CN214280170U - 电子回旋共振微波等离子体用三端环形器 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及电子回旋共振微波等离子体用三端环形器，包括环形器本体与斜插水管，所述环形器本体是中空的，所述环形器本体两端设置有第一法兰盘与第二法兰盘，所述斜插水管与所述环形器本体中部连接，所述斜插水管插接在所述环形器本体内的一端是由介质片拼接组成的楔形结构，所述楔形结构的尖端朝向所述第一法兰盘一侧，所述楔形结构的底平端朝向所述第二法兰盘一侧，所述楔形结构与所述环形器本体侧壁之间的夹角为10°。本实用新型将斜插水管插入环形器本体一端设置为楔形结构，楔形结构的斜面正对着与微波谐振腔连接的第一法兰盘，与反射回来的微波接触面积广，提高水负载对微波的吸收效率，有效保护磁控管。
Description
技术领域
本实用新型涉及微波等离子体设备技术领域，特别是涉及电子回旋共振微波等离子体用三端环形器。
背景技术
随着社会的进步，低碳环保已经成为工业发展的方向。常压微波等离子体是近年来发展起来的新技术，具有较高的电子密度和温度，设备成本低，操作简单，可以直接用于处理工业废气，达到净化废气的目的。常用的微波等离子体产生装置包括三个部分：微波功率源、微波传输系统和微波反应器及其附加装置，如图1所示。现有的环形器在中部与水负载连接时，水负载与微波的接触面窄，不能很好的对反应器反射回来的微波进行吸收，进而保护磁控管，因此，需要对环形器进行结构改进。
实用新型内容
基于此，有必要针对现有的环形器水负载一端微波吸收效率低的情况，提供电子回旋共振微波等离子体用三端环形器。
电子回旋共振微波等离子体用三端环形器，包括环形器本体与斜插水管，所述环形器本体是中空的，所述环形器本体两端设置有第一法兰盘与第二法兰盘，所述斜插水管与所述环形器本体中部连接，所述斜插水管插接在所述环形器本体内的一端是由介质片拼接组成的楔形结构，所述楔形结构的尖端朝向所述第一法兰盘一侧，所述楔形结构的底平端朝向所述第二法兰盘一侧，所述楔形结构与所述环形器本体侧壁之间的夹角为10°。
优选的，所述斜插水管另一端还设置有密封盖，所述密封盖上设置有进水口与出水口。
优选的，所述密封盖与所述斜插水管的连接处设置有丁晴橡胶制成的密封圈。
优选的，所述第一法兰盘通过异型管与所述环形器本体连接，所述异型管向所述斜插水管一侧倾斜。
优选的，所述介质片是氧化铝陶瓷基片制成的。
本实用新型的有益之处在于：1、斜插水管插入环形器本体一端设置为楔形结构，楔形结构的斜面正对着与微波谐振腔连接的第一法兰盘，与反射回来的微波接触面积广，提高水负载对微波的吸收效率，有效保护磁控管。
附图说明
图1为现有的微波等离子体产生装置原理图；
图2为其中一实施例电子回旋共振微波等离子体用三端环形器立体示意图；
图3为电子回旋共振微波等离子体用三端环形器俯视示意图；
图4为图3中A-A向剖视示意图。
具体实施方式
为使本实用新型的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本实用新型的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本实用新型。但是本实用新型能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本实用新型内涵的情况下做类似改进，因此本实用新型不受下面公开的具体实施例的限制。
需要说明的是，当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的，并不表示是唯一的实施方式。
除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本实用新型的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本实用新型的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施方式的目的，不是旨在于限制本实用新型。本文所使用的术语“和/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。
