CN214502851U - 驱动系统高精度调零装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种驱动系统高精度调零装置，包括调零平台、旋转控制机构、测量机构和驱动机构，所述调零平台包括支撑架、可调支撑台、工作平台、安装立架和定位块，测量机构安装在安装平台的两根安装立架上，旋转控制机构安装在工作平台上且旋转控制机构设置在两根安装立架之间，驱动机构通过定位块安装在工作平台上，旋转控制机构的输出端连接驱动机构的输入端，旋转控制机构用于控制驱动机构旋转并反馈旋转角度，测量机构用于测量驱动机构的机械零位的实际偏差；测量机构包括直线运动引导装置和位移测量装置；本实用新型能够在驱动机构的生产过程中，通过对驱动机构的机械零位进行调试，使机械零位符合指标要求。

Description

驱动系统高精度调零装置

技术领域

本实用新型涉及机械调零领域，更具体的说，尤其涉及一种驱动系统高精度调零装置。

背景技术

驱动机构具有机械零位和电气零位两种零位标识。在驱动机构的生产过程中，需对驱动机构机械零位与电气零位之间的偏差进行调试，使机械零位与电气零位之间的偏差符合指标要求。

电气零位检测主要对安装于驱动机构内零位传感器的安装位置及性能参数进行检测，利用电器测量元件测量出来的零位位置信号。实际上，这个电气零位是人为定义的相对于机械零位的一个位置。机械零位，就是设备上用刻度之类的器具标记的机器参考零点，其它设备安装，运行都以这个点为基准位置，主要使用的机械零点，一般是标记机器停机状态的初始位置。

驱动系统高精度调零方法为：把机械零位对应的测量元件测量数字‘0’来固定测量元件，使机械零位和电气零位在同一点位置上，即二者重合。但实际上机械零位和电气编码器测量值零位难以重合，机械零位对应测量元件测量出来的数据是一段范围，存在偏差。一般通过两种方法缩短偏差，一个是提高驱动机构内零位传感器的性能和安装位置精度；另一个是在驱动机构内零位传感器的安装位置及性能均已确定的情况下，测量出实际偏差并将驱动机构进行高精度的机械调零。

驱动机构调零的现行做法一般是人力手动测量和调整，其主要缺陷是：

第一、手动测量的稳定性不高，影响测量准确度；

第二、由于机械零位和电气零位的差值较小，手动调整十分费力；

第三、手动测量和调整都难以做到驱动机构的高精度调零；

第四、测量和调整的工作效率都十分低。

实用新型内容

本实用新型的目的在于解决现有的驱动机构调零基本采用人力手动测量和调整导致的稳定性低、准确度低且工作效率低的问题，提出了一种驱动系统高精度调零装置，能够在驱动机构的生产过程中，通过本实用新型对驱动机构的机械零位进行调试，使机械零位符合指标要求。

本实用新型通过以下技术方案来实现上述目的：一种驱动系统高精度调零装置，包括调零平台、旋转控制机构、测量机构和驱动机构，所述调零平台包括支撑架、可调支撑台、工作平台、安装立架和定位块，支撑架设置在地面上，所述可调支撑台设置有五个，五个可调支撑台的底部安装在支撑架上，工作平台水平安装在五个可调支撑台的顶部；工作平台上表面上开设方槽，定位块设置在工作平台表面的方槽中，所述安装立架设置有两根，两根安装立架均竖直固定在工作平台上，两根安装立架关于方槽的中轴线对称设置；

对于五个可调支撑台，在所述工作平台调平的过程中，其中以三个成三角分布的可调支撑台作为主调整支撑点用于确定所述工作平台的实际水平度，另外两个作为辅助调整支撑垫用于分担支撑力。

所述测量机构安装在调零平台的两根安装立架上，旋转控制机构安装在工作平台上且旋转控制机构设置在两根安装立架之间，驱动机构通过定位块安装在工作平台上，所述旋转控制机构的输出端连接所述驱动机构的输入端，旋转控制机构用于控制所述驱动机构旋转并反馈旋转角度；测量机构用于测量所述驱动机构的机械零位的实际偏差；

