CN212963271U - 一种半导体线宽测试仪 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种半导体线宽测试仪，包括箱体，所述箱体前端面的中间位置设置有凹槽，所述凹槽的前端设置有箱门，所述凹槽下端面中间的前方设置有滑槽，所述滑槽的内侧滑动连接有条形块，所述条形块前端面的中间位置固定安装有把手B，所述条形块的上端面固定连接有圆台，所述圆台上端面的中间位置设置有方形槽，所述方形槽内壁的两侧均安装有两个弹簧A，所述弹簧A的另一端固定连接有夹板A，所述方形槽内壁前方和后方的中间位置固定安装有弹簧B，所述弹簧B的另一端固定连接有夹板B。本实用新型可以对不同尺寸的半导体进行固定，且便于对探头进行更换，保证了仪器的测量精度。

Description

一种半导体线宽测试仪

技术领域

本实用新型涉及线宽测试仪技术领域，具体为一种半导体线宽测试仪。

背景技术

随着社会经济的快速发展，半导体零件越来越多的应用在各种行业和领域，随之而来的是对半导体零件的精度的高要求、高标准，在精密零件中，半导体的精度影响着其使用性能；其测量原理是：当触针沿被测表面轻轻滑过时，由于表面有微小的峰谷使触针在滑行的同时，还沿峰谷作上下运动。触针的运动情况就反映了表面轮廓的情况。传感器输出的电信号经测量电桥后，输出与触针偏离平衡位置的位移成正比的调幅信号。经放大与相敏整流后，可将位移信号从调幅信号中解调出来，得到放大了的与触针位移成正比的缓慢变化信号。

但是，现有的半导体直接放置在一个圆柱形台面上，半导体未固定，测量探针与半导体接触，从而产生作用力，极易产生移动或震动，导致检测无法进行，且测头不便于更换，测头与测件相接触造成的测头变形和磨损，使仪器在使用一段时间后测量精度下降；因此，不满足现有的需求，对此我们提出了一种半导体线宽测试仪。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种半导体线宽测试仪，以解决上述背景技术中提出的现有的半导体直接放置在一个圆柱形台面上，半导体未固定，测量探针与半导体接触，从而产生作用力，极易产生移动或震动，导致检测无法进行，且测头不便于更换，测头与测件相接触造成的测头变形和磨损，使仪器在使用一段时间后测量精度下降等问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种半导体线宽测试仪，包括箱体，所述箱体前端面的中间位置设置有凹槽，所述凹槽的前端设置有箱门，所述凹槽下端面中间的前方设置有滑槽，所述滑槽的内侧滑动连接有条形块，所述条形块前端面的中间位置固定安装有把手B，所述条形块的上端面固定连接有圆台，所述圆台上端面的中间位置设置有方形槽，所述方形槽内壁的两侧均安装有两个弹簧A，所述弹簧A的另一端固定连接有夹板A，所述方形槽内壁前方和后方的中间位置固定安装有弹簧B，所述弹簧B的另一端固定连接有夹板B，所述凹槽内壁的上方安装有盒体，所述盒体的下方设置有滑块，所述滑块的下端面固定安装有电动推杆，所述电动推杆的底端安装有安装板，所述安装板外表面的两侧设置有通孔，所述通孔的内侧设置有压杆，所述压杆的外表面套设有弹簧C，所述通孔的另一侧设置有活动孔，所述安装板的下端面设置有卡槽，所述卡槽的内侧设置有连接柱，所述连接柱外表面的两侧设置有圆槽，所述圆槽的内壁固定安装有弹簧D，所述弹簧D的另一端固定连接有限位柱，且所述限位柱卡入所述活动孔的内侧，所述连接柱的下端面固定安装有探头，所述箱体上端面的中间位置设置有显示屏。

优选的，所述箱门与所述箱体通过合页转动连接，所述箱门前端面的一侧固定安装有把手A。

优选的，所述滑槽内壁的前端面设置有磁铁A，所述条形块的后端面设置有磁铁B，且所述磁铁A与所述磁铁B磁极相反。

优选的，所述显示屏与所述箱体通过支撑架固定连接。

优选的，所述夹板A外表面相对的一侧粘合有橡胶垫A，所述夹板B外表面相对的一侧粘合有橡胶垫B。

优选的，所述压杆靠近所述活动孔的一端套设有限位环，所述弹簧C的一端与所述限位环固定连接，所述弹簧C的另一端与所述通孔的内壁固定连接。

优选的，所述盒体的内部设置有直线滑台，所述直线滑台与所述滑块通过螺钉固定连接。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1、本实用新型通过设置有滑槽、条形块、把手B、圆台，当需要测量半导体线宽时，先打开箱门，通过把手B将条形块从滑槽内侧向外抽出，条形块向外移动带动圆台向箱体外移动，此时便于将半导体放入圆台内，通过设置有弹簧A、夹板A、弹簧B、夹板B，可以很好的对不同尺寸的半导体进行固定，防止半导体产生移动或震动，通过设置有橡胶垫A和橡胶垫B，可以防止对半导体的外表面造成磨损；

