CN213845820U - 一种真空室及多通道激光边带稳频系统 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种真空室及多通道激光边带稳频系统，所述真空的内部为超稳腔；所述真空室上沿圆周均匀分布偶数个窗片接口，所有窗片接口的中心点位于同一分布圆周；偶数个窗片接口中的一半接口作为激光入射口，均设置有适用于入射且需要稳定频率的激光所相应波长的平面通光腔镜；偶数个窗片接口中的另一半接口作为激光反射口，均设置有与入射接口对应频率且用于反射需要稳定频率的凹面通光腔镜。通过在激光入射口设置有适用于入射且需要稳定频率的激光所相应波长的平面通光腔镜，在激光发射口中设置有与入射接口对应频率且用于反射需要稳定频率的凹面通光腔镜，有利于激光的射入以及射出，从而利于激光的调频稳定。

Description

一种真空室及多通道激光边带稳频系统

技术领域

本实用新型涉及激光技术领域，具体涉及一种真空室及多通道激光边带稳频系统。

背景技术

20世纪60年代，激光的发明为光谱学研究开创了新的局面，激光的应用领域越来越广泛，在激光的众多应用领域中，激光频率稳定度是一个极其重要的指标参数。因此，激光稳频技术成为基础科学研究的重要方向，在现代科学技术中发挥着越来越重要的作用。

20世纪量子力学的提出导致了技术的一场革命，冷原子分子、离子系统是研究量子信息与量子精密测量技术的理想系统，无论是要实现原子分子、离子的激光冷却，还是对量子态和量子操控，均需要多束频率高稳定且噪声极低、线宽较窄激光，从而实现相比传统的测量技术更为精确地测量时间、位移、角速度等基本物理量。

一般而言，激光的频率是由激光谐振腔的有效长度决定，因此激光的频率很容易受到激光腔内部热效应、外界环境噪声的影响而发生抖动和漂移，因此需要通过其它方式对激光输出频率进行稳频，被动式、主动式等各类稳频技术应运而生。标准的PDH(Pound-Drever-Hall) 稳频方法是一种能通过光学谐振腔将激光的线宽锁定到Hz量级的稳频方法，也是目前大多数实验室所普遍使用的实现超窄线宽激光输出的方法。相比于其它诸多锁定方法，PDH方法形成的误差信号在锁定点的斜率较大，因此可以达到很窄的期望激光线宽；并且能够进行频率矫正的范围很宽，一旦锁定后就不易脱锁。PDH方法中，误差信号是通过探测从腔内反射出的经频率调制的光信号来得到。

但在实际情况中，实验所需激光频率与光学腔谐振频率相差较大，需要在外部通过各类复杂的移频装置将激光频率调整至谐振频率。由于激光都是经过真空室内来回反射而发射出来的，因此真空室的结构设计的好坏对于激光的调频稳定也至关重要。

发明内容

本实用新型的目的在于克服上述现有技术的不足，提供一种真空室及多通道激光边带稳频系统，该真空室有利于激光的调频稳定；该多通道激光边带稳频系统可以对对激光进行频率调制并锁定在多通道光学超稳腔上，从而实现激光线宽压窄、频率锁定点可变并且锁定后激光频率可调谐的装置，适用于精密光谱、精密测量以及量子信息等领域。

为实现上述目的，本实用新型的技术方案是：

第一方面，本实用新型新型实施例提供了一种真空室，用于多通道激光边带稳频系统，所述真空室的内部为超稳腔；所述真空室上沿圆周均匀分布偶数个窗片接口，所有窗片接口的中心点位于同一分布圆周；