所述旋转控制机构包括伺服电机、减速器、联轴器、主轴、制动器、制动器支架、感应同步器、轴承座、万向节、底板和减速器支架，所述伺服电机的输出端与所述减速器的输入端连接，伺服电机固定在减速器的外壳上，所述减速器通过减速器支架固定在底板上，所述底板安装在两根安装立架之间的工作平台上；所述减速器的输出端通过联轴器连接主轴的一端，主轴的另一端穿过轴承座后与万向节的输入端连接，轴承座固定在底板上；所述制动器和感应同步器均套装在主轴上，制动器通过制动器支架安装在固定在底板上，制动器安装在制动器支架靠近减速器的侧面上，感应同步器固定安装在主轴上；所述万向节的输出端连接驱动机构的输入端；所述伺服电机的输出轴、减速器、联轴器、主轴、制动器、感应同步器、和万向节的输入端的轴线的在同一条直线上；在调零过程中，所述伺服电机提供旋转运动的驱动力，经过所述减速器放大力矩和减小转速，驱动所述主轴转动并带动所述万向节转动，所述感应同步器提供万向节实际转动的角度；

所述测量机构包括气浮导轨、直线电机、气浮滑块、配重、拖链、拖链轨道、支撑架、拖链转接块、光轴、光轴座、滑块转接块、光电位移传感器和光电位移传感器安装板。所述直线电机包括直线电机定子和直线电机动子，所述直线电机定子固定于所述气浮导轨上面凹槽中，所述气浮滑块放置在所述气浮导轨上面，所述配重放置于所述气浮滑块上面，所述拖链转接块的侧面固定在所述气浮滑块的一侧面，所述滑块转接块固定在所述气浮滑块的另一侧面，所述拖链的一端连接在所述拖链转接块的上面，所述拖链的另一端连接在所述拖链轨道的一端，所述拖链轨道固定在所述两个支撑架的上面，所述两个支撑架的侧面分别固定在所述两个安装立架的一侧面，所述光轴座共有三个，所述两个光轴座的光轴通孔竖直向下并固定于所述滑块转接块，所述第三个光轴座固定于所述光电位移传感器安装板的一面，所述光轴安装于三个所述光轴座中，所述光电位移传感器固定在所述光电位移传感器安装板的另一面；在测量过程中，所述直线电机动子带动所述气浮滑块做直线运动，所述光电位移传感器跟随所述气浮滑块运动；

所述驱动机构包括驱动机构动子和驱动机构定子，所述驱动机构动子上设置两个动子定位销，所述驱动机构定子安装在所述工作平台上；在调零过程中，所述万向节带动所述驱动机构动子进行旋转时，所述动子定位销跟随所述驱动机构动子进行运动。

进一步的，所述气浮滑块的中心位置处开设槽口，所述直线电机动子上面凸出一段圆柱，并置于所述气浮滑块的中心槽口中；在测量过程中，所述直线电机动子带动所述气浮滑块做直线运动，圆柱与槽口做线面接触，避免了所述直线电机动子到所述气浮滑块的传动环节中纵向跳动产生的误差传递。

进一步的，所述光轴横截面形状为半圆形和矩形的组合形，用于限制光轴的旋转自由度。

进一步的，所述驱动机构动子一端对称于驱动机构旋转中心设置两个圆柱状的动子定位销。

进一步的，两个动子定位销的形状均为圆柱状，两个动子定位销水平安装在驱动机构的动子靠近旋转控制机构的侧面上。

一种驱动系统高精度调零方法，具体包括如下步骤：

步骤一：调节五个可调支撑台中的可调螺栓使得工作平台处于水平状态；

步骤二：拧松滑块转接块上两个光轴座中用于固定光轴的螺丝，使光轴可以进行纵向移动；调节光轴高度直至光电位移传感器能够测量到工作平台的上平面；再拧紧滑块转接块上两个光轴座中用于固定光轴的螺丝，使光轴不可纵向移动；

