CN213302010U - 用于测试红外探测器的系统 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种用于测试红外探测器的系统，其包括：傅里叶红外光谱仪、光源、测试腔室和测试底座，所述测试底座和光源设置在所述测试腔室中，所述测试腔室至少用于提供测试时所需的遮光环境，所述傅里叶红外光溥仪至少用于对安装在测试底座上的红外探测器样品进行测试；所述测试底座上设置有印刷电路板和样品封装机构，样品封装机构与所述印刷电路板可分离设置，在所述印刷电路板上还设置有可供样品封装机构插拔的插孔或插座，被测的红外探测器样品能够被封装在样品封装机构内。本实用新型具有用于封装被测红外探测器的TO CAN封装机构，TO CAN封装机构能够直接插拔在印刷电路板上的TO CAN插座上，TO CAN封装机构可以轻易插拔更换，更加简便实用。

Description

用于测试红外探测器的系统

技术领域

本实用新型涉及一种红外探测器测试系统，特别涉及一种用于测试红外探测器的系统，属于半导体测试技术领域。

背景技术

近年来，随着光电技术，电子技术在通信行业的迅速发展，红外探测器技术在不同领域中得到越来越多、越来越广泛的应用。检验红外探测器波长是描述器件的关键参数，光波长与器件材料、响应度有关，然而，目前对探测器的测试大多集中在未封装的芯片级别。

实用新型内容

本实用新型的主要目的在于提供一种用于测试红外探测器的系统，以克服现有技术中的不足。

为实现前述实用新型目的，本实用新型采用的技术方案包括：

本实用新型实施例提供了一种用于测试红外探测器的系统，其包括：傅里叶红外光谱仪、光源、测试腔室和测试底座，所述测试底座和光源设置在所述测试腔室中，所述测试腔室至少用于提供测试时所需的遮光环境，所述傅里叶红外光溥仪至少用于对安装在测试底座上的红外探测器样品进行测试；

其中，所述测试底座上设置有印刷电路板和样品封装机构，所述样品封装机构与所述印刷电路板可分离设置，并且，在所述印刷电路板上还设置有可供样品封装机构插拔的插孔或插座，被测的红外探测器样品能够被封装在所述样品封装机构内，当所述样品封装机构被插入安装在所述印刷电路板上的插孔或插座内时，被测的红外探测器样品能够与所述印刷电路板电连接。

与现有技术相比，本实用新型的优点包括：

1)本实用新型实施例提供了一种用于测试红外探测器的系统，具有用于封装被测红外探测器的TO CAN封装机构，TO CAN封装机构能够直接插拔在印刷电路板上的TO CAN插座上，TO CAN封装机构可以轻易插拔更换，更加简便实用；

2)本实用新型实施例提供了一种用于测试红外探测器的系统，采用可更换式的分束器，从而可以根据测试需求使用不同光源的测试需求。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请中记载的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本实用新型一典型实施案例中提供的一种用于测试红外探测器的系统原理结构示意图；

图2是本实用新型一典型实施案例中提供的一种用于测试红外探测器的系统的结构示意图。

具体实施方式

鉴于现有技术中的不足，本案发明人经长期研究和大量实践，得以提出本实用新型的技术方案。如下将对该技术方案、其实施过程及原理等作进一步的解释说明。

傅里叶变换红外光谱仪(Fourier Transform Infrared Spectrometer，简写为FTIR Spectrometer),简称为傅里叶红外光谱仪；它不同于色散型红外分光的原理，是基于对干涉后的红外光进行傅里叶变换的原理而开发的红外光谱仪，主要由红外光源、光阑、干涉仪(分束器、动镜、定镜)、样品室、检测器以及各种红外反射镜、激光器、控制电路板和电源组成。

本实用新型实施例提供了一种用于测试红外探测器的系统，其包括：傅里叶红外光谱仪、光源、测试腔室和测试底座，所述测试底座和光源设置在所述测试腔室中，所述测试腔室至少用于提供测试时所需的遮光环境，所述傅里叶红外光溥仪至少用于对安装在测试底座上的红外探测器样品进行测试；

其中，所述测试底座上设置有印刷电路板和样品封装机构，所述样品封装机构与所述印刷电路板可分离设置，并且，在所述印刷电路板上还设置有可供样品封装机构插拔的插孔或插座，被测的红外探测器样品能够被封装在所述样品封装机构内，当所述样品封装机构被插入安装在所述印刷电路板上的插孔或插座内时，被测的红外探测器样品能够与所述印刷电路板电连接。

进一步的，所述样品封装机构包括TOCAN封装机构。

进一步的，所述测试底座活动设置在光学测试平台上，且所述测试底座于所述光学测试平台上能够沿指定方向运动。

进一步的，所述测试底座通过磁性结合的方式与所述光学测试平台连接。

进一步的，所述测试底座上设置有一支撑架，所述印刷电路板设置在所述支撑架上。

进一步的，所述支撑架包括第一支撑部件和第二支撑部件，所述第一支撑部件与所述测试底座固定连接，所述第二支撑部件与所述第一支撑部件活动配合，并能够沿所述第一支撑部件的长度方向运动，其中，所述印刷电路板固定设置在所述第二支撑部件上。

