CN213739256U - 一种薄膜亚胺化炉 - Google Patents

Abstract

本申请提供了一种薄膜亚胺化炉，属于聚酰亚胺薄膜生产技术领域。薄膜亚胺化炉包括炉体、传送机构、多个第一加热件和多个第二加热件。炉体具有加热腔，传送机构设置于加热腔内，传送机构用于带动薄膜沿前后方向移动。多个第一加热件位于传送机构的上方且沿左右方向间隔布置于加热腔内，第一加热件可拆卸地连接于炉体。多个第二加热件位于传送机构的下方且沿左右方向间隔布置于加热腔内，第二加热件可拆卸地连接于炉体。采用这种结构的薄膜亚胺化炉解决了薄膜在左右方向上受热不均匀的现象，从而保证了薄膜平面内的温度均匀性，进而避免了薄膜在亚胺化后的性能差异较大，以使薄膜的质量受到影响。

Description

一种薄膜亚胺化炉

技术领域

本申请涉及聚酰亚胺薄膜生产技术领域，具体而言，涉及一种薄膜亚胺化炉。

背景技术

聚酰亚胺薄膜是一种新型的耐高温绝缘有机聚合物薄膜，现在已广泛应用于航空、航海、电子电器工业等各个领域，在聚酰亚胺薄膜的生产过程中需要对其进行亚胺化处理。聚酰亚胺薄膜的亚胺化可以采用化学或热固化两种方式进行处理，目前国内主要采用电加热对聚酰亚胺薄膜进行亚胺化，加热的温度直接决定了聚酰亚胺薄膜亚胺化的程度。但是，在实际生产过程中，现有的薄膜加热装置对聚酰亚胺薄膜进行加热时常常出现薄膜受热不均匀的现象，进而导致薄膜的性能差异较大，影响质量。

实用新型内容

本申请实施例提供一种薄膜亚胺化炉，以改善现有的薄膜亚胺化装置在对薄膜进行加热处理时薄膜受热不均匀的问题。

第一方面，本申请实施例提供一种薄膜亚胺化炉，包括炉体、传送机构、多个第一加热件和多个第二加热件；所述炉体具有加热腔；所述传送机构设置于所述加热腔内，所述传送机构用于带动所述薄膜沿前后方向移动；所述多个第一加热件位于所述传送机构的上方且沿左右方向间隔布置于所述加热腔内，所述第一加热件可拆卸地连接于所述炉体；所述多个第二加热件位于所述传送机构的下方且沿所述左右方向间隔布置于所述加热腔内，所述第二加热件可拆卸地连接于所述炉体。

在上述技术方案中，炉体的加热腔内设置有用于移送薄膜的传送机构，且在传送机构的上下两侧分别设置有多个第一加热件和多个第二加热件，通过将多个第一加热件和多个第二加热件均沿左右方向间隔布置，即沿垂直于薄膜移送方向的方向间隔布置，以解决薄膜在左右方向上受热不均匀的现象。此外，第一加热件和第二加热件均可拆卸地连接于炉体，使得第一加热件和第二加热件能够根据实际加工情况进行位置调整，以改变薄膜在左右方向上的第一加热件和第二加热件的数量，从而改变第一加热件和第二加热件在左右方向上的疏密程度，以保证薄膜平面内的温度均匀性，进而避免了薄膜在亚胺化后的性能差异较大，以使薄膜的质量受到影响。

另外，本申请实施例提供的薄膜亚胺化炉还具有如下附加的技术特征：

在一些实施例中，所述第一加热件的延伸方向与所述前后方向所呈夹角为0-45度；和/或所述第二加热件的延伸方向与所述前后方向所呈夹角为0-45度。

在上述技术方案中，通过将第一加热件和第二加热件进行倾斜设置，以使第一加热件和第二加热件均与前后方向存在一定的夹角，也就是说，第一加热件和第二加热件均与薄膜的移送方向呈一定的夹角设置，从而避免了薄膜在亚胺化处理后出现纵向条纹，进而影响薄膜的质量。

在一些实施例中，所述薄膜亚胺化炉还包括第一安装架和第二安装架；所述加热腔在上下方向上具有相对的上腔壁和下腔壁；所述第一安装架连接于所述上腔壁，所述第一加热件可拆卸地连接于所述第一安装架；所述第二安装架连接于所述下腔壁，所述第二加热件可拆卸地连接于所述第二安装架，所述传送机构安装于所述第二安装架上。

