CN213184959U - 一种多通式激光脉冲展宽装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种多通式激光脉冲展宽装置，该展宽装置将激光脉冲通过入射光调节组件导入一对平行放置的凹面镜组成的多通道传输单元，辅助以若干镜片进行光线准直和光路叠加，通过在凹面镜组之间引入色散介质或在其中一个凹面镜上设置色散层，实现对激光脉冲在时域、频率域上的展宽；通过控制两凹面镜之间的距离及相对水平面的倾斜角度，可实现展宽量及展宽时间的调谐。该展宽装置具有可小型化、结构紧凑等优点，且激光脉冲的宽度可调谐输出，实用性强。

Description

一种多通式激光脉冲展宽装置

技术领域

本实用新型属于激光器技术领域，具体涉及一种多通式激光脉冲展宽装置。

背景技术

能量在毫焦量级、高重复频率、高功率稳定性的超短超强激光已成为前沿科学的重要研究工具，广泛应用于超快光谱学、化学动力学、生物检测等领域。飞秒微加工中高重频激光与材料相互作用，加工精细程度更高。同时，工业应用对激光器的体积和稳定性提出了非常高的要求。

目前高功率大能量的超短超快激光光源通常使用啁啾脉冲放大(CPA)的方案，即对超短脉冲进行时域的脉冲展宽，降低脉冲的峰值功率，在激光放大的过程中有效的避免非线性的累积以及高峰值功率对光学元件的损坏，进而获得高功率大能量的脉冲输出，最后通过与展宽器色散相反的脉冲压缩器，将脉冲重新压缩，从而得到极高的峰值功率，增强激光脉冲的强度。光栅由于结构简单，在超短脉冲激光放大的展宽和压缩中得到了广泛的应用。然而光栅的造价比较昂贵，使用光栅作为展宽器的结构比较复杂，同时为了避免展宽过程中的空间啁啾，展宽器需要比较精细复杂的调节步骤，这种展宽方式的问题是光路传输距离很长，容易受到来自地面震动、气流以及热漂移的影响，且脉冲频谱在空间上分离时需要大尺度的光学元件支持，对光学元件的加工要求和镀膜工艺都提出了很高的要求，这不仅增加了系统设计、调节、维护的难度，整个系统的体积和成本也得不到很好的控制。而使用块状材料，利用材料色散对脉冲进行展宽是一种比较经济实惠、简单易行的方案。但是为了得到足够的展宽量，需要材料的长度一般在50cm左右，但是如果激光脉冲在材料中单程通过，需要的材料尺寸会很大，不仅成本高昂而且加工难度大。也可以将色散材料设计成特殊的结构，如图 2所示，通过在立方体入口和出口切角，并控制激光脉冲在材料与空气的临界面全反射，实现累计光程的效果。但是整体结构也在73mm×58mm×20mm，加工有难度并且累积光程不可调谐，只能按设计好的光路进行全反射，不利于改变色散量。同时，为了提高系统的稳定性，越来越多的激光系统选择使用光纤振荡器作为前级种子源，但是光纤激光系统输出的光谱比较窄，限制了其应用范围。

综上所述，上述几种展宽器存在难以实现小型化或者脉冲宽度无法调谐的问题。

实用新型内容

因此，基于现有技术的上述缺陷，本实用新型的目的在于解决上述问题的至少一者，提供一种多通式激光脉冲展宽装置，包括展宽组件，所述展宽组件包括多通道传输单元及色散介质，所述多通道传输单元包括相对保持间距设置的第一反射镜、第二反射镜，所述色散介质位于第一反射镜与第二反射镜之间；使入射光线经色散介质入射至第二反射镜，经第二反射镜反射后逆向经过色散介质入射至第一反射镜，经第一反射镜反射后又通过色散介质入射至第二反射镜，再经第二反射镜反射后又逆向经过色散介质入射至第一反射镜，最后经第一反射镜反射后经过色散介质出射导出。