2、本实用新型通过设置有安装板、压杆、弹簧C通孔、活动孔、限位柱、弹簧D、圆槽、连接柱、探头，当探头与半导体相接触造成的探头变形和磨损，需要对探头进行更换，工作人员同时将两个压杆向通孔的内侧按压，压杆向通孔的一侧移动，将限位柱向圆槽内侧推动，限位柱脱离活动孔，此时可以将连接柱和探头从安装板的卡槽中取出，更换新的连接柱和探头，再将连接柱的上端插入卡槽的内侧，弹簧D被压缩，限位柱在圆槽的内侧，将连接柱向卡槽内侧推动，直至限位柱接触到活动孔，弹簧D被释放，限位柱卡入活动孔的内侧，连接柱和探头被固定住，该实用新型便于对探头进行更换，保证了仪器的测量精度。

附图说明

图1为本实用新型整体的结构示意图；

图2为本实用新型箱体内部的结构示意图；

图3为本实用新型圆台的局俯视图；

图4为本实用新型安装板的局部结构示意图。

图中：1、箱体；2、箱门；3、把手A；4、显示屏；5、滑槽；6、条形块；7、把手B；8、圆台；9、方形槽；10、凹槽；11、盒体；12、滑块；13、电动推杆；14、弹簧A；15、夹板A；16、弹簧B；17、夹板B；18、安装板；19、压杆；20、弹簧C；21、通孔；22、活动孔；23、限位柱；24、弹簧D；25、圆槽；26、连接柱；27、探头。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。

本实用新型所提到的电动推杆13（型号为LBP40）、直线滑台（型号为FSL40XY-S）均可从市场采购或私人定制获得。

请参阅图1至图4，本实用新型提供的一种实施例：一种半导体线宽测试仪，包括箱体1，箱体1前端面的中间位置设置有凹槽10，凹槽10的前端设置有箱门2，凹槽10下端面中间的前方设置有滑槽5，滑槽5的内侧滑动连接有条形块6，条形块6前端面的中间位置固定安装有把手B7，条形块6的上端面固定连接有圆台8，圆台8上端面的中间位置设置有方形槽9，方形槽9内壁的两侧均安装有两个弹簧A14，弹簧A14的另一端固定连接有夹板A15，方形槽9内壁前方和后方的中间位置固定安装有弹簧B16，弹簧B16的另一端固定连接有夹板B17，凹槽10内壁的上方安装有盒体11，盒体11的下方设置有滑块12，滑块12的下端面固定安装有电动推杆13，电动推杆13的底端安装有安装板18，安装板18外表面的两侧设置有通孔21，通孔21的内侧设置有压杆19，压杆19的外表面套设有弹簧C20，通孔21的另一侧设置有活动孔22，安装板18的下端面设置有卡槽，卡槽的内侧设置有连接柱26，连接柱26外表面的两侧设置有圆槽25，圆槽25的内壁固定安装有弹簧D24，弹簧D24的另一端固定连接有限位柱23，且限位柱23卡入活动孔22的内侧，连接柱26的下端面固定安装有探头27，箱体1上端面的中间位置设置有显示屏4。

