CN213481705U - 一种静压主轴\轴承用角刚度检测装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种静压主轴\轴承用角刚度检测装置,涉及静压主轴\轴承性能检测技术领域,该装置包括检测平台、装载单元、加载单元和测量单元,装载单元上用于安装被测样品,并设置有与被测样品固定连接的检测棒,加载单元作用于被测样品,其载荷施加端处安装有用于检测施力大小的力传感器,测量单元包括对被测样品位移变化量进行测量的第一位移传感器以及对检测棒不同位置处位移变化量进行测量的第二位移传感器和第三位移传感器。本实用新型辅以单点力加载,三点位移测量的方法可以获得被测样品的角刚度,且多次多点测量可提高角刚度值的准确性和高价值参考性。
Description
技术领域
本实用新型涉及静压主轴\轴承性能检测技术领域,具体而言,涉及一种静压主轴\轴承用角刚度检测装置。
背景技术
角刚度作为静压主轴\轴承(静压主轴组件)的核心指标之一,目前暂无相关国家标准就其评价方法给予指导,且其检测方法研究极少。现有的做法中在被测样品(主轴\轴承转子)上施加纯扭矩,然后使用自准直仪测量在不同扭矩作用下被测样品的倾斜角,以此获得一系列扭矩值及对应扭矩作用下的倾角值,用以计算被测样品的角刚度。该做法中针对纯扭矩的产生,不仅需要设计专用的加载工装,而且自准直仪价格昂贵,不便于工业推广;此外,被测样品在真实的工作过程中,只会受偏载力的作用,不会受纯扭矩作用,由于静压主轴\轴承转子和外壳之间的压力膜属于各向异性的介质,不同受载方式下表现出的刚度性能不一样,因此该静压主轴\轴承的角刚度测量方法无法获得人们关注的真实工作状态下被测样品的角刚度,测量结果的价值参考性较差。
有鉴于此,特提出本申请。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种静压主轴\轴承用角刚度检测装置,该装置可模拟静压主轴\轴承在受偏载力作用下的真实工作状态,辅以单点力加载,三点位移测量的方法可以获得被测样品的角刚度,得到的角刚度值具有较高且较为准确的参考价值。
本实用新型的实施例是这样实现的:一种静压主轴\轴承用角刚度检测装置,包括:检测平台;安装于检测平台上的装载单元,装载单元上具有用于安装被测样品的安装部,安装部上设置有与被测样品同轴分布且固定连接的检测棒;安装于检测平台上的加载单元,加载单元具有能够作用于被测样品的载荷施加端,载荷施加端处安装有用于检测施力大小的力传感器;及测量单元,测量单元包括对被测样品位移变化量进行测量的第一位移传感器以及对检测棒不同位置处位移变化量进行测量的第二位移传感器和第三位移传感器,载荷施加端的载荷施加方向以及第一位移传感器、第二位移传感器和第三位移传感器的检测方向均同被测样品的中轴线垂直,且载荷施加端的载荷施加方向以及第一位移传感器、第二位移传感器和第三位移传感器的检测方向位于同一平面内。
进一步地,还包括数据采集器以及与数据采集器电连接的上位机,数据采集器与力传感器、第一位移传感器、第二位移传感器和第三位移传感器信号连接并能够实时收集力传感器、第一位移传感器、第二位移传感器和第三位移传感器检测的数据结果,上位机能够对数据采集器收集的数据结果进行处理分析。
进一步地,加载单元包括气缸底座以及安装在气缸底座上的气缸,气缸底座可拆卸地安装于检测平台,气缸的活塞杆端部连接有加载平接头,加载平接头靠近被测样品的一端为载荷施加端,力传感器安装于加载平接头与气缸的活塞杆端部之间。
进一步地,装载单元包括安装底座和安装压条,安装底座可拆卸地安装于检测平台,且安装底座上开设有供被测样品装配的安装槽,安装压条通过紧固件连接在安装槽内并用于紧压被测样品。
进一步地,沿被测样品的轴线方向,安装槽的两侧均贯通安装底座的侧壁;且安装槽远离检测平台的一侧贯通安装底座的侧壁并形成开口,开口可供被测样品放入安装。
进一步地,检测平台上设置有第一支撑架、第二支撑架和第三支撑架,第一位移传感器安装于第一支撑架,第二位移传感器安装于第二支撑架,第三位移传感器安装于第三支撑架。
