CN213839393U - 一种大载荷低功耗磁悬浮隔振平台 - Google Patents
一种大载荷低功耗磁悬浮隔振平台 Download PDFInfo
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Abstract
本实用新型公开了一种大载荷低功耗磁悬浮隔振平台，包括盒体，多组所述盒体通过连接块固定连接，所述盒体的内底部固定安装有安装板，所述安装板的上端固定安装有下磁片，所述盒体的两侧壁对称开设有通孔，所述通孔内滑动安装有承接板，所述盒体的上端开设有避让孔，所述避让孔内设置有隔振板，所述隔振板的两侧分别与两组承接板固定连接，所述隔振板的底部固定安装有上磁片，所述安装板上固定安装有导向柱，所述导向柱的上端插接于套管内，所述盒体的外侧壁固定安装有阻尼缓冲器，所述阻尼缓冲器位于承接板下方。本实用新型既能够承载大质量的物体，又能在承载小质量物体时避免能源浪费。
Description
技术领域
本实用新型涉及磁悬浮隔振设备技术领域，具体为一种大载荷低功耗磁悬浮隔振平台。
背景技术
着半导体制造、超精密测量以及航天技术的不断发展和进步，隔振问题变得越来越重要。振动的来源复杂且随机性强，大部分振动干扰无法从源头消除，当控制精度接近极限水平时，系统的隔振性能将成为决定其最终性能的关键因素。以集成电路产业的核心设备--光刻机为例，它所能实现的特征尺寸直接决定了集成电路的性能极限。一方面，随着最小线宽的逐渐递减，系统对精度指标的要求更为苛刻，投影物镜等关键单元对环境振动也越来越敏感。另一方面，光刻机对产片率的极致追求迫使工件台的加速度进一步提高，产生的内部干扰越来越大，消除其影响也越来越难。以上这些需求使得基于机械弹簧和空气弹簧的传统接触式隔振技术难以满足要求。
磁悬浮隔振是一种利用电磁力实现悬浮与隔振的先进隔振技术，大大减少了金属颗粒与微小物质的来源，有利于维持高真空光刻环境，非常适用于超精密定位与隔振领域。然而，完全基于主动控制的磁悬浮隔振系统并不能直接应用在大型制造装备与精密测量仪器中，主要原因是隔振系统需要承载的质量大小不一，一般从几十公斤到数千公斤，对于承载的质量较小时，使用磁悬浮隔振往往会造成功耗的浪费，而现有的磁悬浮隔振设备大多没有多种隔振方式，因此要承载的质量大小不一，磁悬浮隔振设备也不同，现有的设备无法做到既能够承载大质量的物体，又能在承载小质量物体时避免能源浪费的功能，因此我们需要提出一种大载荷低功耗磁悬浮隔振平台。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种大载荷低功耗磁悬浮隔振平台，既能够承载大质量的物体，又能在承载小质量物体时避免能源浪费，以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种大载荷低功耗磁悬浮隔振平台，包括盒体，多组所述盒体通过连接块固定连接，所述盒体的内底部固定安装有安装板，所述安装板的上端固定安装有下磁片，所述盒体的两侧壁对称开设有通孔，所述通孔内滑动安装有承接板，所述盒体的上端开设有避让孔，所述避让孔内设置有隔振板，所述隔振板的两侧分别与两组承接板固定连接，所述隔振板的底部固定安装有上磁片，所述承接板上固定安装有套管，所述安装板上固定安装有导向柱，所述导向柱的上端插接于套管内，所述盒体的外侧壁固定安装有阻尼缓冲器，所述阻尼缓冲器位于承接板下方。