偶数个窗片接口中的一半接口作为激光入射口，均设置有适用于入射且需要稳定频率的激光所相应波长的平面通光腔镜；

偶数个窗片接口中的另一半接口作为激光反射口，均设置有与入射接口对应频率且用于反射需要稳定频率的凹面通光腔镜。

如此，通过在激光入射口设置有适用于入射且需要稳定频率的激光所相应波长的平面通光腔镜，在激光发射口中设置有与入射接口对应频率且用于反射需要稳定频率的凹面通光腔镜，有利于激光的射入以及射出，从而利于激光的调频稳定。此外，虽然F-P腔所有形式的腔转化成共焦腔稳定存在，平凹腔，双凹腔均可以，但是两者转化共焦腔后的束腰半径所在位置不同，平凹腔的束腰半径就在平面反射镜的中心，比较好调节，双凹腔的束腰半径在两个凹面反射镜距离中心，另外，相同束腰半径所在位置，平凹腔比双凹腔的距离少一倍，节约成本。

进一步地，所述真空室的表面设置有第一CF40接口、第二CF40接口；第一CF40接口上装有射频馈通，与离子泵连接；第二CF40接口3装有射频馈通，用来与温度控制模块连接。

进一步地，所述真空室上沿圆周均匀分布八个窗片接口。

第二方面，本发明实施例提供了一种多通道激光边带稳频系统，包括：

真空室，所述真空室为上述任一所述的真空室；

电光调制器，用于接收移频信号来调制激光频率，使得边带频率与超稳腔谐振；还用于接收PDH调制信号，对激光进行相位调制；

基于PID的数字电路模块控制器，用于接收调制转移的色散信号，以根据信号信息与设定值的偏差来调整激光器的驱动信号，来抑制激光器的频率波动，使其锁定在超稳腔上。

进一步地，所述的多通道激光边带稳频系统还包括：

第一射频信号源，用于对电光调制器施加移频信号Ω_m，对电光调制器进行频率为Ω_m的移频相位调制，产生一组边带ω±Ω_m，通过调节移频调制信号Ω_m振幅，使得ω±Ω_m的能量最大化；ω为超稳腔匹配的激光频率。

进一步地，所述的多通道激光边带稳频系统还包括第二射频信号源，用于对电光调制器施加PDH调制信号δ_m，δ_m为调制频率。

进一步地，所述调制转移的色散信号由调制转移的色散信号组件所调制产生，所述调制转移的色散信号组件包括：

第三λ/4波片、第二偏振分光棱镜、第一光电探测器、混频器以及移相器；从真空室透射出来带有频率抖动信息的激光经过第三λ/4波片与第二偏振分光棱镜的线偏振光经第一光电探测器和混频器在δ_m处解调，通过调节移相器相位从而获得调制转移的色散信号。

进一步地，所述的多通道激光边带稳频系统还包括：

第一组件，所述第一组件包括法拉第隔离器、第一λ/2波片、第一偏振分光棱镜、第一分光平片、第一λ/4波片、第二λ/2波片、第一透镜、单模保偏光纤、第二λ/4波片、格兰泰勒棱镜；

激光经过法拉第隔离器和第一λ/2波片后成水平偏振光，依次经过第一偏振分光棱镜、第一分光平片、第一λ/4波片、第二λ/2波片、透镜、单模保偏光纤、第二λ/4波片、格兰泰勒棱镜后再经过所述电光调制器。

法拉第隔离器的作用是防止有反射回来的激光返回进入激光器，保护激光器；偏振分光棱镜；透过的是水平偏振，反射的是竖直偏振；第一λ/2波片、第一偏振分光棱镜组合用来粗略调整激光偏振方向使其成线偏振光；第一分光平片，用于其他光路功率需求；第一λ/4 波片、第二λ/2波片，精准控制激光偏振成为稳定线偏光；透镜用来调整激光光斑大小，以提高进入光纤的最大耦合效率；单模保偏光纤，稳频腔位置与所在激光器安放位置较远，需要用光纤牵引过去；激光经光纤另一端出射，经过第一λ/4波片、格兰泰勒棱镜组合，用来精细调整进入EOM的偏振性，以满足EOM严格的入射偏振要求。