在上述技术方案中，第一加热件通过第一安装架安装在加热腔的上腔壁上，且第二加热件通过第二安装架安装在加热腔的下腔壁上，从而避免了将第一加热件和第二加热件直接安装于炉体上，采用这种结构的薄膜亚胺化炉在对第一加热件和第二加热件进行安装时更加方便，且便于后期对第一加热件和第二加热件进行维修和更换。

在一些实施例中，所述第一安装架可拆卸地连接于所述上腔壁；和/或所述第二安装架可拆卸地连接于所述下腔壁。

在上述技术方案中，采用可拆卸的连接方式将第一安装架和第二安装架分别连接于上腔壁和下腔壁，从而实现了第一安装架和第二安装架的快速拆卸和安装，使得在第一安装架或第二安装架出现严重磨损或损坏时只需对第一安装架或第二安装架进行更换或维修即可，方便快捷，进而降低了薄膜的生产成本。

在一些实施例中，所述薄膜亚胺化炉还包括多个第一导电组件；所述第一导电组件包括第一柔性导电件和第一刚性导电件，所述第一柔性导电件与所述第一刚性导电件电连接；所述第一柔性导电件与至少一个所述第一加热件电连接；所述第一刚性导电件固定于所述炉体，所述第一刚性导电件用于外接电源。

在上述技术方案中，薄膜亚胺化炉设置有多个第一导电组件，且每个第一导电组件与至少一个第一加热件电连接，以将第一加热件与电源进行导通，从而实现了不同区域的第一加热件的独立控温功能，进而能够对不同区域的第一加热件设置不同的功率，进一步保证了薄膜平面内的温度均匀性。其中，第一导电组件包括第一柔性导电件和第一刚性导电件，第一柔性导电件与至少一个第一加热件电连接，从而使得第一柔性导电件能够配合第一加热件进行位置调整，以使第一加热件在进行位置调整时不受第一柔性导向件的影响。此外，采用这种第一柔性导电件和第一刚性导电件配合使用的结构，比如，导线和导电棒，降低了设备的配件成本，从而降低了薄膜的生产成本。且由于第一柔性导电件的绝缘层存在空气间隙，在长距离铺设后间隙位置处存在触电风险，从而采用第一刚性导电件进行长距离铺设并导出炉体进行外接电源的结构降低了人员触电风险，保障了作业人员的安全。

在一些实施例中，所述薄膜亚胺化炉还包括多个第二导电组件；所述第二导电组件包括第二柔性导电件和第二刚性导电件，所述第二柔性导电件与所述第二刚性导电件电连接；所述第二柔性导电件与至少一个所述第二加热件电连接；所述第二刚性导电件固定于所述炉体，所述第二刚性导电件用于外接电源。

在上述技术方案中，薄膜亚胺化炉设置有多个第二导电组件，且每个第二导电组件与至少一个第二加热件电连接，以将第二加热件与电源进行导通，从而实现了不同区域的第二加热件的独立控温功能，进而能够对不同区域的第二加热件设置不同的功率，进一步保证了薄膜平面内的温度均匀性。其中，第二导电组件包括第二柔性导电件和第二刚性导电件，第二柔性导电件与至少一个第二加热件电连接，从而使得第二柔性导电件能够配合第二加热件进行位置调整，以使第二加热件在进行位置调整时不受第二柔性导向件的影响。此外，采用这种第二柔性导电件和第二刚性导电件配合使用的结构，比如，导线和导电棒，降低了设备的配件成本，从而降低了薄膜的生产成本。且由于第二柔性导电件的绝缘层存在空气间隙，在长距离铺设后间隙位置处存在触电风险，从而采用第二刚性导电件进行长距离铺设并导出炉体进行外接电源的结构降低了人员触电风险，保障了作业人员的安全。

在一些实施例中，所述薄膜亚胺化炉还包括测温组件；所述测温组件安装于所述炉体，所述测温组件用于测量所述加热腔内的温度。

在上述技术方案中，薄膜亚胺化炉还设置有测温组件，通过在炉体上设置测温组件，以便于对加热腔内的加热温度进行实时监控，从而能够实时监控薄膜的实际加热温度，且能够根据加工需求进行温度调整，进而保障了薄膜的亚胺化程度和加工质量。

在一些实施例中，所述测温组件包括多个测温元件；所述多个测温元件沿所述左右方向间隔布置于所述加热腔内，所述测温元件具有检测端，所述检测端位于所述多个第一加热件与所述多个第二加热件之间。