步骤三：驱动气浮导轨上的直线电机，使直线电机动子带动气浮导轨上的气浮滑块运动；光电位移传感器随着气浮滑块做直线运动；同时，光电位移传感器测量并记录不同位置下光电位移传感器与工作平台之间的纵向距离；根据光电位移传感器进行直线滑行时记录的数据，计算出气浮导轨平面相对于工作平台的直线度；

步骤四：将驱动机构依靠于工作平台上的定位块，放置于工作平台上，以便于安装；将驱动机构动子与旋转控制机构的万向节输出端固定连接；将驱动机构定子用螺丝固定于工作平台上；

步骤五：拧松滑块转接块上两个光轴座中用于固定光轴的螺丝，使光轴可以进行纵向移动；调节光轴高度直至光电位移传感器能够测量到驱动机构动子上的两个动子定位销；再拧紧滑块转接块上两个光轴座中用于固定光轴的螺丝，使光轴不可纵向移动；

步骤六：驱动气浮导轨上的直线电机，使直线电机动子带动气浮导轨上的气浮滑块运动；光电位移传感器随着气浮滑块做直线运动；同时，光电位移传感器测量并记录驱动机构动子上两个动子定位销与光电位移传感器的距离；计算得出驱动机构动子需要转动的实际角度θ；

步骤七：驱动旋转控制机构的伺服电机，伺服电机的输出端经过减速器放大输出力矩并减小输出转速，带动主轴旋转，从而带动主轴上的感应同步器和万向节进行旋转；万向节带动驱动机构动子进行旋转，同时感应同步器实时反馈万向节实际的转动角度；当感应同步器反馈的转动角度为θ，立即停止旋转控制机构的伺服电机；

步骤八：检验驱动机构的机械零位是否达到要求，重复步骤六和步骤七，直至驱动机构的机械零位达到要求；

步骤九：卸下已完成机械调零的驱动机构，将待机械调零的驱动机构重复步骤四至步骤八，直至所有驱动机构完成机械调零；

步骤十：所有物件归位或归零。

进一步的，在测量过程前，两个动子定位销的中心距离为d，驱动机构的目标机械零位位置为两个动子定位销处于同一水平线；令位于左侧的动子定位销为a，位于右侧的动子定位销为b；在测量过程中，光电位移传感器测量并记录了不同位置下光电位移传感器与工作平台之间的纵向距离，并计算出气浮导轨平面相对于工作平台的直线度为Δd，直线度测量方向为从左往右；设动子定位销a、动子定位销b与光电位移传感器的纵向距离分别为da、db，以得出两个动子定位销转到水平位置，驱动机构动子需要转动的角度计算公式为

θ＝arcsin((d_a-d_b-Δd)/d)。

进一步的，当θ角度为正时，伺服电机顺时针转动带动驱动机构的动子顺时针转动；当角度为负时，伺服电机逆时针转动带动驱动机构的动子逆时针转动。

本实用新型的有益效果在于：

1)本实用新型在工作平台与支撑支架之间加入了五个可调支撑台，调节可调支撑台的可调螺栓来调整工作平台的水平度，使工作平台处于水平；

2)本实用新型在光轴与光轴座的连接处采用抱紧连接，通过螺钉锁紧的方式实现松紧，使得测量机构的测量高度可自由调节；

3)本实用新型采用直线电机来控制主滑块做横向运动，提高了测量过程的自动化水平；

4)本实用新型采用旋转控制机构的伺服电机控制驱动机构的旋转运动，提高了调零过程的自动化水平；

5)本实用新型在气浮滑块的中心位置处开设槽口，直线电机动子上面凸出一段圆柱，并置于所述气浮滑块的中心槽口中；在测量过程中，直线电机动子带动气浮滑块做直线运动，圆柱与槽口做线面接触，避免了所述直线电机动子到所述气浮滑块的传动环节中纵向跳动产生的误差传递，提高了测量机构的测量精度；

