CN214250551U - 一种绕丝结构 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种绕丝结构,包括炉丝,所述炉丝由炉口辅热区炉丝、恒温区炉丝和炉尾辅热区炉丝构成,所述炉口辅热区炉丝、恒温区炉丝以及炉尾辅热区炉丝在轴向分别由多组温区炉丝构成,至少一组温区炉丝在圆周方向由至少两组分区构成,各分区分别与电路连接,电路控制各分区所在区域的温度,本实用新型将炉丝的炉口辅热区炉丝、恒温区炉丝和炉尾辅热区炉丝的温区炉丝进行温度控制,保证了炉内产品整体温度的均匀性,大大提高了控温能力,本实用新型将至少一组温区炉丝细分成2‑4个分区,每一分区设定相应的功率,通过热电偶控制功率,使硅片组处于优化的温度场,从而实现了硅片组温度的均匀控制。
Description
技术领域
本实用新型属于光伏领域,涉及一种绕丝结构。
背景技术
电阻炉是制造太阳能电池片的重要核心设备,硅片在炉内进行各种工艺处理时,要求硅片温度尽量均匀,电阻炉是硅片反应的热量来源,故电阻炉内电炉丝的绕制与布局就显得尤为重要。
电阻炉在制作设计过程中,为了内部热场均匀,现有技术最常用的方法是对炉丝绕制、布局、节距等方面,尽量做到最均匀,然而在生产过程中,由于放在炉内的产品布局不对称,产品与炉丝间的距离差异,各地方的负载本身布置不均匀,炉丝加热后,产品不同部位温度会有明显差异。
在对产品性能的不断追求中,产品不同部位的温度差异对硅片性能的影响日趋展现出来,常规绕丝结构的热场很难处理这样的问题,本实用新型有效地解决了这种问题。
发明内容
本实用新型为了克服现有技术的不足,提供一种绕丝结构。
为了实现上述目的,本实用新型采用以下技术方案:一种绕丝结构,其特征在于:包括炉丝,所述炉丝由炉口辅热区炉丝、恒温区炉丝和炉尾辅热区炉丝构成,所述炉口辅热区炉丝、恒温区炉丝以及炉尾辅热区炉丝在轴向分别由多组温区炉丝构成,至少一组温区炉丝在圆周方向由至少两组分区构成,各分区分别与电路连接,电路控制各分区所在区域的温度。
进一步的;所述炉口辅热区炉丝、恒温区炉丝、炉尾辅热区炉丝的温区炉丝在圆周方向的分区分别设置为四组,包括上端部、右端部、下端部以及左端部,所述上端部、右端部、下端部以及左端部分别由一路电路控制,所述上端部、右端部、下端部以及左端部控制硅片组所在区域的温度。
进一步的;所述上端部、右端部、下端部以及左端部的电路控制方式包括两种,一种通过热电偶主控和跟随控制方式,所述上端部、右端部、下端部以及左端部中不大于三组分区的电路作为主路,每路主路由热电偶反馈控制,其余分区的电路依据主路做跟随控制;另一种通过热电偶单独控制方式,控制上端部、右端部、下端部以及左端部的电路均作为主路,每路主路均由热电偶反馈控制。
进一步的;所述上端部位于硅片组上方,所述右端部位于硅片组右方,所述下端部位于硅片组下方,所述左端部位于硅片组左方,上端部控制硅片组上部硅片所在区域的温度,所述下端部控制硅片组下部硅片所在区域的温度,所述右端部以及左端部控制硅片组中部硅片所在区域的温度,依据上部硅片、中部硅片以及下部硅片所在区域的温度设定上端部、右端部、下端部以及左端部电路的功率。
进一步的;所述炉口辅热区炉丝、恒温区炉丝、炉尾辅热区炉丝的温区炉丝在圆周方向的分区分别设置为三组,包括一路、二路以及三路,所述一路、二路以及三路分别由一路电路控制,所述一路、二路以及三路控制硅片组所在区域的温度。
进一步的;所述一路、二路以及三路的电路控制方式包括两种,一种通过热电偶主控和跟随控制方式,一路、二路以及三路三部分中不大于两组的分区电路作为主路,每路主路由热电偶反馈控制,其余分区的电路依据主路做跟随控制;另一种通过热电偶单独控制方式,一路、二路以及三路均作为主路,每路主路均由热电偶反馈控制,所述一路、二路以及三路的电路功率根上部硅片、中部硅片以及下部硅片所在区域的温度设定。
