CN214133144U - 一种消除三氯氧磷集中供液管路液滴结构 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开的属于消除三氯氧磷集中供液管路液滴技术领域，具体为一种消除三氯氧磷集中供液管路液滴结构，包括扩散炉、连接管、磷源瓶和小氮瓶，所述扩散炉右端固定安装连接管，所述连接管端部固定连接磷源瓶，所述磷源瓶右侧设有小氮瓶，所述小氮瓶输出端固定连接排气管，所述小氮瓶内壁固定安装导管，所述导管顶部内壁固定安装加热管二，所述加热管二顶部设有电磁阀二，所述电磁阀二固定安装在导管内壁，所述排气管内壁固定安装回转接头，本实用新型有益效果是：通过加热管二对氮气进行加热调节氮气的温度，从而通过喷头一和喷头二对排气管进行吹扫，清理排气管内的小液滴，具有提高三氯氧磷换源作业的品质果。

Description

一种消除三氯氧磷集中供液管路液滴结构

技术领域

本实用新型涉及消除三氯氧磷集中供液管路液滴技术领域，具体涉及一种消除三氯氧磷集中供液管路液滴结构。

背景技术

近年来，随着PERC+技术的量产，扩散炉的数量规模急剧增加，为了方便三氯氧磷换源作业，部分大厂的三氯氧磷采用集中磷源柜的方式供液的，出气管到PC计的塑料细管长，容易冷凝，影响工艺气体的流量稳定。

现有技术存在以下不足：现有的出气管道中容易因为冷凝积攒大量的水珠影响。

因此，发明一种消除三氯氧磷集中供液管路液滴结构很有必要。

实用新型内容

为此，本实用新型提供一种消除三氯氧磷集中供液管路液滴结构，通过在排气管内设置回转接头，通过小氮瓶对提供氮气，并通过加热管二对氮气进行加热调节氮气的温度，同时通过电机驱动旋转体旋转，从而通过喷头一和喷头二对排气管进行吹扫，以解决排气管中产生液滴影响三氯氧磷换源品质的问题。

为了实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种消除三氯氧磷集中供液管路液滴结构，包括扩散炉、连接管、磷源瓶和小氮瓶，所述扩散炉右端固定安装连接管，所述连接管端部固定连接磷源瓶，所述磷源瓶右侧设有小氮瓶，所述小氮瓶输出端固定连接排气管，所述小氮瓶内壁固定安装导管，所述导管顶部内壁固定安装加热管二，所述加热管二顶部设有电磁阀二，所述电磁阀二固定安装在导管内壁，所述导管延伸至排气管内壁，所述排气管内壁固定安装回转接头，所述回转接头包括底座，所述底座固定安装在排气管内壁，所述底座顶部通过轴承活动安装旋转体，所述旋转体底部外壁固定安装齿轮一，所述旋转体顶部固定安装喷头一，所述旋转体侧壁固定安装喷头二，所述底座顶部固定安装电机，所述电机输出端固定安装齿轮二，所述齿轮一与齿轮二啮合连接。

优选的，所述扩散炉顶部固定安装支架一，所述支架一顶部固定安装炉管。

优选的，所述炉管左端设有炉门，所述炉管内壁固定安装热电偶温度传感器，所述热电偶温度传感器右侧设有加热丝，所述加热丝固定安装在炉管内壁，所述热电偶温度传感器与加热丝交叉设有五组。

优选的，所述连接管内壁固定安装加热管一，所述加热管一顶部固定连接加热控制器，所述加热控制器固定安装在连接管顶部。

优选的，所述磷源瓶包括外桶，所述外桶内壁固定安装加热片，所述外桶顶部固定安装内桶，所述内桶内壁固定安装进气管，所述进气管左侧端部固定连接在连接管右侧，所述进气管底部固定安装环形管，所述环形管顶部开设扩散孔。

优选的，所述内桶右端顶部固定安装出气管，所述出气管内壁固定安装电磁阀一，所述电磁阀一右侧设有PC流量计二，所述PC流量计二固定安装在出气管端部，所述出气管右端固定连接排气管。

本实用新型的有益效果是：

1.通过在排气管内设置回转接头，通过小氮瓶对提供氮气，并通过加热管二对氮气进行加热调节氮气的温度，同时通过电机驱动旋转体旋转，从而通过喷头一和喷头二对排气管进行吹扫，能够及时清理排气管内因为冷凝生成的小液滴，具有提高三氯氧磷换源作业的品质；

2.通过设置电机驱动旋转体从而调节喷头二的方向，通过加热管二对氮气进行加热方便调节氮气的温度，通过设置电磁阀二控制氮气吹扫的量，方便在满足工作要求的同时，也能尽可能地节省氮气的消耗。

