CN213203190U - 一种cvd炉发热体的取出装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种CVD炉发热体的取出装置，该取出装置包括支架主体，所述的支架主体是由三根支杆组成的相互呈120°角的星型三角形结构，三根支杆上均设置有可沿支杆自由滑动的吊杆，所述的吊杆的端部设置有挂钩。本实用新型的支架主体为相互呈120°角的星型三角形结构，可以提高发热体取出时的稳定性。支架主体上三根可滑动的吊杆，可以根据发热体直径的大小进行调节，提高了工装的适用性。支架主体采用三人合作抬动的方式，较前期两人抬动的取出方式，操作空间更大、更省力、更安全；通过使用此装置，提高了取出发热体操作的安全性、效率、可操作性。

Description

一种CVD炉发热体的取出装置

技术领域

本实用新型涉及一种CVD炉发热体的取出装置，属于化学气相沉积(CVD)技术领域。

背景技术

化学气相沉积(以下简称为CVD)是指化学气体或蒸汽在基质表面反应合成涂层或纳米材料的方法，是半导体工业中应用最为广泛的用来沉积多种材料的技术，包括大范围的绝缘材料，大多数金属材料和金属合金材料。目前，为获得较高的温度，CVD炉一般采用石墨材质的一体式的圆形发热体。

在进行CVD炉内部清理、维护保养或者维修时，需要将发热体从CVD炉中取出，但由于发热体自身重量重、发热体与保温桶间的间隙小、发热体在CVD炉内部位置较深等因素，只能通过两人用双手分别抓住发热体上沿位置将发热体取出，不仅取出发热体的操作难度大，同时增加了发热体被磕碰的风险。

因此，设计一种专用于一种CVD炉发热体的取出装置，降低其取出难度及磕碰风险是非常有必要的。为此，提出本实用新型。

发明内容

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种CVD炉发热体的取出装置。利用该装置可以快速、方便、安全地取出CVD炉内的发热体，降低了发热体的取出难度及发热体被磕碰的风险，提高了发热体取出的效率。

本实用新型的技术方案如下：

一种CVD炉发热体的取出装置，包括支架主体，所述的支架主体是由三根支杆组成的相互呈120°角的星型三角形结构，三根支杆上均设置有可沿支杆自由滑动的吊杆，所述的吊杆的端部设置有挂钩。

本实用新型的支架主体呈星型三角形结构，每根支杆均匀分布，减小发热体在取出时的晃动，提高发热体取出时的稳定性。

根据本实用新型，优选的，所述的支架主体的三根支杆均为方形不锈钢管。支杆设置为方形，可以防止使用时从操作手中滑动；

进一步优选的，所述的吊杆与支杆连接的一端设置有方形孔，吊杆通过方形孔连接在支杆上。吊杆可沿支杆自由滑动，可以很方便地根据发热体直径大小调节其三点组成的圆形的直径大小，适应不同大小的发热体的取出。支架主体采用方形不锈钢管，可以在保证装置强度的同时降低装置重量，也可以提高装置的使用寿命。

根据本实用新型，优选的，所述的吊杆的端部还设置有穿绳孔。

根据本实用新型，优选的，所述的挂钩上挂有钢丝绳。

使用本实用新型的装置取出CVD炉发热体时，先将装置放置在CVD炉主体炉口的正上方，根据发热体的直径通过调节方形孔的位置，调节好吊杆的位置，然后将钢丝绳穿过发热体上端，穿过穿绳孔后在挂钩处打结固定，将发热体固定好后，由三人同时抬起支架主体，注意抬起时保持支架水平，将发热体抬出CVD炉主体炉口，然后平稳放置在地面上。

本实用新型的支架主体采用三人合作抬动的方式，较前期两人抬动的取出方式，操作空间更大、更省力、更安全。

本实用新型的有益效果在于：

1、本实用新型提供的CVD炉发热体的取出装置，其支架主体为相互呈120°角的星型三角形结构，可以提高发热体取出时的稳定性。

2、本实用新型支架主体上三根可滑动的吊杆，可以根据发热体直径的大小进行调节，提高了工装的适用性。

3、本实用新型的支架主体采用三人合作抬动的方式，较前期两人抬动的取出方式，操作空间更大、更省力、更安全；通过使用此装置，提高了取出发热体操作的安全性、效率、可操作性。

附图说明

图1为本实用新型CVD炉发热体的取出装置的结构示意图。

图2为本实用新型CVD炉发热体的取出装置的工作示意图。

其中：1、挂钩；2、吊杆；3、支架主体；4、穿绳孔；5、方形孔；6、CVD炉主体；7、发热体；8、钢丝绳。

具体实施方式

下面通过实施例并结合附图对本实用新型做进一步说明，但不限于此。

实施例1：

如图1、2所示，一种CVD炉发热体的取出装置，包括支架主体3，所述的支架主体3是由三根支杆组成的相互呈120°角的星型三角形结构，三根支杆上均设置有可沿支杆自由滑动的吊杆2，所述的吊杆2的端部设置有挂钩1，挂钩1上挂有钢丝绳8。

本实施例中所述的支架主体3的三根支杆均为方形不锈钢管。支杆设置为方形，可以防止使用时从操作手中滑动；所述的吊杆2与支杆连接的一端设置有方形孔5，吊杆2通过方形孔5连接在支杆上，所述的吊杆2的端部还设置有穿绳孔4。

使用本实用新型的装置取出CVD炉发热体时，先将装置放置在CVD炉主体6炉口的正上方，根据发热体7的直径通过调节方形孔5的位置，调节好吊杆2的位置，然后将钢丝绳8穿过发热体7上端，穿过穿绳孔4后在挂钩1处打结固定，将发热体7固定好后，由三人同时抬起支架主体3，注意抬起时保持支架水平，将发热体7抬出CVD炉主体6炉口，然后平稳放置在地面上。

本实用新型的支架主体3采用三人合作抬动的方式，较前期两人抬动的取出方式，操作空间更大、更省力、更安全。

Claims (5)

1.一种CVD炉发热体的取出装置，其特征在于，该取出装置包括支架主体，所述的支架主体是由三根支杆组成的相互呈120°角的星型三角形结构，三根支杆上均设置有可沿支杆自由滑动的吊杆，所述的吊杆的端部设置有挂钩。

2.根据权利要求1所述的CVD炉发热体的取出装置，其特征在于，所述的支架主体的三根支杆均为方形不锈钢管。

3.根据权利要求2所述的CVD炉发热体的取出装置，其特征在于，所述的吊杆与支杆连接的一端设置有方形孔，吊杆通过方形孔连接在支杆上。

4.根据权利要求1所述的CVD炉发热体的取出装置，其特征在于，所述的吊杆的端部还设置有穿绳孔。

5.根据权利要求1所述的CVD炉发热体的取出装置，其特征在于，所述的挂钩上挂有钢丝绳。

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