CN213728327U - 一种提高硅片炉管清洗能力的清洗装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种提高硅片炉管清洗能力的清洗装置，包括工作台，所述工作台的顶端表面设置有固定架，两个所述固定架之间贯通安装有旋转轴，且旋转轴与固定架的相交处设置有齿轮，所述旋转轴的表面一侧设置有套筒，所述套筒的内部设置有第一阻尼弹簧。本实用新型中，旋转轴的表面设置有套筒，套筒的内部设置有第一阻尼弹簧，套筒的顶端表面贯通设置有限位杆，且限位杆的表面套接有第二阻尼弹簧，限位杆的两端端部设置有限位块，在限位块的顶端表面设置有毛刷，利用第一阻尼弹簧和第二阻尼弹簧的弹性作用，使得毛刷与旋转轴之间的距离能够调节，从而实现了对不同孔径炉管的清洗需要，极大的提高了清洗装置的实用性。

Description

一种提高硅片炉管清洗能力的清洗装置

技术领域

本实用新型涉及清洗装置技术领域，尤其涉及一种提高硅片炉管清洗能力的清洗装置。

背景技术

炉管是用于晶片扩散，使用时需将装有晶片的石英舟一起放进炉管内，若炉管内不干净会影响晶片的lifetime,STIR等参数。因此，定期清洗炉管，保证炉管的清洁度，对晶片的电性和平坦度性能有很大的帮助。

而现有的管道清洗装置一般都是采用单一的先化学剥离Coating的Poly层，再大水流冲洗的办法，虽然清洗效果不错，但工作效率太低，现有的管道清洗装置存在一定程度的不足，比如大多数的炉管清洗装置无法适用于不同孔径的管体，在清洗不同孔径的管体时，需要更换不同的清洗头，使用较为不便，适用性较差，且造成着炉管清洗的人工和机械成本大大增加，实用性不强。

针对相关技术中的问题，目前尚未提出有效的解决方案。

实用新型内容

（一）解决的技术问题

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种提高硅片炉管清洗能力的清洗装置，具备能够根据实际的炉管管道孔径的大小调节清洗头的尺寸，适用于多种不同孔径的炉管，具有清洗效率高，清洗效果好的优点，进而解决上述背景技术中的问题。

（二）技术方案

为实现上述的优点，本实用新型采用的具体技术方案如下：

一种提高硅片炉管清洗能力的清洗装置，包括工作台，所述工作台的顶端表面设置有固定架，两个所述固定架之间贯通安装有旋转轴，且旋转轴与固定架的相交处设置有齿轮，所述旋转轴的表面一侧设置有套筒，所述套筒的内部设置有第一阻尼弹簧，所述套筒的顶端表面贯通设置有限位杆，且限位杆的表面套接有第二阻尼弹簧，所述限位杆的两端端部均设置有限位块，两个所述限位块的顶端表面设置有毛刷，所述旋转轴的表面设置有从动齿轮，所述从动齿轮和主动齿轮啮合连接，所述主动齿轮安装在齿轮电机的输出端上，所述旋转轴的端部安装有喷水嘴，所述旋转轴的内部贯通开设有喷水腔，所述旋转轴的另一端通过连接法兰与管道相连接，所述管道的另一端与增压泵相连接，所述增压泵通过管道与水箱相连接。

进一步的，所述工作台的内腔中安装有丝杆，且丝杆的端部通过联轴器安装有驱动电机，所述丝杆的表面通过螺纹螺旋安装有螺纹座，所述螺纹座的顶端表面设置有固定座，所述固定座的顶端表面设置有夹持机构。

进一步的，所述夹持机构是由液压气缸、辅助杆、夹具组成，所述固定座的内腔中安装有液压气缸，所述液压气缸的端部两侧安装有夹具，所述夹具的一侧通过转轴安装有辅助杆，所述辅助杆的另一端通过转轴与固定座转动连接。

进一步的，所述工作台的顶端表面设置有废水收集槽，所述废水收集槽的中部通过管道与水箱相连接。

进一步的，所述水箱的内部倾斜设置有滤网，所述水箱的一侧贯通设置有排渣口，且排渣口处安装有电动蝶阀。

进一步的，所述工作台的底端表面设置有支撑架，且支撑架设置有多个，并且多个支撑架等距离安装在工作台底端表面的四个拐角处，所述支撑架的底端表面安装有万向轮。

进一步的，所述工作台的顶端表面设置有控制器。

（三）有益效果

与现有技术相比，本实用新型提供了一种提高硅片炉管清洗能力的清洗装置，具备以下有益效果：

（1）、本实用新型中，旋转轴的表面设置有套筒，套筒的内部设置有第一阻尼弹簧，套筒的顶端表面贯通设置有限位杆，且限位杆的表面套接有第二阻尼弹簧，限位杆的两端端部设置有限位块，在限位块的顶端表面设置有毛刷，利用第一阻尼弹簧和第二阻尼弹簧的弹性作用，使得毛刷与旋转轴之间的距离能够调节，从而实现了对不同孔径炉管的清洗需要，极大的提高了清洗装置的实用性。