在上述技术方案中，测温组件设置有多个测温元件，通过将多个测温元件沿左右方向间隔布置，且将测温元件的检测端延伸至多个第一加热件与多个第二加热件之间，以实现薄膜平面内的多个测温点，从而实现薄膜平面内的多区域温度检测，使得作业人员能够根据温度检测结果对第一加热件或第二加热件进行位置调整或功率调整，以保证薄膜在左右方向上的温度一致，进而避免薄膜出现受热不均匀的现象。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本申请的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。

图1为本申请实施例提供的薄膜亚胺化炉的结构示意图；

图2为图1所示的薄膜亚胺化炉的剖视图；

图3为图1所示的薄膜亚胺化炉的第一加热件的俯视图。

图标：100-薄膜亚胺化炉；10-炉体；11-加热腔；111-上腔壁；112-下腔壁；12-进料口；13-出料口；20-传送机构；21-第一传送带；22-第二传送带；30-第一加热件；40-第二加热件；50-第一安装架；51-第一电缆槽；60-第二安装架；61-第二电缆槽；70-第一导电组件；71-第一柔性导电件；72-第一刚性导电件；80-第二导电组件；81-第二柔性导电件；82-第二刚性导电件；90-测温组件；91-测温元件；911-检测端；A-前后方向；B-左右方向；C-上下方向。

具体实施方式

为使本申请实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本申请实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。

因此，以下对在附图中提供的本申请的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本申请的范围，而是仅仅表示本申请的选定实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。

应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。

在本申请实施例的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“前”、“后”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该申请产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，或者是本领域技术人员惯常理解的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

实施例

本申请实施例提供一种薄膜亚胺化炉100，其能够改善现有的薄膜亚胺化装置在对薄膜进行加热处理时容易造成薄膜受热不均匀的现象，从而导致薄膜的性能差异较大的问题，以下结合附图对薄膜亚胺化炉100的具体结构进行详细阐述。

结合图1和图2所示，薄膜亚胺化炉100包括炉体10、传送机构20、多个第一加热件30和多个第二加热件40。炉体10具有加热腔11，传送机构20设置于加热腔11内，传送机构20用于带动薄膜沿前后方向A移动。多个第一加热件30位于传送机构20的上方且沿左右方向B间隔布置于加热腔11内，第一加热件30可拆卸地连接于炉体10。多个第二加热件40位于传送机构20的下方且沿左右方向B间隔布置于加热腔11内，第二加热件40可拆卸地连接于炉体10。

炉体10的加热腔11内设置有用于移送薄膜的传送机构20，且在传送机构20的上下两侧分别设置有多个第一加热件30和多个第二加热件40，通过将多个第一加热件30和多个第二加热件40均沿左右方向B间隔布置，即沿垂直于薄膜移送方向的方向间隔布置，以解决薄膜在左右方向B上受热不均匀的现象。此外，第一加热件30和第二加热件40均可拆卸地连接于炉体10，使得第一加热件30和第二加热件40能够根据实际加工情况进行位置调整，以改变薄膜在左右方向B上的第一加热件30和第二加热件40的数量，从而改变第一加热件30和第二加热件40在左右方向B上的疏密程度，以保证薄膜平面内的温度均匀性，进而避免了薄膜在亚胺化后的性能差异较大，以使薄膜的质量受到影响。

其中，炉体10在前后方向A上具有相对的进料口12和出料口13，出料口13和进料口12均与加热腔11连通，传送机构20用于将薄膜从进料口12移送至出料口13。

本实施例中，如图2所示，薄膜亚胺化炉100还包括第一安装架50和第二安装架60。加热腔11在上下方向C上具有相对的上腔壁111和下腔壁112。第一安装架50悬挂于上腔壁111，第一加热件30可拆卸地连接于第一安装架50。第二安装架60连接于下腔壁112，第二加热件40可拆卸地连接于第二安装架60，传送机构20安装于第二安装架60上。

第一加热件30通过第一安装架50安装在加热腔11的上腔壁111上，且第二加热件40通过第二安装架60安装在加热腔11的下腔壁112上，从而避免了将第一加热件30和第二加热件40直接安装于炉体10上，采用这种结构的薄膜亚胺化炉100在对第一加热件30和第二加热件40进行安装时更加方便，且便于后期对第一加热件30和第二加热件40进行维修和更换。

