CN214099591U - 一体成型ptfe耐腐洁净槽 - Google Patents

Abstract

本实用新型属于半导体生产设备技术领域，涉及一种一体成型PTFE耐腐洁净槽。包括呈矩形且由PTFE材料制成一体成型的槽体，所述的槽体顶部开口，所述的槽体一侧设有至少一个进液口，在远离进液口的另一侧槽体上设有至少一个出液口，在进液口和出液口上分别设有进液接头和出液接头，所述的进液接头和出液接头与槽体一体成型。与现有的技术相比，本一体成型PTFE耐腐洁净槽的优点在于：1、设计合理，防止渗漏。2、耐腐蚀性好，有效的延长了使用寿命。3、便于拆装，节省了维护时间。

Description

一体成型PTFE耐腐洁净槽

技术领域

本实用新型属于半导体生产设备技术领域，涉及一种一体成型PTFE耐腐洁净槽。

背景技术

半导体行业如硅晶片清洗等，对产品要求极高，以往焊接式产品或粘接式产品在使用过程中焊接或粘接处存在着易于渗漏的问题。

实用新型内容

本实用新型的目的是针对上述问题，提供一种设计合理，防止渗漏的一体成型PTFE耐腐洁净槽。

为达到上述目的，本实用新型采用了下列技术方案：本一体成型PTFE耐腐洁净槽，其特征在于，包括呈矩形且由PTFE材料制成一体成型的槽体，所述的槽体顶部开口，所述的槽体一侧设有至少一个进液口，在远离进液口的另一侧槽体上设有至少一个出液口，在进液口和出液口上分别设有进液接头和出液接头，所述的进液接头和出液接头与槽体一体成型。

在上述的一体成型PTFE耐腐洁净槽中，所述的槽体包括呈矩形状的底板，在底板其中两条相对的侧边上分别设有第一挡板，在另两条相对的侧边上分别设有第二挡板，所述的底板、两块第一挡板和两块第二挡板合围形成蓄液槽，且底板与两块第一挡板和两块第二挡板分别相连且一体成型，任意相连两块第一挡板与第二挡板相连且一体成型。

在上述的一体成型PTFE耐腐洁净槽中，其中一块第一挡板上设有至少一个贯穿第一挡板的进液口，且进液口位于第一挡板上方，所述的进液接头与该第一挡板相连且一体成型。

在上述的一体成型PTFE耐腐洁净槽中，另外一块第一挡板上设有至少一个贯穿第一挡板的出液口，且出液口位于第一挡板底部，所述的出液接头与该第一挡板相连且一体成型。

在上述的一体成型PTFE耐腐洁净槽中，所述的底板顶部设有倾斜面，所述的倾斜面由位于由进液口下方的一端至少出液口的一端逐渐向下倾斜。

在上述的一体成型PTFE耐腐洁净槽中，所述的出液口的下方内壁低于或等于衔接端倾斜面的高度。

在上述的一体成型PTFE耐腐洁净槽中，所述的底板与第一挡板或第二挡板之间均设有弧形过渡面，任意相连两弧形过渡面之间设有弧形倒角。

在上述的一体成型PTFE耐腐洁净槽中，任意相邻的第一挡板和第二挡板之间均设有内弧倒角。

在上述的一体成型PTFE耐腐洁净槽中，所述的槽体上设有定位结构。

在上述的一体成型PTFE耐腐洁净槽中，所述的定位结构包括分别设置在第二挡板两侧外壁上的定位槽，所述的定位槽竖直设置，所述的定位槽上端连接开设在第二挡板顶面上的压槽。

与现有的技术相比，本一体成型PTFE耐腐洁净槽的优点在于：1、设计合理，防止渗漏。2、耐腐蚀性好，有效的延长了使用寿命。3、便于拆装，节省了维护时间。

附图说明

图1是本实用新型提供的立体结构示意图。

图2是本实用新型提供的剖视结构示意图。

图中，槽体1、开口2、进液口3、出液口4、进液接头31、出液接头41、底板11、第一挡板12、第二挡板13、蓄液槽1a、倾斜面111、弧形过渡面5、内弧倒角6、定位结构7、定位槽71、压槽72。

具体实施方式

如图1、2所示，本一体成型PTFE耐腐洁净槽，包括呈矩形且由PTFE材料制成一体成型的槽体1，槽体1顶部开口2，槽体 1一侧设有至少一个进液口3，在远离进液口3的另一侧槽体1 上设有至少一个出液口4，在进液口3和出液口4上分别设有进液接头31和出液接头41，进液接头31和出液接头41与槽体1 一体成型。采用PTFE材料制成的一体成型的槽体1能够有效的防止焊接或粘接造成的渗漏，并且由于PTFE耐腐蚀性强，从而有效的防止槽体损坏，提高了安全性，降低了企业的使用成本。

更具体的说，槽体1包括呈矩形状的底板11，在底板11其中两条相对的侧边上分别设有第一挡板12，在另两条相对的侧边上分别设有第二挡板13，底板11、两块第一挡板12和两块第二挡板13合围形成蓄液槽1a，且底板11与两块第一挡板12和两块第二挡板13分别相连且一体成型，任意相连两块第一挡板12 与第二挡板13相连且一体成型。