如图2~4所示，电子回旋共振微波等离子体用三端环形器，包括环形器本体1与斜插水管2，所述环形器本体1是中空的，所述环形器本体1两端设置有第一法兰盘11与第二法兰盘12，所述斜插水管2与所述环形器本体1中部连接，所述斜插水管2插接在所述环形器本体1内的一端是由介质片拼接组成的楔形结构21，所述楔形结构21的尖端朝向所述第一法兰盘11一侧，所述楔形结构21的底平端朝向所述第二法兰盘12一侧，所述楔形结构21与所述环形器本体1侧壁之间的夹角为10°。具体的，在本实施例中，环形器本体1与斜插水管2是硬铝制成的，环形器本体1是中空矩形管，两端设置有第一法兰盘11与第二法兰盘12，第一法兰盘11用于微波谐振腔连接，第二法兰盘12用于与微波功率源连接，微波功率源中设置有磁控管，用于产生微波，使得微波按照一定的路线传播，即从磁控管发出的微波只能沿着环形器本体1传输至谐振腔，在喷嘴天线被废气吸收。进一步的，在环形器本体1中部设置斜插水管2，利用斜插水管2与外界的水循环系统连通，对微波谐振腔反射回来的微波进行吸收，保护磁控管。需要说明的是，本实用新型使用介质片制成楔形结构21插入环形器本体1侧部，楔形结构21的斜面面向第一法兰盘11一侧，且楔形结构21与环形器本体1的侧壁夹角设置为10°，当微波经过第一法兰盘11进入环形器本体1内时，由于楔形结构21的存在，微波即可穿透介质片，被斜插水管2内流动的水吸收，楔形结构21与微波接触面积广，进而可以有效吸收微波，保护磁控管。进一步的，在本实施例中，所述介质片是氧化铝陶瓷基片制成的，其介电常数9.3，束缚电荷的能力强，材料的绝缘性能好。
如图2~4所示，所述斜插水管2另一端还设置有密封盖22，所述密封盖22上设置有进水口221与出水口222。具体的，在本实施例中，在斜插水管2上设置密封盖22，防止其内的冷却水溢出。在密封盖22上设置的进水口221与出水口222可以与外部的水循环系统连通，使得斜插水管2内的冷却水流动起来，在水循环系统中完成散热。
如图2~4所示，所述密封盖22与所述斜插水管2的连接处设置有丁晴橡胶制成的密封圈23。
如图4所示，所述第一法兰盘11通过异型管13与所述环形器本体1连接，所述异型管13向所述斜插水管2一侧倾斜。具体的，异型管13向斜插水管2一侧倾斜，微波经过异型管13导向后，与楔形结构21接触，被其内的流水吸收，提高斜插水管2对微波的吸收效率。
以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。
以上所述实施例仅表达了本实用新型的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。因此，本实用新型专利的保护范围应以所附权利要求为准。
Claims (5)
1.电子回旋共振微波等离子体用三端环形器，其特征在于：包括环形器本体与斜插水管，所述环形器本体是中空的，所述环形器本体两端设置有第一法兰盘与第二法兰盘，所述斜插水管与所述环形器本体中部连接，所述斜插水管插接在所述环形器本体内的一端是由介质片拼接组成的楔形结构，所述楔形结构的尖端朝向所述第一法兰盘一侧，所述楔形结构的底平端朝向所述第二法兰盘一侧，所述楔形结构与所述环形器本体侧壁之间的夹角为10°。
2.如权利要求1所述的电子回旋共振微波等离子体用三端环形器，其特征在于：所述斜插水管另一端还设置有密封盖，所述密封盖上设置有进水口与出水口。
3.如权利要求2所述的电子回旋共振微波等离子体用三端环形器，其特征在于：所述密封盖与所述斜插水管的连接处设置有丁晴橡胶制成的密封圈。
4.如权利要求1或3所述的电子回旋共振微波等离子体用三端环形器，其特征在于：所述第一法兰盘通过异型管与所述环形器本体连接，所述异型管向所述斜插水管一侧倾斜。
5.如权利要求4所述的电子回旋共振微波等离子体用三端环形器，其特征在于：所述介质片是氧化铝陶瓷基片制成的。
Priority Applications (1)
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| CN202120106979.6U CN214280170U (zh) | 2021-01-15 | 2021-01-15 | 电子回旋共振微波等离子体用三端环形器 |
Applications Claiming Priority (1)
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Publications (1)
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ID=77764471
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| CN202120106979.6U Active CN214280170U (zh) | 2021-01-15 | 2021-01-15 | 电子回旋共振微波等离子体用三端环形器 |
Country Status (1)
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2021
- 2021-01-15 CN CN202120106979.6U patent/CN214280170U/zh active Active
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