优选的，所述盒体的外侧壁固定安装有固定座，所述阻尼缓冲器固定安装于所述固定座上，所述阻尼缓冲器的上端固定安装有橡胶块，所述阻尼缓冲器对称设置有十组。
优选的，所述通孔的两侧均开设有滑槽，所述滑槽内固定安装有滑块，所述承接板固定安装于两组滑块之间。
优选的，所述套管的内顶部固定安装有弹簧，所述弹簧的一端固定安装有压块，所述压块位于导向柱的上端，所述套管对称设置有两组。
优选的，所述盒体的两侧均固定安装有两组插板，所述连接块上开设有插槽，所述插板插接固定于插槽内。
优选的，所述连接块上开设有螺纹孔，所述螺纹孔内设置有螺栓，所述插板开设有螺纹定位孔，所述螺栓的一端贯穿螺纹定位孔。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
1、本实用新型通过多组所述盒体通过连接块固定连接，所述盒体的内底部固定安装有下磁片，所述隔振板的底部固定安装有上磁片的设计，使得本装置可以多组磁悬浮隔振装置连接，在需要承载大质量物体时可以增加连接盒体的数量，从而达到大负载，同时需要承载小质量质量物体时可以减少连接盒体的数量，避免功耗、能源浪费；
2、本实用新型通过所述盒体的外侧壁固定安装有固定座，阻尼缓冲器固定安装于所述固定座上，所述阻尼缓冲器对称设置有十组所述阻尼缓冲器的上端固定安装有橡胶块的设计使得在不需要或无法使用磁悬浮隔振时，可以使用阻尼缓冲器对隔振板进行机械减振，进一步减少了装置的功耗，并且适用于多种场景。
附图说明
图1为本实用新型盒体的结构示意图；
图2为本实用新型连接块的示意图；
图3为本实用新型阻尼缓冲器的示意图
图4为本实用新型螺栓的示意图；
图5为本实用新型套管的示意图。
图中：1、盒体；2、连接块；3、安装板；4、下磁片；5、承接板；6、隔振板；7、上磁片；8、导向柱；9、套管；10、阻尼缓冲器；11、固定座；12、橡胶块；13、滑槽；14、滑块；15、插板；16、弹簧；17、压块；18、螺栓。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
请参阅图1-5，本实用新型提供一种技术方案：一种大载荷低功耗磁悬浮隔振平台，包括盒体1，多组盒体1通过连接块2固定连接，具体的，盒体1的两侧均固定安装有两组插板15，连接块2上开设有插槽，插板15插接固定于插槽内；连接块2上开设有螺纹孔，螺纹孔内设置有螺栓18，插板15开设有螺纹定位孔，螺栓18的一端贯穿螺纹定位孔
盒体1的内底部固定安装有安装板3，安装板3的上端固定安装有下磁片4，盒体1的两侧壁对称开设有通孔，通孔内滑动安装有承接板5，通孔的两侧均开设有滑槽13，滑槽13内固定安装有滑块14，承接板5固定安装于两组滑块14之间；
盒体1的上端开设有避让孔，避让孔内设置有隔振板6，隔振板6的两侧分别与两组承接板5固定连接，隔振板6的底部固定安装有上磁片7；
通过通电产生磁场对上磁片7和下磁片4进行充磁，据同性磁极相互排斥的原理，给下磁片4上下两部的线圈通入相反方向的电流，使得上磁片7和下磁片4之间产生相互排斥的电磁力，从而使上磁片7在排斥电磁力的作用下向上悬浮起来.
