CN212876422U

CN212876422U - 一种半导体制备电气控制柜

Info

Publication number: CN212876422U
Application number: CN202022209242.5U
Authority: CN
Inventors: 王家武; 张顺祥
Original assignee: Yunnan Quankong Electromechanical Co ltd
Current assignee: Yunnan Quankong Electromechanical Co ltd
Priority date: 2020-09-30
Filing date: 2020-09-30
Publication date: 2021-04-02
Anticipated expiration: 2030-09-30

Abstract

本实用新型公开了半导体技术领域的一种半导体制备电气控制柜，包括主柜体，所述主柜体内壁上设置有通风隔板，所述通风隔板底端设置有半导体制冷器，所述主柜体内底端设置有风扇，所述主柜体左右侧壁底端开设有进气孔，所述进气孔内侧设置有一号防尘过滤网和一号吸水棉，所述通风隔板上方设置有电气安装架，所述电气安装架左右两侧壁上设置有散热翅片，所述主柜体内部顶端设置有温度传感器，所述主柜体右侧内壁上设置有PLC控制器，所述主柜体右侧壁顶端开设有通风孔，所述通风孔内侧设置有散热箱，所述主柜体前端活动铰接有柜门。本实用新型通过以上设计优化，结构简单，散热效果好，又可以防尘除湿，安全性高，实用性强。

Description

一种半导体制备电气控制柜

技术领域

本实用新型涉及半导体技术领域，具体为一种半导体制备电气控制柜。

背景技术

半导体专用设备是为了满足半导体制造工艺而开发的专用设备，近些年在多个行业得到了快速发展。而其电气控制柜作为设备的关键组成部分,其设计越来越重要,越来越需要向标准化、模块化、系列化发展。电气控制柜是将高、低压电气元、部件或各种电气、电子控制功能模块及有关辅件集成到柜体中，以完成监测、控制为主要功能作用的产品和系统,通常具有结构紧凑、功能模块划分、布线合理、便于维护等特点。就半导体专用设备而言，手动、半自动设备的控制柜大多在设备内部，而随着设备自动化程度的提高以及工业通信更加网络化，设备专用电气柜将越来越多，越来越专业,对各个设计环节要求更高、更具体。

电气控制柜产品的结构主要分为:柜体、显示和控制部件及内部电气、电子功能部件。依据具体用途不同其类型也不同，有些是专业型的，比如,侧重于电气元件和低压控制单元的开关柜，侧重于各种通信模块的通信或网络机柜，有些是综合型的，例如，半导体设备上安装的控制柜等。而对于半导体专用设备电气控制柜而言，需要考虑电气结构设计规范性、电气布局图绘制合理性、控制柜结构与工艺设计等细节。现有的半导体制备用电气控制柜，散热防尘功能不是很好，并且容易受水汽和冷凝水的影响而引发不安全事故，缩短电气控制柜的使用寿命。为此，我们提出一种半导体制备电气控制柜。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种半导体制备电气控制柜，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种半导体制备电气控制柜，包括主柜体，所述主柜体内壁上固定装配有通风隔板，所述通风隔板底端设置有半导体制冷器，所述主柜体内部底端固定装配有防潮垫，所述防潮垫上设置有风扇，所述主柜体左右侧壁底端对称开设有进气孔，所述进气孔内侧设置有一号防尘过滤网，所述一号防尘过滤网内侧设置有一号吸水棉，所述通风隔板上方设置有电气安装架，所述电气安装架上均匀设置有若干组结构相同的抽屉，所述电气安装架左右两侧壁上设置有散热翅片，所述主柜体内部顶端设置有温度传感器，所述主柜体右侧内壁上设置有PLC控制器，所述主柜体右侧壁顶端开设有通风孔，所述通风孔内侧固定装配有散热箱，所述主柜体顶端固定装配有斜顶，所述主柜体前端活动铰接有柜门。