进一步的;所述炉口辅热区炉丝、恒温区炉丝、炉尾辅热区炉丝的温区炉丝在圆周方向的分区设置为两组,包括上一路以及下一路,所述上一路以及下一路分别由一路电路控制,所述上一路以及下一路控制硅片组所在区域的温度。
进一步的;所述上一路以及下一路的电路控制方式包括两种,一种通过热电偶主控和跟随控制方式,所述上一路以及下一路中任一分区的电路作为主路,主路由热电偶反馈控制,另一个依据主路做跟随控制;另一种通过热电偶单独控制方式,上一路以及下一路的电路均作为主路,每路主路均由热电偶反馈控制,所述上一路以及下一路的电路功率根据硅片组的上部硅片、中部硅片以及下部硅片所在区域的温度设定。
进一步的;所述炉口辅热区炉丝、恒温区炉丝以及炉尾辅热区炉丝中每组温区炉丝的各分区炉丝均等分布。
综上所述,本实用新型的有益之处在于:
1)、本实用新型将炉丝的炉口辅热区炉丝、恒温区炉丝和炉尾辅热区炉丝的温区炉丝进行温度控制,保证了炉内产品整体温度的均匀性,大大提高了控温能力。
2)、本实用新型将至少一组温区炉丝细分成2-4个分区,每一分区设定相应的功率,通过热电偶控制功率,使硅片组处于优化的温度场,从而实现了硅片组温度的均匀控制。
3)、本实用新型采用热电偶控制炉丝温度,提高了温度控制的的精准度。
4)、本实用新型的功率控制通过热电偶主控和跟随控制方式以及热电偶单独控制方式,控制方式多样,可选择性高。
5)、本实用新型的每一温区内的含有多个分区,便于安装和控制。
附图说明
图1为本实用新型的硅片组安装示意图。
图2为本实用新型实施例一中炉丝的示意图。
图3为本实用新型实施例一中炉丝与硅片组安装示意图。
图4为本实用新型实施例二中炉丝的示意图。
图5为本实用新型实施例三中炉丝的示意图。
图中标识:硅片组100、上部硅片101、中部硅片102、下部硅片103、石英管200、炉丝300、炉口辅热区炉丝301、恒温区炉丝302、炉尾辅热区炉丝303、上端部310、右端部320、下端部330、左端部340、一路350、二路360、三路370、上一路380、下一路390、硬质保温棉400、外壳500。
具体实施方式
以下通过特定的具体实例说明本实用新型的实施方式,本领域技术人员可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本实用新型的其他优点与功效。本实用新型还可以通过另外不同的具体实施方式加以实施或应用,本说明书中的各项细节也可以基于不同观点与应用,在没有背离本实用新型的精神下进行各种修饰或改变。需说明的是,在不冲突的情况下,以下实施例及实施例中的特征可以相互组合。
需要说明的是,以下实施例中所提供的图示仅以示意方式说明本实用新型的基本构想,遂图式中仅显示与本实用新型中有关的组件而非按照实际实施时的组件数目、形状及尺寸绘制,其实际实施时各组件的型态、数量及比例可为一种随意的改变,且其组件布局型态也可能更为复杂。
本实用新型实施例中所有方向性指示(诸如上、下、左、右、前、后、横向、纵向……)仅用于解释在某一特定姿态下各部件之间的相对位置关系、运动情况等,如果该特定姿态发生改变时,则该方向性指示也相应地随之改变。
实施例一:
如图1-3所示,一种绕丝结构,包括炉丝300,所述炉丝300由炉口辅热区炉丝301、恒温区炉丝302和炉尾辅热区炉丝303构成,所述炉口辅热区炉丝301、恒温区炉丝302以及炉尾辅热区炉丝303在轴向分别由若干温区炉丝构成,每组温区炉丝相互独立,温区炉丝分别由上端部310、右端部320、下端部330以及左端部340组成,所述上端部310、右端部320、下端部330以及左端部340分别与电路连接,电路控制上端部310、右端部320、下端部330以及左端部340的温度。
所述炉口辅热区炉丝301位于电阻炉炉口的加热区,恒温区炉丝302位于电阻炉炉中的加热区,炉尾辅热区炉丝303位于电阻炉炉尾的加热区,本实施例中,炉口辅热区炉丝301以及炉尾辅热区炉丝303的温区炉丝分别设置一组,恒温区炉丝302的温区设置为三组。