进一步地,第一支撑架、第二支撑架和第三支撑架均同检测平台磁性连接。
进一步地,第一支撑架、第二支撑架和第三支撑架同检测平台接触的表面均为光滑的平面,且第一支撑架、第二支撑架和第三支撑架能够沿检测平台的表面平行移动。
本实用新型实施例的有益效果是:
本实用新型实施例提供的角刚度检测装置通过将被测样品定位装配在装载单元上,再利用加载单元对被测样品进行偏载力施加,通过位移传感器对被测样品同平面内不同位置的检测点进行偏移量测量,根据测量结果计算获得被测样品的角刚度值,加载单元可模拟被测样品在真实工况下的受载情况,此状态测算的角刚度值结果更真实准确,且具有更高的参考价值。
附图说明
为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案,下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍,应当理解,以下附图仅示出了本实用新型的某些实施例,因此不应被看作是对范围的限定,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
图1为本实用新型实施例提供的检测装置的结构示意图;
图2为本实用新型实施例提供的加载单元的结构示意图;
图3为本实用新型实施例提供的装载单元的结构示意图;
图4为本实用新型实施例提供的测量单元的结构示意图;
图5为本实用新型实施例提供的被测样品的受载前的状态示意图;
图6为本实用新型实施例提供的被测样品的偏载后的状态示意图。
图标:1-检测平台;2-加载单元;3-装载单元;4-测量单元;5-上位机;6-气缸底座;7螺钉;8-螺钉;9-气缸;10-力传感器;11-加载平接头;12-气管管路;13-气缸控制柜;14-线缆;15-螺钉;16-安装底座;17-安装压条;18-螺钉;19-被测样品;20-检测棒;21-螺钉;22-线缆;23-第一支撑架;24-第一位移传感器;25-第二位移传感器;26-第二支撑架;27-第三位移传感器;28-第三支撑架;29-数据采集器。
具体实施方式
为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚,下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本实用新型实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。
因此,以下对在附图中提供的本实用新型的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本实用新型的范围,而是仅仅表示本实用新型的选定实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
应注意到:相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项,因此,一旦某一项在一个附图中被定义,则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。
在本实用新型的描述中,需要说明的是,术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于区分描述,而不能理解为指示或暗示相对重要性。
此外,术语“平行”、“垂直”等并不表示要求部件绝对平行或垂直,而是可以稍微倾斜。如“平行”仅仅是指其方向相对“垂直”而言更加平行,并不是表示该结构一定要完全平行,而是可以稍微倾斜。
此外,术语“水平”、“竖直”、“悬垂”等术语并不表示要求部件绝对水平或悬垂,而是可以稍微倾斜。如“水平”仅仅是指其方向相对“竖直”而言更加水平,并不是表示该结构一定要完全水平,而是可以稍微倾斜。