附图说明

图1为本实用新型提供的主视图；

图2为本实用新型提供的磷源瓶结构示意图；

图3为本实用新型提供的图1中A处局部放大图；

图4为本实用新型提供的图1中B处局部放大图；

图5为本实用新型提供的图1中C处局部放大图。

图中：扩散炉100、支架一110、炉门120、炉管130、热电偶温度传感器140、加热丝150、连接管200、加热管一210、加热控制器220、PC流量计一230、磷源瓶300、外桶310、内桶320、加热片311、进气管330、环形管331、扩散孔332、出气管340、电磁阀一350、PC流量计二360、排气管370、小氮瓶400、导管410、加热管二420、电磁阀二430、回转接头440、底座441、轴承442、旋转体443、齿轮一444、喷头一445、喷头二446、电机447、齿轮二448。

具体实施方式

以下结合附图对本实用新型的优选实施例进行说明，应当理解，此处所描述的优选实施例仅用于说明和解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。

参照附图1-4，本实用新型提供的一种消除三氯氧磷集中供液管路液滴结构，包括扩散炉100、连接管200、磷源瓶300和小氮瓶400，具体的，所述扩散炉100右端固定安装连接管200，所述连接管200端部固定连接磷源瓶300，所述磷源瓶300右侧设有小氮瓶400，所述小氮瓶400输出端固定连接排气管370，所述小氮瓶400内壁固定安装导管410，所述导管410顶部内壁固定安装加热管二420，所述加热管二420顶部设有电磁阀二430，所述电磁阀二430固定安装在导管410内壁，所述导管410延伸至排气管370内壁，所述排气管370内壁固定安装回转接头440，所述回转接头440包括底座441，所述底座441固定安装在排气管370内壁，所述底座441顶部通过轴承442活动安装旋转体443，所述旋转体443底部外壁固定安装齿轮一444，所述旋转体443顶部固定安装喷头一445，所述旋转体443侧壁固定安装喷头二446，所述底座441顶部固定安装电机447，所述电机447输出端固定安装齿轮二448，所述齿轮一444与齿轮二448啮合连接；

扩散炉100具有对半导体进行掺杂的作用，在高温条件下将掺杂材料扩散入硅片，从而改变和控制半导体内杂质的类型、浓度和分布的作用，连接管200具有输送高浓度氮气的作用，磷源瓶300具有换源的作用，小氮瓶400具有提供低浓度氮气的作用，排气管370具有传送三氯氧磷换源成品的作用，加热管二420具有加热小氮的作用，电磁阀二430具有开闭导管410控制小氮气流量的作用，回转接头440具有旋转改变小氮喷扫方向的作用，底座441具有安装旋转体443的作用，齿轮一444具有传动的作用，喷头一445和喷头二446具有喷扫小氮的作用，电机447设置为YLJ500D，电机447具有驱动旋转体443进行旋转的作用，齿轮一444与齿轮二448啮合连接具有驱动旋转体443进行旋转的作用；

进一步地，所述扩散炉100顶部固定安装支架一110，具体的，所述支架一110顶部固定安装炉管130，支架一110具有支撑和安装炉管130的作用，炉管130具有方便对晶体进行掺杂的作用；

进一步地，所述炉管130左端设有炉门120，具体的，所述炉管130内壁固定安装热电偶温度传感器140，所述热电偶温度传感器140右侧设有加热丝150，所述加热丝150固定安装在炉管130内壁，所述热电偶温度传感器140与加热丝150交叉设有五组，热电偶温度传感器140设置为PT100，热电偶温度传感器140具有测试炉管130内温度的作用，加热丝150具有对炉管130进行加热从而满足晶体进行掺杂的作用；

进一步地，所述连接管200内壁固定安装加热管一210，具体的，所述加热管一210顶部固定连接加热控制器220，所述加热控制器220固定安装在连接管200顶部，加热管一210具有加热氮气的作用，加热控制器220具有调节加热温度的作用；

进一步地，所述磷源瓶300包括外桶310，具体的，所述外桶310内壁固定安装加热片311，所述外桶310顶部固定安装内桶320，所述内桶320内壁固定安装进气管330，所述进气管330左侧端部固定连接在连接管200右侧，所述进气管330底部固定安装环形管331，所述环形管331顶部开设扩散孔332，外桶310具有防护内桶320的作用，内桶320具有盛放液态三氯氧磷进行换源的作用，进气管330具有导入氮气的作用，环形管331具有将氮气导入到液态三氯氧磷进行换源的作用，扩散孔332具有导出氮气的作用，加热片311具有对内桶320进行加热从而加速换源的速率，同时在相同的温度下进行换源保证了出气的速率一致，便于控制换源品质；

