CN214335502U - 一种真空蒸镀机的信号采集控制电路 - Google Patents

Abstract

本申请提供一种真空蒸镀机的信号采集控制电路，包括：PC、CPU、数字信号输入端口、数字信号输出端口、模拟信号输入端口、模拟信号输出端口、控制单元数字输入模块、模拟信号输入模块和数字信号输出模块，所述PC与CPU双向连接，CPU与数字信号输入端口、数字信号输出端口、模拟信号输入端口和模拟信号输出端口串联连接，模拟信号输出端口与模拟信号输出模块连接，数字信号输出模块和模拟信号输出模块与CPU的输入端连接，当PC发出某个动作指令，CPU对数字信号输入端口和模拟信号输入端口输入的信号以及数字信号输出模块和模拟信号输出模块输入的反馈信号，两方面的信号进行综合分析，然后CPU执行所述动作指令，并将执行状况在PC进行状态显示。

Description

一种真空蒸镀机的信号采集控制电路

技术领域

本实用新型涉及蒸镀机及电学领域，更具体地，涉及一种真空蒸镀机的信号采集控制电路。

背景技术

真空蒸镀机为在真空条件下，通过电流加热、电子束轰击加热和电子束轰击加热和离子辅助轰击基板预清洁以及离子辅助镀膜等方式，蒸发镀膜材料(或称膜料)并使之气化，再使气化后的粒子飞至基片表面而凝结，最后形成薄膜。真空蒸镀具有成膜方法简单、薄膜纯度和致密性高、膜结构和性能独特等优点，因此得到广泛的应用。

但是目前的真空蒸镀机，大多都是半自动化的，生产效率低，为了提高生产效率，全自动化的真空蒸镀机当然更理想，但是由于真空蒸镀机的元器件较多，目前的真空蒸镀机的信号采集控制电路的设计，不足以应用于全自动化的真空蒸镀机的信号采集控制电路。

有鉴于此，本实用新型提供一种真空蒸镀机的信号采集控制电路，能够应用于全自动化的真空蒸镀机，并且电路控制及运行稳定。

实用新型内容

本实用新型的目的在于，提供一种真空蒸镀机的信号采集控制电路，能够应用于全自动化的真空蒸镀机，并且电路控制及运行稳定。

一种真空蒸镀机的信号采集控制电路，包括：PC、CPU、数字信号输入端口、数字信号输出端口、模拟信号输入端口、模拟信号输出端口、控制单元数字输入模块、模拟信号输入模块和数字信号输出模块，所述PC与CPU双向连接，CPU与数字信号输入端口、数字信号输出端口、模拟信号输入端口和模拟信号输出端口串联连接，控制单元数字输入模块的输出端与数字信号输入端口的输入端连接，模拟信号输入模块的输出端与模拟信号输入端口连接，数字信号输出端口与数字信号输出模块连接，模拟信号输出端口与模拟信号输出模块连接，数字信号输出模块和模拟信号输出模块与CPU的输入端连接，所述数字信号输出端口有两个，数字信号输出模块分为电子管输出模块和继电器输出模块，第一数字信号输出端口与电子管输出模块连接，第二数字信号输出端口与继电器输出模块连接，电子管输出模块用于处理简单的开关信号，继电器输出模块用于处理组合控制或有公共端的信号、或弱电控制强电的场景，当PC发出某个动作指令，CPU对数字信号输入端口和模拟信号输入端口输入的信号以及数字信号输出模块和模拟信号输出模块输入的反馈信号，两方面的信号进行综合分析，然后CPU执行所述动作指令，并将执行状况在PC进行状态显示。

在一些实施方式中，PC为人机交互的工控机电脑，具有操控、状态显示以及数据存储的功能。

在一些实施方式中，数字信号输入端口和控制单元数字输入模块都有两个，第一控制单元数字输入模块与第一数字信号输入端口连接，第二控制单元数字输入模块与第二数字信号输入端口连接。