在本实用新型的描述中,还需要说明的是,除非另有明确的规定和限定,术语“设置”、“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或一体地连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言,可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
实施例
请参阅图1~图4,本实施例提供的一种静压主轴\轴承用角刚度检测装置包括检测平台1、装载单元3、加载单元2和测量单元4,检测平台1作为整个检测过程的基体,需要保证其较高的平行度和平整度,尤其是检测平台1的安装平面如地基面或其他平台表面,两者需要将平行度控制在8μm/1000mm范围内,且检测平台1的装配表面即上表面需要平整且光滑,能够保证其他单元在安装后具有精度可控的操作条件。装载单元3可拆卸地安装在检测平台1的装配表面上,且装载单元3上具有用于安装被测样品19的安装部,安装部主要是用于能够容纳主轴\轴承转子的安装空间,并能将该主轴\轴承转子的安装空间稳定定位即可,在安装部上设置有与被测样品19同轴分布且固定连接的检测棒20,检测棒20与被测样品19的同轴度控制在5μm内。
将被测样品19与检测棒20装配定位在装载单元3后,保证两者的轴线与检测平台的装配表面相互平行,平行度控制在5μm/1000mm范围内,即可进行被测样品19与检测棒20的偏载力施加,所述加载单元2可拆卸地安装在检测平台1上,加载单元2具有能够作用于被测样品19的载荷施加端,即表示加载单元2上具有能够施加载荷的功能部件,该部件的载荷施加端能够对被测样品19持续作用并施加载荷,且载荷施加端处安装有用于检测施力大小的力传感器10,能够实时控制偏载力的施加大小。偏载条件施加完毕后需要对被测样品19在偏载力的作用下产生的位移偏移量,从而来得出该被测样品19在真实偏载作用下的角刚度值。具体地,所述测量单元4包括对被测样品19位移变化量进行测量的第一位移传感器24以及对检测棒20不同位置处位移变化量进行测量的第二位移传感器25和第三位移传感器27,被测样品19及检测棒20在偏载力的作用下会绕其旋转中心产生倾斜,由相应力学模型再根据检测的位移量和偏载力大小即能够测算出角刚度值。
为了使测算的角刚度值结果可靠,即相应力学模型构建的准确度和可靠度较高,载荷施加端的载荷施加方向以及第一位移传感器24、第二位移传感器25和第三位移传感器27的检测方向均同被测样品19(及检测棒20)的中轴线垂直,垂直度控制在0.5度范围内。且载荷施加端的载荷施加方向以及第一位移传感器24、第二位移传感器25和第三位移传感器27的检测方向位于同一平面内,这样便能保证被测样品19和检测棒20受载的方向确定,位移的最大变形量方向也随之确定,从而能够使构建的力学模型更符合实际情况以及准确度更高。通过控制载荷施加端进行偏载力施加,在每个偏载状态下获得相应的检测参数,并测算出该偏载状态下被测样品19的角刚度值,最终将一系列不同状态下的角刚度值采用误差小化的算法进行计算,使最终得到的结果更加准确、真实和可靠。
上述计算过程可由人力进行测算,将测得的参数进行人为读取并通过人力计算得出结果;同样也可通过计算机程序实现,将相应算法加载到程序内,每在一个加载状态下使测得的相应参数被检测后并传入至处理器内,即可计算出相应的结果,这种法式更加的智能化和自动化,可大大减小人力劳动强度。具体地,本实施例提供的检测装置还包括数据采集器29以及与数据采集器29电连接的上位机5,数据采集器29与力传感器10、第一位移传感器24、第二位移传感器25和第三位移传感器27信号连接即通过线缆14和线缆22连接,并能够实时收集力传感器10、第一位移传感器24、第二位移传感器25和第三位移传感器27检测的数据结果,所述上位机5能够对数据采集器29收集的数据结果进行处理分析,处理分析的步骤主要包括在施加偏载力后,通过检测相应点位的位移偏移量并得到被测样品19的倾斜角,再确定被测样品19旋转的中心位置,进而计算出力矩的大小,最后利用倾斜角和力矩数据计算出角刚度,每个过程均可通过预输入程序的方式来进行计算处理,通过这种程序化计算的方式,可代替大量的人工劳动,强度更低。
