CN214234880U - 一种便于清洁和收集废料的ito靶材装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型属于IT0靶材装置技术领域，尤其为一种便于清洁和收集废料的ITO靶材装置，包括收集槽和安装栏，所述收集槽的外侧安装有第一电机，且第一电机的外侧连接有第一转轮，所述第一转轮的外侧设置有传动带，且传动带的内侧设置有第二转轮，所述第二转轮的外侧连接有转动轴，且转动轴的外侧连接有过滤板，所述收集槽的内部设置有夹板，且夹板的内侧设置有第一弹簧，并且第一弹簧的上端连接有滑板，所述安装栏设置于收集槽的上方，且安装栏的上方安装有第二电机，所述第二电机的外侧连接有螺纹杆，且螺纹杆的外侧连接有移动板，所述移动板的下方连接有伸缩杆。该便于清洁和收集废料的ITO靶材装置，具备废料收集功能，且可以对装置自身进行清理。
Description
技术领域
本实用新型涉及IT0靶材装置技术领域，具体为一种便于清洁和收集废料的ITO靶材装置。
背景技术
IT0靶材装置是一种对IT0靶材加工完毕后，所留下的残留物进行再次处理的装置，其功能组要是提取残留物的剩余价值，提高物料的利用率，有效的降低了成本。
IT0靶材装置与人类的生活密切相关，但是IT0靶材装置使用时需要将废料进行收集，然而现有的IT0靶材装置不具备很好的废料收集功能，且不能对装置进行清理。
针对上述问题，急需在原有便于清洁和收集废料的ITO靶材装置的基础上进行创新设计。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种便于清洁和收集废料的ITO靶材装置，以解决上述背景技术中提出现有的便于清洁和收集废料的ITO靶材装置，不具备很好的废料收集功能，且不能对装置进行清理的问题。
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种便于清洁和收集废料的ITO靶材装置，包括收集槽和安装栏，所述收集槽的外侧安装有第一电机，且第一电机的外侧连接有第一转轮，所述第一转轮的外侧设置有传动带，且传动带的内侧设置有第二转轮，所述第二转轮的外侧连接有转动轴，且转动轴的外侧连接有过滤板，所述收集槽的内部设置有夹板，且夹板的内侧设置有第一弹簧，并且第一弹簧的上端连接有滑板，所述安装栏设置于收集槽的上方，且安装栏的上方安装有第二电机，所述第二电机的外侧连接有螺纹杆，且螺纹杆的外侧连接有移动板，所述移动板的下方连接有伸缩杆，且伸缩杆的外侧设置有第二弹簧，并且伸缩杆的端头处连接有清物块，所述安装栏的下方安装有气缸，且气缸的下方连接固定台，所述固定台的下方安装有第三电机，且第三电机的外侧连接有清洁杆，所述收集槽的内部设置有隔板。
优选的，所述第二转轮与收集槽之间通过第一转轮构成转动结构，且第二转轮的外表面与传动带的内表面之间为紧密贴合。
优选的，所述滑板与夹板之间通过第一弹簧构成滑动安装结构，且滑板与夹板之间为卡合连接。
优选的，所述清物块与安装栏之间通过螺纹杆构成滑动安装结构，且清物块的宽度与收集槽内部的宽度相等。
优选的，所述清物块与移动板之间通过伸缩杆构成升降结构，且伸缩杆关于移动板的轴线对称设置有2个。
优选的，所述清洁杆与固定台之间通过第三电机构成转动结构，且清洁杆的外侧表面与收集槽内侧的表面之间紧密接触。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：该便于清洁和收集废料的 ITO靶材装置，具备废料收集功能，且可以对装置自身进行清理；
1.本实用新型通过过滤板、螺纹杆、移动板、伸缩杆、第二弹簧和清物块使装置具备废料收集功能，启动第二电机，带动螺纹杆转动，带动移动板在螺纹杆上进行左右移动，即清物块左右移动，将清物块向右移动，挤压状态的第二弹簧缓缓弹起，带动伸缩杆缓缓伸长，使得清物块始终与过滤板接触，从而将过滤网上的废料推动至收集槽内部的右侧；
2.本实用新型通过气缸、第三电机、清洁杆和固定台使装置可以对自身进行清理，启动第三电机，清洁杆进行转动，最后启动气缸，带动固定台进行上下运动，即清洁杆上下运动，当装置不再使使用时，可通过如此操作对装置进行清理。
附图说明
图1为本实用新型整体主视剖面结构示意图；
图2为本实用新型整体俯视结构示意图；
图3为本实用新型第一转轮与传动带连接结构示意图；
图4为本实用新型气缸与固定台连接结构示意图。
图中：1、收集槽；2、第一电机；3、第一转轮；4、传动带；5、第二转轮；6、转动轴；7、过滤板；8、夹板；9、第一弹簧；10、滑板；11、安装栏；12、第二电机；13、螺纹杆；14、移动板；15、伸缩杆；16、第二弹簧； 17、清物块；18、气缸；19、第三电机；20、清洁杆；21、隔板；22、固定台。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
