CN213401109U - 一种晶圆生产加工专用预烘装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种晶圆生产加工专用预烘装置，包括箱体，所述箱体的表面开设有多个加工腔，所述加工腔的内侧设置有放置板，所述加工腔的内壁开设有滑动槽，所述加工腔的内部还设置有侧安装框，所述侧安装框的后表面固定有嵌入至滑动槽内部的连接柱，所述连接柱与滑动槽之间安装有多个内置弹簧，所述滑动槽的内壁上等距离设置有多个限位卡板，所述连接柱的表面开设有供限位卡板卡入的槽；通过设计的连接柱和滑动槽，可以在使用中，根据不同的加工需求来调节放置板的高度，从而满足不同的放置需求，同时整体调节起来十分简单，易于操作，以及设计的内置弹簧和限位卡板，能够保证调节后的稳定性。

Description

一种晶圆生产加工专用预烘装置

技术领域

本实用新型属于晶圆加工设备技术领域，具体涉及一种晶圆生产加工专用预烘装置。

背景技术

晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅，高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅，硅晶棒在经过研磨，抛光，切片等加工后，形成硅晶圆片，也就是晶圆，在对晶圆的加工中，需要通过专门的烘箱进行预烘，从而进行前期的加工。

现有的预烘装置在使用时，无法调节放置盘的高度，因此在使用中，灵活性较差，存在可改进的空间，同时现有的放置盘在抽取中，为平面滑动状，自身的摩擦力较大，实际使用中存在较大的局限性。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种晶圆生产加工专用预烘装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种晶圆生产加工专用预烘装置，包括箱体，所述箱体的表面开设有多个加工腔，所述加工腔的内侧设置有放置板，所述加工腔的内壁开设有滑动槽，所述加工腔的内部还设置有侧安装框，所述侧安装框的后表面固定有嵌入至滑动槽内部的连接柱，所述连接柱与滑动槽之间安装有多个内置弹簧，所述滑动槽的内壁上等距离设置有多个限位卡板，所述连接柱的表面开设有供限位卡板卡入的槽。

优选的，所述连接柱与滑动槽的横截面为T型结构，所述侧安装框的横截面为C型结构。

优选的，所述侧安装框的内侧上端面以及下端面上均安装有滚珠，所述侧安装框的内侧滑动插入有放置板，所述放置板与滚珠滚动连接。

优选的，所述侧安装框的开口处呈向上状弯曲且形成导向边，所述导向边的横截面呈八字型结构。

优选的，所述箱体的表面还旋转安装有多个防护门，每个所述防护门均设置在加工腔的一侧。

优选的，所述加工腔的外侧设置有操作面板，所述操作面板上还安装有按键。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1.通过设计的连接柱和滑动槽，可以在使用中，根据不同的加工需求来调节放置板的高度，从而满足不同的放置需求，同时整体调节起来十分简单，易于操作，以及设计的内置弹簧和限位卡板，能够保证调节后的稳定性；

2.通过设计的滚珠，可以在抽取放置板中，降低摩擦力，更加省力，设计的导向边，能够便于放置板的前期插入。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为本实用新型图1中A区域的放大示意图；

图3为本实用新型侧安装框与滑动槽的连接正视图；

图4为本实用新型侧安装框与滑动槽的连接俯视图；

图5为本实用新型图4中B区域的放大示意图；

图6为本实用新型侧安装框端部的放大示意图。

图中：1、防护门；2、加工腔；3、放置板；4、操作面板；5、箱体；6、侧安装框；7、滚珠；8、连接柱；9、滑动槽；10、内置弹簧；11、限位卡板；12、导向边。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1至图6，本实用新型提供一种技术方案：一种晶圆生产加工专用预烘装置，包括箱体5，箱体5的表面开设有多个加工腔2，加工腔2的内侧设置有放置板3，加工腔2的内壁开设有滑动槽9，加工腔2的内部还设置有侧安装框6，侧安装框6的后表面固定有嵌入至滑动槽9内部的连接柱8，通过设计的连接柱8和滑动槽9，可以在使用中，根据不同的加工需求来调节放置板3的高度，从而满足不同的放置需求，同时整体调节起来十分简单，易于操作，以及设计的内置弹簧10和限位卡板11，能够保证调节后的稳定性，连接柱8与滑动槽9之间安装有多个内置弹簧10，滑动槽9的内壁上等距离设置有多个限位卡板11，连接柱8的表面开设有供限位卡板11卡入的槽。