6)本实用新型采用气浮滑块上加配重来增加预紧力，提高了气浮滑块在移动过程中的稳定性，保证了测量机构的测量精度；

7)本实用新型在主轴上加入感应同步器反馈主轴实际转动的角度，实现了闭环控制；在旋转控制机构的伺服电机停止驱动时，通过制动器及时停止主轴的转动。实现了旋转控制机构对旋转角度高精度的控制；

8)本实用新型在测量过程中，通过光电位移传感器测量并记录了不同位置下光电位移传感器与工作平台之间的纵向距离，并计算出气浮导轨平面相对于工作平台的直线度，并以此作为误差补偿的数据，从而减少了直线导轨平面与工作平面不完全平行产生的纵向误差，提高了测量机构实际测量的准确性；

9)本实用新型在测量过程中采用气浮滑块气浮运动的方式，相对于直接接触运动，设备的寿命高，测量精度高，运动平稳。

附图说明

图1是本实用新型一种驱动系统高精度调零装置的整体结构示意图。

图2是本实用新型设备安装平台的结构示意图。

图3是本实用新型旋转控制机构的结构示意图。

图4是本实用新型测量机构的左视图。

图5是本实用新型测量机构的俯视图。

图6是本实用新型驱动机构的结构示意图。

图中：1-调零平台；11-支撑支；12-可调支撑台；13-工作平台；14-安装立架；15-定位块； 2-旋转控制机构；21-伺服电机；22-减速器；23-联轴器；24-主轴；25-制动器；26-制动器支架；27-感应同步器；28-轴承座；29-万向节；210-底板；211-减速器支架；3-测量机构；31- 测量支架；32-拖链轨道；33-拖链；34-拖链转接块；35-气浮滑块；36-配重；37-直线电机； 371-直线电机定子；372-直线电机动子；38-滑块转接块；39-光轴座；310-光轴；311-光电位移传感器安装板；312-光电位移传感器；313-气浮导轨；4-驱动机构；41-驱动机构动子；410- 动子定位销；42-驱动机构定子。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型作进一步说明：

如图1～6所示，一种驱动系统高精度调零装置，包括调零平台1、旋转控制机构2、测量机构3和驱动机构4，所述调零平台1包括支撑架11、可调支撑台12、工作平台13、安装立架14和定位块15，支撑架11设置在地面上，所述可调支撑台12设置有五个，五个可调支撑台12的底部安装在支撑架11上，工作平台13水平安装在五个可调支撑台12的顶部；工作平台13上表面上开设方槽，定位块15设置在工作平台13表面的方槽中，所述安装立架 14设置有两根，两根安装立架14均竖直固定在工作平台13上，两根安装立架14关于方槽的中轴线对称设置；所述测量机构3安装在调零平台1的两根安装立架14上，旋转控制机构 2安装在工作平台13上且旋转控制机构2设置在两根安装立架14之间，驱动机构4通过定位块15安装在工作平台13上，所述旋转控制机构2的输出端连接所述驱动机构4的输入端，旋转控制机构2用于控制所述驱动机构4旋转并反馈旋转角度；测量机构3用于测量所述驱动机构4的机械零位的实际偏差。

所述旋转控制机构2包括伺服电机21、减速器22、联轴器23、主轴24、制动器25、制动器支架26、感应同步器27、轴承座28、万向节29、底板210和减速器支架211，所述伺服电机21的输出端与所述减速器22的输入端连接，伺服电机21固定在减速器22的外壳上，所述减速器22通过减速器支架211固定在底板210上，所述底板210安装在两根安装立架 14之间的工作平台13上；所述减速器22的输出端通过联轴器23连接主轴24的一端，主轴 24的另一端穿过轴承座28后与万向节29的输入端连接，轴承座28固定在底板210上；所述制动器25和感应同步器27均套装在主轴24上，制动器25通过制动器支架26安装在固定在底板210上，制动器25安装在制动器支架26靠近减速器22的侧面上，感应同步器27固定安装在主轴24上；所述万向节29的输出端连接驱动机构4的输入端；所述伺服电机21的输出轴、减速器22、联轴器23、主轴24、制动器25、感应同步器27、和万向节29的输入端的轴线的在同一条直线上；在调零过程中，所述伺服电机21提供旋转运动的驱动力，经过所述减速器22放大力矩和减小转速，驱动所述主轴24转动并带动所述万向节29转动，所述感应同步器27提供万向节29实际转动的角度。