请再次参阅图2,本实施例中,所述加载单元2包括气缸底座6以及通过螺钉8安装在气缸底座6上的气缸9,气缸底座6通过螺钉7可拆卸地安装在检测平台1上。在检测平台1上设置有气缸控制柜13,气缸控制柜13的电控部分与上位机5通过线缆连接,气缸控制柜13内的气泵或气源通过气管管路12与气缸9连接,气缸9的气压调节分辨率优于0.025Mpa,最大加载力不小于被测样品19最大径向名义载荷的三分之二。在气缸9的活塞杆端部连接有加载平接头11,该加载平接头11靠近被测样品19的一端为载荷施加端,所述力传感器10通过螺接的方式安装于加载平接头11与气缸9的活塞杆端部之间,其中,力传感器10采用接触式力传感器,分辨率不低于1N,最大行程不小于被测样品19最大单边压力膜厚度的三分之二。控制气缸控制柜13进行气体输出并控制气缸9的活塞杆伸出,从而使加载平接头11对被测样品19的加载点进行偏载力施加,从而使被测样品19处于倾斜状态,以便于后续确定出被测样品19的旋转中心位置。
请再次参阅图3和图4,所述装载单元3包括安装底座16和至少一根安装压条17,安装底座16通过螺钉15可拆卸地安装在检测平台1的装配表面上,且安装底座16上开设有供被测样品19装配的安装槽,该安装槽作为安装部,即表示被测样品19能够装配在该安装槽内,安装压条17通过紧固件如螺钉18连接在安装槽内并用于紧压被测样品19,即安装压条17与安装槽的槽口边沿处通过螺钉18连接,并用于紧压被测样品19以保证被测样品19的装配稳定性。本实施例中,沿被测样品19的轴线方向(未正式加载状态),安装槽的两侧均贯通安装底座16的侧壁,且安装槽远离检测平台1的一侧贯通安装底座16的侧壁并形成开口,即表示安装槽为三侧开放一侧密封的形式,优选为V型槽的形式,其开口可供被测样品19放入安装。将检测棒20通过螺钉21与被测样品19的后端同轴固接,再通过装上安装压条17,并保证被测样品19及检测棒20的轴线方向与检测平台1的装配表面符合相应平行度要求即可。
所述第一位移传感器24、第二位移传感器25和第三位移传感器27采用高精度的非接触式位移传感器,且第二位移传感器25和第三位移传感器27沿未加载状态下被测样品19轴向上的距离记为L,此L为已知数据,能够帮助后续角刚度值的计算。此外,为了使第一位移传感器24、第二位移传感器25和第三位移传感器27具有更高的稳定性,所述检测平台1上可拆卸地安装有第一支撑架23、第二支撑架26和第三支撑架28,第一位移传感器24安装在第一支撑架23上,第二位移传感器25安装在第二支撑架26上,第三位移传感器27安装在第三支撑架28,能够保证第一位移传感器24、第二位移传感器25和第三位移传感器27均具有稳定的支撑平台。
在本实施例中,为了方便第一支撑架23、第二支撑架26和第三支撑架28在检测平台1进行位置调节,所述第一支撑架23、第二支撑架26和第三支撑架28均同检测平台1的装配表面磁性连接,即表示检测平台1及第一支撑架23、第二支撑架26和第三支撑架28中一者为金属材料制,一者的接触面采用磁性材料制,此处为第一支撑架23、第二支撑架26和第三支撑架28的底部采用永磁材料制作,检测平台1的装配表面采用金属材料制作,且两者接触的平面为光滑的平面,能够允许第一支撑架23、第二支撑架26和第三支撑架28在检测平台1的装配表面上平行移动,从而达到便捷调整第一支撑架23、第二支撑架26和第三支撑架28位置的目的,最终达到调节第一位移传感器24、第二位移传感器25和第三位移传感器27位置的目的。此外,第一支撑架23、第二支撑架26和第三支撑架28上均开设有装配孔,能够供相应的第一位移传感器24、第二位移传感器25和第三位移传感器27插入装配,且装配孔成型的平台可以有阻尼地转动,可通过球铰配合阻尼圈实现,这样便能达到第一位移传感器24、第二位移传感器25和第三位移传感器27轻松调节的目的。