本实施例中，优选的，连接柱8与滑动槽9的横截面为T型结构，侧安装框6的横截面为C型结构。

本实施例中，优选的，侧安装框6的内侧上端面以及下端面上均安装有滚珠7，设计的滚珠7，可以在抽取放置板3中，降低摩擦力，更加省力，设计的导向边12，能够便于放置板3的前期插入，侧安装框6的内侧滑动插入有放置板3，放置板3与滚珠7滚动连接。

本实施例中，优选的，侧安装框6的开口处呈向上状弯曲且形成导向边12，导向边12的横截面呈八字型结构。

本实施例中，优选的，箱体5的表面还旋转安装有多个防护门1，每个防护门1均设置在加工腔2的一侧。

本实施例中，优选的，加工腔2的外侧设置有操作面板4，操作面板4上还安装有按键。

本实用新型的工作原理及使用流程：本实用新型在使用时，根据加工的实际需求，对侧安装框6的高度进行调节，在调节中，先将侧安装框6向加工腔2的内壁挤压，此时连接柱8的底端面与滑动槽9的底端面逐渐靠拢，此时内置弹簧10被压缩，接着限位卡板11从连接柱8上的槽内脱离，随后将侧安装框6向上或者向下进行移动，移动到合适位置后，停止运动，此时在内置弹簧10的回弹下，限位卡板11卡入连接柱8上相对应位置的槽内，从而完成固定安装，接着将放置板3插入侧安装框6的内侧，在插入中，通过侧安装框6端部形成的导向边12增加开口的面积，同时在插入中，通过滚珠7降低摩擦力，提高对放置板3的抽取速度，在正常加工中，将晶圆放置在放置板3的表面即可。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (6)

1.一种晶圆生产加工专用预烘装置，包括箱体（5），所述箱体（5）的表面开设有多个加工腔（2），所述加工腔（2）的内侧设置有放置板（3），其特征在于：所述加工腔（2）的内壁开设有滑动槽（9），所述加工腔（2）的内部还设置有侧安装框（6），所述侧安装框（6）的后表面固定有嵌入至滑动槽（9）内部的连接柱（8），所述连接柱（8）与滑动槽（9）之间安装有多个内置弹簧（10），所述滑动槽（9）的内壁上等距离设置有多个限位卡板（11），所述连接柱（8）的表面开设有供限位卡板（11）卡入的槽。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆生产加工专用预烘装置，其特征在于：所述连接柱（8）与滑动槽（9）的横截面为T型结构，所述侧安装框（6）的横截面为C型结构。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆生产加工专用预烘装置，其特征在于：所述侧安装框（6）的内侧上端面以及下端面上均安装有滚珠（7），所述侧安装框（6）的内侧滑动插入有放置板（3），所述放置板（3）与滚珠（7）滚动连接。

4.根据权利要求3所述的一种晶圆生产加工专用预烘装置，其特征在于：所述侧安装框（6）的开口处呈向上状弯曲且形成导向边（12），所述导向边（12）的横截面呈八字型结构。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆生产加工专用预烘装置，其特征在于：所述箱体（5）的表面还旋转安装有多个防护门（1），每个所述防护门（1）均设置在加工腔（2）的一侧。

6.根据权利要求1所述的一种晶圆生产加工专用预烘装置，其特征在于：所述加工腔（2）的外侧设置有操作面板（4），所述操作面板（4）上还安装有按键。

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