进一步，箱门2与箱体1通过合页转动连接，箱门2前端面的一侧固定安装有把手A3。

通过采用上述技术方案，便于通过把手A3打开箱门2。

进一步，滑槽5内壁的前端面设置有磁铁A，条形块6的后端面设置有磁铁B，且磁铁A与磁铁B磁极相反。

通过采用上述技术方案，提高条形块6在滑槽5内的稳定性。

进一步，显示屏4与箱体1通过支撑架固定连接。

通过采用上述技术方案，提高连接的稳定性。

进一步，夹板A15外表面相对的一侧粘合有橡胶垫A，夹板B17外表面相对的一侧粘合有橡胶垫B。

通过采用上述技术方案，防止对半导体的外表面造成磨损。

进一步，压杆19靠近活动孔22的一端套设有限位环，弹簧C20的一端与限位环固定连接，弹簧C20的另一端与通孔21的内壁固定连接。

通过采用上述技术方案，提高压杆19的稳定性，防止压杆19脱落。

进一步，盒体11的内部设置有直线滑台，直线滑台与滑块12通过螺钉固定连接。

通过采用上述技术方案，便于探头27移动，提高滑块12的稳定性。

工作原理：使用时，当需要测量半导体线宽时，先通过把手A3打开箱门2，通过把手B7将条形块6从滑槽5内侧向外抽出，条形块6向外移动带动圆台8向箱体1外移动，此时便于将半导体放入圆台8内，通过设置有弹簧A14、夹板A15、弹簧B16、夹板B17，可以很好的对不同尺寸的半导体进行固定，防止半导体产生移动或震动，通过设置有橡胶垫A和橡胶垫B，可以防止对半导体的外表面造成磨损，当探头27与半导体相接触造成的探头27变形和磨损，需要对探头27进行更换，工作人员同时将两个压杆19向通孔21的内侧按压，压杆19向通孔21的一侧移动，将限位柱23向圆槽25内侧推动，限位柱23脱离活动孔22，此时可以将连接柱26和探头27从安装板18的卡槽中取出，更换新的连接柱26和探头27，再将连接柱26的上端插入卡槽的内侧，弹簧D24被压缩，限位柱23在圆槽25的内侧，将连接柱26向卡槽内侧推动，直至限位柱23接触到活动孔22，弹簧D24被释放，限位柱23卡入活动孔22的内侧，连接柱26和探头27被固定住，该实用新型便于对探头27进行更换，保证了仪器的测量精度。

对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

Claims (7)

1.一种半导体线宽测试仪，包括箱体（1），其特征在于：所述箱体（1）前端面的中间位置设置有凹槽（10），所述凹槽（10）的前端设置有箱门（2），所述凹槽（10）下端面中间的前方设置有滑槽（5），所述滑槽（5）的内侧滑动连接有条形块（6），所述条形块（6）前端面的中间位置固定安装有把手B（7），所述条形块（6）的上端面固定连接有圆台（8），所述圆台（8）上端面的中间位置设置有方形槽（9），所述方形槽（9）内壁的两侧均安装有两个弹簧A（14），所述弹簧A（14）的另一端固定连接有夹板A（15），所述方形槽（9）内壁前方和后方的中间位置固定安装有弹簧B（16），所述弹簧B（16）的另一端固定连接有夹板B（17），所述凹槽（10）内壁的上方安装有盒体（11），所述盒体（11）的下方设置有滑块（12），所述滑块（12）的下端面固定安装有电动推杆（13），所述电动推杆（13）的底端安装有安装板（18），所述安装板（18）外表面的两侧设置有通孔（21），所述通孔（21）的内侧设置有压杆（19），所述压杆（19）的外表面套设有弹簧C（20），所述通孔（21）的另一侧设置有活动孔（22），所述安装板（18）的下端面设置有卡槽，所述卡槽的内侧设置有连接柱（26），所述连接柱（26）外表面的两侧设置有圆槽（25），所述圆槽（25）的内壁固定安装有弹簧D（24），所述弹簧D（24）的另一端固定连接有限位柱（23），且所述限位柱（23）卡入所述活动孔（22）的内侧，所述连接柱（26）的下端面固定安装有探头（27），所述箱体（1）上端面的中间位置设置有显示屏（4）。

2.根据权利要求1所述的一种半导体线宽测试仪，其特征在于：所述箱门（2）与所述箱体（1）通过合页转动连接，所述箱门（2）前端面的一侧固定安装有把手A（3）。

3.根据权利要求1所述的一种半导体线宽测试仪，其特征在于：所述滑槽（5）内壁的前端面设置有磁铁A，所述条形块（6）的后端面设置有磁铁B，且所述磁铁A与所述磁铁B磁极相反。

4.根据权利要求1所述的一种半导体线宽测试仪，其特征在于：所述显示屏（4）与所述箱体（1）通过支撑架固定连接。

5.根据权利要求1所述的一种半导体线宽测试仪，其特征在于：所述夹板A（15）外表面相对的一侧粘合有橡胶垫A，所述夹板B（17）外表面相对的一侧粘合有橡胶垫B。

6.根据权利要求1所述的一种半导体线宽测试仪，其特征在于：所述压杆（19）靠近所述活动孔（22）的一端套设有限位环，所述弹簧C（20）的一端与所述限位环固定连接，所述弹簧C（20）的另一端与所述通孔（21）的内壁固定连接。

7.根据权利要求1所述的一种半导体线宽测试仪，其特征在于：所述盒体（11）的内部设置有直线滑台，所述直线滑台与所述滑块（12）通过螺钉固定连接。

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