示例性的，第一加热件30通过螺栓螺接的方式可拆卸地连接于第一安装架50，第二加热件40也通过螺栓螺接的方式可拆卸地连接于第二安装架60。在其他实施例中，第一加热件30和第二加热件40也可以通过其他可拆卸的方式分别连接于第一安装架50和第二安装架60，比如，第一加热件30通过卡接、扣接等方式可拆卸地连接于第一安装架50，第二加热件40通过卡接、扣接等方式可拆卸地连接于第二安装架60。

进一步地，第一安装架50可拆卸地连接于上腔壁111，第二安装架60可拆卸地连接于下腔壁112。采用可拆卸的连接方式将第一安装架50和第二安装架60分别连接于上腔壁111和下腔壁112，从而实现了第一安装架50和第二安装架60的快速拆卸和安装，使得在第一安装架50或第二安装架60出现严重磨损或损坏时只需对第一安装架50或第二安装架60进行更换或维修即可，方便快捷，进而降低了薄膜的生产成本。

其中，第一安装架50通过螺栓螺接于上腔壁111，第二安装架60通过螺栓螺接于下腔壁112。在其他实施例中，第一安装架50和第二安装架60也可以通过其他可拆卸的方式分别连接于上腔壁111和下腔壁112，比如，第一安装架50通过卡接、扣接等方式可拆卸地连接于上腔壁111，第二安装架60通过卡接、扣接等方式可拆卸地连接于下腔壁112。

可选地，传送机构20包括第一传送带21、第二传送带22、第一夹持件和第二夹持件。第一传送带21和第二传送带22均安装于第二安装架60上，第一传送带21和第二传送带22分别布置于薄膜在左右方向B上的两侧。第一夹持件设置于第一传送带21上，第一夹持件用于夹持薄膜在左右方向B上的一侧，第一传送带21用于驱动第一夹持件沿前后方向A移动。第二夹持件设置于第二传送带22上，第二夹持件用于夹持薄膜在左右方向B上的另一侧，第二传送带22用于驱动第二夹持件沿前后方向A移动，以实现传送机构20将薄膜从进料口12移送至出料口13。第一传送带21、第二传送带22、第一夹持件和第二夹持件的具体结构可参照相关现有技术，在此不再赘述。

本实施例中，第一加热件30的延伸方向与前后方向A所呈夹角为0-45度。第二加热件40的延伸方向与前后方向A所呈夹角为0-45度。

通过将第一加热件30和第二加热件40进行倾斜设置，以使第一加热件30和第二加热件40均与前后方向A存在一定的夹角，也就是说，第一加热件30和第二加热件40均与薄膜的移送方向呈一定的夹角设置，从而避免了薄膜在亚胺化处理后出现纵向条纹，进而影响薄膜的质量。

其中，第一加热件30的延伸方向与前后方向A所呈夹角为0-45度，其包括0度和45度。示例性的，结合图2和图3所示，在第一加热件30的延伸方向与前后方向A的夹角设置为0度时，多个第一加热件30对薄膜的加热效果最佳，使得薄膜在左右方向B上的温度均匀性最高；在第一加热件30的延伸方向与前后方向A的夹角设置为非0度且小于等于45度时，多个第一加热件30对薄膜进行加热处理时不会在薄膜上出现纵向条纹。

同样的，第二加热件40的延伸方向与前后方向A所呈夹角为0-45度，其包括0度和45度。示例性的，结合图2和图3所示，在第二加热件40的延伸方向与前后方向A的夹角设置为0度时，多个第二加热件40对薄膜的加热效果最佳，使得薄膜在左右方向B上的温度均匀性最高；在第二加热件40的延伸方向与前后方向A的夹角设置为非0度且小于等于45度时，多个第二加热件40对薄膜进行加热处理时不会在薄膜上出现纵向条纹。

示例性的，第一加热件30和第二加热件40均为电加热管。在其他实施例中，第一加热件30和第二加热件40也可以均为电加热丝、电加热带或电加热板等。

需要说明的是，如图3所示，多个第一加热件30沿左右方向B间隔布置的方式为每个第一加热件30在沿左右方向B移动一定的距离后所在的位置即为与其相邻的第一加热件30所在的位置，因此，多个第一加热件30沿左右方向B间隔布置形式与第一加热件30与前后方向A的夹角大小无关。同样的，多个第一加热件30沿左右方向B间隔布置的方式为每个第一加热件30在沿左右方向B移动一定的距离后所在的位置即为与其相邻的第一加热件30所在的位置，因此，多个第一加热件30沿左右方向B间隔布置形式与第一加热件30与前后方向A的夹角大小无关。