进一步地，所述的多通道激光边带稳频系统还包括第二组件，所述第二组件包括第一对反射镜、透镜组、第二对反射镜、第三λ/2波片、第二偏振分束棱镜和第三λ/4波片；所述电光调制器出来激光经过第一对反射镜、透镜组、第二对反射镜、第三λ/2波片将相位调制后的激光偏振态作180°旋转后经第二偏振分束棱镜和第三λ/4波片产生圆偏振光。

进一步地，所述的多通道激光边带稳频系统还包括第三对反射镜，经第二偏振分束棱镜和第三λ/4波片产生圆偏振光经过第三对反射镜后，从真空室的激光入射口垂直入射至超稳腔中；所述第三对反射镜用于调节激光的模式与超稳腔的模式匹配。

激光与光学F-P腔共振，需要将激光的束腰半径与F-P腔的束腰半径相匹配，所以这个激光经光纤初涉为起点，以光学F-P腔的束腰所在位置为终点，这个距离较长，而由于空间有限，所以使用光路L型这种方式，这是第一对反射镜的作用；透镜组的作用就是变换激光的束腰半径与与F-P腔匹配；第三λ/2波片用来控制激光F-P腔的功率每天一样；第二偏振分束棱镜和第二λ/4波片用来调整偏振性，使得经F-P腔反射的功率经第二偏振分束棱镜最小；第二对反射镜用来调整激光与腔共振，消除其余高阶模式。

本实用新型与现有技术相比，其有益效果在于：

通过在激光入射口设置有适用于入射且需要稳定频率的激光所相应波长的平面通光腔镜，在激光发射口中设置有与入射接口对应频率且用于反射需要稳定频率的凹面通光腔镜，有利于激光的射入以及射出，从而利于激光的调频稳定。此外，虽然F-P腔所有形式的腔转化成共焦腔稳定存在，平凹腔，双凹腔均可以，但是两者转化共焦腔后的束腰半径所在位置不同，平凹腔的束腰半径就在平面反射镜的中心，比较好调节，双凹腔的束腰半径在两个凹面反射镜距离中心，另外，相同束腰半径所在位置，平凹腔比双凹腔的距离少一倍，节约成本。

通过对电光调制器施加移频信号调制激光频率，使得边带频率与光学腔谐振。然后对电光调制器施加PDH调制信号，对激光进行相位调制。通过光电探测器得到的误差信号反馈回激光器的伺服系统，来抑制激光器的频率波动，使其锁定在光学腔上，从而实现压窄激光线宽、激光频率可调谐且频率能长时稳定。通过调节激光边带的振幅和相对相位的变化，减小剩余幅度调制对稳频的影响，且通过调制边带频率，实现锁定中心频率的调谐，调谐范围可以达到GHz量级；实现锁定频率的小范围调节(0-200MHz)且长期稳定。

附图说明

图1为真空室的整体外观示意图；

图2为图1的俯视图；

图1-2中：1-真空室；2-第一CF40接口；3-第一CF40接口；4-平面腔镜；5-凹面腔镜。

图3为854nm激光PDH光路以及相应锁频电子元件示意图。其中：IOS(Isolater):光隔离器；HWP(Half Wave Plat):λ/2波片；PBS(Polarization Splitting Prism):偏振分光棱镜；BS(Beam Spliter):分光平片；L(Len):透镜；PMF(Single-mode Polarization-maintaining Fiber):单模保偏光纤；GTP(Grant-Taylor Prism):格兰泰勒棱镜；QWP(Quarter Wave Plat):λ/4波片；EOM(Electrooptical Modulator):电光调制器；HR(HighReflector):高度反射镜；PD(Photo-Detector):宽带光电探测器；PS(Phase Shifter):移相器；Mixer:混频器； LPF(Low-Pass Filter):低通滤波器；SG(Signal Generator):射频信号源；F-P Cavity(Fabry-Perot Cavity):超稳腔(法布里-珀罗光学谐振腔)；