进一步的，所述第二支撑部件上具有两个相对设置的夹持部件，所述两个夹持部件之间具有用于夹持第一支撑部件的间隙，其中，所述两个夹持部件中的至少一者与所述第二支撑部件活动配合并能够沿所述间隙的宽度方向运动，且与所述第二支撑部件活动配合的夹持部件还与一弹性部件连接，所述弹性部件能够提供使所述两个夹持部件固定夹持在第一支撑部件上的力。

进一步的，所述第二支撑部件上具有沿所述间隙的宽度方向设置的导向凹槽，所述夹持部件的部分设置在所述导向凹槽内，另一部分自所述导向凹槽内露出，所述夹持部件经弹性部件与第二支撑部件连接，或者，所述两个夹持部件经弹性部件连接，其中，夹持部件包括夹持块，所述夹持块与第一支撑部件接触的表面为与所述第一支撑部件的相匹配的凹槽，所述凹槽的表面具有与所述第一支撑部件的局部相匹配的轮廓，所述弹性部件包括弹簧。

进一步的，所述第一支撑部件和第二支撑部件均包括支撑杆，所述第一支撑部件和第二支撑部件垂直设置。

进一步的，所述光源和被测的红外探测器样品相对设置。

进一步的，所述傅里叶红外光谱仪包括分束器，且所述分束器可以更换。

如下将结合附图对该技术方案、其实施过程及原理等作进一步的解释说明。

请参阅图1和图2，一种用于测试红外探测器的系统，其包括：傅里叶红外光谱仪8、光源4、测试腔室(图中未示出，主要是用于提供测试时的遮光环境，例如可以是暗箱等)和测试底座2，所述测试底座2和光源4设置在所述测试腔室中，所述测试腔室至少用于提供测试时所需的遮光环境，所述傅里叶红外光溥仪8至少用于对安置在测试底座2上的红外探测器样品进行测试；

其中，所述测试底座2上设置有印刷电路板(PCB)5和样品封装机构7，所述样品封装机构7与所述印刷电路板5可分离设置，并且，在所述印刷电路板5上还设置有可供样品封装机构7插拔的插孔或插座6，被测的红外探测器样品能够被封装在所述样品封装机构7内，当所述样品封装机构7被插入安装在所述印刷电路板5上的插孔或插座6内时，被测的红外探测器样品能够与所述印刷电路板5电连接。

具体的，所述样品封装机构7包括TOCAN封装机构，所述的插座或插孔6为TOCAN插座。

具体的，请再次参阅图2，所述测试底座2活动设置在光学测试平台1上，且所述测试底座2于所述光学测试平台1上能够沿指定方向运动，例如，所述测试底座2通过磁性结合的方式与所述光学测试平台1连接，所述测试底座2可以以滑动的方式与所述光学测试平台1配合，从而可以实现测试底座2在光学测试平台1的移动和旋转。

具体的，所述测试底座2上设置有一支撑架3，所述印刷电路板5设置在所述支撑架3上。

具体的，所述支撑架3包括第一支撑部件31和第二支撑部件32，所述第一支撑部件31与所述测试底座2固定连接，所述第二支撑部件32与所述第一支撑部件31活动配合，并能够沿所述第一支撑部件31的长度方向运动，其中，所述印刷电路板5固定设置在所述第二支撑部件32上，所述第二支撑部件32上具有两个相对设置的夹持部件(图中未示出)，所述两个夹持部件之间具有用于夹持第一支撑部件31的间隙，其中，所述两个夹持部件中的至少一者与所述第二支撑部件活动配合并能够沿所述间隙的宽度方向运动，且与所述第二支撑部件活动配合的夹持部件还与一弹性部件连接，所述弹性部件能够提供使所述两个夹持部件固定夹持在第一支撑部件上的力。

具体的，所述第二支撑部件上具有沿所述间隙的宽度方向设置的导向凹槽，所述夹持部件的部分设置在所述导向凹槽内，另一部分自所述导向凹槽内露出，所述夹持部件经弹性部件与第二支撑部件连接，或者，所述两个夹持部件经弹性部件连接，其中，夹持部件包括夹持块，所述夹持块与第一支撑部件接触的表面为与所述第一支撑部件的相匹配的凹槽，所述凹槽的表面具有与所述第一支撑部件的局部相匹配的轮廓，所述弹性部件包括弹簧。

