CN214538107U - 一种半导体生产用的特殊气体流量检测装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及气体流量检测装置技术领域，且公开了一种半导体生产用的特殊气体流量检测装置，包括气体流动管，所述气体流动管的一侧开设有第一安装螺纹，所述第一安装螺纹的一侧粘接安装有密封橡胶圈，所述密封橡胶圈的一侧开设有位于气体流动管另一侧的第二安装螺纹，所述第二安装螺纹的顶部开设有位于气体流动管顶部的卡接口，本装置两端均开设有安装螺纹和密封橡胶圈，且卡接口同样设有密封橡胶圈，气体流量检测装置的安装通过卡接、螺母等方式进行卡接安装，且密封性好，通过以上设置使得本装置安装十分的方便，且密封性好，本装置通过气体流量检测膜将气体流量数据反馈到显示表上进行显示，可直观的看出气体的流量。

Description

一种半导体生产用的特殊气体流量检测装置

技术领域

本实用新型涉及气体流量检测装置技术领域，具体为一种半导体生产用的特殊气体流量检测装置。

背景技术

固定式气体检测变送器，采用先进的电化学传感器，结合气体检测探头研制的经验而开发出的新产品，随着工业的迅速发展，人类接触有害气体的场合越来越多，由此造成对人类本身的危害也越来越大，一次次的中毒事故，使人们清醒的认识到在发展工业的同时保护人类自身安全的重要性，因此各种有害气体报警仪渐渐成为工业安全生产中必不可少的防护设备，现有的用于半导体生产用的特殊气体流量的检测装置普遍都是较为精密或是一体装置，因此限制了装置的使用以及安装，为此特意提出一种半导体生产用的特殊气体流量检测装置。

现有的技术存在以下问题：

1、现有的半导体生产用的特殊气体流量监测装置，一般都是与生产装置一体的精密设备，无法针对其他场合或更换仪器使用的问题。

2、现有的半导体生产用的特殊气体流量监测装置，一般都是较为精密的部件，其安装及使用对于普通工作人员不够鲜明性。

实用新型内容

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种半导体生产用的特殊气体流量检测装置，具备安装方便、密封性好、易懂等优点，解决了安装不方便、密封性差、不易懂的问题。

(二)技术方案

为实现上述一种半导体生产用的特殊气体流量检测装置目的，本实用新型提供如下技术方案：一种半导体生产用的特殊气体流量检测装置，包括气体流动管，所述气体流动管的一侧开设有第一安装螺纹，所述第一安装螺纹的一侧粘接安装有密封橡胶圈，所述密封橡胶圈的一侧开设有位于气体流动管另一侧的第二安装螺纹，所述第二安装螺纹的顶部开设有位于气体流动管顶部的卡接口，所述卡接口的外表面粘接安装有卡接橡胶圈，所述卡接橡胶圈的内部卡接安装有检测装置卡接架，所述检测装置卡接架的一侧开设有固定架安装孔，所述固定架安装孔的底部焊接安装有位于检测装置卡接架底部的气体流量检测膜固定架，所述气体流量检测膜固定架的内部粘接安装有气体流量检测膜，所述气体流量检测膜的顶部焊接安装有位于检测装置卡接架顶部的显示表固定架，所述显示表固定架的顶部焊接安装有显示表，所述显示表的内部活动安装有指针，所述指针的一侧固定安装有刻度表，所述刻度表的底部可拆卸安装有位于检测装置卡接架底部的卡接架固定架，所述卡接架固定架的顶部焊接安装有固定臂，所述固定臂的内部开设有第一安装孔，所述第一安装孔的一侧开设有第二安装孔，所述第二安装孔的底部开设有位于卡接架固定架内部的流动管固定槽，所述流动管固定槽的一侧可拆卸安装有螺母，所述螺母的一侧焊接安装有螺母扭动块。