图4为854nm激光在相同移频调制频率下载波(Carrier)与移频边带与调制幅度关系图；

图5为854nm激光在相同PDH调制频率下载波、移频边带与PDH调制信号关系图；

图6为854nm激光在未施加任何射频相位调制示意图；

图7为854nm激光鉴频信号与相位关系示意图；

图8为854nm激光锁定前后的反射光、透射光、误差信号示意图；

其中a、b、c对应于锁定之前的反射、透射、误差信号；图A、B、C对应于锁定后的反射、透射、误差信号。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本发明的技术方案做进一步的说明。

实施例1

如图1-3所示，基于PDH方法多通道激光边带稳频系统包括真空室1，还包括设置在真空室1外的如图3中的一系列光路，以及相应锁频的电子器件。

真空室1上沿圆周均匀分布有第一窗片接口A、第二窗片接口B、第三窗片接口C、第四窗片接口D、第五窗片接口E、第六窗片接口F、第七窗片接口G和第八窗片接口H(分别标记为A、B、C、D、E、F、G、H，在图2中沿圆周分布逆时针方向)，第一窗片接口～第八窗片接口的中心点位于同一分布圆周，真空室1的顶面设置有第一CF40接口2，第二 CF40接口3。

第一窗片接口A、第二窗片接口B、第三窗片接口C以及第四窗片接口D上均设置有用于入射需要锁定频率的激光到真空室的平面腔镜4。

第五窗片接口E、第六窗片接口F、第七窗片接口G和第八窗片接口H上均设置有与入射第二窗片接口B、第一窗片接口A、第四窗片接口D以及第三窗片接口C相应频率激光的凹面腔镜5。

第一CF40接口2通过射频馈通与离子泵连接，用来稳定真空室1内的真空度，第二CF40 接口3通过射频馈通与温度控制模块连接，用来稳定真空室1的温度，使得F-PCavity腔长趋于稳定，如第一窗片接口A的中心点与第六窗片接口F的中心点间的距离趋于恒定值。

真空室1通过离子泵将真空室1内的真空度维持在8.0×10^-6Pa左右。

真空室1呈正四边形六面体结构，真空室1沿同一圆周均匀分布的四个面的分别设置有八个窗片接口(A-H)，分布圆周的圆心与真空室1的中心重合。

其中，第一窗片接口A与第六窗片接口F装有镀膜频率为866nm且反射率为99.95％的腔镜，第一窗片接口A的中心点与第六窗片接口F的中心点的连线所在直线为X轴，X轴正方向为第一窗片接口A的中心点至第六窗片接口F的中心点，即为入射光方向。

第二窗片接口B与第六窗片接口E装有镀膜频率为854nm且反射率为99.95％的腔镜，第二窗片接口B的中心点与第五窗片接口E的中心点的连线所在直线平行于X轴，第二窗片接口B的中心点至第五窗片接口E的中心点，即为入射光方向。

第三窗片接口C与第八窗片接口H装有镀膜频率为397nm且反射率为99.95％的腔镜，第三窗片接口C的中心点与第八窗片接口H的中心点的连线所在直线为Y轴，第三窗片接口 C的中心点至第八窗片接口H的中心点的方向为Y轴正方向，即为入射光方向，Y轴垂直于X轴。

第四窗片接口D与第七窗片接口G装有镀膜频率为397nm且反射率为99.95％的腔镜，第四窗片接口D的中心点与第七窗片接口G的中心点的连线平行于Y轴，即为入射光方向，且垂直于第二窗片接口B的中心点与第五窗片接口E的中心点的连线。

真空室1外的如图3中的一系列光路，以及相应锁频的电子器件：由反射镜HR、λ/2波片HWP、格兰泰勒棱镜GTP、电光调制器EOM、λ/4波片QWP、偏振分光棱镜PBS、光电探测器PD、摄像头CCD、射频源SG、混频器Mixer、低通滤波器LPF、基于PID的数字电路模块控制器Servo等元件的有机组合。