进一步的，第一控制单元数字输入模块包括输入开关信号、冷泵信号、油泵信号、水流信号。

进一步的，开关信号包括室门开关、门开关、主阀开到位、镀锅空开、高压柜空开、低温泵空开、坩埚挡板关到位、坩埚挡板开到位、主阀关到位、加热灯空开、转速开关、探头挡板关到位和探头挡板开到位；水流信号包括坩埚水流信号、主泵水流信号、探头水流信号和腔体水流信号；冷泵信号包括冷泵启动完成、冷泵再生完成、冷泵启动、冷泵大气确认；油泵信号包括油泵保护信号。

进一步的，第二控制单元数字输入模块包括输入编码器信号、晶控输出信号、电源开关信号、和打火信号；编码器信号有8个，晶控输出信号有8个。

在一些实施方式中，模拟信号输入端口和模拟信号输入模块都有两个，第一模拟信号输入模块与第一模拟信号输入端口连接，第二模拟信号输入模块与第二模拟信号输入端口连接，模拟信号输入模块用于输入模拟信号。

在一些实施方式中，电子管输出模块有两个，第一电子管输出模块与第二电子管输出模块并联连接。

进一步的，第一电子管输出模块包括输出探头挡板阀信号、坩埚挡板阀信号、氦气阀信号、主阀信号、前级阀信号、抽气阀信号；第二电子管输出模块包括报警器报警音信号、低温泵启动信号、工件转动信号、报警器提示音信号、指示灯信号。

进一步的，氦气阀包括放氦阀、充氦阀、快充阀、慢充阀。

在一些实施方式中，继电器输出模块有两个，第一个继电器输出模块与第二个继电器输出模块串联连接。

进一步的，第一个继电器输出模块包括输出8个晶控输入信号，第二个继电器输出模块包括输出控制电源信号、加热灯启动信号、前级泵信号、水流信号。

在一些实施方式中，CPU包括PLC(可编程逻辑控制器，Programmable LogicController)，PLC程序在CPU内以梯形图的形式存在的。

进一步的，当在PC上操作某个动作指令，PC会直接将所述动作指令传输给CPU，CPU根据指令启动相应的PLC程序动作信号，各控制单元的输入信号输入到PLC程序内部，从而使指令导通，从而输出控制驱动机械单元，机械单元执行PLC指令动作后，通过自身的传感器把输出信号反馈到PLC，PLC将相应的信号输出到PC界面上。

附图说明

图1为本申请的真空蒸镀机的信号采集控制电路的结构示意图。

如下将结合具体实施案例对附图进行具体说明。

具体实施方式

描述以下实施例以辅助对本申请的理解，实施例不是也不应当以任何方式解释为限制本申请的保护范围。

在以下描述中，本领域的技术人员将认识到，在本论述的全文中，组件可描述为单独的功能单元(可包括子单元)，但是本领域的技术人员将认识到，各种组件或其部分可划分成单独组件，或者可整合在一起(包括整合在单个的系统或组件内)。

同时，组件或系统之间的连接并不旨在限于直接连接，相反，在这些组件之间的数据可由中间组件修改、重格式化、或以其它方式改变。另外，可使用另外或更少的连接。还应注意，术语“联接”、“连接”、或“输入”应理解为包括直接连接、通过一个或多个中间设备来进行的间接连接、和无线连接。