作为优选，还包括入射光调节组件、出射光调节组件，所述入射光调节组件包括第三反射镜、导入镜，入射光线依次经第三反射镜、导入镜调节光线传播路径后经色散介质入射到第二反射镜上；所述出射光调节组件包括：导出镜、第四反射镜，展宽后经过色散介质的出射光线依次经导出镜、第四反射镜调节光线传播路径后出射导出。

作为优选，所述色散介质位于第一反射镜与第二反射镜中间。

作为优选，所述导入镜、导出镜位于多通道传输单元内，所述导入镜靠近第一反射镜设置，所述导出镜靠近第二反射镜设置；

或者，所述导入镜、导出镜位于多通道传输单元外，所述第一反射镜的离轴上设有光线进出口，所述导入镜、导出镜靠近第一反射镜同侧设置，入射光线、出射光线以不同方位角与导入镜、导出镜相配合并从光线进出口经过。

作为本实用新型的第二方面，提供了一种多通式激光脉冲展宽装置，包括展宽组件，所述展宽组件包括多通道传输单元，所述多通道传输单元包括相对保持间距设置的第一反射镜、第二反射镜，所述第一反射镜上设有色散层，使入射光线入射至第二反射镜上，经第二反射镜反射后入射至第一反射镜的色散层上，经第一反射镜反射后逆向入射回到第二反射镜，经第二反射镜反射后又回到第一反射镜的色散层上，再次经第一反射镜反射后逆向入射回到第二反射镜，经第二反射镜反射后出射导出；

或者，所述第二反射镜上设有色散层，使入射光线入射至第二反射镜的色散层上，经第二反射镜反射后入射至第一反射镜，经第一反射镜反射后逆向入射回到第二反射镜的色散层，经第二反射镜反射后又回到第一反射镜，再次经第一反射镜反射后逆向入射回到第二反射镜的色散层，经第二反射镜反射后出射导出。

作为优选，还包括入射光调节组件、出射光调节组件，所述入射光调节组件包括第三反射镜、导入镜，入射光线依次经第三反射镜、导入镜调节光线传播路径后入射到第二反射镜的色散层上；所述出射光调节组件包括：导出镜、第四反射镜，展宽后经过第二反射镜的色散层反射的出射光线依次经导出镜、第四反射镜调节光线传播路径后出射导出。

作为优选，所述第一反射镜或第二反射镜的反射面上镀有透光膜，所述第一反射镜或第二反射镜的背光面上镀有反光膜，同一个反射镜上的所述透光膜与反光膜保持间距设置以形成色散层。

作为优选，还包括光束模式匹配单元，所述光束模式匹配单元包括光轴同轴设置的第一平凸透镜、平凹透镜及第二平凸透镜，入射光线依次经第一平凸透镜、平凹透镜、第二平凸透镜进行光束光学模式转换后配合入射到第三反射镜。

作为优选，还包括第一光束调节单元，所述第一光束调节单元包括调节透镜，展宽后的经第四反射镜的出射光线经调节透镜调节光线传播路径后准直光线；所述调节透镜为平凸透镜。

作为优选，还包括偏振分光镜、第二光束调节单元，所述第二光束调节单元包括1/4波片、零度反射镜，入射光线经平凹透镜调节后经过偏振分光镜入射到第二平凸透镜；经调节透镜准直的出射光线，依次通过1/4波片、零度反射镜改变偏振态后，逆向经过出射光调节组件进入多通道传输单元后，从入射光调节组件入射至第二平凸透镜后从偏振分光镜出射导出；

所述偏振分光镜为格兰棱镜或薄膜偏振片。

本实用新型提供的一种多通式激光脉冲展宽装置，当激光脉冲通过色散材料时，由于材料的色散特性和自相位调制效应，激光脉冲积累了一定的群速度色散和光谱展宽。通过在多通道传输单元中多次往返经过色散材料，激光脉冲在时域和频率域上得到充分、可控的展宽。