请参阅图1-4，本实用新型提供一种技术方案：一种便于清洁和收集废料的ITO靶材装置，包括收集槽1、第一电机2、第一转轮3、传动带4、第二转轮5、转动轴6、过滤板7、夹板8、第一弹簧9、滑板10、安装栏11、第二电机12、螺纹杆13、移动板14、伸缩杆15、第二弹簧16、清物块17、气缸18、第三电机19、清洁杆20、隔板21和固定台22，收集槽1的外侧安装有第一电机2，且第一电机2的外侧连接有第一转轮3，第一转轮3的外侧设置有传动带4，且传动带4的内侧设置有第二转轮5，第二转轮5的外侧连接有转动轴6，且转动轴6的外侧连接有过滤板7，收集槽1的内部设置有夹板 8，且夹板8的内侧设置有第一弹簧9，并且第一弹簧9的上端连接有滑板10，安装栏11设置于收集槽1的上方，且安装栏11的上方安装有第二电机12，第二电机12的外侧连接有螺纹杆13，且螺纹杆13的外侧连接有移动板14，移动板14的下方连接有伸缩杆15，且伸缩杆15的外侧设置有第二弹簧16，并且伸缩杆15的端头处连接有清物块17，安装栏11的下方安装有气缸18，且气缸18的下方连接固定台22，固定台22的下方安装有第三电机19，且第三电机19的外侧连接有清洁杆20，收集槽1的内部设置有隔板21；
第二转轮5与收集槽1之间通过第一转轮3构成转动结构，且第二转轮5 的外表面与传动带4的内表面之间为紧密贴合，启动第一电机2，带动第一转轮3转动，使得传动带4运行，即第二转轮5转动，转动轴6随第二转轮5 转动，即过滤板7转动；
滑板10与夹板8之间通过第一弹簧9构成滑动安装结构，且滑板10与夹板8之间为卡合连接，将过滤板7向下转动，抵制滑板10在夹板8内向下滑动，第一弹簧9受力被挤压；
清物块17与安装栏11之间通过螺纹杆13构成滑动安装结构，且清物块 17的宽度与收集槽1内部的宽度相等，启动第二电机12，带动螺纹杆13转动，带动移动板14在螺纹杆13上进行左右移动，即清物块17左右移动；
清物块17与移动板14之间通过伸缩杆15构成升降结构，且伸缩杆15 关于移动板14的轴线对称设置有2个，将清物块17向右移动，挤压状态的第二弹簧16缓缓弹起，带动伸缩杆15缓缓伸长，使得清物块17始终与过滤板7接触，从而将过滤网上的废料推动至收集槽1内部的右侧；
清洁杆20与固定台22之间通过第三电机19构成转动结构，且清洁杆20 的外侧表面与收集槽1内侧的表面之间紧密接触，启动第三电机19，清洁杆 20进行转动，最后启动气缸18，带动固定台22进行上下运动，即清洁杆20 上下运动，当装置不再使使用时，可通过如此操作对装置进行清理。
工作原理：在使用该便于清洁和收集废料的ITO靶材装置时，首先启动第一电机2，带动第一转轮3转动，使得传动带4运行，即第二转轮5转动，转动轴6随第二转轮5转动，即过滤板7转动，将过滤板7向下转动，抵制滑板10在夹板8内向下滑动，第一弹簧9受力被挤压，然后启动第二电机12，带动螺纹杆13转动，带动移动板14在螺纹杆13上进行左右移动，即清物块 17左右移动，将清物块17向右移动，挤压状态的第二弹簧16缓缓弹起，带动伸缩杆15缓缓伸长，使得清物块17始终与过滤板7接触，从而将过滤网上的废料推动至收集槽1内部的右侧，再启动第三电机19，清洁杆20进行转动，最后启动气缸18，带动固定台22进行上下运动，即清洁杆20上下运动，当装置不再使使用时，可通过如此操作对装置进行清理。
最后应当说明的是，以上内容仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对本实用新型保护范围的限制，本领域的普通技术人员对本实用新型的技术方案进行的简单修改或者等同替换，均不脱离本实用新型技术方案的实质和范围。
Claims (6)
1.一种便于清洁和收集废料的ITO靶材装置，包括收集槽(1)和安装栏(11)，其特征在于：所述收集槽(1)的外侧安装有第一电机(2)，且第一电机(2)的外侧连接有第一转轮(3)，所述第一转轮(3)的外侧设置有传动带(4)，且传动带(4)的内侧设置有第二转轮(5)，所述第二转轮(5)的外侧连接有转动轴(6)，且转动轴(6)的外侧连接有过滤板(7)，所述收集槽(1)的内部设置有夹板(8)，且夹板(8)的内侧设置有第一弹簧(9)，并且第一弹簧(9)的上端连接有滑板(10)，所述安装栏(11)设置于收集槽(1)的上方，且安装栏(11)的上方安装有第二电机(12)，所述第二电机(12)的外侧连接有螺纹杆(13)，且螺纹杆(13)的外侧连接有移动板(14)，所述移动板(14)的下方连接有伸缩杆(15)，且伸缩杆(15)的外侧设置有第二弹簧(16)，并且伸缩杆(15)的端头处连接有清物块(17)，所述安装栏(11)的下方安装有气缸(18)，且气缸(18)的下方连接固定台(22)，所述固定台(22)的下方安装有第三电机(19)，且第三电机(19)的外侧连接有清洁杆(20)，所述收集槽(1)的内部设置有隔板(21)。