本实施例中，结合图1和图2所示，薄膜亚胺化炉100还包括多个第一导电组件70。第一导电组件70包括第一柔性导电件71和第一刚性导电件72，第一柔性导电件71与第一刚性导电件72电连接。第一柔性导电件71与至少一个第一加热件30电连接。第一刚性导电件72固定于炉体10并穿出炉体10外，第一刚性导电件72用于外接电源。

薄膜亚胺化炉100设置有多个第一导电组件70，且每个第一导电组件70与至少一个第一加热件30电连接，以将第一加热件30与电源进行导通，从而实现了不同区域的第一加热件30的独立控温功能，进而能够对不同区域的第一加热件30设置不同的功率，进一步保证了薄膜平面内的温度均匀性。

其中，第一导电组件70包括第一柔性导电件71和第一刚性导电件72，第一柔性导电件71与至少一个第一加热件30电连接，从而使得第一柔性导电件71能够配合第一加热件30进行位置调整，以使第一加热件30在进行位置调整时不受第一柔性导向件的影响。

示例性的，第一柔性导电件71为采用耐高温导电材料和耐高温抗腐蚀绝缘材料加工而成的软导线，第一刚性导电件72为采用耐高温抗腐蚀导电材料加工而成的导电棒。采用这种第一柔性导电件71和第一刚性导电件72配合使用的结构降低了设备的配件成本，从而降低了薄膜的生产成本。且由于第一柔性导电件71的绝缘层存在空气间隙，在长距离铺设后间隙位置处存在触电风险，从而采用第一刚性导电件72进行长距离铺设并导出炉体10进行外接电源的结构降低了人员触电风险，保障了作业人员的安全。

示例性的，如图2所示，每个第一柔性导电件71可以与三个第一加热件30电连接，也可以跟其他数量的第一加热件30电连接，比如，两个、四个、五个等。

进一步地，结合图1和图2所示，薄膜亚胺化炉100还包括多个第二导电组件80。第二导电组件80包括第二柔性导电件81和第二刚性导电件82，第二柔性导电件81与第二刚性导电件82电连接。第二柔性导电件81与至少一个第二加热件40电连接。第二刚性导电件82固定于炉体10并穿出炉体10外，第二刚性导电件82用于外接电源。

薄膜亚胺化炉100设置有多个第二导电组件80，且每个第二导电组件80与至少一个第二加热件40电连接，以将第二加热件40与电源进行导通，从而实现了不同区域的第二加热件40的独立控温功能，进而能够对不同区域的第二加热件40设置不同的功率，进一步保证了薄膜平面内的温度均匀性。

其中，第二导电组件80包括第二柔性导电件81和第二刚性导电件82，第二柔性导电件81与至少一个第二加热件40电连接，从而使得第二柔性导电件81能够配合第二加热件40进行位置调整，以使第二加热件40在进行位置调整时不受第二柔性导向件的影响。

示例性的，第二柔性导电件81也为采用耐高温导电材料和耐高温抗腐蚀绝缘材料加工而成的软导线，第二刚性导电件82也为采用耐高温抗腐蚀导电材料加工而成的导电棒。采用这种第二柔性导电件81和第二刚性导电件82配合使用的结构降低了设备的配件成本，从而降低了薄膜的生产成本。且由于第二柔性导电件81的绝缘层存在空气间隙，在长距离铺设后间隙位置处存在触电风险，从而采用第二刚性导电件82进行长距离铺设并导出炉体10进行外接电源的结构降低了人员触电风险，保障了作业人员的安全。

示例性的，如图2所示，每个第二柔性导电件81可以与三个第二加热件40电连接，也可以跟其他数量的第二加热件40电连接，比如，两个、四个、五个等。

需要说明的是，软导线和导电棒均设置有零线和火线，零线和火线分别连接于第一加热件30的负极端和第一加热件30的正极端。

可选地，继续参考图2所示，第一安装架50上具有第一电缆槽51，多个第一刚性导电件72均设置于第一电缆槽51内。第二安装架60上具有第二电缆槽61，多个第二刚性导电件82均设置于第二电缆槽61内。采用这种结构的第一安装架50和第二安装架60，以对第一刚性导电件72和第二刚性导电件82起到收纳作用，便于安装和后期的维护工作，且采用这种结构提高了设备的安全性，降低了漏电风险。