承接板5上固定安装有套管9，安装板3上固定安装有导向柱8，导向柱8的上端插接于套管9内；
通过套管9与导向柱8配合，使得隔振板6上下移动时不会错位，同时避免了隔振板6左右晃动。
进一步的，套管9的内顶部固定安装有弹簧16，弹簧16的一端固定安装有压块17，压块17位于导向柱8的上端，套管9对称设置有两组；
通过弹簧16减少在导向柱8上下运动时产生的力对隔振板6产生的影响，同时避免导向柱8与套管9的内顶碰撞。
盒体1的外侧壁固定安装有阻尼缓冲器10，盒体1的外侧壁固定安装有固定座11，阻尼缓冲器10固定安装于固定座11上，阻尼缓冲器10的上端固定安装有橡胶块12，阻尼缓冲器10对称设置有十组，阻尼缓冲器10位于承接板5下方。
工作原理：通过多组盒体1通过连接块2固定连接，盒体1的内底部固定安装有下磁片4，隔振板6的底部固定安装有上磁片7的设计，使得本装置可以多组磁悬浮隔振装置连接，在需要承载大质量物体时可以增加连接盒体1的数量，从而达到大负载，同时需要承载小质量质量物体时可以减少连接盒体1的数量，避免功耗、能源浪费；通过盒体1的外侧壁固定安装有固定座11，阻尼缓冲器10固定安装于固定座11上，阻尼缓冲器10对称设置有十组阻尼缓冲器10的上端固定安装有橡胶块12的设计使得在不需要或无法使用磁悬浮隔振时，可以使用阻尼缓冲器10对隔振板6进行机械减振，进一步减少了装置的功耗，并且适用于多种场景。
尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。
Claims (6)
1.一种大载荷低功耗磁悬浮隔振平台，包括盒体(1)，其特征在于：多组所述盒体(1)通过连接块(2)固定连接，所述盒体(1)的内底部固定安装有安装板(3)，所述安装板(3)的上端固定安装有下磁片(4)，所述盒体(1)的两侧壁对称开设有通孔，所述通孔内滑动安装有承接板(5)，所述盒体(1)的上端开设有避让孔，所述避让孔内设置有隔振板(6)，所述隔振板(6)的两侧分别与两组承接板(5)固定连接，所述隔振板(6)的底部固定安装有上磁片(7)，所述承接板(5)上固定安装有套管(9)，所述安装板(3)上固定安装有导向柱(8)，所述导向柱(8)的上端插接于套管(9)内，所述盒体(1)的外侧壁固定安装有阻尼缓冲器(10)，所述阻尼缓冲器(10)位于承接板(5)下方。
2.根据权利要求1所述的一种大载荷低功耗磁悬浮隔振平台，其特征在于：所述盒体(1)的外侧壁固定安装有固定座(11)，所述阻尼缓冲器(10)固定安装于所述固定座(11)上，所述阻尼缓冲器(10)的上端固定安装有橡胶块(12)，所述阻尼缓冲器(10)对称设置有十组。
3.根据权利要求1所述的一种大载荷低功耗磁悬浮隔振平台，其特征在于：所述通孔的两侧均开设有滑槽(13)，所述滑槽(13)内固定安装有滑块(14)，所述承接板(5)固定安装于两组滑块(14)之间。
4.根据权利要求1所述的一种大载荷低功耗磁悬浮隔振平台，其特征在于：所述套管(9)的内顶部固定安装有弹簧(16)，所述弹簧(16)的一端固定安装有压块(17)，所述压块(17)位于导向柱(8)的上端，所述套管(9)对称设置有两组。
5.根据权利要求1所述的一种大载荷低功耗磁悬浮隔振平台，其特征在于：所述盒体(1)的两侧均固定安装有两组插板(15)，所述连接块(2)上开设有插槽，所述插板(15)插接固定于插槽内。
6.根据权利要求5所述的一种大载荷低功耗磁悬浮隔振平台，其特征在于：所述连接块(2)上开设有螺纹孔，所述螺纹孔内设置有螺栓(18)，所述插板(15)开设有螺纹定位孔，所述螺栓(18)的一端贯穿螺纹定位孔。
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| CN202022684084.9U CN213839393U (zh) | 2020-11-18 | 2020-11-18 | 一种大载荷低功耗磁悬浮隔振平台 |
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| CN202022684084.9U CN213839393U (zh) | 2020-11-18 | 2020-11-18 | 一种大载荷低功耗磁悬浮隔振平台 |
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| CN (1) | CN213839393U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN114110084A (zh) * | 2021-10-22 | 2022-03-01 | 扬州通测联感传感科技有限公司 | 一种控制型磁悬浮隔振平台 |
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2020
- 2020-11-18 CN CN202022684084.9U patent/CN213839393U/zh active Active
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| CN114110084A (zh) * | 2021-10-22 | 2022-03-01 | 扬州通测联感传感科技有限公司 | 一种控制型磁悬浮隔振平台 |
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