附图说明

以下，结合附图来详细说明本实用新型的实施方案，其中：

图1是脉冲经过色散材料展宽的示意图；

图2是现有的展宽器色散展宽的原理图；

图3是本实用新型提供的多通式激光脉冲展宽装置的多通道展宽等效示意图；

图4是本实用新型某一实施例的多通式激光脉冲展宽装置的结构示意图；

图5是本实用新型第二实施例的多通式激光脉冲展宽装置的结构示意图；

图6是本实用新型第三实施例的多通式激光脉冲展宽装置的结构示意图；

图7是本实用新型第四实施例的多通式激光脉冲展宽装置的结构示意图；

图8是本实用新型提供的第二实施例种第一反射镜的结构示意图。

图9是本实用新型提供的第一反射镜、第二反射镜上光束传输路径的示意图。

对于上述各附图的附图标记说明如下：1、色散介质；2、第一反射镜；2a、光线进出口； 3、第二反射镜；4、第三反射镜；5、导入镜；6、导出镜；7、第四反射镜；8、第一平凸透镜；9、平凹透镜；10、第二平凸透镜；11、调节透镜；12、偏振分光镜，13、1/4波片；14、零度反射镜。

具体实施方式

为了使本领域技术人员更好地理解本实用新型，从而对本实用新型要求保护的范围作出更清楚地限定，下面就本实用新型的某些具体实施例对本实用新型进行详细描述。需要说明的是，以下仅是本实用新型构思的某些具体实施方式仅是本实用新型的一部分实施方式，其中对于相关结构的具体的直接的描述仅是为方便理解本实用新型，各具体特征并不当然、直接地限定本实用新型的实施范围。本领域技术人员在本实用新型构思的指导下所作的常规选择和替换，以对于本实用新型各个功能模块之间的合理组合，均应视为在本实用新型要求保护的范围内。

如图1、3-5所示，一种多通式激光脉冲展宽装置，包括展宽组件，展宽组件包括多通道传输单元及色散介质1，多通道传输单元包括相对保持间距设置的第一反射镜2、第二反射镜 3，即望远镜系统，色散介质1位于第一反射镜2与第二反射镜3之间。由于激光器发出的光束沿横向是高斯分布，故称为高斯光束。

第一反射镜2、第二反射镜3为平行放置的凹面镜，且曲率半径相同。曲率半径为R，R 根据系统设计在300-1000mm，两个凹面镜之间的距离L满足以下关系：0<L<R或R<L<2R。使得高斯光束可以在两个凹面镜之间按照特定的轨迹依次反射，在两个凹面镜之间形成次数可控的来回反射，每次往返之间光束均通过色散介质1。高斯光束不断通过两个凹面镜，等效为不断进行了光斑束腰的传递，在传递过程中通过色散材料积累了足够多的色散。在累积色散的同时，由于自相位调制效应，光谱也得到了一定程度的展宽，这种分散的非线性积累，也避免了自聚焦效应对材料的损伤。

展宽时，使入射光线(激光脉冲)经色散介质1入射至第二反射镜3，经第二反射镜3反射后逆向经过色散介质1入射至第一反射镜2，经第一反射镜2反射后又通过色散介质1入射至第二反射镜3，再经第二反射镜3反射后又逆向经过色散介质1入射至第一反射镜2，最后经第一反射镜2反射后经过色散介质1出射导出。

在另一些实施例中，第一反射镜2、第二反射镜3均安装在镜架上，该镜架可调节反射镜的俯仰角度及左右摆放位置，且镜架安装在平移台上，保证反射镜可前后移动，进而改变两个反射镜之间的间距，通过控制两反射镜之间的距离及相对水平面的倾斜角度，便于调节、控制展宽量及展宽时间的调谐。

望远镜系统可以看做是一个谐振腔，根据望远镜系统凹面镜的参数及两个凹面镜的距离，利用谐振腔的ABCD矩阵方法，可以计算两个凹面镜之间的模式分布。入射的激光脉冲要满足望远镜系统内的模式参数。其中，高斯光束从一个凹面镜反射在另一个凹面镜上，相应光线按照设置的参数转过一定的角度并且入射光线入射在设计好的位置，保证光线在两个凹面镜之间来回反射N次，N为20-50。两凹面镜上光束的传输路径如图9所示，激光在两个凹面镜上的光斑按照一定的规律分布才可准确的形成多通结构，按照各个点入射在凹面镜的次序进行编号，其在凹面镜上形成旋转分布的圆周。

