CN214458274U - 一种微型工件的pvd遮蔽治具及pvd遮蔽治具机构 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供了一种微型工件的PVD遮蔽治具及PVD遮蔽治具机构，一种微型工件的PVD遮蔽治具，包括：基座；多个遮蔽件，遮蔽件设置在基座上；多个弹性件，弹性件用于使微型工件与遮蔽件紧密贴合。一种PVD遮蔽治具机构，包括挂盘和多个微型工件的PVD遮蔽治具；挂盘包括多个挂钩，悬挂部挂在挂钩上。与现有技术相比，本实用新型的一种微型工件的PVD遮蔽治具，具有溢镀低、产品良率高的特点。本实用新型的PVD遮蔽治具机构，能够大批量进行镀膜，镀膜效率高，极大的节省人力和机台需求。

Description

一种微型工件的PVD遮蔽治具及PVD遮蔽治具机构

技术领域

本实用新型涉及遮蔽治具技术领域，具体而言，尤其涉及一种微型工件的PVD遮蔽治具及PVD遮蔽治具机构。

背景技术

PVD(Physical Vapor Deposition)是物理气相沉积：指利用物理过程实现物质转移，将原子或分子由源转移到基材表面上的过程。它的作用是可以使某些有特殊性能(强度高、耐磨性、散热性、耐腐性等)的微粒喷涂在性能较低的母体上，使得母体具有更好的性能。

PVD基本方法：真空蒸发、溅射、离子镀(空心阴极离子镀、热阴极离子镀、电弧离子镀、活性反应离子镀、射频离子镀、直流放电离子镀)。

在某些产品上，只需要在某些特定的位置具有特殊性能，因此需要遮蔽治具来遮蔽不需要镀膜的区域。

然而，现有的产品不仅尺寸小，而且遮蔽要求高，如直径为13.18mm、高度为3.58mm的产品有以下问题：一、产品需要遮蔽区域比较小，并且产品外形没有好的遮蔽固定形状；二、产品的镀膜区域与遮蔽区域相隔得比较近。

使用遮蔽治具对产品进行遮蔽时，现有的遮蔽治具有一些问题：一、使用遮蔽治具时，溢镀比例高达50％，导致产品良率低；二、遮蔽治具制造时，需要焊接多个地方，生产不方便，生产效率低，不能大批量生产；三、遮蔽治具不容易固定排列成一条直线，PVD上下挂时不能实现自动化生产，人力投入大；四、遮蔽治具只能装8个产品，PVD产能低。

综上所述，研究一种PVD遮蔽治具，喷涂时使用该PVD遮蔽治具遮蔽产品，从而使产品良率高是目前本领域技术人员急需解决的问题。

实用新型内容

为了克服现有技术的不足，与常规PVD遮蔽治具相比，本实用新型解决了现有的PVD遮蔽治具对微型工件遮蔽时，溢镀比例高，导致产品良率低的问题，具体为一种微型工件的PVD遮蔽治具及PVD遮蔽治具机构，其能够解决前述技术问题中的至少一个。具体地，其技术方案如下：

一种微型工件的PVD遮蔽治具，包括：

基座；

多个遮蔽件，所述遮蔽件设置在所述基座上；

多个弹性件，所述弹性件用于使微型工件与所述遮蔽件紧密贴合。本实用新型提供的一种微型工件的PVD遮蔽治具，具有溢镀低、产品良率高的特点，使用本实用新型的PVD遮蔽治具后，产品的良率非常高，总良率达到98％以上。

在一个具体的实施例中，所述基座包括载件和板件，所述载件连接所述板件，所述遮蔽件设置在所述载件上，所述弹性件的一端固定连接所述载件，所述弹性件的另一端穿过所述遮蔽件，使所述微型工件贴合所述遮蔽件。

在一个具体的实施例中，所述弹性件呈“凸”字形设置在所述遮蔽件内。弹性件“凸”字形设置在遮蔽件内，这样的设置，可以防止弹簧摆动，有助于提高产品良率。

在一个具体的实施例中，所述载件包括头部和尾部，所述头部和所述尾部分别设置有悬挂部。悬挂部的设置便于将PVD遮蔽治具进行悬挂。

在一个具体的实施例中，所述弹性件的一端固定在所述载件和所述板件之间，所述板件可拆卸连接所述载件。板件用于压紧弹性件，可拆卸连接的设置，当弹性件弹力失效后，方便对弹性件进行更换。

在一个具体的实施例中，还包括多个紧固件，所述板件设置有多个通孔，所述载件设置有多个与所述通孔对应的内孔，所述紧固件穿过所述通孔和所述内孔连接所述板件和所述载件。紧固件便于将板件和载件进行快速拆卸或安装。

在一个具体的实施例中，还包括多个防松垫片，所述紧固件包括螺栓和螺母，所述螺栓穿过所述通孔、所述内孔和所述防松垫片与所述螺母连接。使用防松垫片，使得载件和板件之间的连接更加的牢固。

