CN213616581U - 一种高刚性、高精度升降倾斜三自由度工作台 - Google Patents
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- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims abstract description 24
- 238000009434 installation Methods 0.000 abstract description 2
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 230000004075 alteration Effects 0.000 description 1
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000005489 elastic deformation Effects 0.000 description 1
- 230000002708 enhancing effect Effects 0.000 description 1
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 238000005461 lubrication Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 238000006467 substitution reaction Methods 0.000 description 1
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Abstract
本实用新型公开了一种高刚性、高精度升降倾斜三自由度工作台，包括一工作台面，所述工作台面下方设置有若干压电陶瓷线性执行器，所述的若干压电陶瓷线性执行器圆周均布，所述的若干压电陶瓷线性执行器的推杆连接一板簧，所述板簧连接所述工作台面。所述压电陶瓷线性执行器推杆与所述板簧之间通过柔性铰链连接。所述的若干压电陶瓷线性执行器的推杆上分别设置有一直线轴承。本实用新型的三自由度工作台具有高刚性、高精度、低热变形等特点，且易于安装，易于维护。
Description
技术领域
本实用新型属于半导体装备制造、精密运动控制领域，具体而言涉及一种高刚性、高精度升降倾斜三自由度工作台。
背景技术
微操作运动台机构在半导体装配领域、超精密检测领域、生物医学领域等，有着广泛的应用和需求。通常的，该种机构在Z轴方向的行程为毫米量级总行程小于5mm，精度是纳米量级，Rx/Ry方向的行程为毫弧度量级，精度是微弧度量级。
市场上常见的实现方式，主要是用楔形块驱动系统或音圈电机驱动系统或凸轮驱动系统实现。但楔形块驱动系统会产生微小颗粒给相关应用造成污染；音圈电机驱动系统会产生大量热量，进而对运动产生热变形；凸轮驱动系统稳定性差，且会产生微小颗粒给相关应用造成污染。为克服上述缺点，目前已有相关技术是
以压电陶瓷(PZT)作为驱动器，使其柔性结构或弹性结构产生弹性变形，以此实现微定位。
但是压电陶瓷线性执行器的侧向刚性较差，因此在上述各种应用中仍然具有进一步改进的需求。
实用新型内容
为克服现有技术中的不足，本实用新型的目的旨在提供一种高刚性、高精度升降倾斜三自由度工作台，该工作台具有低热变形、高精度、高刚度的特点。
为到达上述实用新型目的，本实用新型的通过以下技术方案实现：
一种高刚性、高精度升降倾斜三自由度工作台，包括一工作台面，所述工作台面下方设置有若干压电陶瓷线性执行器，所述的若干压电陶瓷线性执行器圆周均布，所述的若干压电陶瓷线性执行器的推杆连接一板簧，所述板簧连接所述工作台面。
进一步的，所述压电陶瓷线性执行器推杆与所述板簧之间通过柔性铰链连接。
进一步的，所述的若干压电陶瓷线性执行器的推杆上分别设置有一直线轴承。
优选的，所述三自由度工作台还包括一安装基座，所述安装基座上开设有若干轴承过孔，所述直线轴承固定在所述轴承过孔内，所述的若干压电陶瓷线性执行器分别固定在所述安装基座上。
当压电陶瓷线性执行器工作时，会推动柔性铰链运动，继而带动板簧运动，最后实现工作台上的负载沿Z/Rx/Ry 3个方向运动。
有益效果
与现有技术相比，本实用新型的高刚性、高精度升降倾斜三自由度工作台，具备以下有益效果：
1)本实用新型的压电陶瓷线性执行器实现Z轴/Rx/Ry的3个方向的高精度运动；
2)本实用新型的板簧主要功能是增强压电陶瓷线性执行器横向刚性；
3)本实用新型的直线轴承主要功能是增强压电陶瓷线性执行器的驱动轴侧向刚性；
4)本实用新型的柔性铰链主要功能是实现多方向无摩擦无润滑自由运动；
5)本实用新型的安装基座的主要功能是实现模块安装及易于维护等功能。
附图说明
图1为本实用新型的高刚性、高精度升降倾斜三自由度工作台的立体图。
图2为本实用新型的高刚性、高精度升降倾斜三自由度工作台的爆炸图。