在某些实施例中，第一反射镜2、第二反射镜3的曲率半径为300mm，且镜片尺寸大于望远镜系统环绕一周的轮廓尺寸。第一反射镜2、第二反射镜3的镜片表面具有高反射镀膜，对激光脉冲所具有的波段反射率大于99.5％。

在另一些实施例中，第一反射镜2与第二反射镜3之间的光束入射到色散介质1上的入射角为布儒斯特角。

在另一些实施例中，色散介质1位于位于第一反射镜2与第二反射镜3中间，色散介质 1表面具有与入射光波段相一致的高透膜，根据具体展宽需要，色散介质1的厚度为d，d在 10mm-20mm之间，色散介质1的群速度色散为GVD，那么通过色散材料积累的色散量为 N×d×GVD。

在另一些实施例中，色散介质1的材料为熔石英，SF57，NBK7中的一种，尺寸满足望远镜系统光束传输轮廓的大小要求。

在另一些实施例中，多通式激光脉冲展宽装置还包括入射光调节组件、出射光调节组件，入射光调节组件包括第三反射镜4、导入镜5，入射光线依次经第三反射镜4、导入镜5调节光线传播路径后经色散介质1入射到第二反射镜3上；出射光调节组件包括：导出镜6、第四反射镜7，展宽后经过色散介质1的出射光线依次经导出镜6、第四反射镜7调节光线传播路径后出射导出。其中，导入镜5、导出镜6为反射镜。

导入镜5，用于将整形后的激光脉冲按照一定的角度和方向导入望远镜系统，使得光束可以在望远镜系统中按照特定的轨迹传输。导出镜6，用于将展宽后的激光脉冲导出望远镜系统。

在另一些实施例中，导入镜5、导出镜6具有与入射光波段一致的高反膜，为长条形镜片或者三角形镜片，尺寸满足入射光斑导入的大小并且不影响望远镜系统内光束的传播。导入镜5、导出镜6均安装在俯仰、左右可调的镜架上。

在另一些实施例中，如图4、6所示，导入镜5、导出镜6位于多通道传输单元内，同时设置的位置不影响望远镜系统内的光束传播，导入镜5靠近第一反射镜2设置，导出镜6靠近第二反射镜3设置。

在另一些实施例中，如图5、8所示，导入镜5、导出镜6位于多通道传输单元外，第一反射镜2的离轴上设有光线进出口2a，导入镜5、导出镜6靠近第一反射镜2同侧设置，入射光线、出射光线以不同方位角与导入镜5、导出镜6相配合并从光线进出口2a经过。入射脉冲和出射脉冲以不同的方位角经过光线进出口2a，并通过不同的反射镜引导，从而在空间上分开。

在另一些实施例中，光线进出口2a的尺寸满足激光传输的需要并不引起明显的衍射。其中，小孔为圆孔或者锥形孔。

在另一些实施例中，多通式激光脉冲展宽装置还包括光束模式匹配单元，光束模式匹配单元包括光轴同轴设置的第一平凸透镜8、平凹透镜9及第二平凸透镜10，入射光线依次经第一平凸透镜8、平凹透镜9、第二平凸透镜10进行光束光学模式转换后配合入射到第三反射镜4。

通过设置模式匹配单元，可以改变激光脉冲的传输束腰特性，当激光脉冲入射时，根据高斯光束的传输及变换特性，改变高斯光束的束腰及发散角，通过合理设计透镜组各个透镜的焦距及透镜间距满足望远镜系统对入射高斯光束的束腰及发散角的要求。

在另一些实施例中，第一平凸透镜、平凹透镜及第二平凸透镜表面镀有对入射激光波段高透的光学膜。各透镜焦距及透镜间距按照设计好的模式匹配参数进行选择。

在另一些实施例中，多通式激光脉冲展宽装置还包括第一光束调节单元，第一光束调节单元包括调节透镜11，展宽后的经第四反射镜7的出射光线经调节透镜11调节光线传播路径后准直光线；调节透镜11为平凸透镜。