实施例2

利用实施例1所述的基于PDH方法多通道激光边带稳频系统，锁定854nm激光的方法如下：

步骤1、波长为854nm的激光经过法拉第隔离器、λ/2波片HWP1、偏振分光棱镜PBS1后选择水平偏振光，依次经过分光平片BS1、λ/4波片QWP1、λ/2波片HWP2、透镜L1、单模保偏光纤PMF、λ/4波片QWP2、格兰泰勒棱镜GTP；

步骤2、激光经过光纤耦合连续型电光调制器EOM(法国Ixblue公司)，由于所需锁定激光频率f与超稳腔匹配的激光频率ω之间的差值大于100MHz，在该方案中，选取与超稳腔匹配的激光频率ω＝350.86565THz，所需锁定频率为f＝350.86298THz，两者差值为Ω_m＝ω-f＝670MHz。首先将超稳腔匹配的激光频率ω(即载波频率)进行移频至所需锁定的频率f，即通过射频信号源SG1对EOM施加移频调制信号Ω_m(移频调制频率范围0-- GHz),对光纤型电光调制器进行频率为Ω_m的移频相位调制，产生一组边带ω±Ω_m，通过调节移频调制信号Ω_m振幅，可以使得ω±Ω_m的能量最大化，如图4。

由于与超稳腔共振的激光频率是特定的，通过调节激光频率至锁定频率f＝ω-Ω_m，此时锁定频率f与超稳腔共振，可以将其看作载波频率ω′，ω′＝f＝350.86298THz，接下来通过射频信号源SG2对EOM施加PDH调制信号δ_m，本方案选取δ_m＝25MHz，δ_m为调制频率(PDH调制频率0-50MHz)，如图5；

步骤3、然后经过一对反射镜HR1、HR2，透镜组L2、L3，一对反射镜HR3、HR4，λ/2 波片HWP3将相位调制后的激光偏振态作180°旋转后经偏振分束棱镜PBS2和λ/4波片 QWP3产生椭圆偏振光；

步骤4、最后经过一对反射镜HR5、HR6，从装有镀膜频率866nm且反射率为99.95％的平面腔镜4的第一窗片接口A垂直入射至超稳腔中，其中该对反射镜HR5、HR6用于调节激光的模式与超稳腔的模式匹配，激光与超稳腔的耦合情况如图6所示，耦合度达到50％以上；

步骤5、激光在超稳腔F-PCavity内多次往复反射，激光频率与超稳腔匹配的激光频率不一致时，激光会经装有镀膜频率866nm且反射率为99.95％的凹面腔镜5的第六窗片窗口F 反射，然后由装有有镀膜频率866nm且反射率为99.95％的平面腔镜4的第一窗片接口A透射出来，这部分带有频率抖动信息的激光，再次经过λ/4波片QWP3与偏振分光棱镜PBS2 的线偏振光经光电探测器PD1和混频器Mixer在δ_m处解调，通过调节移相器PS相位从而获得调制转移的色散信号，用作鉴频信号PDH信号，见图7，光电探测器PD2用来监测从装有反射凹面腔镜5的第六窗片窗口F透射的光电信号，CCD用来观察和检测激光模式；

步骤6、获得的调制转移的色散信号，经过低通带宽型滤波器LPF，传输至基于PID的数字电路模块控制器Servo，根据反馈信息与设定值的偏差不断调整激光器的驱动信号，从而抑制外界干扰，使激光频率在ω+Ω或ω-Ω处趋于稳定，本方案采用f＝ω-Ω_m，即激光稳定在f＝ω′＝350.86298THz,见图8(c、C)，从图中可以清晰地看到锁定后误差信号值为70mV，该值较小说明系统锁定后的稳定性很高，锁定时间长达12小时。

