CN214375809U - 一种具有自清洁结构的纳米压印设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种具有自清洁结构的纳米压印设备，包括框架，框架上固定装配有过滤排气单元，过滤排气单元上部底面装配有驱动结构，过滤排气单元下部顶面固定装配有真空泵，真空泵上端固定装配有台盘，驱动结构下端和框架上装配有清洁单元，台盘和清洁单元与真空泵匹配使用；方案采用高过滤排气单元保证设备内部空气从上到下进行过滤循环，提高设备使用时的洁净度；方案采用清洁单元将台盘上的粘连的灰尘清理下来，并将重新掉落在台盘上的灰尘颗粒吸走，实现彻底的清洁效果；去离子风扇可产生大量的正负电荷中和静电，消除静电，防止产生二次污染。

Description

一种具有自清洁结构的纳米压印设备

技术领域

本实用新型涉及纳米压印技术领域，具体为一种具有自清洁结构的纳米压印设备。

背景技术

纳米压印技术是一项高分辨率、高产量、低成本的全新纳米结构制造技术。除了可能在微电子、光电子产业中替代传统的光刻技术外，还可广泛地应用于制造微纳器件，如微纳机电系统、太阳能电池、生物芯片、微型化学反应器、微型化学分析仪和高灵敏度微型传感器等多项高科技领域，目前这一技术已经开始从实验室科学研究走向工业生产制造。

在半导体技术的发展过程中，器件的特征尺寸越来越小，一粒灰尘颗粒就会影响许多纳米级别的器件。纳米压印设备对洁净度，特别是压印腔内的洁净度要求也越来越高，现有的纳米压印设备的洁净度已经不能达到标准了。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种具有自清洁结构的纳米压印设备，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种具有自清洁结构的纳米压印设备，包括框架，所述框架上固定装配有过滤排气单元，所述过滤排气单元上部底面装配有驱动结构，所述过滤排气单元下部顶面固定装配有真空泵，所述真空泵上端固定装配有台盘，所述驱动结构下端和框架上装配有清洁单元，所述台盘和清洁单元与真空泵匹配使用。

优选的，所述过滤排气单元包括固定装配于框架上端的风机过滤机组，所述框架下端固定装配有过滤净化器，且过滤净化器底面固定装配有排风扇，所述框架内腔下半部分横向固定装配有网板，所述框架左右两侧固定装配有去离子风机。

优选的，所述驱动结构包括横向固定装配于风机过滤机组底面的滑轨，所述滑轨左右两端均固定装配有限位块，所述滑轨上滑动装配有直线模组。

优选的，所述清洁单元包括固定装配于直线模组底面左右两侧的连接杆，所述连接杆底端固定装配有电动推杆，左侧所述电动推杆伸缩底端固定装配有吸尘头，右侧所述电动推杆伸缩底端固定转配有出风头，所述风机过滤机组上表面固定装配有空压机，所述空压机输出端固定连接有第一软管一端，且第一软管另一端与出风头固定连通，所述真空泵的输出端固定连接有第二软管，且第二软管分别与台盘和吸尘头固定连通，所述第二软管与吸尘头连接端内壁固定装配有倾斜过滤挡板，所述第二软管底面固定连通有与倾斜过滤挡板配合使用的储尘容器。

优选的，所述过滤净化器底面四角处可拆卸式固定装配有底脚，所述过滤净化器底面均匀固定装配有万向轮。

与现有技术相比，本方案设计了一种具有自清洁结构的纳米压印设备，具有下述有益效果：

(1)方案采用高过滤排气单元保证设备内部空气从上到下进行过滤循环，提高设备使用时的洁净度。

(2)方案采用清洁单元将台盘上的粘连的灰尘清理下来，并将重新掉落在台盘上的灰尘颗粒吸走，实现彻底的清洁效果。

(3)去离子风扇可产生大量的正负电荷中和静电，消除静电，防止产生二次污染。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图。

图中：1框架、2过滤排气单元、21风机过滤机组、22过滤净化器、23排风扇、24网板、25去离子风机、3驱动结构、31滑轨、32限位块、33直线模组、 4真空泵、5台盘、6清洁单元、61连接杆、62电动推杆、63吸尘头、64出风头、65空压机、66第一软管、67第二软管、68倾斜过滤挡板、69储尘容器、7底脚、 8万向轮。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1，本实用新型提供一种技术方案：一种具有自清洁结构的纳米压印设备，包括框架1，框架1上固定装配有过滤排气单元2，过滤排气单元 2上部底面装配有驱动结构3，过滤排气单元2下部顶面固定装配有真空泵4，真空泵4上端固定装配有台盘5，驱动结构3下端和框架1上装配有清洁单元 6，台盘5和清洁单元6与真空泵4匹配使用。

采用高过滤排气单元2保证设备内部空气从上到下进行过滤循环，提高设备使用时的洁净度；方案采用清洁单元6将台盘5上的粘连的灰尘清理下来，并将重新掉落在台盘5上的灰尘颗粒吸走，实现彻底的清洁效果。

过滤排气单元2包括固定装配于框架1上端的风机过滤机组21，框架1 下端固定装配有过滤净化器22，且过滤净化器22底面固定装配有排风扇23，框架1内腔下半部分横向固定装配有网板24，框架1左右两侧固定装配有去离子风机25。