在另一些实施例中，透镜表面镀有对入射激光波段高透的光学膜。用于将望远镜系统输出的发散的光束准直，以便脉冲进入后续的放大系统进行放大。根据后续实验需要的光斑参数选择适当的透镜焦距。

在另一些实施例中，如图6所示，多通式激光脉冲展宽装置还包括偏振分光镜12、第二光束调节单元，第二光束调节单元包括1/4波片13、零度反射镜14，入射光线经平凹透镜9 调节后经过偏振分光镜12入射到第二平凸透镜10；经调节透镜11准直的出射光线，依次通过1/4波片13、零度反射镜14改变偏振态后，逆向经过出射光调节组件进入多通道传输单元后，从入射光调节组件入射至第二平凸透镜10后从偏振分光镜12出射导出；偏振分光镜 12为格兰棱镜或薄膜偏振片。一个偏振态的光透过偏振片，另外一个偏振态的偏振光则从偏振片处反射。使得导入偏振分光镜12的光线方向与展宽后经偏振分光镜12导出的光线方向不同。

在另一些实施例中，1/4波片13为对入射激光波段引入1/4相位，表面镀有对入射激光波段高透的光学膜。

在另一些实施例中，零度反射镜14表面镀有对入射激光波段高反的光学膜。

如图4所示，激光脉冲从光源发出，由外部反射镜导入光束模式匹配单元，经过第一平凸透镜8、平凹透镜9、第二平凸透镜10，经过模式变换后，由第三反射镜4、导入镜5共同调节，进入望远镜系统，首先入射在第一反射镜2上，然后由第二反射镜3反射，经过色散介质1，入射在第一反射镜2上。经过第一反射镜2反射，再次经过介质1并返回第二反射镜3，由此循环反复，直至根据设定的次数，经导出镜6导出望远镜系统，各次往返在第一反射镜2、第二反射镜3上形成有规律的一圈轨迹。激光脉冲经导出镜6、第四反射镜7导出后，由调节透镜11准直，进入后续的放大系统。

实施例2

如图7所示，一种多通式激光脉冲展宽装置，包括展宽组件，展宽组件包括多通道传输单元，多通道传输单元包括相对保持间距设置的第一反射镜2、第二反射镜3，第一反射镜2 上设有色散层，使入射光线入射至第二反射镜3上，经第二反射镜3反射后入射至第一反射镜2的色散层上，经第一反射镜2反射后逆向入射回到第二反射镜3，经第二反射镜3反射后又回到第一反射镜2的色散层上，再次经第一反射镜2反射后逆向入射回到第二反射镜3，经第二反射镜3反射后出射导出；

或者，第二反射镜3上设有色散层，使入射光线入射至第二反射镜3的色散层上，经第二反射镜3反射后入射至第一反射镜2，经第一反射镜2反射后逆向入射回到第二反射镜3的色散层，经第二反射镜3反射后又回到第一反射镜2，再次经第一反射镜2反射后逆向入射回到第二反射镜3的色散层，经第二反射镜3反射后出射导出。

较佳地，第一反射镜2与第二反射镜3为平行放置的凹面镜；第一反射镜2与第二反射镜3均安装在镜架上，镜架可调节反射镜的摆放位置及角度。

较佳地，第一反射镜2或第二反射镜3的反射面上镀有透光膜，第一反射镜2或第二反射镜3的背光面上镀有反光膜，同一个反射镜上的透光膜与反光膜保持间距设置以形成色散层。

在另一些实施例中，多通式激光脉冲展宽装置还包括入射光调节组件、出射光调节组件，入射光调节组件包括第三反射镜4、导入镜5，入射光线依次经第三反射镜4、导入镜5调节光线传播路径后入射到第二反射镜3的色散层上；出射光调节组件包括：导出镜6、第四反射镜7，展宽后经过第二反射镜3的色散层反射的出射光线依次经导出镜6、第四反射镜7调节光线传播路径后出射导出。其中，导入镜5、导出镜6为反射镜。

