CN2136445Y - 热解氮化硼气相沉积炉 - Google Patents
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- 230000008021 deposition Effects 0.000 title claims abstract description 9
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims description 9
- 239000007792 gaseous phase Substances 0.000 claims description 4
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 5
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 3
- 238000005137 deposition process Methods 0.000 description 3
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 3
- 229910052582 BN Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000008246 gaseous mixture Substances 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 239000007921 spray Substances 0.000 description 1
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Abstract
一种热解氮化硼气相沉积炉，其特征在于同心圆
筒进气口的顶端加一顶盖，模具通过支持杆与炉体外
部相通并能转动。使用本实用新型所提供的热解氮
化硼气相沉积炉可以得到壁厚分布均匀的热解氮化
硼制品。
Description
本实用新型涉及一种化学气相沉积炉，特别是用于制造热解氮化硼制品的化学气相沉积炉。
氮化硼具有很高的热稳定性，其制品在高新技术领域许多新材料的制备过程中是不可缺少的用具。用气相沉积法制作的热解氮化硼制品，壁薄、密度高、强度高、省料，且成品率高，成为氮化硼产品制备中一种很常用的方法，特别是热解氮化硼坩锅的制备。通常的气相沉积炉包括炉体、加热体、进气口、出气口、模具等几部分，进气口在炉体底部或顶部，出气口与之相对，为使气相沉积均匀，进气口常采用同心圆筒的方式，模具对准进气口，当制作尺寸的热解氮化硼制品时，还看不出太大缺点，但是当制品尺寸较大时，另形成较厚的锅底，而侧壁较薄，同时由于原料气在空间分布的不均匀，壁厚分布不均匀的现象时有发生。
本实用新型的目的在于提供一种化学气相沉积炉，用其能生产出壁厚更加均匀的热解氮化硼制品。
本实用新型所提供的沉积炉由炉体、加热体、进气口、出气口、模具等部分组成，进气口在炉体底部或顶部，出气口与之相对，其特征在于：在同心圆筒进气口的顶端加一顶盖，模具通过一支持杆通向炉体外部，可以与转动手柄相连，也可以与电动机相连，以便使其在沉积过程中不断转动，由于加了顶盖，混合好的气体，不再直喷向上，而是得到分散，从而避免了底厚壁薄的现象发生。同时由于模具在沉积过程中可以不断转动，基体各部位的沉积条件得到平均，壁厚分布均匀。下面结合附图通过实施例详叙本实用新型，其中：
图1为一种气相沉积炉示意图。
实施例
参照图1，进气口9为同心圆筒式，位于炉体2的底部，模具3正对进气口上部，用支持杆1通向炉体外部，支持杆1通过齿轮传动方式与电机5相连接，模具3外部套有加热体7，进气口9顶端有伞形的带有分散孔8的顶盖4，出气口6与进气口正相对，用上述气相沉积炉，分别制作的三种尺寸热解氮化硼坩锅，工艺条件分述如下：
1、φ80mm，炉温1900℃混合气N2：NH3：BCl＝4：1.5：1.0，炉压2mm Hg高，基体每20分钟转一圈，保温15小时，随炉冷至室温，出炉，测得壁厚0.8mm均匀。
2、φ100mm，炉温1900℃，N2：NH3：BCl＝5：1.5：1.0，炉压2mm Hg高 每20分钟转一周，保温18小时，测得成品壁厚0.9mm，均匀。
3、φ120mm炉温1850℃，N2：NH3：BCl＝6：1.5：1.2炉压2mm Hg每20分钟转一周，保温20小时。
成品出炉后测得壁厚1.0mm均匀。
Claims (2)
1、由炉体、加热体、进气口、出气口、模具等部分组成的热解氮化硼气相沉积炉，进气口在炉体底部或顶部，出气口与之相对，其特征在于在同心圆筒进气口的顶端加一顶盖，模具通过一支持杆通向炉体外部。
2、按权利要求1所述沉积炉，其特征在于支持杆可以与一转动手柄相连，也可以通过齿轮与电动机相连。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN 92235683 CN2136445Y (zh) | 1992-09-29 | 1992-09-29 | 热解氮化硼气相沉积炉 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN 92235683 CN2136445Y (zh) | 1992-09-29 | 1992-09-29 | 热解氮化硼气相沉积炉 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN2136445Y true CN2136445Y (zh) | 1993-06-16 |
Family
ID=33777398
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN 92235683 Expired - Fee Related CN2136445Y (zh) | 1992-09-29 | 1992-09-29 | 热解氮化硼气相沉积炉 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN2136445Y (zh) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102021533A (zh) * | 2010-11-22 | 2011-04-20 | 赵凤鸣 | 制备热解氮化硼制品用的化学气相沉积工艺及气相沉积炉 |
| CN102443778A (zh) * | 2011-12-06 | 2012-05-09 | 刘汝强 | 一种空心石墨模具及其应用 |
-
1992
- 1992-09-29 CN CN 92235683 patent/CN2136445Y/zh not_active Expired - Fee Related
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102021533A (zh) * | 2010-11-22 | 2011-04-20 | 赵凤鸣 | 制备热解氮化硼制品用的化学气相沉积工艺及气相沉积炉 |
| CN102021533B (zh) * | 2010-11-22 | 2012-08-08 | 赵凤鸣 | 制备热解氮化硼制品用的化学气相沉积工艺及气相沉积炉 |
| CN102443778A (zh) * | 2011-12-06 | 2012-05-09 | 刘汝强 | 一种空心石墨模具及其应用 |
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