步骤7、如果稳定后的频率需要微调，可通过调节信号源的输出频率(在EOM的共振频率范围内)来实现，可以使得激光频率达到长期稳定。

实施例3

利用实施例1所述的基于PDH方法多通道激光边带稳频的装置，锁定397nm激光的方法如下：

步骤1、波长为397nm的激光经过法拉第隔离器IOS、λ/2波片HWP1、偏振分光棱镜PBS1后选择水平偏振光，依次经过分光平片BS1、λ/4波片QWP1、λ/2波片HWP2、透镜L1、单模保偏光纤PMF、λ/4波片QWP2、格兰泰勒棱镜GTP；

步骤2、受限于波长以及EOM的电子驱动器原因，500nm以下的EOM均为空间型，在该方案中，选取空间共振型电光调制器EOM(德国Qubig公司)。激光经过空间共振型电光调制器EOM，选取与超稳腔匹配的激光频率ω＝755.223820THz，所需锁定频率为f＝755.222800THz，两者差值为Ω_m＝ω-f＝1.02GHz。那么首先将超稳腔匹配的激光频率ω(即载波频率)进行移频至所需锁定频率f，即通过射频信号源SG1对EOM施加移频调制信号Ω_m(移频调制频率范围750—1.5GHz),对光纤型电光调制器进行频率为Ω_m的移频相位调制，产生一组边带ω±Ω_m，通过调节移频调制信号Ω_m振幅，可以使得ω±Ω_m的能量最大化。

由于与超稳腔共振的激光频率是特定的，通过调节激光频率至锁定频率f＝ω-Ω_m，此时锁定频率f与超稳腔共振，可以将其看作载波频率ω′，ω′＝f＝755.222800THz，接下来通过射频信号源SG2对EOM施加PDH调制信号δ_m，本方案选取δ_m＝13MHz，δ_m为调制频率(PDH调制频率0-50MHz)；

步骤3、然后经过一对反射镜HR1、HR2、透镜组L2、L3、一对反射镜HR3、HR4、λ/2 波片HWP3将相位调制后的激光偏振态作180°旋转后经偏振分束棱镜PBS2和λ/4波片 QWP3产生椭圆偏振光；

步骤4、最后经过一对反射镜HR5、HR6，从装有镀膜频率397nm且反射率为99.95％的平面腔镜4的第三窗片接口C垂直入射至超稳腔中，其中一该对反射镜HR5、HR6用于调节激光的模式与超稳腔的模式匹配，使耦合效率达到最大值；

步骤5、激光在超稳腔F-PCavity内多次往复反射，激光频率与超稳腔匹配的激光频率不一致时，激光会经装有镀膜频率397nm且反射率为99.95％的凹面腔镜5的第八窗片窗口H 反射，然后由装有反射率为99.95％的平面腔镜4的第三窗片接口C透射出来，这部分带有频率抖动信息的激光再次经过λ/4波片QWP3与偏振分光棱镜PBS2的线偏振光经光电探器 PD1和混频器在δ_m处解调，通过调节移相器相位从而获得调制转移的色散信号，用作鉴频信号(PDH信号)，光电探测器PD2用来监测从装有凹面腔镜5的第八窗片窗口H透射的光电信号，CCD用来观察和检测激光模式；

步骤6、获得的调制转移的色散信号，经过低通带宽型滤波器，传输至基于PID的数字电路模块控制器，根据反馈信息与设定值的偏差不断调整激光器的驱动信号，从而抑制外界干扰使激光频率在ω+Ω或ω-Ω处趋于稳定，本方案采用f＝ω-Ω_m，即激光稳定在 f＝ω′＝755.222800THz，锁定时间长达11小时。

步骤7、如果稳定后的频率需要微调，可通过调节信号源的输出频率(在EOM的共振频率范围内)来实现，可以使得激光频率达到长期稳定

上述实施例只是为了说明本实用新型的技术构思及特点，其目的是在于让本领域内的普通技术人员能够了解本实用新型的内容并据以实施，并不能以此限制本实用新型的保护范围。凡是根据本实用新型内容的实质所做出的等效的变化或修饰，都应涵盖在本实用新型的保护范围内。

Claims (10)