较佳地，导入镜5、导出镜6位于多通道传输单元内，导入镜5、导出镜6靠近第一反射镜2错位设置。

在另一些实施例中，多通式激光脉冲展宽装置还包括光束模式匹配单元，光束模式匹配单元包括光轴同轴设置的第一平凸透镜8、平凹透镜9及第二平凸透镜10，入射光线依次经第一平凸透镜8、平凹透镜9、第二平凸透镜10进行光束光学模式转换后配合入射到第三反射镜4。

在另一些实施例中，多通式激光脉冲展宽装置还包括第一光束调节单元，第一光束调节单元包括调节透镜11，展宽后的经第四反射镜7的出射光线经调节透镜11调节光线传播路径后准直光线；调节透镜11为平凸透镜。

在另一些实施例中，多通式激光脉冲展宽装置还包括偏振分光镜12、第二光束调节单元，第二光束调节单元包括1/4波片13、零度反射镜14，入射光线经平凹透镜9调节后经过偏振分光镜12入射到第二平凸透镜10；经调节透镜11准直的出射光线，依次通过1/4波片13、零度反射镜14改变偏振态后，逆向经过出射光调节组件进入多通道传输单元后，从入射光调节组件入射至第二平凸透镜10后从偏振分光镜12出射导出；偏振分光镜12为格兰棱镜或薄膜偏振片。

如图7所示，激光脉冲从光源发出，由外部反射镜导入光束模式匹配单元，经过第一平凸透镜8、平凹透镜9、第二平凸透镜10，经过模式变换后，由第三反射镜4、导入镜5共同调节，进入望远镜系统，首先入射在第一反射镜2上，然后经过色散层后由第二反射镜3反射，入射在第一反射镜2上。经过第一反射镜2反射，再次返回第二反射镜3并经过色散层，由此循环反复，直至根据设定的次数，经导出镜6导出望远镜系统，各次往返在第一反射镜 2、第二反射镜3上形成有规律的一圈轨迹。激光脉冲经导出镜6、第四反射镜7导出后，由调节透镜11准直，进入后续的放大系统。

至此，本领域技术人员应已充分理解本申请的技术方案，并能认识到虽然本文已详尽示出和描述了本实用新型的示例性实施例，但是，在不脱离本实用新型精神和范围的情况下，仍可根据本实用新型公开的内容直接确定或推导出符合本实用新型原理的许多其他变型或修改。因此，本实用新型的范围应被理解和认定为覆盖了所有这些其他变型或修改。

Claims (10)

1.一种多通式激光脉冲展宽装置，其特征在于：包括展宽组件，所述展宽组件包括多通道传输单元及色散介质(1)，所述多通道传输单元包括相对保持间距设置的第一反射镜(2)、第二反射镜(3)，所述色散介质(1)位于第一反射镜(2)与第二反射镜(3)之间；使入射光线经色散介质(1)入射至第二反射镜(3)，经第二反射镜(3)反射后逆向经过色散介质(1)入射至第一反射镜(2)，经第一反射镜(2)反射后又通过色散介质(1)入射至第二反射镜(3)，再经第二反射镜(3)反射后又逆向经过色散介质(1)入射至第一反射镜(2)，最后经第一反射镜(2)反射后经过色散介质(1)出射导出。

2.如权利要求1所述的多通式激光脉冲展宽装置，其特征在于：还包括入射光调节组件、出射光调节组件，所述入射光调节组件包括第三反射镜(4)、导入镜(5)，入射光线依次经第三反射镜(4)、导入镜(5)调节光线传播路径后经色散介质(1)入射到第二反射镜(3)上；所述出射光调节组件包括：导出镜(6)、第四反射镜(7)，展宽后经过色散介质(1)的出射光线依次经导出镜(6)、第四反射镜(7)调节光线传播路径后出射导出。

3.如权利要求1或2所述的多通式激光脉冲展宽装置，其特征在于：所述色散介质(1)位于第一反射镜(2)与第二反射镜(3)中间。

4.如权利要求2所述的多通式激光脉冲展宽装置，其特征在于：所述导入镜(5)、导出镜(6)位于多通道传输单元内，所述导入镜(5)靠近第一反射镜(2)设置，所述导出镜(6)靠近第二反射镜(3)设置；