本实施例提供的检测装置通过将被测样品19定位装配在装载单元3上,再利用加载单元2对被测样品19进行偏载力施加,通过三个位移传感器对被测样品19同平面内不同位置的检测点进行偏移量测量,最终根据测量结果计算获得被测样品19的角刚度值。这种通过单点加载,三点位移测量的方式,获取各加载过程中被测样品19的三个测量点处位移的大小来计算角刚度,不仅更容易实现,成本更低,而且该种受力状态才是静压主轴\轴承在工作状态下真实受力的情况,使最终得到的结果更具有实际意义且参考价值更高。
此外,本实施例还提供一种静压主轴\轴承用角刚度检测方法,该方法可基于上述检测装置实现,具体地,该方法包括以下步骤:
S1—实验前工作准备:将各组件按照相应的精度要求安装到位,保证实验环境的温度适宜并具有一定的等温性,如控制到20℃±0.5℃,防止温度对检测实验造成过大影响。再将被测样品19按照相应精度要求安装在装载单元3上,将检测棒20与被测样品19同轴固定连接,然后控制加载单元2对被测样品进行试加载,试加载的目的排除实验前的安装误差,由于力传感器10或者相应位移传感器精度未安装到位,导致后续出现较大的测量误差,试加载的加载力大小在被测样品径向名义载荷范围内,可以是加载至该名义载荷的十分之一,此后持续输出正加载力(加载)来测算角刚度值,也可以加载至该名义载荷的三分之二,此后继续输出负加载力(减载)来测算角刚度值;试加载完成后时将第一位移传感24、第二位移传感器25和第三位移传感器27的读数清零,此后便可进行加载或减载实验。
S2—逐步加载并记录计算数据:按照一定的步距ΔF控制加载单元2逐步对被测样品19进行等距加载,在一次加载过程中将被测样品19绕自身轴线旋转一定角度后分别进行多轮测量,即表示一次加载过程分为多个以ΔF为间距的加载步数,在每个加载步数中分别将被测样品19绕自身轴线旋转旋转多次,在该被测样品19不同位置处进行测量,排除或降低因自身结构不够标准而带来的测量误差,此方式可以有效提高最终角刚度值的可靠度和准确度。记录力传感器10、第一位移传感24、第二位移传感器25和第三位移传感器27的读数,分别记为Fij、d1ij、d2ij、d3ij,其中,i表示加载次数,j表示一次加载中的加载轮数;请参阅图5和图6,受载后被测样品19的旋转中心0与加载点N的距离Lij的表达式为:
其中,L为第二位移传感器24和第三位移传感器27沿试加载后被测样品19轴线方向上的距离;
根据式(1)获得力矩M,其表达式为:Mij=Lij×Fij (2);
在此力矩M作用下被测样品19的倾斜角度为:
这样一次加载过程中便能够得到该加载状态下倾斜角值和力矩值。
S3—测算最终的角刚度值:按照一定的步距ΔF逐步加载至加载力为被测样品19径向名义载荷的预警值,该预警值大小在被测样品19径向名义载荷范围内,可以是该名义载荷的三分之二,即由十分之一逐步加载至三分之二,也可以该名义载荷的十分之一,即由三分之二逐步减载至十分之一。则加(正或负)载过程中获取的一系列力矩值和对应力矩值下的转角值(θij,Mij),整个加载过程共经历i(i=1,2,...,n)次,先计算出每次加载过程中力矩的平均值为Mi和转角平均值θi,例如每次加载中分三次使被测样品19自转进行测量,每次加载中的平均值为Mi和转角平均值θi则表达为:当然,每次加载中的转动次数也可以是两次、四次、六次或更多次,只需要满足每次加载过程中,被测样品19绕自身轴线每次转动的角度均相等,且所有转动角度的总和等于360度,这样便能是测量的误差可能性更小,即采集点更全面更均匀,有利于减小偶然性误差出现的可能。
对一系列值(θi,Mi)进行直线的最小二乘法拟合,拟合直线的斜率即为被测样品在加载过程中的角刚度K,其表达式为:
此外,为进一步确保角刚度值结果的精确性,在加载计算完毕后也可以通过持续以ΔF进行减载来再次计算角刚度K值,最后与加载过程的角刚度值平均后得出精度更高的角刚度值,其中,加载后再减载过程的角刚度值的表达式为:
通过该方法测得的角刚度值,是在静压主轴\轴承真实工作状态下承受单点偏载力进行的,确定其旋转中心O的位置,再根据P1、P2、P3三点处测量的位移变化量,继而计算出转角的大小,根据该转角大小计算出所受力矩,最终计算出真实工作状态上的角刚度,此结果经过采集多次且多轮的结果进行平均化,更能保证该结果的精确性和准确性,从而提高其参考价值与实际意义,当然,该方法不仅适用于水平放置的被测样品19,同样适用于竖直乃至倾斜放置的被测样品19,只需要保证测量点与被测样品19之间的相对关系即可。