2.根据权利要求1所述的一种便于清洁和收集废料的ITO靶材装置，其特征在于：所述第二转轮(5)与收集槽(1)之间通过第一转轮(3)构成转动结构，且第二转轮(5)的外表面与传动带(4)的内表面之间为紧密贴合。
3.根据权利要求1所述的一种便于清洁和收集废料的ITO靶材装置，其特征在于：所述滑板(10)与夹板(8)之间通过第一弹簧(9)构成滑动安装结构，且滑板(10)与夹板(8)之间为卡合连接。
4.根据权利要求1所述的一种便于清洁和收集废料的ITO靶材装置，其特征在于：所述清物块(17)与安装栏(11)之间通过螺纹杆(13)构成滑动安装结构，且清物块(17)的宽度与收集槽(1)内部的宽度相等。
5.根据权利要求1所述的一种便于清洁和收集废料的ITO靶材装置，其特征在于：所述清物块(17)与移动板(14)之间通过伸缩杆(15)构成升降结构，且伸缩杆(15)关于移动板(14)的轴线对称设置有2个。
6.根据权利要求1所述的一种便于清洁和收集废料的ITO靶材装置，其特征在于：所述清洁杆(20)与固定台(22)之间通过第三电机(19)构成转动结构，且清洁杆(20)的外侧表面与收集槽(1)内侧的表面之间紧密接触。
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Publications (1)
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| CN214234880U true CN214234880U (zh) | 2021-09-21 |
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| CN202021958483.3U Active CN214234880U (zh) | 2020-09-09 | 2020-09-09 | 一种便于清洁和收集废料的ito靶材装置 |
Country Status (1)
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2020
- 2020-09-09 CN CN202021958483.3U patent/CN214234880U/zh active Active
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Denomination of utility model: An ITO target device convenient for cleaning and waste collection Effective date of registration: 20220627 Granted publication date: 20210921 Pledgee: Industrial and Commercial Bank of China Limited Zhongshan Chengnan sub branch Pledgor: Zhongshan Zhilong New Material Technology Co.,Ltd. Registration number: Y2022980009130 |
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| PC01 | Cancellation of the registration of the contract for pledge of patent right |
Date of cancellation: 20221014 Granted publication date: 20210921 Pledgee: Industrial and Commercial Bank of China Limited Zhongshan Chengnan sub branch Pledgor: Zhongshan Zhilong New Material Technology Co.,Ltd. Registration number: Y2022980009130 |
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