或者，所述导入镜(5)、导出镜(6)位于多通道传输单元外，所述第一反射镜(2)的离轴上设有光线进出口(2a)，所述导入镜(5)、导出镜(6)靠近第一反射镜(2)同侧设置，入射光线、出射光线以不同方位角与导入镜(5)、导出镜(6)相配合并从光线进出口(2a)经过。

5.一种多通式激光脉冲展宽装置，其特征在于：包括展宽组件，所述展宽组件包括多通道传输单元，所述多通道传输单元包括相对保持间距设置的第一反射镜(2)、第二反射镜(3)，所述第一反射镜(2)上设有色散层，使入射光线入射至第二反射镜(3)上，经第二反射镜(3)反射后入射至第一反射镜(2)的色散层上，经第一反射镜(2)反射后逆向入射回到第二反射镜(3)，经第二反射镜(3)反射后又回到第一反射镜(2)的色散层上，再次经第一反射镜(2)反射后逆向入射回到第二反射镜(3)，经第二反射镜(3)反射后出射导出；

或者，所述第二反射镜(3)上设有色散层，使入射光线入射至第二反射镜(3)的色散层上，经第二反射镜(3)反射后入射至第一反射镜(2)，经第一反射镜(2)反射后逆向入射回到第二反射镜(3)的色散层，经第二反射镜(3)反射后又回到第一反射镜(2)，再次经第一反射镜(2)反射后逆向入射回到第二反射镜(3)的色散层，经第二反射镜(3)反射后出射导出。

6.如权利要求5所述的多通式激光脉冲展宽装置，其特征在于：还包括入射光调节组件、出射光调节组件，所述入射光调节组件包括第三反射镜(4)、导入镜(5)，入射光线依次经第三反射镜(4)、导入镜(5)调节光线传播路径后入射到第二反射镜(3)的色散层上；所述出射光调节组件包括：导出镜(6)、第四反射镜(7)，展宽后经过第二反射镜(3)的色散层反射的出射光线依次经导出镜(6)、第四反射镜(7)调节光线传播路径后出射导出。

7.如权利要求5或6所述的多通式激光脉冲展宽装置，其特征在于：所述第一反射镜(2)或第二反射镜(3)的反射面上镀有透光膜，所述第一反射镜(2)或第二反射镜(3)的背光面上镀有反光膜，同一个反射镜上的所述透光膜与反光膜保持间距设置以形成色散层。

8.如权利要求2或6所述的多通式激光脉冲展宽装置，其特征在于：还包括光束模式匹配单元，所述光束模式匹配单元包括光轴同轴设置的第一平凸透镜(8)、平凹透镜(9)及第二平凸透镜(10)，入射光线依次经第一平凸透镜(8)、平凹透镜(9)、第二平凸透镜(10)进行光束光学模式转换后配合入射到第三反射镜(4)。

9.如权利要求2或6所述的多通式激光脉冲展宽装置，其特征在于：还包括第一光束调节单元，所述第一光束调节单元包括调节透镜(11)，展宽后的经第四反射镜(7)的出射光线经调节透镜(11)调节光线传播路径后准直光线；所述调节透镜(11)为平凸透镜。

10.如权利要求8所述的多通式激光脉冲展宽装置，其特征在于：还包括偏振分光镜(12)、第二光束调节单元，所述第二光束调节单元包括1/4波片(13)、零度反射镜(14)，入射光线经平凹透镜(9)调节后经过偏振分光镜(12)入射到第二平凸透镜(10)；经调节透镜(11)准直的出射光线，依次通过1/4波片(13)、零度反射镜(14)改变偏振态后，逆向经过出射光调节组件进入多通道传输单元后，从入射光调节组件入射至第二平凸透镜(10)后从偏振分光镜(12)出射导出；

所述偏振分光镜(12)为格兰棱镜或薄膜偏振片。

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