优选的，所述主柜体体壁包括钢板、绝缘层和防水漆层，所述钢板内侧设置为绝缘层，所述钢板外侧设置为防水漆层。

优选的，所述通风隔板上均匀开设有若干组结构相同的散风孔。

优选的，所述散热箱包括散热箱体、二号吸水棉和二号防尘过滤网，所述散热箱体内从左至右依次设置有二号吸水棉和二号防尘过滤网。

优选的，所述柜门中间设置有观察窗，所述观察窗下方设置有显示屏，所述柜门内壁四周设置有橡胶密封条。

优选的，所述半导体制冷器、风扇、温度传感器、显示屏均与PLC控制器电性连接。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本实用新型结构设计合理，通过在电气安装架上设置若干组抽屉，用于分开安装电气设备，整齐有序，便于维修和检查；通过在电气安装架左右两侧壁上设置散热翅片，便于及时将电气设备产生的热量导出，加速散热；通过在主柜体内部底端设置风扇、通风隔板、半导体制冷器、散风孔，风扇转动把半导体制冷器产生的冷气通过散风孔均匀的向上吹拂，使散热更加的均匀，可以快速地带走散热翅片传递出来的热量；通过在进气孔内侧设置一号防尘过滤网和一号吸水棉，对进入主柜体内的空气进行除尘和除湿处理，防止灰尘进入影响电气设备的正常工作，同时也避免水汽进入锈蚀用电设备或者使电路短路的发生，另外散热箱体内二号吸水棉和二号防尘过滤网的设置完全达到了除尘除湿的目的，延长了使用寿命，提高了安全性；通过设置进气孔和通风孔均为开口朝下设计，既可以防尘，又可以防止主柜体表面的冷凝水进入柜体内；通过设置温度传感器，时刻监测主柜体内的温度，由PLC控制器控制风扇的启停和半导体制冷器的制冷速度，以此来达到节能的目的；通过在柜门上设置观察窗、显示屏和橡胶密封条，观察窗便于观察控制柜内电气设备工作情况，显示屏可以显示控制柜内的温度和电气设备工作情况，橡胶密封条对柜门缝隙进行密封，防止灰尘和水汽通过门缝进入控制柜内；通过在主柜体体壁上设置钢板、绝缘层和防水漆层，钢板保证主柜体的结构强度，绝缘层防止漏电现象的产生，提高安全性，防水漆层可以使水在主柜体表面快速流下，避免水进入控制柜内部，发生导电事故，安全性能高。本实用新型通过以上设计优化，结构简单，散热效果好，又可以防尘除湿，安全性高，实用性强。

附图说明

图1为本实用新型整体剖视结构示意图；

图2为本实用新型A处放大结构示意图；

图3为本实用新型散热箱结构示意图；

图4为本实用新型主柜体体壁部分剖视结构示意图。

图中：1、主柜体；101、钢板；102、绝缘层；103、防水漆层；2、通风隔板；3、半导体制冷器；4、散风孔；5、防潮垫；6、风扇；7、进气孔；8、一号防尘过滤网；9、一号吸水棉；10、电气安装架；11、抽屉；12、散热翅片；13、温度传感器；14、PLC控制器；15、通风孔；16、散热箱；161、散热箱体；162、二号吸水棉；163、二号防尘过滤网；17、斜顶；18、柜门；181、观察窗；182、显示屏；183、橡胶密封条。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1、图2、图3、图4，本实用新型提供一种技术方案：一种半导体制备电气控制柜，包括主柜体1，主柜体1内壁上固定装配有通风隔板2，通风隔板2底端设置有半导体制冷器3，主柜体1内部底端固定装配有防潮垫5，防潮垫5上设置有风扇6，主柜体1左右侧壁底端对称开设有进气孔7，进气孔7内侧设置有一号防尘过滤网8，一号防尘过滤网8内侧设置有一号吸水棉9，通风隔板2上方设置有电气安装架10，电气安装架10上均匀设置有若干组结构相同的抽屉11，电气安装架10左右两侧壁上设置有散热翅片12，主柜体1内部顶端设置有温度传感器13，主柜体1右侧内壁上设置有PLC控制器14，主柜体1右侧壁顶端开设有通风孔15，通风孔15内侧固定装配有散热箱16，主柜体1顶端固定装配有斜顶17，主柜体1前端活动铰接有柜门18。