以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已,并不用于限制本实用新型,对于本领域的技术人员来说,本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本实用新型的保护范围之内。应当注意,在附图中所图示的结构或部件不一定按比例绘制,同时本实用新型省略了对公知组件和处理技术及工艺的描述,以避免不必要地限制本实用新型。
Claims (8)
1.一种静压主轴\轴承用角刚度检测装置,其特征在于,包括:
检测平台;
安装于所述检测平台上的装载单元,所述装载单元上具有用于安装被测样品的安装部,所述安装部上设置有与所述被测样品同轴分布且固定连接的检测棒;
安装于所述检测平台上的加载单元,所述加载单元具有能够作用于所述被测样品的载荷施加端,所述载荷施加端处安装有用于检测施力大小的力传感器;及
测量单元,所述测量单元包括对所述被测样品位移变化量进行测量的第一位移传感器以及对所述检测棒不同位置处位移变化量进行测量的第二位移传感器和第三位移传感器,所述载荷施加端的载荷施加方向以及所述第一位移传感器、所述第二位移传感器和所述第三位移传感器的检测方向均同所述被测样品的中轴线垂直,且所述载荷施加端的载荷施加方向以及所述第一位移传感器、所述第二位移传感器和所述第三位移传感器的检测方向位于同一平面内。
2.根据权利要求1所述的静压主轴\轴承用角刚度检测装置,其特征在于,还包括数据采集器以及与所述数据采集器电连接的上位机,所述数据采集器与所述力传感器、所述第一位移传感器、所述第二位移传感器和所述第三位移传感器信号连接并能够实时收集所述力传感器、所述第一位移传感器、所述第二位移传感器和所述第三位移传感器检测的数据结果,所述上位机能够对所述数据采集器收集的数据结果进行处理分析。
3.根据权利要求1所述的静压主轴\轴承用角刚度检测装置,其特征在于,所述加载单元包括气缸底座以及安装在所述气缸底座上的气缸,所述气缸底座可拆卸地安装于所述检测平台,所述气缸的活塞杆端部连接有加载平接头,所述加载平接头靠近所述被测样品的一端为载荷施加端,所述力传感器安装于所述加载平接头与所述气缸的活塞杆端部之间。
4.根据权利要求1所述的静压主轴\轴承用角刚度检测装置,其特征在于,所述装载单元包括安装底座和安装压条,所述安装底座可拆卸地安装于所述检测平台,且所述安装底座上开设有供被测样品装配的安装槽,所述安装压条通过紧固件连接在所述安装槽内并用于紧压所述被测样品。
5.根据权利要求4所述的静压主轴\轴承用角刚度检测装置,其特征在于,沿所述被测样品的轴线方向,所述安装槽的两侧均贯通所述安装底座的侧壁;且所述安装槽远离所述检测平台的一侧贯通所述安装底座的侧壁并形成开口,所述开口可供所述被测样品放入安装。
6.根据权利要求1所述的静压主轴\轴承用角刚度检测装置,其特征在于,所述检测平台上设置有第一支撑架、第二支撑架和第三支撑架,所述第一位移传感器安装于所述第一支撑架,所述第二位移传感器安装于所述第二支撑架,第三位移传感器安装于所述第三支撑架。
7.根据权利要求6所述的静压主轴\轴承用角刚度检测装置,其特征在于,所述第一支撑架、所述第二支撑架和所述第三支撑架均同所述检测平台磁性连接。
8.根据权利要求7所述的静压主轴\轴承用角刚度检测装置,其特征在于,所述第一支撑架、第二支撑架和第三支撑架同所述检测平台接触的表面均为光滑的平面,且所述第一支撑架、第二支撑架和第三支撑架能够沿所述检测平台的表面平行移动。
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GR01 | Patent grant | ||
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