过滤排气单元2的风机过滤机组21从环境中吸入空气，经过层层过滤，将过滤后的洁净空气输送到设备内部，然后通过过滤净化器22将灰尘和胶体挥发出的有害气体吸收过滤，保证了设备内部的气体循环是从上往下的。

驱动结构3包括横向固定装配于风机过滤机组21底面的滑轨31，滑轨 31左右两端均固定装配有限位块32，滑轨31上滑动装配有直线模组33；本实施例中直线模组33连接外部电源，通过开关控制所在电路通断，利用直线模组33的移动带动下端的吸尘头63和出风头64左右移动。

清洁单元6包括固定装配于直线模组33底面左右两侧的连接杆61，连接杆61底端固定装配有电动推杆62，左侧电动推杆62伸缩底端固定装配有吸尘头63，右侧电动推杆62伸缩底端固定转配有出风头64，风机过滤机组21 上表面固定装配有空压机65，空压机65输出端固定连接有第一软管66一端，且第一软管66另一端与出风头64固定连通，真空泵4的输出端固定连接有第二软管67，且第二软管67分别与台盘5和吸尘头63固定连通，第二软管67与吸尘头63连接端内壁固定装配有倾斜过滤挡板68，第二软管67底面固定连通有与倾斜过滤挡板68配合使用的储尘容器69。

如图1所示，连接吸尘头63的第二软管67，连接出风头64的第一软管 66均留有较多富余，能够随着出风头64和吸尘头63左右拉伸或上下升降。

本实施例中真空泵4、空压机65连接外部电源，通过开关控制所在电路通断，利用真空泵4实现台盘5出的真空吸附，同时通过吸尘头63将台盘5 表面灰尘吸走，吸走的灰尘遇到倾斜过滤网板68被拦截后，落入储尘容器69 中，本实施例中储尘容器69通过螺接固定，能够拆卸清理；通过空压机65 从出风头64处吹出强风，吹除台盘5和网板24缝隙内的灰尘。

过滤净化器22底面四角处可拆卸式固定装配有底脚7，过滤净化器22底面均匀固定装配有万向轮8；底脚7通过螺栓固定在过滤净化器22外壳底面，拆卸下固定用的螺栓后能够拆卸底脚7，利用万向轮8移动，当安装底脚7有保证设备放置的平稳。

清洁过程：

直线模组33带动出风头64在滑轨31上左右移动，限位块32起到限定移动最大范围的作用，出风头64吹出空气将粘连在台盘5上的灰尘颗粒等吹起。

风机过滤机组将部分吹起的灰尘颗粒吹入网板24下方的过滤净化器22 净化过滤，部分灰尘颗粒重新掉落到台盘5表面；关闭出风头64后直线模组 33带动吸尘头63在滑轨31上左右移动，利用长条状的吸尘头63吸风口将台盘5表面的灰尘颗粒吸出，过滤回收到储尘容器69中。

对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。

Claims (5)

1.一种具有自清洁结构的纳米压印设备，包括框架(1)，其特征在于：所述框架(1)上固定装配有过滤排气单元(2)，所述过滤排气单元(2)上部底面装配有驱动结构(3)，所述过滤排气单元(2)下部顶面固定装配有真空泵(4)，所述真空泵(4)上端固定装配有台盘(5)，所述驱动结构(3)下端和框架(1)上装配有清洁单元(6)，所述台盘(5)和清洁单元(6)与真空泵(4)匹配使用。

2.根据权利要求1所述的一种具有自清洁结构的纳米压印设备，其特征在于：所述过滤排气单元(2)包括固定装配于框架(1)上端的风机过滤机组(21)，所述框架(1)下端固定装配有过滤净化器(22)，且过滤净化器(22)底面固定装配有排风扇(23)，所述框架(1)内腔下半部分横向固定装配有网板(24)，所述框架(1)左右两侧固定装配有去离子风机(25)。

3.根据权利要求2所述的一种具有自清洁结构的纳米压印设备，其特征在于：所述驱动结构(3)包括横向固定装配于风机过滤机组(21)底面的滑轨(31)，所述滑轨(31)左右两端均固定装配有限位块(32)，所述滑轨(31)上滑动装配有直线模组(33)。

4.根据权利要求3所述的一种具有自清洁结构的纳米压印设备，其特征在于：所述清洁单元(6)包括固定装配于直线模组(33)底面左右两侧的连接杆(61)，所述连接杆(61)底端固定装配有电动推杆(62)，左侧所述电动推杆(62)伸缩底端固定装配有吸尘头(63)，右侧所述电动推杆(62)伸缩底端固定转配有出风头(64)，所述风机过滤机组(21)上表面固定装配有空压机(65)，所述空压机(65)输出端固定连接有第一软管(66)一端，且第一软管(66)另一端与出风头(64)固定连通，所述真空泵(4)的输出端固定连接有第二软管(67)，且第二软管(67)分别与台盘(5)和吸尘头(63)固定连通，所述第二软管(67)与吸尘头(63)连接端内壁固定装配有倾斜过滤挡板(68)，所述第二软管(67)底面固定连通有与倾斜过滤挡板(68)配合使用的储尘容器(69)。

5.根据权利要求2所述的一种具有自清洁结构的纳米压印设备，其特征在于：所述过滤净化器(22)底面四角处可拆卸式固定装配有底脚(7)，所述过滤净化器(22)底面均匀固定装配有万向轮(8)。

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