优选的，所述气体流动管的左侧开设有第一安装螺纹，气体流动管管口处设有密封橡胶圈，气体流动管另一侧同样设置有第二安装螺纹和密封橡胶圈。

优选的，所述卡接口开设于气体流动管的顶部位置，接口处均设有卡接橡胶圈，且卡接口与气体流量检测膜固定架相吻合。

优选的，所述固定架安装孔和卡接架固定架开设的第一安装孔、第二安装孔相吻合。

优选的，所述显示表通过显示表固定架安装在检测装置卡接架的顶部，其内部安装有指针和刻度表，且显示表穿过显示表固定架、检测装置卡接架与气体流量检测膜用数据线连接。

优选的，所述卡接架固定架两侧安装有固定臂，内部开设有流动管固定槽，固定臂和流动管固定槽与检测装置卡接架和气体流动管相吻合。

与现有技术相比，本实用新型提供了一种半导体生产用的特殊气体流量检测装置，具备以下有益效果：

1、该半导体生产用的特殊气体流量检测装置，通过安装第一安装螺纹、密封橡胶圈、卡接口、第一安装孔、螺母等装置，达到了安装方便、密封性好的目的，本装置两端均开设有安装螺纹和密封橡胶圈，且卡接口同样设有密封橡胶圈，气体流量检测装置的安装通过卡接、螺母等方式进行卡接安装，且密封性好，通过以上设置使得本装置安装十分的方便，且密封性好。

2、该半导体生产用的特殊气体流量检测装置，通过安装检测装置卡接架、固定架安装孔、显示表、指针、刻度表等装置，达到了易懂得目的，本装置通过气体流量检测膜将气体流量数据反馈到显示表上进行显示，可直观的看出气体的流量。

附图说明

图1为本实用新型整体结构示意图；

图2为本实用新型气体检测装置分解结构示意图；

图3为本实用新型气体流动管结构示意图；

图4为本实用新型气体检测装置平面结构示意图。

其中：1、气体流动管；2、第一安装螺纹；3、密封橡胶圈；4、第二安装螺纹；5、卡接口；6、卡接橡胶圈；7、检测装置卡接架；8、固定架安装孔；9、气体流量检测膜固定架；10、气体流量检测膜；11、显示表固定架； 12、显示表；13、指针；14、刻度表；15、卡接架固定架；16、固定臂；17、第一安装孔；18、第二安装孔；19、流动管固定槽；20、螺母；21、螺母扭动块。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-4，一种半导体生产用的特殊气体流量检测装置，包括气体流动管1，气体流动管1的左侧开设有第一安装螺纹2，气体流动管1管口处设有密封橡胶圈3，气体流动管1另一侧同样设置有第二安装螺纹4和密封橡胶圈3，气体流动管1的一侧开设有第一安装螺纹2，第一安装螺纹2的一侧粘接安装有密封橡胶圈3，密封橡胶圈3的一侧开设有位于气体流动管1另一侧的第二安装螺纹4，第二安装螺纹4的顶部开设有位于气体流动管1顶部的卡接口5，卡接口5开设于气体流动管1的顶部位置，接口处均设有卡接橡胶圈 6，且卡接口5与气体流量检测膜固定架9相吻合，卡接口5的外表面粘接安装有卡接橡胶圈6，卡接橡胶圈6的内部卡接安装有检测装置卡接架7，固定架安装孔8和卡接架固定架15开设的第一安装孔17、第二安装孔18相吻合，检测装置卡接架7的一侧开设有固定架安装孔8，固定架安装孔8的底部焊接安装有位于检测装置卡接架7底部的气体流量检测膜固定架9，气体流量检测膜固定架9的内部粘接安装有气体流量检测膜10，气体流量检测膜10的顶部焊接安装有位于检测装置卡接架7顶部的显示表固定架11，所述显示表固定架11的顶部焊接安装有显示表12，显示表12通过显示表固定架11安装在检测装置卡接架7的顶部，其内部安装有指针13和刻度表14，且显示表12 穿过显示表固定架11、检测装置卡接架7与气体流量检测膜10用数据线连接，显示表12的内部活动安装有指针13，指针13的一侧固定安装有刻度表14，刻度表14的底部可拆卸安装有位于检测装置卡接架7底部的卡接架固定架15，卡接架固定架15两侧安装有固定臂16，内部开设有流动管固定槽19，固定臂16和流动管固定槽19与检测装置卡接架7和气体流动管1相吻合，卡接架固定架15的顶部焊接安装有固定臂16，固定臂16的内部开设有第一安装孔17，第一安装孔17的一侧开设有第二安装孔18，第二安装孔18的底部开设有位于卡接架固定架15内部的流动管固定槽19，所述流动管固定槽 19的一侧可拆卸安装有螺母20，螺母20的一侧焊接安装有螺母扭动块21。