如图1所示,电阻炉由石英管200、炉丝300、硬质保温棉400以及外壳500构成,所述硅片组100由若干水平排列叠放的硅片组成,水平排列叠放的硅片沿z方向(图示坐标)装入电阻炉,硅片组100由上至下分为三个部分,依次为上部硅片101、中部硅片102以及下部硅片103,所述炉丝300的炉口辅热区炉丝301、恒温区炉丝302和炉尾辅热区炉丝303的温区炉丝在圆周方向的分区分别设置为四组,依次为上端部310、右端部320、下端部330以及左端部340,根据图3的视觉角度,所述上端部310位于正上方且位于硅片组100正上方,所述右端部320位于正右方且位于硅片组100正右方,所述下端部330位于正下方且位于硅片组100正下方,所述左端部340位于正左方且位于硅片组100正左方。
所述上端部310、下端部330、右端部320以及左端部340分别由一路电路控制,具体为,上端部310的一路电路控制上部硅片101所在区域温度,所述下端部330的一路电路控制下部硅片103所在区域温度,所述右端部320以及左端部340的电路控制中部硅片102所在区域温度,从而解决硅片组100所在区域温度不均匀的问题。
叠加安装的硅片组100因摆放方式不同导致上部硅片101、中部硅片102以及下部硅片103温度有差异,依据上部硅片101、中部硅片102以及下部硅片103的温度差进而设定控制上端部310、右端部320、下端部330以及左端部340的电路的功率,温度低区域通过设置高功率以实现硅片组100的温度均匀,温度高区域通过设置低功率以实现硅片组100的温度均匀,从而通过控制不同位置的炉丝300功率,使上端部310、右端部320、下端部330以及左端部340所在区域的温度值同步达到设定的温度值,使硅片组100处于均匀的温度场,从而实现了温度的均匀控制。
所述上端部310、右端部320、下端部330以及左端部340的电路控制方式包括两种,一种通过热电偶主控和跟随控制方式,具体包括将上端部310、右端部320、下端部330以及左端部340组成的四分区中一部分分区(不大于三组分区)的电路作为主路,每路主路由热电偶反馈控制,另一部分依据主路做跟随控制,以左端部340作为主路,上端部310、右端部320以及下端部330作为从路为例,左端部340的电路功率设置为P,右端部340的电路功率为100%P,上端部310的电路功率为10%-30%P,下端部330电路功率为20%-70%P,根据实际操作需要,功率的比例可采用其他数值;另一种通过热电偶单独控制方式,即上端部310、右端部320、下端部330以及左端部340的电路均作为主路,每路主路均由热电偶反馈控制,使主从路所在区域的温度同步达到设定的温度值,加快达到设定温度值的速度。
所述炉丝300的炉口辅热区炉丝301、恒温区炉丝302和炉尾辅热区炉丝303的温区炉丝分别由上端部310、右端部320、下端部330以及左端部340构成,保证了炉丝300整体温度的均匀性,进而大大提高了控温能力。
实施例二:
如图4所示,本实施例与实施例一的区别在于,实施一中,所述炉丝300的炉口辅热区炉丝301、恒温区炉丝302和炉尾辅热区炉丝303的温区炉丝分别由四组分区(上端部310、右端部320、下端部330以及左端部340)构成,而本实施例中,所述炉丝300的炉口辅热区炉丝301、恒温区炉丝302和炉尾辅热区炉丝303的温区炉丝在圆周方向的分区分别由三组(一路350、二路360以及三路370)构成。