所述测量机构3包括气浮导轨313、直线电机37、气浮滑块35、配重36、拖链33、拖链轨道32、测量支架31、拖链转接块34、光轴310、光轴座39、滑块转接块38、光电位移传感器312和光电位移传感器安装板311；所述直线电机37包括直线电机定子371和直线电机动子372，所述直线电机定子371固定于所述气浮导轨313上面凹槽中，所述气浮滑块35 放置在所述气浮导轨313上面，所述配重36放置于所述气浮滑块35上面，所述拖链转接块 34的侧面固定在所述气浮滑块35的一侧面，所述滑块转接块38固定在所述气浮滑块35的另一侧面，所述拖链33的一端连接在所述拖链转接块34的上面，所述拖链33的另一端连接在所述拖链轨道32的一端，所述拖链轨道32固定在所述两个测量支架31的上面，所述两个测量支架31的侧面分别固定在所述两个安装立架14的一侧面，所述光轴座39共有三个，所述两个光轴座39的光轴310通孔竖直向下并固定于所述滑块转接块38，所述第三个光轴座 39固定于所述光电位移传感器安装板311的一面，所述光轴310安装于三个所述光轴座39 中，所述光电位移传感器312固定在所述光电位移传感器安装板311的另一面；在测量过程中，所述直线电机动子372带动所述气浮滑块35做直线运动，所述光电位移传感器312跟随所述气浮滑块35运动。

所述驱动机构4包括驱动机构动子41和驱动机构定子42，所述驱动机构动子41上设置两个动子定位销410，所述驱动机构定子42安装在所述工作平台13上；在调零过程中，所述万向节29带动所述驱动机构动子41进行旋转时，所述动子定位销410跟随所述驱动机构动子41进行运动。

所述气浮滑块35的中心位置处开设槽口，所述直线电机动子372上面凸出一段圆柱，并置于所述气浮滑块35的中心槽口中；在测量过程中，所述直线电机动子372带动所述气浮滑块35做直线运动，圆柱与槽口做线面接触，避免了所述直线电机动子372到所述气浮滑块 35的传动环节中纵向跳动产生的误差传递。

所述光轴310横截面形状为半圆形和矩形的组合形。

所述驱动机构动子41一端对称于驱动机构4旋转中心设置两个圆柱状的动子定位销410。

两个动子定位销410的形状均为圆柱状，两个动子定位销410水平安装在驱动机构4的动子靠近旋转控制机构2的侧面上。

一种驱动系统高精度调零方法，具体包括如下步骤：

步骤一：调节五个可调支撑台12中的可调螺栓使得工作平台13处于水平状态；

步骤二：拧松滑块转接块38上两个光轴座39中用于固定光轴310的螺丝，使光轴310 可以进行纵向移动；调节光轴310高度直至光电位移传感器312能够测量到工作平台13的上平面；再拧紧滑块转接块38上两个光轴座39中用于固定光轴310的螺丝，使光轴310不可纵向移动；

步骤三：驱动气浮导轨313上的直线电机37，使直线电机动子372带动气浮导轨313上的气浮滑块35运动；光电位移传感器312随着气浮滑块35做直线运动；同时，光电位移传感器312测量并记录不同位置下光电位移传感器312与工作平台13之间的纵向距离；根据光电位移传感器312进行直线滑行时记录的数据，计算出气浮导轨313平面相对于工作平台13的直线度；

步骤四：将驱动机构4依靠于工作平台13上的定位块15，放置于工作平台13上，以便于安装；将驱动机构动子41与旋转控制机构2的万向节29输出端固定连接；将驱动机构定子42用螺丝固定于工作平台13上；