（2）、本实用新型中，工作台的内腔中安装有丝杆，且丝杆的端部通过联轴器安装有驱动电机，丝杆的表面通过螺纹螺旋安装有螺纹座，螺纹座的顶端表面设置有固定座，固定座的顶端表面设置有夹持机构，通过夹持机构对炉管管道进行夹持，之后驱动电机带动丝杆转动，使得螺纹座沿着丝杆方向循环运动，从而使得炉管管道前进或者后退，往复进行清洗，清洗效果好，极大的提高了清洗质量。

（3）、本实用新型中，工作台的顶端表面设置有废水收集槽，废水收集槽的中部通过管道与水箱相连接，水箱的内部倾斜设置有滤网，通过设置废水收集槽，从而对清洗时所产生的污水进行收集，之后污水进行水箱，在滤网的作用下，对污水中的杂质进行过滤，进而可以对污水进行重复利用，极大提高了水的利用率，节省水资源。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是根据本实用新型实施例的一种提高硅片炉管清洗能力的清洗装置的结构示意图；

图2是根据本实用新型实施例的一种提高硅片炉管清洗能力的清洗装置的A处结构示意图；

图3是根据本实用新型实施例的一种提高硅片炉管清洗能力的清洗装置的夹持机构结构示意图。

图中：

1、工作台；2、固定架；3、旋转轴；4、控制器；5、喷水嘴；6、套筒；7、第一阻尼弹簧；8、限位块；9、第二阻尼弹簧；10、限位杆；11、毛刷；12、从动齿轮；13、主动齿轮；14、齿轮电机；15、增压泵；16、水箱；17、丝杆；18、驱动电机；19、螺纹座；20、固定座；21、液压气缸；22、辅助杆；23、夹持机构；24、夹具；25、废水收集槽；26、滤网；27、排渣口；28、支撑架；29、万向轮。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制；术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性；此外，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

根据本实用新型的实施例，提供了一种提高硅片炉管清洗能力的清洗装置。

现结合附图和具体实施方式对本实用新型进一步说明，如图1-3所示，根据本实用新型实施例的一种提高硅片炉管清洗能力的清洗装置，包括工作台1，工作台1的顶端表面设置有固定架2，两个固定架2之间贯通安装有旋转轴3，且旋转轴3与固定架2的相交处设置有齿轮，旋转轴3的表面一侧设置有套筒6，套筒6的内部设置有第一阻尼弹簧7，套筒6的顶端表面贯通设置有限位杆10，且限位杆10的表面套接有第二阻尼弹簧9，限位杆10的两端端部均设置有限位块8，两个限位块8的顶端表面设置有毛刷11，旋转轴3的表面设置有从动齿轮12，从动齿轮12和主动齿轮13啮合连接，主动齿轮13安装在齿轮电机14的输出端上，旋转轴3的端部安装有喷水嘴5，旋转轴3的内部贯通开设有喷水腔，旋转轴3的另一端通过连接法兰与管道相连接，管道的另一端与增压泵15相连接，增压泵15通过管道与水箱16相连接，利用第一阻尼弹簧7和第二阻尼弹簧9的弹性作用，使得毛刷11与旋转轴3之间的距离能够调节，从而实现了对不同孔径炉管的清洗需要，极大的提高了清洗装置的实用性。

在一个实施例中，工作台1的内腔中安装有丝杆17，且丝杆17的端部通过联轴器安装有驱动电机18，丝杆17的表面通过螺纹螺旋安装有螺纹座19，螺纹座19的顶端表面设置有固定座20，固定座20的顶端表面设置有夹持机构23，夹持机构23是由液压气缸21、辅助杆22、夹具24组成，固定座20的内腔中安装有液压气缸21，液压气缸21的端部两侧安装有夹具24，夹具24的一侧通过转轴安装有辅助杆22，辅助杆22的另一端通过转轴与固定座20转动连接，通过夹持机构23对炉管管道进行夹持，之后驱动电机18带动丝杆17转动，使得螺纹座19沿着丝杆17方向循环运动，从而使得炉管管道前进或者后退，往复进行清洗，清洗效果好，极大的提高了清洗质量，液压气缸21，属于本领域的公知常识，仅对其进行使用，不进行改造，故不再详细描述控制方式和电路连接。

在一个实施例中，工作台1的顶端表面设置有废水收集槽25，废水收集槽25的中部通过管道与水箱16相连接，水箱16的内部倾斜设置有滤网26，水箱16的一侧贯通设置有排渣口27，且排渣口27处安装有电动蝶阀，通过设置废水收集槽25，从而对清洗时所产生的污水进行收集，之后污水进行水箱16，在滤网26的作用下，对污水中的杂质进行过滤，进而可以对污水进行重复利用，极大提高了水的利用率，节省水资源，电动蝶阀，属于本领域的公知常识，仅对其进行使用，不进行改造，故不再详细描述控制方式和电路连接。