具体的，所述第一支撑部件和第二支撑部件均包括支撑杆，所述第一支撑部件和第二支撑部件垂直设置。

具体的，所述光源和被测的红外探测器样品相对设置，所述傅里叶红外光谱仪包括分束器，且所述分束器可以更换。

本实用新型实施例提供的一种用于测试红外探测器的系统的工作过程至少包括：

将被测红外探测器封装于TO CAN封装机构7中，并将TO CAN封装机构7直接插入印刷电路板5上的TO CAN插座6内，并将印刷电路板5固定在支撑架3上；

通过调节支撑架和测试底座的平面位置和空间位置，以使被测红外探测器与光源相对设置；

光源4发出的光被傅里叶红外光溥仪8的分束器(类似半透半反镜)分为两束，一束经透射到达动镜，另一束经反射到达定镜，两束光分别经定镜和动镜反射再回到分束器，动镜以一恒定速度作直线运动，因而经分束器分束后的两束光形成光程差，产生干涉光，干涉光在分束器会合后通过TO CAN封装机构7内的被测红外探测器样品，通过被测红外探测器样品后含有样品信息的干涉光到达检测器，然后通过傅里叶变换对信号进行处理，最终得到透过率或吸光度随波数或波长的红外吸收光谱图。

具体的，傅里叶红外光谱仪的光源4固定，光斑面积小，被测红外探测器样品需精准对接光斑，可通过调节支撑架3和测试底座2使被测外探测器样品在X轴、Y轴等方向上的移动，直至光源精准照射在被测红外探测器样品表面，由此获得红外吸收光谱图。

本实用新型实施例提供了一种用于测试红外探测器的系统，简便实用，测试使用方便，灵活度高；本实用新型实施例提供了一种用于测试红外探测器的系统，具有用于封装被测红外探测器的TO CAN封装机构，TO CAN封装机构能够直接插拔在印刷电路板上的TOCAN插座上，TO CAN封装机构可以轻易插拔更换，更加简便实用，本实用新型实施例提供的一种用于测试红外探测器的系统，采用可更换式的分束器，从而可以根据测试需求使用不同光源的测试需求。

应当理解，上述实施例仅为说明本实用新型的技术构思及特点，其目的在于让熟悉此项技术的人士能够了解本实用新型的内容并据以实施，并不能以此限制本实用新型的保护范围。凡根据本发明精神实质所作的等效变化或修饰，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种用于测试红外探测器的系统，其特征在于包括：傅里叶红外光谱仪、光源、测试腔室和测试底座，所述测试底座和光源设置在所述测试腔室中，所述测试腔室至少用于提供测试时所需的遮光环境，所述傅里叶红外光溥仪至少用于对安装在测试底座上的红外探测器样品进行测试；

其中，所述测试底座上设置有印刷电路板和样品封装机构，所述样品封装机构与所述印刷电路板可分离设置，并且，在所述印刷电路板上还设置有可供样品封装机构插拔的插孔或插座，被测的红外探测器样品能够被封装在所述样品封装机构内，当所述样品封装机构被插入安装在所述印刷电路板上的插孔或插座内时，被测的红外探测器样品能够与所述印刷电路板电连接。

2.根据权利要求1所述用于测试红外探测器的系统，其特征在于：所述样品封装机构包括TO CAN封装机构。

3.根据权利要求1所述用于测试红外探测器的系统，其特征在于：所述测试底座活动设置在光学测试平台上，且所述测试底座于所述光学测试平台上能够沿指定方向运动。

4.根据权利要求3所述用于测试红外探测器的系统，其特征在于：所述测试底座通过磁性结合的方式与所述光学测试平台连接。

5.根据权利要求3所述用于测试红外探测器的系统，其特征在于：所述测试底座上设置有一支撑架，所述印刷电路板设置在所述支撑架上。

6.根据权利要求5所述用于测试红外探测器的系统，其特征在于：所述支撑架包括第一支撑部件和第二支撑部件，所述第一支撑部件与所述测试底座固定连接，所述第二支撑部件与所述第一支撑部件活动配合，并能够沿所述第一支撑部件的长度方向运动，其中，所述印刷电路板固定设置在所述第二支撑部件上。

7.根据权利要求6所述用于测试红外探测器的系统，其特征在于：所述第二支撑部件上具有两个相对设置的夹持部件，所述两个夹持部件之间具有用于夹持第一支撑部件的间隙，其中，所述两个夹持部件中的至少一者与所述第二支撑部件活动配合并能够沿所述间隙的宽度方向运动，且与所述第二支撑部件活动配合的夹持部件还与一弹性部件连接，所述弹性部件能够提供使所述两个夹持部件固定夹持在第一支撑部件上的力。

8.根据权利要求6所述用于测试红外探测器的系统，其特征在于：所述第一支撑部件和第二支撑部件均包括支撑杆，所述第一支撑部件和第二支撑部件垂直设置。

9.根据权利要求1所述用于测试红外探测器的系统，其特征在于：所述光源和被测的红外探测器样品相对设置。

10.根据权利要求1所述用于测试红外探测器的系统，其特征在于：所述傅里叶红外光谱仪包括分束器，且所述分束器可以更换。

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