在一个具体的实施例中，所述遮蔽件一体成形。遮蔽件用粉末冶金一体成形，生产效率高，尺寸稳定，可以大批量生产。

在一个具体的实施例中，多个所述遮蔽件呈单条直线设置在所述基座上。装配后遮蔽件很容易固定排列成一条直线，PVD上下挂时可以实现自动化生产，节省人力投入。

一种PVD遮蔽治具机构，包括多个挂盘和多个所述微型工件的PVD遮蔽治具；

所述挂盘包括上挂盘和下挂盘，所述上挂盘和所述下挂盘均设置有多个挂钩，所述上挂盘的单个所述挂钩与所述下挂盘的单个所述挂钩对应，位于所述头部的所述悬挂部挂在所述上挂盘的所述挂钩上，位于所述尾部的所述悬挂部挂在所述下挂盘的所述挂钩上。本实用新型的PVD遮蔽治具机构，能够大批量进行镀膜，镀膜效率高，极大的节省人力和机台需求。

本实用新型至少具有以下有益效果：

本实用新型提供的一种微型工件的PVD遮蔽治具，具有溢镀低、产品良率高的特点。

进一步的，弹性件“凸”字形设置在遮蔽件内，这样的设置，可以防止弹簧摆动，有助于提高产品良率。

进一步的，悬挂部的设置便于将PVD遮蔽治具进行悬挂。

进一步的，板件用于压紧弹性件，可拆卸连接的设置，当弹性件弹力失效后，方便对弹性件进行更换。

进一步的，紧固件便于将板件和载件进行快速拆卸或安装。使用防松垫片，使得载件和板件之间的连接更加的牢固。遮蔽件用粉末冶金一体成形，生产效率高，尺寸稳定，可以大批量生产。装配后遮蔽件很容易固定排列成一条直线，PVD上下挂时可以实现自动化生产，节省人力投入。

本实用新型的PVD遮蔽治具机构，能够大批量进行镀膜，镀膜效率高，极大的节省人力和机台需求。

为使本实用新型的上述目的、特征和优点能更明显易懂，下文特举较佳实施例，并配合所附附图，作详细说明如下。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本实用新型的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。

图1是具体实施方式中微型工件的PVD遮蔽治具的示意图；

图2是具体实施方式中微型工件的PVD遮蔽治具局部放大图；

图3是实施例1中PVD遮蔽治具机构的示意图；

图4是实施例1中PVD遮蔽治具机构的剖面图。

主要元件符号说明：

1-遮蔽件；2-弹性件；3-载件；4-板件；5-悬挂部；6-螺栓；7-螺母；8-防松垫片；9-挂盘；10-挂钩；11-微型工件的PVD遮蔽治具。

具体实施方式

为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。

如图1所示，图1为微型工件的PVD遮蔽治具的示意图，在图中可以看出微型工件的PVD遮蔽治具各部件之间的关系。

一种微型工件的PVD遮蔽治具，包括基座、多个遮蔽件1、多个弹性件2多个紧固件和防松垫片8。其中，基座包括载件3和板件4，紧固件包括螺母7和螺栓6。

遮蔽件1设置在基座上，弹性件2用于使微型工件与遮蔽件1紧密贴合。本实用新型提供的一种微型工件的PVD遮蔽治具，具有溢镀低、产品良率高的特点，使用本实用新型的PVD遮蔽治具后，产品的良率非常高，总良率达到98％以上。

具体的，遮蔽件1在进行结构设计时有公差管控，在产品需要镀膜的地方，遮蔽件1有进行微小细节处理，进一步减少镀膜时发生溢镀的概率。

如图2所示，图2为微型工件的PVD遮蔽治具局部放大图，在本实施例中，基座包括载件3和板件4，载件3连接板件4，遮蔽件1设置在载件3上，弹性件2的一端固定连接载件3，弹性件2的另一端穿过遮蔽件1，使微型工件贴合遮蔽件1。具体的载件3为U型长条，载件3可以为板材或者塑料。

在图2中可以看出，弹性件2呈“凸”字形设置在遮蔽件1内。弹性件2“凸”字形设置在遮蔽件1内，这样的设置，可以防止弹簧摆动，有助于提高产品良率。优选的，弹性件2为弹簧。

优选的，载件3包括头部和尾部，头部和尾部分别设置有悬挂部5。悬挂部5的设置便于将PVD遮蔽治具进行悬挂。

优选的，弹性件2的一端固定在载件3和板件4之间，板件4可拆卸连接载件3。板件4用于压紧弹性件2，可拆卸连接的设置，当弹性件2弹力失效后，方便对弹性件2进行更换。

具体的，还包括多个紧固件，板件4设置有多个通孔，载件3设置有多个与通孔对应的内孔，紧固件穿过通孔和内孔连接板件4和载件3。紧固件便于将板件4和载件3进行快速拆卸或安装。