实施例1：

一种真空蒸镀机的信号采集控制电路，如图1所示，包括：PC、CPU、数字信号输入端口、数字信号输出端口、模拟信号输入端口、模拟信号输出端口、控制单元数字输入模块、模拟信号输入模块和数字信号输出模块，所述PC与CPU双向连接，CPU与数字信号输入端口、数字信号输出端口、模拟信号输入端口和模拟信号输出端口串联连接，控制单元数字输入模块的输出端与数字信号输入端口的输入端连接，模拟信号输入模块的输出端与模拟信号输入端口连接，数字信号输出端口与数字信号输出模块连接，模拟信号输出端口与模拟信号输出模块连接，数字信号输出模块和模拟信号输出模块与CPU的输入端连接，所述数字信号输出端口有两个，数字信号输出模块分为电子管输出模块和继电器输出模块，第一数字信号输出端口与电子管输出模块连接，第二数字信号输出端口与继电器输出模块连接，电子管输出模块用于处理简单的开关信号，继电器输出模块用于处理组合控制或有公共端的信号、或弱电控制强电的场景，当PC发出某个动作指令，CPU对数字信号输入端口和模拟信号输入端口输入的信号以及数字信号输出模块和模拟信号输出模块输入的反馈信号，两方面的信号进行综合分析，然后CPU执行所述动作指令，并将执行状况在PC进行状态显示。

PC为人机交互的工控机电脑，具有操控、状态显示以及数据存储的功能。数字信号输入端口和控制单元数字输入模块都有两个，第一控制单元数字输入模块与第一数字信号输入端口连接，第二控制单元数字输入模块与第二数字信号输入端口连接。第一控制单元数字输入模块包括输入开关信号、冷泵信号、油泵信号、水流信号。开关信号包括室门开关、门开关、主阀开到位、镀锅空开、高压柜空开、低温泵空开、坩埚挡板关到位、坩埚挡板开到位、主阀关到位、加热灯空开、转速开关、探头挡板关到位和探头挡板开到位；水流信号包括坩埚水流信号、主泵水流信号、探头水流信号和腔体水流信号；冷泵信号包括冷泵启动完成、冷泵再生完成、冷泵启动、冷泵大气确认；油泵信号包括油泵保护信号。第二控制单元数字输入模块包括输入编码器信号、晶控输出信号、电源开关信号、和打火信号；编码器信号有8个，晶控输出信号有8个。模拟信号输入端口和模拟信号输入模块都有两个，第一模拟信号输入模块与第一模拟信号输入端口连接，第二模拟信号输入模块与第二模拟信号输入端口连接，模拟信号输入模块用于输入模拟信号。

电子管输出模块有两个，第一电子管输出模块与第二电子管输出模块并联连接。第一电子管输出模块包括输出探头挡板阀信号、坩埚挡板阀信号、氦气阀信号、主阀信号、前级阀信号、抽气阀信号；第二电子管输出模块包括报警器报警音信号、低温泵启动信号、工件转动信号、报警器提示音信号、指示灯信号。氦气阀包括放氦阀、充氦阀、快充阀、慢充阀。继电器输出模块有2个，第一个继电器输出模块与第二个继电器输出模块串联连接。第一个继电器输出模块包括输出8个晶控输入信号，第二个继电器输出模块包括输出控制电源信号、加热灯启动信号、前级泵信号、水流信号。CPU包括PLC(可编程逻辑控制器，Programmable Logic Controller)，PLC程序在CPU内以梯形图的形式存在的。当在PC上操作某个动作指令，PC会直接将所述动作指令传输给CPU，CPU根据指令启动相应的PLC程序动作信号，各控制单元的输入信号输入到PLC程序内部，从而使指令导通，从而输出控制驱动机械单元，机械单元执行PLC指令动作后，通过自身的传感器把输出信号反馈到PLC，PLC将相应的信号输出到PC界面上。

尽管本申请已公开了多个方面和实施方式，但是其它方面和实施方式对本领域技术人员而言将是显而易见的，在不脱离本申请构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本申请的保护范围。本申请公开的多个方面和实施方式仅用于举例说明，其并非旨在限制本申请，本申请的实际保护范围以权利要求为准。

Claims (9)

