CN213279582U - 一种用于扩散炉的加热装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种用于扩散炉的加热装置，涉及扩散炉技术领域。本实用新型包括保护外壳，保护外壳的内部开设有工作腔，工作腔的内部安装有扩散炉本体，保护外壳的内部且位于工作腔的外侧开设有加热腔，保护外壳的内部且位于加热腔的外侧开设有真空隔热腔，保护外壳的上端固定有加热器，加热器的输出端且位于加热腔的内部电性连接有加热丝，保护外壳的上端且位于光线反射机构的两侧均固定有太阳能板。本实用新型通过各个配件的配合将太阳能转换成电能，再将电能转换成热能对扩散炉本体进行加热，能够大大的减少资源的浪费，通过设置光线反射机构能够更好的将太阳光线折射到太阳能板的上端，从而能够大大的提升对太阳能的利用率。

Description

一种用于扩散炉的加热装置

技术领域

本实用新型属于扩散炉技术领域，特别是涉及一种用于扩散炉的加热装置。

背景技术

扩散炉是半导体生产线前工序的重要工艺设备之一，用于大规模集成电路、分立器件、电力电子、光电器件和光导纤维等行业的扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺，扩散技术是制备太阳能电池片的关键工序，它是将一定量的某种杂质掺杂到晶体硅中，扩散的微观过程是物质的一种输运过程，是通过半导体晶格格点的无规则运动产生，这种运动总是由粒子浓度较高的地方向着浓度较低的地方进行，从而使粒子的分布趋于均匀，在扩散炉的使用过程中，需要使用加热装置对扩散炉进行加热，但现有加热装置对扩散炉进行加热时需要使用较多的能源，浪费的能源较大，且对太阳能的利用率较差。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种用于扩散炉的加热装置，以解决了现有的问题：现有加热装置对扩散炉进行加热时需要使用较多的能源，浪费的能源较大。

为解决上述技术问题，本实用新型是通过以下技术方案实现的：

本实用新型为一种用于扩散炉的加热装置，包括保护外壳，所述保护外壳的内部开设有工作腔，所述工作腔的内部安装有扩散炉本体，所述保护外壳的内部且位于工作腔的外侧开设有加热腔，所述保护外壳的内部且位于加热腔的外侧开设有真空隔热腔，所述保护外壳的上端固定有加热器，所述加热器的输出端且位于加热腔的内部电性连接有加热丝，所述保护外壳的上端且位于加热器的两侧均固定有太阳能板，所述保护外壳的一端装配有蓄电池，所述保护外壳的另一端安装有光线反射机构。

本实用新型的一种用于扩散炉的加热装置，所述保护外壳上端的中间位置设置有固定平台，所述加热器螺钉连接在固定平台的上端。

进一步地，所述光线反射机构包括两个限位支架，两个所述限位支架固定在保护外壳的一端，两个所述限位支架的上端转动连接有转动支架，所述转动支架的一端固定有反射镜，两个所述限位支架之间固定有固定板，所述固定板的一端螺钉连接有传动电机，所述传动电机的输出端固定连接有传动蜗杆，所述转动支架的中间位置固定有从动蜗轮，所述传动蜗杆和从动蜗轮啮合连接。

进一步地，所述光线反射机构还包括加固支架，所述加固支架固定在固定板的一端且位于传动电机的外侧，所述传动蜗杆的上端转动连接在加固支架的中间位置。

进一步地，所述限位支架的上端装配有滚动轴承，所述转动支架通过滚动轴承转动连接在限位支架的内部。

进一步地，所述反射镜的材质为铜、不锈钢和玻璃中的一种。

本实用新型具有以下有益效果：

1、本实用新型通过各个配件的配合将太阳能转换成电能，再将电能转换成热能对扩散炉本体进行加热，能够大大的减少资源的浪费。

2、本实用新型通过设置光线反射机构能够更好的将太阳光线折射到太阳能板的上端，从而能够大大的提升对太阳能的利用率。

当然，实施本实用新型的任一产品并不一定需要同时达到以上所述的所有优点。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对实施例描述所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型一种用于扩散炉的加热装置一端的结构示意图；

图2为本实用新型一种用于扩散炉的加热装置另一端的结构示意图；

图3为本实用新型一种用于扩散炉的加热装置的局部剖切结构示意图；

图4为本实用新型一种用于扩散炉的加热装置保护外壳的剖切结构示意图；

图5为本实用新型一种用于扩散炉的加热装置光线反射机构的结构示意图；

图6为本实用新型一种用于扩散炉的加热装置图5中A处的大样图。

附图中，各标号所代表的部件列表如下：

1、保护外壳；2、光线反射机构；3、加热器；4、太阳能板；5、蓄电池；6、扩散炉本体；7、加热丝；8、工作腔；9、加热腔；10、真空隔热腔；11、限位支架；12、固定板；13、传动电机；14、传动蜗杆；15、从动蜗轮；16、转动支架；17、反射镜；18、加固支架。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-6所示，本实用新型为一种用于扩散炉的加热装置，包括保护外壳1，保护外壳1的内部开设有工作腔8，工作腔8的内部安装有扩散炉本体6，保护外壳1的内部且位于工作腔8的外侧开设有加热腔9，保护外壳1的内部且位于加热腔9的外侧开设有真空隔热腔10，保护外壳1 的上端固定有加热器3，加热器3的输出端且位于加热腔9的内部电性连接有加热丝7，保护外壳1的上端且位于加热器3的两侧均固定有太阳能板4，保护外壳1的一端装配有蓄电池5，保护外壳1的另一端安装有光线反射机构2；