进一步地，所述内桶320右端顶部固定安装出气管340，具体的，所述出气管340内壁固定安装电磁阀一350，所述电磁阀一350右侧设有PC流量计二360，所述PC流量计二360固定安装在出气管340端部，所述出气管340右端固定连接排气管370，电磁阀一350具有控制出气的速率，PC流量计二360具有测算出气量的作用。

本实用新型的使用过程如下：在使用本实用新型时本领域技术人员通过将高浓度氮气通过进气管330导入到磷源瓶300内，通过环形管331、扩散孔332进入到液态三氯氧磷中，通过加热片311对内桶320进行加热，保持内桶320内部温度恒定，氮气经过三氯氧磷换源后通过排气孔出气管340排出，通过小氮瓶400提供低浓度氮气导入到排气管370内，通过电磁阀二430控制小氮的流量，通过开启电机447驱动齿轮一444从而带动旋转体443进行旋转，从而调节喷头一445和喷头二446对排气管370内壁进行吹扫，通过加热管二420对导管410内的小氮进行加热，从而去除排气管370内冷凝产生的小液滴，从而提高换源的品质。

以上所述，仅是本实用新型的较佳实施例，任何熟悉本领域的技术人员均可能利用上述阐述的技术方案对本实用新型加以修改或将其修改为等同的技术方案。因此，依据本实用新型的技术方案所进行的任何简单修改或等同置换，尽属于本实用新型要求保护的范围。

Claims (6)

1.一种消除三氯氧磷集中供液管路液滴结构，包括扩散炉（100）、连接管（200）、

磷源瓶（300）和小氮瓶（400），其特征在于：所述扩散炉（100）右端固定安装连接管（200），所述连接管（200）端部固定连接磷源瓶（300），所述磷源瓶（300）右侧设有小氮瓶（400），所述小氮瓶（400）输出端固定连接排气管（370），所述小氮瓶（400）内壁固定安装导管（410），所述导管（410）顶部内壁固定安装加热管二（420），所述加热管二（420）顶部设有电磁阀二（430），所述电磁阀二（430）固定安装在导管（410）内壁，所述导管（410）延伸至排气管（370）内壁，所述排气管（370）内壁固定安装回转接头（440），所述回转接头（440）包括底座（441），所述底座（441）固定安装在排气管（370）内壁，所述底座（441）顶部通过轴承（442）活动安装旋转体（443），所述旋转体（443）底部外壁固定安装齿轮一（444），所述旋转体（443）顶部固定安装喷头一（445），所述旋转体（443）侧壁固定安装喷头二（446），所述底座（441）顶部固定安装电机（447），所述电机（447）输出端固定安装齿轮二（448），所述齿轮一（444）与齿轮二（448）啮合连接。

2.根据权利要求1所述的一种消除三氯氧磷集中供液管路液滴结构，其特征在于：所述扩散炉（100）顶部固定安装支架一（110），所述支架一（110）顶部固定安装炉管（130）。

3.根据权利要求2所述的一种消除三氯氧磷集中供液管路液滴结构，其特征在于：所述炉管（130）左端设有炉门（120），所述炉管（130）内壁固定安装热电偶温度传感器（140），所述热电偶温度传感器（140）右侧设有加热丝（150），所述加热丝（150）固定安装在炉管（130）内壁，所述热电偶温度传感器（140）与加热丝（150）交叉设有五组。

4.根据权利要求1所述的一种消除三氯氧磷集中供液管路液滴结构，其特征在于：所述连接管（200）内壁固定安装加热管一（210），所述加热管一（210）顶部固定连接加热控制器（220），所述加热控制器（220）固定安装在连接管（200）顶部。

5.根据权利要求1所述的一种消除三氯氧磷集中供液管路液滴结构，其特征在于：所述磷源瓶（300）包括外桶（310），所述外桶（310）内壁固定安装加热片（311），所述外桶（310）顶部固定安装内桶（320），所述内桶（320）内壁固定安装进气管（330），所述进气管（330）左侧端部固定连接在连接管（200）右侧，所述进气管（330）底部固定安装环形管（331），所述环形管（331）顶部开设扩散孔（332）。

6.根据权利要求5所述的一种消除三氯氧磷集中供液管路液滴结构，其特征在于：所述内桶（320）右端顶部固定安装出气管（340），所述出气管（340）内壁固定安装电磁阀一（350），所述电磁阀一（350）右侧设有PC流量计二（360），所述PC流量计二（360）固定安装在出气管（340）端部，所述出气管（340）右端固定连接排气管（370）。

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