽为双槽［4］、［5］结构。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN 92217899 CN2148322Y (zh) | 1992-09-23 | 1992-09-23 | 离子束溅射沉积薄膜压力传感器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN 92217899 CN2148322Y (zh) | 1992-09-23 | 1992-09-23 | 离子束溅射沉积薄膜压力传感器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN2148322Y true CN2148322Y (zh) | 1993-12-01 |
Family
ID=33765599
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN 92217899 Expired - Fee Related CN2148322Y (zh) | 1992-09-23 | 1992-09-23 | 离子束溅射沉积薄膜压力传感器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN2148322Y (zh) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN101871829A (zh) * | 2010-08-02 | 2010-10-27 | 陈旭财 | 一种带矩形应力槽的压力变送器 |
| CN105136377A (zh) * | 2015-08-18 | 2015-12-09 | 熊辉 | 溅射薄膜锤击由壬压力传感器 |
-
1992
- 1992-09-23 CN CN 92217899 patent/CN2148322Y/zh not_active Expired - Fee Related
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN101871829A (zh) * | 2010-08-02 | 2010-10-27 | 陈旭财 | 一种带矩形应力槽的压力变送器 |
| CN101871829B (zh) * | 2010-08-02 | 2012-08-29 | 陈旭财 | 一种带矩形应力槽的压力变送器 |
| CN105136377A (zh) * | 2015-08-18 | 2015-12-09 | 熊辉 | 溅射薄膜锤击由壬压力传感器 |
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