在一个实施例中，工作台1的底端表面设置有支撑架28，且支撑架28设置有多个，并且多个支撑架28等距离安装在工作台1底端表面的四个拐角处，支撑架28的底端表面安装有万向轮29，通过设置万向轮29，极大的提高了清洗装置的移动便捷性。

在一个实施例中，工作台1的顶端表面设置有控制器4，通过设置控制器4，便于对清洗装置进行控制，控制器4控制电路通过本领域的技术人员简单的编程即可实现，属于本领域的公知常识，仅对其进行使用，不进行改造，故不再详细描述控制方式和电路连接。

工作原理：

使用时，工作人员将清洗装置移动到合适的地方，清洗时，利用夹持机构23对炉管进行夹持，之后利用第一阻尼弹簧7和第二阻尼弹簧9的弹性作用，可以根据炉管的孔径，对毛刷11进行调节，使得毛刷11与炉管内壁进行接触，之后通过增压泵15，在喷水嘴5的作用下，向炉管管内喷水，同时启动齿轮电机14，在主动齿轮13和从动齿轮12的相互配合下，带动旋转轴3转动，然后利用毛刷11与炉管管道之间的摩擦作用，实现了对炉管内壁的清洗，实现了对炉管内壁的清洗，然后启动驱动电机18，驱动电机18带动丝杆17转动，使得螺纹座19沿着丝杆17方向循环运动，从而使得炉管管道前进或者后退，往复进行清洗，清洗效果好，极大的提高了清洗质量，工作台1的顶端表面设置有废水收集槽25，废水收集槽25的中部通过管道与水箱16相连接，水箱16的内部倾斜设置有滤网26，通过设置废水收集槽25，从而对清洗时所产生的污水进行收集，之后污水进行水箱16，在滤网26的作用下，对污水中的杂质进行过滤，进而可以对污水进行重复利用，极大提高了水的利用率，节省水资源。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“设置”、“连接”、“固定”、“旋接”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定，对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (7)

1.一种提高硅片炉管清洗能力的清洗装置，包括工作台（1），其特征在于，所述工作台（1）的顶端表面设置有固定架（2），两个所述固定架（2）之间贯通安装有旋转轴（3），且旋转轴（3）与固定架（2）的相交处设置有齿轮，所述旋转轴（3）的表面一侧设置有套筒（6），所述套筒（6）的内部设置有第一阻尼弹簧（7），所述套筒（6）的顶端表面贯通设置有限位杆（10），且限位杆（10）的表面套接有第二阻尼弹簧（9），所述限位杆（10）的两端端部均设置有限位块（8），两个所述限位块（8）的顶端表面设置有毛刷（11），所述旋转轴（3）的表面设置有从动齿轮（12），所述从动齿轮（12）和主动齿轮（13）啮合连接，所述主动齿轮（13）安装在齿轮电机（14）的输出端上，所述旋转轴（3）的端部安装有喷水嘴（5），所述旋转轴（3）的内部贯通开设有喷水腔，所述旋转轴（3）的另一端通过连接法兰与管道相连接，所述管道的另一端与增压泵（15）相连接，所述增压泵（15）通过管道与水箱（16）相连接。

2.根据权利要求1所述的一种提高硅片炉管清洗能力的清洗装置，其特征在于，所述工作台（1）的内腔中安装有丝杆（17），且丝杆（17）的端部通过联轴器安装有驱动电机（18），所述丝杆（17）的表面通过螺纹螺旋安装有螺纹座（19），所述螺纹座（19）的顶端表面设置有固定座（20），所述固定座（20）的顶端表面设置有夹持机构（23）。

3.根据权利要求2所述的一种提高硅片炉管清洗能力的清洗装置，其特征在于，所述夹持机构（23）是由液压气缸（21）、辅助杆（22）、夹具（24）组成，所述固定座（20）的内腔中安装有液压气缸（21），所述液压气缸（21）的端部两侧安装有夹具（24），所述夹具（24）的一侧通过转轴安装有辅助杆（22），所述辅助杆（22）的另一端通过转轴与固定座（20）转动连接。

4.根据权利要求1所述的一种提高硅片炉管清洗能力的清洗装置，其特征在于，所述工作台（1）的顶端表面设置有废水收集槽（25），所述废水收集槽（25）的中部通过管道与水箱（16）相连接。

5.根据权利要求1所述的一种提高硅片炉管清洗能力的清洗装置，其特征在于，所述水箱（16）的内部倾斜设置有滤网（26），所述水箱（16）的一侧贯通设置有排渣口（27），且排渣口（27）处安装有电动蝶阀。

6.根据权利要求1所述的一种提高硅片炉管清洗能力的清洗装置，其特征在于，所述工作台（1）的底端表面设置有支撑架（28），且支撑架（28）设置有多个，并且多个支撑架（28）等距离安装在工作台（1）底端表面的四个拐角处，所述支撑架（28）的底端表面安装有万向轮（29）。

7.根据权利要求1所述的一种提高硅片炉管清洗能力的清洗装置，其特征在于，所述工作台（1）的顶端表面设置有控制器（4）。

Images