1.一种真空蒸镀机的信号采集控制电路，其特征在于，包括：PC、CPU、数字信号输入端口、数字信号输出端口、模拟信号输入端口、模拟信号输出端口、控制单元数字输入模块、模拟信号输入模块和数字信号输出模块，所述PC与CPU双向连接，CPU与数字信号输入端口、数字信号输出端口、模拟信号输入端口和模拟信号输出端口串联连接，控制单元数字输入模块的输出端与数字信号输入端口的输入端连接，模拟信号输入模块的输出端与模拟信号输入端口连接，数字信号输出端口与数字信号输出模块连接，模拟信号输出端口与模拟信号输出模块连接，数字信号输出模块和模拟信号输出模块与CPU的输入端连接，所述数字信号输出端口有两个，数字信号输出模块分为电子管输出模块和继电器输出模块，第一数字信号输出端口与电子管输出模块连接，第二数字信号输出端口与继电器输出模块连接，电子管输出模块用于处理简单的开关信号，继电器输出模块用于处理组合控制或有公共端的信号、或弱电控制强电的场景；CPU包括PLC，PLC程序在CPU内以梯形图的形式存在的，当在PC上操作某个动作指令，PC会直接将所述动作指令传输给CPU，CPU根据指令启动相应的PLC程序动作信号，各控制单元的输入信号输入到PLC程序内部，从而使指令导通，从而输出控制驱动机械单元，机械单元执行PLC指令动作后，通过自身的传感器把输出信号反馈到PLC，PLC将相应的信号输出到PC界面上。

2.如权利要求1所述的真空蒸镀机的信号采集控制电路，其特征在于，PC

为人机交互的工控机电脑，具有操控、状态显示以及数据存储的功能。

3.如权利要求1所述的真空蒸镀机的信号采集控制电路，其特征在于，数字信号输入端口和控制单元数字输入模块都有两个，第一控制单元数字输入模块与第一数字信号输入端口连接，第二控制单元数字输入模块与第二数字信号输入端口连接。

4.如权利要求3所述的真空蒸镀机的信号采集控制电路，其特征在于，第一控制单元数字输入模块包括输入开关信号、冷泵信号、油泵信号、水流信号；第二控制单元数字输入模块包括输入编码器信号、晶控输出信号、电源开关信号、和打火信号；编码器信号有8个，晶控输出信号有8个。

5.如权利要求4所述的真空蒸镀机的信号采集控制电路，其特征在于，开关信号包括室门开关、门开关、主阀开到位、镀锅空开、高压柜空开、低温泵空开、坩埚挡板关到位、坩埚挡板开到位、主阀关到位、加热灯空开、转速开关、探头挡板关到位和探头挡板开到位；水流信号包括坩埚水流信号、主泵水流信号、探头水流信号和腔体水流信号；冷泵信号包括冷泵启动完成、冷泵再生完成、冷泵启动、冷泵大气确认；油泵信号包括油泵保护信号。

6.如权利要求1所述的真空蒸镀机的信号采集控制电路，其特征在于，模拟信号输入端口和模拟信号输入模块都有两个，第一模拟信号输入模块与第一模拟信号输入端口连接，第二模拟信号输入模块与第二模拟信号输入端口连接，模拟信号输入模块用于输入模拟信号。

7.如权利要求1所述的真空蒸镀机的信号采集控制电路，其特征在于，电子管输出模块有两个，第一电子管输出模块与第二电子管输出模块并联连接。

8.如权利要求7所述的真空蒸镀机的信号采集控制电路，其特征在于，第一电子管输出模块包括输出探头挡板阀信号、坩埚挡板阀信号、氦气阀信号、主阀信号、前级阀信号、抽气阀信号；第二电子管输出模块包括报警器报警音信号、低温泵启动信号、工件转动信号、报警器提示音信号、指示灯信号，氦气阀包括放氦阀、充氦阀、快充阀、慢充阀。

9.如权利要求1所述的真空蒸镀机的信号采集控制电路，其特征在于，继电器输出模块有2个，第一个继电器输出模块与第二个继电器输出模块串联连接，第一个继电器输出模块包括输出8个晶控输入信号，第二个继电器输出模块包括输出控制电源信号、加热灯启动信号、前级泵信号、水流信号。

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