主柜体1体壁包括钢板101、绝缘层102和防水漆层103，钢板101内侧设置为绝缘层102，钢板101外侧设置为防水漆层103；

通风隔板2上均匀开设有若干组结构相同的散风孔4；

散热箱16包括散热箱体161、二号吸水棉162和二号防尘过滤网163，散热箱体161内从左至右依次设置有二号吸水棉162和二号防尘过滤网163；

柜门18中间设置有观察窗181，观察窗181下方设置有显示屏182，柜门18内壁四周设置有橡胶密封条183；

半导体制冷器3、风扇6、温度传感器13、显示屏182均与PLC控制器14电性连接；

工作原理：本实用新型结构设计合理，通过在电气安装架10上设置若干组抽屉11，用于分开安装电气设备，整齐有序，便于维修和检查；通过在电气安装架10左右两侧壁上设置散热翅片12，便于及时将电气设备产生的热量导出，加速散热；通过在主柜体1内部底端设置风扇6、通风隔板2、半导体制冷器3、散风孔4，风扇6转动把半导体制冷器3产生的冷气通过散风孔4均匀的向上吹拂，使散热更加的均匀，可以快速地带走散热翅片12传递出来的热量；通过在进气孔7内侧设置一号防尘过滤网8和一号吸水棉9，对进入主柜体1内的空气进行除尘和除湿处理，防止灰尘进入影响电气设备的正常工作，同时也避免水汽进入锈蚀用电设备或者使电路短路的发生，另外散热箱体161内二号吸水棉162和二号防尘过滤网163的设置完全达到了除尘除湿的目的，延长了使用寿命，提高了安全性；通过设置进气孔7和通风孔15均为开口朝下设计，既可以防尘，又可以防止主柜体1表面的冷凝水进入柜体内；通过设置温度传感器13，时刻监测主柜体1内的温度，由PLC控制器14控制风扇6的启停和半导体制冷器3的制冷速度，以此来达到节能的目的；通过在柜门18上设置观察窗181、显示屏182和橡胶密封条183，观察窗181便于观察控制柜内电气设备工作情况，显示屏182可以显示控制柜内的温度和电气设备工作情况，橡胶密封条183对柜门缝隙进行密封，防止灰尘和水汽通过门缝进入控制柜内；通过在主柜体1体壁上设置钢板101、绝缘层102和防水漆层103，钢板101保证主柜体1的结构强度，绝缘层102防止漏电现象的产生，提高安全性，防水漆层103可以使水在主柜体1表面快速流下，避免水进入控制柜内部，发生导电事故，安全性能高。本实用新型通过以上设计优化，结构简单，散热效果好，又可以防尘除湿，安全性高，实用性强。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims

1.一种半导体制备电气控制柜，包括主柜体（1），其特征在于：所述主柜体（1）内壁上固定装配有通风隔板（2），所述通风隔板（2）底端设置有半导体制冷器（3），所述主柜体（1）内部底端固定装配有防潮垫（5），所述防潮垫（5）上设置有风扇（6），所述主柜体（1）左右侧壁底端对称开设有进气孔（7），所述进气孔（7）内侧设置有一号防尘过滤网（8），所述一号防尘过滤网（8）内侧设置有一号吸水棉（9），所述通风隔板（2）上方设置有电气安装架（10），所述电气安装架（10）上均匀设置有若干组结构相同的抽屉（11），所述电气安装架（10）左右两侧壁上设置有散热翅片（12），所述主柜体（1）内部顶端设置有温度传感器（13），所述主柜体（1）右侧内壁上设置有PLC控制器（14），所述主柜体（1）右侧壁顶端开设有通风孔（15），所述通风孔（15）内侧固定装配有散热箱（16），所述主柜体（1）顶端固定装配有斜顶（17），所述主柜体（1）前端活动铰接有柜门（18）。

2.根据权利要求1所述的一种半导体制备电气控制柜，其特征在于：所述主柜体（1）体壁包括钢板（101）、绝缘层（102）和防水漆层（103），所述钢板（101）内侧设置为绝缘层（102），所述钢板（101）外侧设置为防水漆层（103）。

3.根据权利要求1所述的一种半导体制备电气控制柜，其特征在于：所述通风隔板（2）上均匀开设有若干组结构相同的散风孔（4）。

4.根据权利要求1所述的一种半导体制备电气控制柜，其特征在于：所述散热箱（16）包括散热箱体（161）、二号吸水棉（162）和二号防尘过滤网（163），所述散热箱体（161）内从左至右依次设置有二号吸水棉（162）和二号防尘过滤网（163）。

5.根据权利要求1所述的一种半导体制备电气控制柜，其特征在于：所述柜门（18）中间设置有观察窗（181），所述观察窗（181）下方设置有显示屏（182），所述柜门（18）内壁四周设置有橡胶密封条（183）。

6.根据权利要求1所述的一种半导体制备电气控制柜，其特征在于：所述半导体制冷器（3）、风扇（6）、温度传感器（13）、显示屏（182）均与PLC控制器（14）电性连接。