其中一块第一挡板12上设有至少一个贯穿第一挡板12的进液口3，且进液口3位于第一挡板12上方，进液接头31与该第一挡板12相连且一体成型；另外一块第一挡板12上设有至少一个贯穿第一挡板12的出液口4，且出液口4位于第一挡板12底部，出液接头41与该第一挡板12相连且一体成型。

本实施例中，其中一块第一挡板12上设有二个穿第一挡板 12的进液口3，另外一块第一挡板12上设有二个贯穿第一挡板 12的出液口4。

为了便于排出液体和杂质进行更换，底板11顶部设有倾斜面111，倾斜面111由位于进液口3下方的一端至少出液口4的一端逐渐向下倾斜。

作为优选地，出液口4的下方内壁低于或等于衔接端倾斜面 111的高度。

为了防止杂质残留以及后期的清洗，底板11与第一挡板12 或第二挡板13之间均设有弧形过渡面5，任意相连两弧形过渡面 5之间设有弧形倒角；任意相邻的第一挡板12和第二挡板13之间均设有内弧倒角6。

为了便于固定槽体1，槽体1上设有定位结构7；定位结构7 包括分别设置在第二挡板13两侧外壁上的定位槽71，定位槽71 竖直设置，定位槽71上端连接开设在第二挡板13顶面上的压槽 72。

使用时，通过清洗装置上的夹具卡设在定位槽71和压槽72 内，从而对槽体1进行限位固定，进液接头31和出液接头41上接入进液管和出液管，将清洗液注入至蓄液槽1a。

本文中所描述的具体实施例仅仅是对本实用新型精神作举例说明。本实用新型所属技术领域的技术人员可以对所描述的具体实施例做各种各样的修改或补充或采用类似的方式替代，但并不会偏离本实用新型的精神或者超越所附权利要求书所定义的范围。

尽管本文较多地使用了槽体1、开口2、进液口3、出液口4、进液接头31、出液接头41、底板11、第一挡板12、第二挡板13、蓄液槽1a、倾斜面111、弧形过渡面5、内弧倒角6、定位结构7、定位槽71、压槽72等术语，但并不排除使用其它术语的可能性。使用这些术语仅仅是为了更方便地描述和解释本实用新型的本质，把它们解释成任何一种附加的限制都是与本实用新型精神相违背的。

Claims (10)

1.一种一体成型PTFE耐腐洁净槽，其特征在于，包括呈矩形且由PTFE材料制成一体成型的槽体(1)，所述的槽体(1)顶部开口(2)，所述的槽体(1)一侧设有至少一个进液口(3)，在远离进液口(3)的另一侧槽体(1)上设有至少一个出液口(4)，在进液口(3)和出液口(4)上分别设有进液接头(31)和出液接头(41)，所述的进液接头(31)和出液接头(41)与槽体(1)一体成型。

2.根据权利要求1所述的一体成型PTFE耐腐洁净槽，其特征在于，所述的槽体(1)包括呈矩形状的底板(11)，在底板(11)其中两条相对的侧边上分别设有第一挡板(12)，在另两条相对的侧边上分别设有第二挡板(13)，所述的底板(11)、两块第一挡板(12)和两块第二挡板(13)合围形成蓄液槽(1a)，且底板(11)与两块第一挡板(12)和两块第二挡板(13)分别相连且一体成型，任意相连两块第一挡板(12)与第二挡板(13)相连且一体成型。

3.根据权利要求2所述的一体成型PTFE耐腐洁净槽，其特征在于，其中一块第一挡板(12)上设有至少一个贯穿第一挡板(12)的进液口(3)，且进液口(3)位于第一挡板(12)上方，所述的进液接头(31)与该第一挡板(12)相连且一体成型。

4.根据权利要求3所述的一体成型PTFE耐腐洁净槽，其特征在于，另外一块第一挡板(12)上设有至少一个贯穿第一挡板(12)的出液口(4)，且出液口(4)位于第一挡板(12)底部，所述的出液接头(41)与该第一挡板(12)相连且一体成型。

5.根据权利要求4所述的一体成型PTFE耐腐洁净槽，其特征在于，所述的底板(11)顶部设有倾斜面(111)，所述的倾斜面(111)由位于进液口(3)下方的一端至少出液口(4)的一端逐渐向下倾斜。

6.根据权利要求5所述的一体成型PTFE耐腐洁净槽，其特征在于，所述的出液口(4)的下方内壁低于或等于衔接端倾斜面(111)的高度。

7.根据权利要求2所述的一体成型PTFE耐腐洁净槽，其特征在于，所述的底板(11)与第一挡板(12)或第二挡板(13)之间均设有弧形过渡面(5)，任意相连两弧形过渡面(5)之间设有弧形倒角。

8.根据权利要求7所述的一体成型PTFE耐腐洁净槽，其特征在于，任意相邻的第一挡板(12)和第二挡板(13)之间均设有内弧倒角(6)。

9.根据权利要求2所述的一体成型PTFE耐腐洁净槽，其特征在于，所述的槽体(1)上设有定位结构(7)。

10.根据权利要求9所述的一体成型PTFE耐腐洁净槽，其特征在于，所述的定位结构(7)包括分别设置在第二挡板(13)两侧外壁上的定位槽(71)，所述的定位槽(71)竖直设置，所述的定位槽(71)上端连接开设在第二挡板(13)顶面上的压槽(72)。

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