本实施例中,所述一路350、二路360以及三路370的电路控制方式同样包括两种,一种通过热电偶主控和跟随控制方式,具体包括将一路350、二路360以及三路370组成的三分区中一部分分区(不大于两组分区)的电路作为主路,每路主路由热电偶反馈控制,另一部分依据主路做跟随控制,以一路350作为主路,二路360以及三路370作为从路为例,一路350的电路功率设置为P,二路360的电路功率为10%P,三路370的电路功率为50%P,根据实际操作需要,功率的比例可采用其他数值;另一种通过热电偶单独控制方式,即控制一路350、二路360以及三路370的电路均作为主路,每路主路均由热电偶反馈控制,上述两种方式中,所述一路350、二路360以及三路370的电路功率根据硅片组100的上部硅片101、中部硅片102以及下部硅片103处温度设定,使主从路所在区域的温度同步达到设定的温度值,加快达到设定温度值的速度。
实施例三:
如图5所示,本实施例与上述实施例的区别在于,实施一中,所述炉丝300的炉口辅热区炉丝301、恒温区炉丝302和炉尾辅热区炉丝303的温区炉丝分别由四组分区(上端部310、右端部320、下端部330以及左端部340)构成,实施例二中,所述炉丝300的炉口辅热区炉丝301、恒温区炉丝302和炉尾辅热区炉丝303的温区炉丝分别由三组分区(一路350、二路360以及三路370)构成,而本实施例中,所述炉丝300的炉口辅热区炉丝301、恒温区炉丝302和炉尾辅热区炉丝303的温区炉丝在圆周方向的分区分别由两组(上一路380以及下一路390)构成。
本实施例中,所述上一路380以及下一路390的电路控制方式同样包括两种,一种通过热电偶主控和跟随控制方式,具体包括将上一路380以及下一路390中任一分区的电路作为主路,主路由热电偶反馈控制,另一个依据主路做跟随控制,以上一路380作为主路,下一路390作为从路为例,上一路380的电路功率设置为P,下一路390的电路功率为50%P,根据实际操作需要,功率的比例可采用其他数值;另一种通过热电偶单独控制方式,即上一路380以及下一路390均作为主路,每路主路均由热电偶反馈控制,上述两种方式中,所述上一路380以及下一路390的电路功率根据硅片组100的上部硅片101、中部硅片102以及下部硅片103处温度设定,使主从路所在区域的温度同步达到设定的温度值,加快达到设定温度值的速度。
上述实施例中,炉口辅热区炉丝301、恒温区炉丝302以及炉尾辅热区炉丝303的温区炉丝的各分区炉丝密度相同,每一温区炉丝内的各分区炉丝均等分布。
此外,在其他实施例中,所述炉丝300的炉口辅热区炉丝301、恒温区炉丝302、炉尾辅热区炉丝303中至少一组温区炉丝由至少两组分区构成。
在其他实施例中,硅片也可以以竖直排列叠放、倾斜排列叠放或其他排列方式装入电阻炉。
显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型的一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都应当属于本实用新型保护的范围。
Claims (9)
1.一种绕丝结构,其特征在于:包括炉丝,所述炉丝由炉口辅热区炉丝、恒温区炉丝和炉尾辅热区炉丝构成,所述炉口辅热区炉丝、恒温区炉丝以及炉尾辅热区炉丝在轴向分别由多组温区炉丝构成,至少一组温区炉丝在圆周方向由至少两组分区构成,各分区分别与电路连接,电路控制各分区所在区域的温度。
2.根据权利要求1所述的一种绕丝结构,其特征在于:所述炉口辅热区炉丝、恒温区炉丝、炉尾辅热区炉丝的温区炉丝在圆周方向的分区分别设置为四组,包括上端部、右端部、下端部以及左端部,所述上端部、右端部、下端部以及左端部分别由一路电路控制,所述上端部、右端部、下端部以及左端部控制硅片组所在区域的温度。
3.根据权利要求2所述的一种绕丝结构,其特征在于:所述上端部、右端部、下端部以及左端部的电路控制方式包括两种,一种通过热电偶主控和跟随控制方式,所述上端部、右端部、下端部以及左端部中不大于三组分区的电路作为主路,每路主路由热电偶反馈控制,其余分区的电路依据主路做跟随控制;另一种通过热电偶单独控制方式,控制上端部、右端部、下端部以及左端部的电路均作为主路,每路主路均由热电偶反馈控制。