在使用时，将检测装置卡接架7放置气体流动管1顶部开设的卡接口5 内，再将气体流动管1放入卡接架固定架15的流动管固定槽19内，通过螺母20穿过卡接架固定架15的第一安装孔17、第二安装孔18和检测装置卡接架7两侧的固定架安装孔8进行固定，通过扭动螺母扭动块21即可完成对气体流量检测装置的安装，在将气体流动管1的两端进行连接，气体从气体流动管1内部流动即可完成对气体流量的检测。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (6)

1.一种半导体生产用的特殊气体流量检测装置，包括气体流动管(1)，其特征在于：所述气体流动管(1)的一侧开设有第一安装螺纹(2)，所述第一安装螺纹(2)的一侧粘接安装有密封橡胶圈(3)，所述密封橡胶圈(3)的一侧开设有位于气体流动管(1)另一侧的第二安装螺纹(4)，所述第二安装螺纹(4)的顶部开设有位于气体流动管(1)顶部的卡接口(5)，所述卡接口(5)的外表面粘接安装有卡接橡胶圈(6)，所述卡接橡胶圈(6)的内部卡接安装有检测装置卡接架(7)，所述检测装置卡接架(7)的一侧开设有固定架安装孔(8)，所述固定架安装孔(8)的底部焊接安装有位于检测装置卡接架(7)底部的气体流量检测膜固定架(9)，所述气体流量检测膜固定架(9)的内部粘接安装有气体流量检测膜(10)，所述气体流量检测膜(10)的顶部焊接安装有位于检测装置卡接架(7)顶部的显示表固定架(11)，所述显示表固定架(11)的顶部焊接安装有显示表(12)，所述显示表(12)的内部活动安装有指针(13)，所述指针(13)的一侧固定安装有刻度表(14)，所述刻度表(14)的底部可拆卸安装有位于检测装置卡接架(7)底部的卡接架固定架(15)，所述卡接架固定架(15)的顶部焊接安装有固定臂(16)，所述固定臂(16)的内部开设有第一安装孔(17)，所述第一安装孔(17)的一侧开设有第二安装孔(18)，所述第二安装孔(18)的底部开设有位于卡接架固定架(15)内部的流动管固定槽(19)，所述流动管固定槽(19)的一侧可拆卸安装有螺母(20)，所述螺母(20)的一侧焊接安装有螺母扭动块(21)。

2.根据权利要求1所述的一种半导体生产用的特殊气体流量检测装置，其特征在于：所述气体流动管(1)的左侧开设有第一安装螺纹(2)，气体流动管(1)管口处设有密封橡胶圈(3)，气体流动管(1)另一侧同样设置有第二安装螺纹(4)和密封橡胶圈(3)。

3.根据权利要求1所述的一种半导体生产用的特殊气体流量检测装置，其特征在于：所述卡接口(5)开设于气体流动管(1)的顶部位置，接口处均设有卡接橡胶圈(6)，且卡接口(5)与气体流量检测膜固定架(9)相吻合。

4.根据权利要求1所述的一种半导体生产用的特殊气体流量检测装置，其特征在于：所述固定架安装孔(8)和卡接架固定架(15)开设的第一安装孔(17)、第二安装孔(18)相吻合。

5.根据权利要求1所述的一种半导体生产用的特殊气体流量检测装置，其特征在于：所述显示表(12)通过显示表固定架(11)安装在检测装置卡接架(7)的顶部，其内部安装有指针(13)和刻度表(14)，且显示表(12)穿过显示表固定架(11)、检测装置卡接架(7)与气体流量检测膜(10)用数据线连接。

6.根据权利要求1所述的一种半导体生产用的特殊气体流量检测装置，其特征在于：所述卡接架固定架(15)两侧安装有固定臂(16)，内部开设有流动管固定槽(19)，固定臂(16)和流动管固定槽(19)与检测装置卡接架(7)和气体流动管(1)相吻合。

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