步骤五：拧松滑块转接块38上两个光轴座39中用于固定光轴310的螺丝，使光轴310 可以进行纵向移动；调节光轴310高度直至光电位移传感器312能够测量到驱动机构动子41 上的两个动子定位销410；再拧紧滑块转接块38上两个光轴座39中用于固定光轴310的螺丝，使光轴310不可纵向移动；

步骤六：驱动气浮导轨313上的直线电机37，使直线电机动子372带动气浮导轨313上的气浮滑块35运动；光电位移传感器312随着气浮滑块35做直线运动；同时，光电位移传感器312测量并记录驱动机构动子41上两个动子定位销410与光电位移传感器312的距离；计算得出驱动机构动子41需要转动的实际角度θ；

步骤七：驱动旋转控制机构2的伺服电机21，伺服电机21的输出端经过减速器22放大输出力矩并减小输出转速，带动主轴24旋转，从而带动主轴24上的感应同步器27和万向节 29进行旋转；万向节29带动驱动机构动子41进行旋转，同时感应同步器27实时反馈万向节29实际的转动角度；当感应同步器27反馈的转动角度为θ，立即停止旋转控制机构2的伺服电机21；

步骤八：检验驱动机构4的机械零位是否达到要求，重复步骤六和步骤七，直至驱动机构4的机械零位达到要求；

步骤九：卸下已完成机械调零的驱动机构4，将待机械调零的驱动机构4重复步骤四至步骤八，直至所有驱动机构4完成机械调零；

步骤十：所有物件归位或归零。

在测量过程前，两个动子定位销410的中心距离为d，驱动机构4的目标机械零位位置为两个动子定位销410处于同一水平线；令位于左侧的动子定位销410为a，位于右侧的动子定位销410为b；在测量过程中，光电位移传感器312测量并记录了不同位置下光电位移传感器312与工作平台13之间的纵向距离，并计算出气浮导轨313平面相对于工作平台13 的直线度为Δd，直线度测量方向为从左往右；设动子定位销410a、动子定位销410b与光电位移传感器312的纵向距离分别为da、db，以得出两个动子定位销410转到水平位置，驱动机构动子41需要转动的角度计算公式为

θ＝arcsin((d_a-d_b-Δd)/d)。

当θ角度为正时，伺服电机21顺时针转动带动驱动机构4的动子顺时针转动；当角度为负时，伺服电机21逆时针转动带动驱动机构4的动子逆时针转动。

上述实施例只是本实用新型的较佳实施例，并不是对本实用新型技术方案的限制，只要是不经过创造性劳动即可在上述实施例的基础上实现的技术方案，均应视为落入本实用新型专利的权利保护范围内。

Claims (5)

1.一种驱动系统高精度调零装置，其特征在于：包括调零平台(1)、旋转控制机构(2)、测量机构(3)和驱动机构(4)，所述调零平台(1)包括支撑架(11)、可调支撑台(12)、工作平台(13)、安装立架(14)和定位块(15)，支撑架(11)设置在地面上，所述可调支撑台(12)设置有五个，五个可调支撑台(12)的底部安装在支撑架(11)上，工作平台(13)水平安装在五个可调支撑台(12)的顶部；工作平台(13)上表面上开设方槽，定位块(15)设置在工作平台(13)表面的方槽中，所述安装立架(14)设置有两根，两根安装立架(14)均竖直固定在工作平台(13)上，两根安装立架(14)关于方槽的中轴线对称设置；所述测量机构(3)安装在调零平台(1)的两根安装立架(14)上，旋转控制机构(2)安装在工作平台(13)上且旋转控制机构(2)设置在两根安装立架(14)之间，驱动机构(4)通过定位块(15)安装在工作平台(13)上，所述旋转控制机构(2)的输出端连接所述驱动机构(4)的输入端，旋转控制机构(2)用于控制所述驱动机构(4)旋转并反馈旋转角度；测量机构(3)用于测量所述驱动机构(4)的机械零位的实际偏差；