图3本实用新型的高刚性、高精度升降倾斜三自由度工作台的俯视图。
图4本实用新型的高刚性、高精度升降倾斜三自由度工作台的仰视图。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
参见图1至图4所示，一种高刚性、高精度升降倾斜三自由度工作台，包括一工作台面1，所述工作台面1下方设置有若干压电陶瓷线性执行器6，所述的若干压电陶瓷线性执行器6圆周均布，所述的若干压电陶瓷线性执行器6的推杆连接一板簧2，所述板簧2连接所述工作台面1。所述压电陶瓷线性执行器6推杆与所述板簧2之间通过柔性铰链4连接。所述的若干压电陶瓷线性执行器6的推杆上分别设置有一直线轴承5。
进一步的，所述三自由度工作台还包括一安装基座3，所述安装基座3上开设有若干轴承过孔601，所述直线轴承5固定在所述轴承过孔601内，所述的若干压电陶瓷线性执行器6分别固定在所述安装基座3上。
优选的，所述工作台面1为圆形，中间设置有一通孔；所述板簧2为圆形，中间设置有一通孔；所述安装基座3为圆形，中间设置有一通孔；所述工作台面1、所述板簧2与所述安装基座3同轴布置。
尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。
Claims (5)
1.一种高刚性、高精度升降倾斜三自由度工作台，包括一工作台面（1），所述工作台面（1）下方设置有若干压电陶瓷线性执行器（6），所述的若干压电陶瓷线性执行器（6）圆周均布，其特征在于：所述的若干压电陶瓷线性执行器（6）的推杆连接一板簧（2），所述板簧（2）连接所述工作台面（1）。
2.根据权利要求1所述的一种高刚性、高精度升降倾斜三自由度工作台，其特征在于：所述压电陶瓷线性执行器（6）推杆与所述板簧（2）之间通过柔性铰链（4）连接。
3.根据权利要求1所述的一种高刚性、高精度升降倾斜三自由度工作台，其特征在于：所述的若干压电陶瓷线性执行器（6）的推杆上分别设置有一直线轴承（5）。
4.根据权利要求3所述的一种高刚性、高精度升降倾斜三自由度工作台，其特征在于：还包括一安装基座（3），所述安装基座（3）上开设有若干轴承过孔（601），所述直线轴承（5）固定在所述轴承过孔（601）内，所述的若干压电陶瓷线性执行器（6）分别固定在所述安装基座（3）上。
5.根据权利要求4所述的一种高刚性、高精度升降倾斜三自由度工作台，其特征在于：所述工作台面（1）为圆形，中间设置有一通孔；所述板簧（2）为圆形，中间设置有一通孔；所述安装基座（3）为圆形，中间设置有一通孔；所述工作台面（1）、所述板簧（2）与所述安装基座（3）同轴布置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202021713338.9U CN213616581U (zh) | 2020-08-17 | 2020-08-17 | 一种高刚性、高精度升降倾斜三自由度工作台 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202021713338.9U CN213616581U (zh) | 2020-08-17 | 2020-08-17 | 一种高刚性、高精度升降倾斜三自由度工作台 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN213616581U true CN213616581U (zh) | 2021-07-06 |
Family
ID=76644373
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202021713338.9U Active CN213616581U (zh) | 2020-08-17 | 2020-08-17 | 一种高刚性、高精度升降倾斜三自由度工作台 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN213616581U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN114486740A (zh) * | 2022-02-08 | 2022-05-13 | 江苏集萃苏科思科技有限公司 | 一种二自由度运动台 |
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2020
- 2020-08-17 CN CN202021713338.9U patent/CN213616581U/zh active Active
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN114486740A (zh) * | 2022-02-08 | 2022-05-13 | 江苏集萃苏科思科技有限公司 | 一种二自由度运动台 |
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