本实施例中，结合图1和图2所示，薄膜亚胺化炉100还包括测温组件90。测温组件90安装于炉体10，测温组件90用于测量加热腔11内的温度。通过在炉体10上设置测温组件90，以便于对加热腔11内的加热温度进行实时监控，从而能够实时监控薄膜的实际加热温度，且能够根据加工需求进行温度调整，进而保障了薄膜的亚胺化程度和加工质量。

其中，测温组件90包括多个测温元件91，多个测温元件91沿左右方向B间隔布置于加热腔11内，测温元件91固设于炉体10上，且测温元件91具有检测端911，检测端911位于多个第一加热件30与多个第二加热件40之间。

通过将多个测温元件91沿左右方向B间隔布置，且将测温元件91的检测端911延伸至多个第一加热件30与多个第二加热件40之间，以实现薄膜平面内的多个测温点，从而实现薄膜平面内的多区域温度检测，使得作业人员能够根据温度检测结果对第一加热件30或第二加热件40进行位置调整或功率调整，以保证薄膜在左右方向B上的温度一致，进而避免薄膜出现受热不均匀的现象。

测温元件91的数量可以为两个、三个、四个、五个等，示例性的，如图2所示，本实施例中的测温元件91的数量为七个。

示例性的，测温元件91为热电偶。

以上仅为本申请的优选实施例而已，并不用于限制本申请，对于本领域的技术人员来说，本申请可以有各种更改和变化。凡在本申请的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本申请的保护范围之内。

Claims (8)

1.一种薄膜亚胺化炉，其特征在于，包括：

炉体，所述炉体具有加热腔；

传送机构，所述传送机构设置于所述加热腔内，所述传送机构用于带动所述薄膜沿前后方向移动；

多个第一加热件，所述多个第一加热件位于所述传送机构的上方且沿左右方向间隔布置于所述加热腔内，所述第一加热件可拆卸地连接于所述炉体；以及

多个第二加热件，所述多个第二加热件位于所述传送机构的下方且沿所述左右方向间隔布置于所述加热腔内，所述第二加热件可拆卸地连接于所述炉体。

2.根据权利要求1所述的薄膜亚胺化炉，其特征在于，所述第一加热件的延伸方向与所述前后方向所呈夹角为0-45度；和/或

所述第二加热件的延伸方向与所述前后方向所呈夹角为0-45度。

3.根据权利要求1所述的薄膜亚胺化炉，其特征在于，所述薄膜亚胺化炉还包括第一安装架和第二安装架；

所述加热腔在上下方向上具有相对的上腔壁和下腔壁；

所述第一安装架连接于所述上腔壁，所述第一加热件可拆卸地连接于所述第一安装架；

所述第二安装架连接于所述下腔壁，所述第二加热件可拆卸地连接于所述第二安装架，所述传送机构安装于所述第二安装架上。

4.根据权利要求3所述的薄膜亚胺化炉，其特征在于，所述第一安装架可拆卸地连接于所述上腔壁；和/或

所述第二安装架可拆卸地连接于所述下腔壁。

5.根据权利要求1-4任一项所述的薄膜亚胺化炉，其特征在于，所述薄膜亚胺化炉还包括多个第一导电组件；

所述第一导电组件包括第一柔性导电件和第一刚性导电件，所述第一柔性导电件与所述第一刚性导电件电连接；

所述第一柔性导电件与至少一个所述第一加热件电连接；

所述第一刚性导电件固定于所述炉体，所述第一刚性导电件用于外接电源。

6.根据权利要求1-4任一项所述的薄膜亚胺化炉，其特征在于，所述薄膜亚胺化炉还包括多个第二导电组件；

所述第二导电组件包括第二柔性导电件和第二刚性导电件，所述第二柔性导电件与所述第二刚性导电件电连接；

所述第二柔性导电件与至少一个所述第二加热件电连接；

所述第二刚性导电件固定于所述炉体，所述第二刚性导电件用于外接电源。

7.根据权利要求1所述的薄膜亚胺化炉，其特征在于，所述薄膜亚胺化炉还包括测温组件；

所述测温组件安装于所述炉体，所述测温组件用于测量所述加热腔内的温度。

8.根据权利要求7所述的薄膜亚胺化炉，其特征在于，所述测温组件包括多个测温元件；

所述多个测温元件沿所述左右方向间隔布置于所述加热腔内，所述测温元件具有检测端，所述检测端位于所述多个第一加热件与所述多个第二加热件之间。

Images