1.一种真空室，用于多通道激光边带稳频系统，所述真空的内部为超稳腔；其特征在于，所述真空室上沿圆周均匀分布偶数个窗片接口，所有窗片接口的中心点位于同一分布圆周；

偶数个窗片接口中的一半接口作为激光入射口，均设置有适用于入射且需要稳定频率的激光所相应波长的平面通光腔镜；

偶数个窗片接口中的另一半接口作为激光反射口，均设置有与入射接口对应频率且用于反射需要稳定频率的凹面通光腔镜。

2.如权利要求1所述的真空室，其特征在于，所述真空室的表面设置有第一CF40接口、第二CF40接口；第一CF40接口上装有射频馈通，与离子泵连接；第二CF40接口3装有射频馈通，用来与温度控制模块连接。

3.如权利要求1所述的真空室，其特征在于，所述真空室上沿圆周均匀分布八个窗片接口。

4.一种多通道激光边带稳频系统，其特征在于，包括：

真空室，所述真空室为权利要求1-3任一所述的真空室；

电光调制器，用于接收移频信号来调制激光频率，使得边带频率与超稳腔谐振；还用于接收PDH调制信号，对激光进行相位调制；

基于PID的数字电路模块控制器，用于接收调制转移的色散信号，以根据信号信息与设定值的偏差来调整激光器的驱动信号，来抑制激光器的频率波动，使其锁定在超稳腔上。

5.如权利要求4所述的多通道激光边带稳频系统，其特征在于，还包括：

第一射频信号源，用于对电光调制器施加移频信号Ω_m，对电光调制器进行频率为Ω_m的移频相位调制，产生一组边带ω±Ω_m，通过调节移频调制信号Ω_m振幅，使得ω±Ω_m的能量最大化；ω为超稳腔匹配的激光频率。

6.如权利要求5所述的多通道激光边带稳频系统，其特征在于，还包括第二射频信号源，用于对电光调制器施加PDH调制信号δ_m，δ_m为调制频率。

7.如权利要求6所述的多通道激光边带稳频系统，其特征在于，所述调制转移的色散信号由调制转移的色散信号组件所调制产生，所述调制转移的色散信号组件包括：

第三λ/4波片、第二偏振分光棱镜、第一光电探测器、混频器以及移相器；从真空室透射出来带有频率抖动信息的激光经过第三λ/4波片与第二偏振分光棱镜的线偏振光经第一光电探测器和混频器在δ_m处解调，通过调节移相器相位从而获得调制转移的色散信号。

8.如权利要求7所述的多通道激光边带稳频系统，其特征在于，还包括：

第一组件，所述第一组件包括法拉第隔离器、第一λ/2波片、第一偏振分光棱镜、第一分光平片、第一λ/4波片、第二λ/2波片、第一透镜、单模保偏光纤、第二λ/4波片、格兰泰勒棱镜；

激光经过法拉第隔离器和第一λ/2波片后选择水平偏振光，依次经过第一偏振分光棱镜、第一分光平片、第一λ/4波片、第二λ/2波片、透镜、单模保偏光纤、第二λ/4波片、格兰泰勒棱镜后再经过所述电光调制器。

9.如权利要求8所述的多通道激光边带稳频系统，其特征在于，还包括第二组件，所述第二组件包括第一对反射镜、透镜组、第二对反射镜、第三λ/2波片、第二偏振分束棱镜和第三λ/4波片；所述电光调制器出来激光经过第一对反射镜、透镜组、第二对反射镜、第三λ/2波片将相位调制后的激光偏振态作180°旋转后经第二偏振分束棱镜和第三λ/4波片产生椭圆偏振光。

10.如权利要求9所述的多通道激光边带稳频系统，其特征在于，还包括第三对反射镜，经第二偏振分束棱镜和第三λ/4波片产生圆偏振光经过第三对反射镜后，从真空室的激光入射口垂直入射至超稳腔中；所述第三对反射镜用于调节激光的模式与超稳腔的模式匹配。

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