在此，保护外壳1上端的中间位置设置有固定平台，加热器3螺钉连接在固定平台的上端；

进一步地，光线反射机构2包括两个限位支架11，两个限位支架11固定在保护外壳1的一端，两个限位支架11的上端转动连接有转动支架16，转动支架16的一端固定有反射镜17，两个限位支架11之间固定有固定板 12，固定板12的一端螺钉连接有传动电机13，传动电机13的输出端固定连接有传动蜗杆14，转动支架16的中间位置固定有从动蜗轮15，传动蜗杆14和从动蜗轮15啮合连接；

在此，光线反射机构2还包括加固支架18，加固支架18固定在固定板 12的一端且位于传动电机13的外侧，传动蜗杆14的上端转动连接在加固支架18的中间位置；

具体的，限位支架11的上端装配有滚动轴承，转动支架16通过滚动轴承转动连接在限位支架11的内部；

详细的，反射镜17的材质可以为铜、不锈钢和玻璃中的一种。

本实施例的一个具体应用为：在使用时，当太阳光线照射在太阳能板4 的上表面时，太阳能板4内部的半导体p-n结会吸收太阳光，形成新的空穴-电子对，在p-n结电场的作用下，空穴由p区流向n区，电子由n区流向p区，接通电路后就形成电流，然后通过导线传导给蓄电池5；

然后通过蓄电池5将加热器3启动，加热器3启动后会通过加热丝7 对加热腔9的内部进行加热，使加热腔9内部的温度升高，当加热腔9和工作腔8内部的温度产生温差时，加热腔9内部的热能会进入工作腔8的内部，从而提高工作腔8内部的温度，对扩散炉本体6进行加热，通过各个配件的配合将太阳能转换成电能，再将电能转换成热能对扩散炉本体6进行加热，能够大大的减少资源的浪费；

在使用过程中，将传动电机13启动，传动电机13启动后会带动传动蜗杆14进行转动，因为传动蜗杆14和从动蜗轮15通过啮合连接，传动蜗杆14转动时会通过从动蜗轮15带动转动支架16一起进行转动，转动支架 16转动时会对反射镜17的角度进行调节，能够更好的将太阳光线折射到太阳能板4的上端，从而能够大大的提升对太阳能的利用率。

在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“示例”、“具体示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

以上公开的本实用新型优选实施例只是用于帮助阐述本实用新型。优选实施例并没有详尽叙述所有的细节，也不限制该实用新型仅为所述的具体实施方式。显然，根据本说明书的内容，可作很多的修改和变化。本说明书选取并具体描述这些实施例，是为了更好地解释本实用新型的原理和实际应用，从而使所属技术领域技术人员能很好地理解和利用本实用新型。本实用新型仅受权利要求书及其全部范围和等效物的限制。

Claims (6)

1.一种用于扩散炉的加热装置，包括保护外壳(1)，其特征在于：所述保护外壳(1)的内部开设有工作腔(8)，所述工作腔(8)的内部安装有扩散炉本体(6)，所述保护外壳(1)的内部且位于工作腔(8)的外侧开设有加热腔(9)，所述保护外壳(1)的内部且位于加热腔(9)的外侧开设有真空隔热腔(10)，所述保护外壳(1)的上端固定有加热器(3)，所述加热器(3)的输出端且位于加热腔(9)的内部电性连接有加热丝(7)，所述保护外壳(1)的上端且位于加热器(3)的两侧均固定有太阳能板(4)，所述保护外壳(1)的一端装配有蓄电池(5)，所述保护外壳(1)的另一端安装有光线反射机构(2)。

2.根据权利要求1所述的一种用于扩散炉的加热装置，其特征在于，所述保护外壳(1)上端的中间位置设置有固定平台，所述加热器(3)螺钉连接在固定平台的上端。

3.根据权利要求1所述的一种用于扩散炉的加热装置，其特征在于，所述光线反射机构(2)包括两个限位支架(11)，两个所述限位支架(11)固定在保护外壳(1)的一端，两个所述限位支架(11)的上端转动连接有转动支架(16)，所述转动支架(16)的一端固定有反射镜(17)，两个所述限位支架(11)之间固定有固定板(12)，所述固定板(12)的一端螺钉连接有传动电机(13)，所述传动电机(13)的输出端固定连接有传动蜗杆(14)，所述转动支架(16)的中间位置固定有从动蜗轮(15)，所述传动蜗杆(14)和从动蜗轮(15)啮合连接。

4.根据权利要求3所述的一种用于扩散炉的加热装置，其特征在于，所述光线反射机构(2)还包括加固支架(18)，所述加固支架(18)固定在固定板(12)的一端且位于传动电机(13)的外侧，所述传动蜗杆(14)的上端转动连接在加固支架(18)的中间位置。

5.根据权利要求3所述的一种用于扩散炉的加热装置，其特征在于，所述限位支架(11)的上端装配有滚动轴承，所述转动支架(16)通过滚动轴承转动连接在限位支架(11)的内部。

6.根据权利要求3所述的一种用于扩散炉的加热装置，其特征在于，所述反射镜(17)的材质为铜、不锈钢和玻璃中的一种。

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