CN213936109U - 一种非直接接触的阳极水冷结构 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开一种非直接接触的阳极水冷结构，包括一结构主体，所述结构主体由阳极本体、绝缘导热片、铜导热板、循环水室及底座由上自下依次连接组成，所述绝缘导热片及铜导热板均为圆盘状；设置循环水室冷却水先冷铜导热板，再用绝缘导热片将铜导热板和发热量较大的阳极本体连接；这种间接的冷却方式，使得用户在保养维护阳极本体时不会造成漏水现象，因此缩短了维护周期，且维持了真空室洁净度。
Description
技术领域
本实用新型涉及光学镀膜领域，尤其涉及一种非直接接触的阳极水冷结构。
背景技术
由于霍尔型离子源因结构简单，发射角广和维护方便等原因，被广泛用于工业镀膜。但是目前市面上大部分霍尔型离子源均采用循环水和阳极直接解除冷却，这种结构最大的弊端在于保养阳极时会造成漏水，不仅维护周期长，而且影响真空室洁净度。
实用新型内容
为了克服现有技术方案的不足,本实用新型提供一种非直接接触的阳极水冷结构，能够解决背景技术提出的问题。
本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：一种非直接接触的阳极水冷结构，包括一结构主体，所述结构主体由阳极本体、绝缘导热片、铜导热板、循环水室及底座由上自下依次连接组成，所述绝缘导热片及铜导热板均为圆盘状；
所述阳极本体的底部设有圆盘状固定板，所述固定板与阳极本体为一体式结构；
所述循环水室的上端面设有开口，所述开口的边缘设有环状密封圈槽，所述循环水室的上下端面均设有环状装配板，所述循环水室内部设有循环水槽，所述循环水槽的底部设有循环水口，所述底座挖有开孔，所述循环水口对齐所述开孔，所述循环水口及开孔形成出水道；
所述底座的上端面设有环状突起部，所述突起部形成卡槽，所述装配板卡接于所述卡槽内侧。
进一步的，所述固定板与绝缘导热片的外圈均均匀设有安装孔且两两对齐，所述安装孔的数量为四个；
进一步的，所述固定板的半径大于所述绝缘导热片的半径；
进一步的，所述密封圈槽的数量为两条，所述密封圈槽内设有密封圈；
进一步的，所述出水道的两端均设有卡套接头；
进一步的，所述装配板、铜导热板、循环水室及底座均挖有装配孔。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本实用新型的一种非直接接触的阳极水冷结构，设置循环水室冷却水先冷铜导热板，再用绝缘导热片将铜导热板和发热量较大的阳极本体连接；这种间接的冷却方式，使得用户在保养维护阳极本体时不会造成漏水现象，因此缩短了维护周期，且维持了真空室洁净度。
附图说明
图1为本实用新型第一整体结构示意图；
图2为本实用新型内部结构示意图；
图3为本实用新型第二整体结构示意图。
图中标号：1-阳极本体；2-绝缘导热片；3-铜导热板；4-循环水室；5-底座；6-固定板；7-开口；8-密封圈槽；9-装配板；10-循环水槽；11-循环水口；12-开孔；13-出水道；14-环状突起部；15-卡槽；16-安装孔；17-卡套接头。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
下面结合图1-3对本实用新型的一种非直接接触的阳极水冷结构作详细的描述：一种非直接接触的阳极水冷结构，包括一结构主体，所述结构主体由阳极本体1、绝缘导热片2、铜导热板3、循环水室4及底座5由上自下依次连接组成，所述绝缘导热片2及铜导热板3均为圆盘状；
所述阳极本体1的底部设有圆盘状固定板6，所述固定板6与阳极本体1为一体式结构；
所述循环水室4的上端面设有开口7，所述开口7的边缘设有环状密封圈槽8，所述循环水室4的上下端面均设有环状装配板9，所述循环水室4内部设有循环水槽10，所述循环水槽10的底部设有循环水口11，所述底座5挖有开孔12，所述循环水口11对齐所述开孔12，所述循环水口11及开孔12形成出水道13；