优选的，还包括多个防松垫片8，紧固件包括螺栓6和螺母7，螺栓6穿过通孔、内孔和防松垫片8与螺母7连接。使用防松垫片8，使得载件3和板件4之间的连接更加的牢固。

优选的，遮蔽件1一体成形。遮蔽件1用粉末冶金一体成形，生产效率高，尺寸稳定，可以大批量生产。

优选的，多个遮蔽件1呈单条直线设置在基座上。装配后遮蔽件1很容易固定排列成一条直线，PVD上下挂时可以实现自动化生产，节省人力投入。本实施例为10个遮蔽件1，在相同的长度情况下，一个微型工件的PVD遮蔽治具可以多装两个产品，旧的方案一条只能装8个产品，新方案一条可以10个产品，PVD产能可以提高25％。

实施例1

如图3和图4所示，图3为PVD遮蔽治具机构的示意图，图4为PVD遮蔽治具机构的剖视图，本实施例提供了一种PVD遮蔽治具机构，具体技术方案如下所示：

一种PVD遮蔽治具机构，包括多个挂盘9和多个微型工件的PVD遮蔽治具11。

挂盘9包括多个挂钩10，悬挂部5挂在挂钩10上。具体的，在本实施例中，挂盘9包括上挂盘和下挂盘，上挂盘和下挂盘均设置有多个挂钩10，上挂盘的单个挂钩10与下挂盘的单个挂钩10对应，且对应的挂钩10之间为直线，载件3的头部和尾部分别设置有悬挂部5，头部的悬挂部5挂在上挂盘的挂钩10，尾部的悬挂部5挂在下挂盘的挂钩10。本实用新型的PVD遮蔽治具机构，能够大批量进行镀膜，镀膜效率高，极大的节省人力和机台需求。

在本实施例中，共有两个挂盘9，每个挂盘9有20个挂钩10，能够装载20个微型工件的PVD遮蔽治具11。

本实施例1其它特征与具体实施方式相同，不再赘述。

本领域技术人员可以理解附图只是一个优选实施场景的示意图，附图中的模块或流程并不一定是实施本实用新型所必须的。

本领域技术人员可以理解实施场景中的装置中的模块可以按照实施场景描述进行分布于实施场景的装置中，也可以进行相应变化位于不同于本实施场景的一个或多个装置中。上述实施场景的模块可以合并为一个模块，也可以进一步拆分成多个子模块。

上述本实用新型序号仅仅为了描述，不代表实施场景的优劣。

以上公开的仅为本实用新型的几个具体实施场景，但是，本实用新型并非局限于此，任何本领域的技术人员能思之的变化都应落入本实用新型的保护范围。

Claims (10)

1.一种微型工件的PVD遮蔽治具，其特征在于，包括：

基座；

多个遮蔽件，所述遮蔽件设置在所述基座上；

多个弹性件，所述弹性件用于使微型工件与所述遮蔽件紧密贴合。

2.根据权利要求1所述的一种微型工件的PVD遮蔽治具，其特征在于，所述基座包括载件和板件，所述载件连接所述板件，所述遮蔽件设置在所述载件上，所述弹性件的一端固定连接所述载件，所述弹性件的另一端穿过所述遮蔽件，使所述微型工件贴合所述遮蔽件。

3.根据权利要求2所述的一种微型工件的PVD遮蔽治具，其特征在于，所述弹性件呈“凸”字形设置在所述遮蔽件内。

4.根据权利要求2所述的一种微型工件的PVD遮蔽治具，其特征在于，所述载件包括头部和尾部，所述头部和所述尾部分别设置有悬挂部。

5.根据权利要求2所述的一种微型工件的PVD遮蔽治具，其特征在于，所述弹性件的一端固定在所述载件和所述板件之间，所述板件可拆卸连接所述载件。

6.根据权利要求5所述的一种微型工件的PVD遮蔽治具，其特征在于，还包括多个紧固件，所述板件设置有多个通孔，所述载件设置有多个与所述通孔对应的内孔，所述紧固件穿过所述通孔和所述内孔连接所述板件和所述载件。

7.根据权利要求6所述的一种微型工件的PVD遮蔽治具，其特征在于，还包括多个防松垫片，所述紧固件包括螺栓和螺母，所述螺栓穿过所述通孔、所述内孔和所述防松垫片与所述螺母连接。

8.根据权利要求1所述的一种微型工件的PVD遮蔽治具，其特征在于，所述遮蔽件一体成形。

9.根据权利要求1所述的一种微型工件的PVD遮蔽治具，其特征在于，多个所述遮蔽件呈单条直线设置在所述基座上。

10.一种PVD遮蔽治具机构，其特征在于，包括多个挂盘和多个如权利要求1-9任一项所述微型工件的PVD遮蔽治具；

所述挂盘包括上挂盘和下挂盘，所述上挂盘和所述下挂盘均设置有多个挂钩，所述上挂盘的单个所述挂钩与所述下挂盘的单个所述挂钩对应，位于所述头部的所述悬挂部挂在所述上挂盘的所述挂钩上，位于所述尾部的所述悬挂部挂在所述下挂盘的所述挂钩上。

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