所述旋转控制机构(2)包括伺服电机(21)、减速器(22)、联轴器(23)、主轴(24)、制动器(25)、制动器支架(26)、感应同步器(27)、轴承座(28)、万向节(29)、底板(210)和减速器支架(211)，所述伺服电机(21)的输出端与所述减速器(22)的输入端连接，伺服电机(21)固定在减速器(22)的外壳上，所述减速器(22)通过减速器支架(211)固定在底板(210)上，所述底板(210)安装在两根安装立架(14)之间的工作平台(13)上；所述减速器(22)的输出端通过联轴器(23)连接主轴(24)的一端，主轴(24)的另一端穿过轴承座(28)后与万向节(29)的输入端连接，轴承座(28)固定在底板(210)上；所述制动器(25)和感应同步器(27)均套装在主轴(24)上，制动器(25)通过制动器支架(26)安装在固定在底板(210)上，制动器(25)安装在制动器支架(26)靠近减速器(22)的侧面上，感应同步器(27)固定安装在主轴(24)上；所述万向节(29)的输出端连接驱动机构(4)的输入端；所述伺服电机(21)的输出轴、减速器(22)、联轴器(23)、主轴(24)、制动器(25)、感应同步器(27)、和万向节(29)的输入端的轴线的在同一条直线上；在调零过程中，所述伺服电机(21)提供旋转运动的驱动力，经过所述减速器(22)放大力矩和减小转速，驱动所述主轴(24)转动并带动所述万向节(29)转动，所述感应同步器(27)提供万向节(29)实际转动的角度；

所述测量机构(3)包括气浮导轨(313)、直线电机(37)、气浮滑块(35)、配重(36)、拖链(33)、拖链轨道(32)、测量支架(31)、拖链转接块(34)、光轴(310)、光轴座(39)、滑块转接块(38)、光电位移传感器(312)和光电位移传感器安装板(311)；所述直线电机(37)包括直线电机定子(371)和直线电机动子(372)，所述直线电机定子(371)固定于所述气浮导轨(313)上面凹槽中，所述气浮滑块(35)放置在所述气浮导轨(313)上面，所述配重(36)放置于所述气浮滑块(35)上面，所述拖链转接块(34)的侧面固定在所述气浮滑块(35)的一侧面，所述滑块转接块(38)固定在所述气浮滑块(35)的另一侧面，所述拖链(33)的一端连接在所述拖链转接块(34)的上面，所述拖链(33)的另一端连接在所述拖链轨道(32)的一端，所述拖链轨道(32)固定在所述两个测量支架(31)的上面，所述两个测量支架(31)的侧面分别固定在所述两个安装立架(14)的一侧面，所述光轴座(39)共有三个，两个光轴座(39)的光轴(310)通孔竖直向下并固定于所述滑块转接块(38)，第三个光轴座(39)固定于所述光电位移传感器安装板(311)的一面，所述光轴(310)安装于三个所述光轴座(39)中，所述光电位移传感器(312)固定在所述光电位移传感器安装板(311)的另一面；

所述驱动机构(4)包括驱动机构动子(41)和驱动机构定子(42)，所述驱动机构动子(41)上设置两个动子定位销(410)，所述驱动机构定子(42)安装在所述工作平台(13)上。

2.根据权利要求1所述的一种驱动系统高精度调零装置，其特征在于：所述气浮滑块(35)的中心位置处开设槽口，所述直线电机动子(372)上面凸出一段圆柱，并置于所述气浮滑块(35)的中心槽口中。

3.根据权利要求1所述的一种驱动系统高精度调零装置，其特征在于：所述光轴(310)横截面形状为半圆形和矩形的组合形。

4.根据权利要求1所述的一种驱动系统高精度调零装置，其特征在于：所述驱动机构动子(41)一端对称于驱动机构(4)旋转中心设置两个圆柱状的动子定位销(410)。

5.根据权利要求1所述的一种驱动系统高精度调零装置，其特征在于：两个动子定位销(410)的形状均为圆柱状，两个动子定位销(410)水平安装在驱动机构(4)的动子靠近旋转控制机构(2)的侧面上。

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