所述底座5的上端面设有环状突起部14，所述突起部形成卡槽15，所述装配板9卡接于所述卡槽15内侧。
所述固定板6与绝缘导热片2的外圈均均匀设有安装孔16且两两对齐，所述安装孔16的数量为四个；所述固定板6的半径大于所述绝缘导热片2的半径；所述密封圈槽8的数量为两条，所述密封圈槽8内设有密封圈；所述出水管的两端均设有卡套接头17；所述装配板9、铜导热板3、循环水室4及底座5均挖有装配孔。
工作原理：在进行工业镀膜的过程中，阳极本体1是主要的发热源。阳极本体1是通过陶瓷过渡后，使用螺丝通过安装孔16连接到铜导热板3上的，绝缘导热片2是安装在阳极本体1和铜导热板3之间的，与此同时，绝缘导热片2是需要使用陶瓷螺丝将其固定在阳极本体1的底部，进一步铜导热板3和循环水室4同样使用螺丝连接，在循环水室4的上表面密封槽中需要安装氟橡胶密封圈保证冷却水不会通过间隙溢出，循环进出水通过底部的卡套接头17及出水道13引出。循环水室4冷却水先冷却铜导热板3，再用绝缘导热片2将铜导热板3和发热量较大的阳极本体1连接，对阳极本体1进行冷却，实现非直接接触的水冷。
关于该阳极水冷结构中的各部件材料：阳极本体1与固定板6采用优质无磁不锈钢SUS316一体加工而成；绝缘导热片2采用氮化硼材料加工而成；铜导热板3采用优质无氧铜加工而成；循环水室4使用SUS304不锈钢一体加工而成；因为等离子放电的需要，底座5必须使用马氏体不锈钢；当均采用所选材料时，能够达到该阳极水冷结构的最优状态。
综上所述，本实用新型的一种非直接接触的阳极水冷结构，设置循环水室冷却水先冷铜导热板，再用绝缘导热片将铜导热板和发热量较大的阳极本体连接；这种间接的冷却方式，使得用户在保养维护阳极本体时不会造成漏水现象，因此缩短了维护周期，且维持了真空室洁净度。
对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。
Claims (6)
1.一种非直接接触的阳极水冷结构，其特征在于，包括一结构主体，所述结构主体由阳极本体、绝缘导热片、铜导热板、循环水室及底座由上自下依次连接组成，所述绝缘导热片及铜导热板均为圆盘状；
所述阳极本体的底部设有圆盘状固定板，所述固定板与阳极本体为一体式结构；
所述循环水室的上端面设有开口，所述开口的边缘设有环状密封圈槽，所述循环水室的上下端面均设有环状装配板，所述循环水室内部设有循环水槽，所述循环水槽的底部设有循环水口，所述底座挖有开孔，所述循环水口对齐所述开孔，所述循环水口及开孔形成出水道；
所述底座的上端面设有环状突起部，所述突起部形成卡槽，所述装配板卡接于所述卡槽内侧。
2.根据权利要求1所述的一种非直接接触的阳极水冷结构，其特征在于：所述固定板与绝缘导热片的外圈均均匀设有安装孔且两两对齐，所述安装孔的数量为四个。
3.根据权利要求1所述的一种非直接接触的阳极水冷结构，其特征在于：所述固定板的半径大于所述绝缘导热片的半径。
4.根据权利要求1所述的一种非直接接触的阳极水冷结构，其特征在于：所述密封圈槽的数量为两条，所述密封圈槽内设有密封圈。
5.根据权利要求1所述的一种非直接接触的阳极水冷结构，其特征在于：所述出水道的两端均设有卡套接头。
6.根据权利要求1所述的一种非直接接触的阳极水冷结构，其特征在于：所述装配板、铜导热板、循环水室及底座均挖有装配孔。
Priority Applications (1)
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2021
- 2021-01-19 CN CN202120140675.1U patent/CN213936109U/zh active Active
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