4.根据权利要求2所述的一种绕丝结构,其特征在于:所述上端部位于硅片组上方,所述右端部位于硅片组右方,所述下端部位于硅片组下方,所述左端部位于硅片组左方,上端部控制硅片组上部硅片所在区域的温度,所述下端部控制硅片组下部硅片所在区域的温度,所述右端部以及左端部控制硅片组中部硅片所在区域的温度,依据上部硅片、中部硅片以及下部硅片所在区域的温度设定上端部、右端部、下端部以及左端部电路的功率。
5.根据权利要求1所述的一种绕丝结构,其特征在于:所述炉口辅热区炉丝、恒温区炉丝、炉尾辅热区炉丝的温区炉丝在圆周方向的分区分别设置为三组,包括一路、二路以及三路,所述一路、二路以及三路分别由一路电路控制,所述一路、二路以及三路控制硅片组所在区域的温度。
6.根据权利要求5所述的一种绕丝结构,其特征在于:所述一路、二路以及三路的电路控制方式包括两种,一种通过热电偶主控和跟随控制方式,一路、二路以及三路三部分中不大于两组的分区电路作为主路,每路主路由热电偶反馈控制,其余分区的电路依据主路做跟随控制;另一种通过热电偶单独控制方式,一路、二路以及三路均作为主路,每路主路均由热电偶反馈控制,所述一路、二路以及三路的电路功率根上部硅片、中部硅片以及下部硅片所在区域的温度设定。
7.根据权利要求1所述的一种绕丝结构,其特征在于:所述炉口辅热区炉丝、恒温区炉丝、炉尾辅热区炉丝的温区炉丝在圆周方向的分区设置为两组,包括上一路以及下一路,所述上一路以及下一路分别由一路电路控制,所述上一路以及下一路控制硅片组所在区域的温度。
8.根据权利要求7所述的一种绕丝结构,其特征在于:所述上一路以及下一路的电路控制方式包括两种,一种通过热电偶主控和跟随控制方式,所述上一路以及下一路中任一分区的电路作为主路,主路由热电偶反馈控制,另一个依据主路做跟随控制;另一种通过热电偶单独控制方式,上一路以及下一路的电路均作为主路,每路主路均由热电偶反馈控制,所述上一路以及下一路的电路功率根据硅片组的上部硅片、中部硅片以及下部硅片所在区域的温度设定。
9.根据权利要求1所述的一种绕丝结构,其特征在于:所述炉口辅热区炉丝、恒温区炉丝以及炉尾辅热区炉丝中每组温区炉丝的各分区炉丝均等分布。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202022883614.2U CN214250551U (zh) | 2020-12-04 | 2020-12-04 | 一种绕丝结构 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202022883614.2U CN214250551U (zh) | 2020-12-04 | 2020-12-04 | 一种绕丝结构 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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Family
ID=77736073
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN202022883614.2U Active CN214250551U (zh) | 2020-12-04 | 2020-12-04 | 一种绕丝结构 |
Country Status (1)
Country | Link |
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CN (1) | CN214250551U (zh) |
-
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