CN212834000U - 一种环件 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种环件，所述环件表面设有棱台状花纹。本实用新型通过对环件表面花纹形状及花纹表面的改变，使得该环件附着力提高，放电频率降低，使用过程中异常率降低，寿命变长。

Description

一种环件

技术领域

本实用新型涉及靶材领域，具体涉及一种环件。

背景技术

目前，在半导体结构表面形成电极膜通常采用溅射的方法。溅射是一种物理气相淀积(PVD)的镀膜方式，其是用带电粒子轰击靶材，使靶材发生表面原子碰撞并发生能量和动量的转移，靶材原子从表面逸出并淀积在衬底上的过程。利用溅射工艺可在衬底表面形成金属、合金或电介质薄膜。由于带电粒子轰击靶材的方向是不确定的，导致从靶材表面逸出的靶材原子的方向性较差，即靶材原子会从各个角度脱离靶材表面，之后沿直线到达衬底表面，进而使得靶材原子对衬底表面内接触孔或通孔的底部和侧壁覆盖能力差，以及对台阶的侧壁覆盖能力也很差，因此为了在接触孔或通孔的底部和侧壁以及台阶的侧壁取得较好的覆盖效果，通常采用准直溅射。

准直溅射是在靶材和衬底之间设置一个溅射环，所述溅射环通常接地，用于将等离子体中的粒子聚集在一定范围内，若从靶材上被溅射出的靶材粒子角度较大，有可能这些靶材粒子会淀积在准直器上，被聚集后的靶材粒子将通过溅射环淀积在接触孔或通孔的底部和侧壁。如CN108396297A公开了一种溅射机环件，涉及半导体芯片加工技术领域，本实用新型提供的溅射机环件包括环件本体，环件本体具有形成环件端口的第一端部和第二端部，其中：第一端部上设有第一导电凸起，第一导电凸起上与第一端部连接的一端为第一内端，第一导电凸起末端的周向尺寸小于第一内端的周向尺寸；第二端部上设有第二导电凸起，第二导电凸起上与第二端部连接的一端为第二内端，第二导电凸起末端的周向尺寸小于第二内端的周向尺寸。其提供的溅射机环件增加了第一导电凸起和第二导电凸起末端与机台之间的距离，能够有效减小第一导电凸起和第二导电凸起接触到机台的概率。

CN101545093A提供了一种用于溅射装置的固定环，包括环体和位于环体的环形外侧面上的固定凸起，所述环体包括两端分别相连的第一半圆部分和第二半圆部分，其中第一半圆部分的外壁圆周为第一圆的一部分，第二半圆部分的外壁圆周为第二圆的一部分，在第二半圆部分上具有缺口，所述缺口将所述第二半圆部分断开，并且第一圆的直径小于第二圆的直径。从而，在将固定环安装在枪体上时，固定环和枪体之间的间隙可以满足绝缘的要求。

然而目前使用的环件，在溅射过程中，由于花纹呈金字塔形状，顶部呈尖头，容易发生放点，并且表面光滑没有很好的附着力，溅射层脱落导致环件制程提前结束，无法继续使用。

实用新型内容

鉴于现有技术中存在的问题，本实用新型的目的在于提供一种环件，该环件附着力提高，放电频率降低，使用过程中异常率降低，寿命变长。

为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：

本实用新型提供了一种环件，所述环件表面设有棱台状花纹。

本实用新型通过对环件表面花纹形状的改变，使得该环件附着力提高，放电频率降低，使用过程中异常率降低，寿命变长。

本发明中，所述环件的材质包括钽。该材质为现有技术中常用的材质，其他可实现本发明技术的材质也可以。

作为本实用新型优选的技术方案，所述棱台状花纹包括四棱台状花纹、五棱台状花纹或六棱台状花纹中的1种或至少2种的组合。

作为本实用新型优选的技术方案，所述棱台状花纹中上底面设有褶皱。

作为本实用新型优选的技术方案，所述花纹的深度为0.35-0.5mm，例如可以是0.35mm、0.36mm、0.37mm、0.38mm、0.39mm、0.4mm、0.41mm、0.42mm、0.43mm、0.44mm、0.45mm、0.46mm、0.47mm、0.48mm、0.49mm或0.5mm等，但不限于所列举的数值，该范围内其他未列举的数值同样适用。

作为本实用新型优选的技术方案，所述花纹的大小为25TPI。

与现有技术方案相比，本实用新型具有以下有益效果：

本实用新型通过对环件表面花纹形状及花纹表面的改变，使得该环件附着力提高，放电频率降低，使用过程中异常率降低，寿命变长。

附图说明

图1是本实用新型中实施例1提供的一种环件的示意图；

图2是本实用新型中实施例1中环件表面的花纹示意图。

下面对本实用新型进一步详细说明。但下述的实例仅仅是本实用新型的简易例子，并不代表或限制本实用新型的权利保护范围，本实用新型的保护范围以权利要求书为准。

具体实施方式

为更好地说明本实用新型，便于理解本实用新型的技术方案，本实用新型的典型但非限制性的实施例如下：

实施例1

本实施例提供了一种环件，所述环件表面设有棱台状花纹，如图1和2所示。

进一步地，所述环件的材质包括钽。

进一步地，所述棱台状花纹包括四棱台状花纹。

进一步地，所述棱台状花纹中上底面设有褶皱。

进一步地，所述花纹的深度为0.37mm；所述花纹的大小为25TPI。

该环件附着力提高，放电频率降低，使用过程中异常率降低，寿命变长。

实施例2

本实施例提供了一种环件，所述环件表面设有棱台状花纹。

进一步地，所述环件的材质包括钽。

进一步地，所述棱台状花纹包括五棱台状花纹。

进一步地，所述棱台状花纹中上底面设有褶皱。

进一步地，所述花纹的深度为0.35mm；所述花纹的大小为25TPI。

该环件附着力提高，放电频率降低，使用过程中异常率降低，寿命变长。

实施例3

本实施例提供了一种环件，所述环件表面设有棱台状花纹。

进一步地，所述环件的材质包括钽。

进一步地，所述棱台状花纹包括六棱台状花纹。

进一步地，所述棱台状花纹中上底面设有褶皱。

进一步地，所述花纹的深度为0.38mm；所述花纹的大小为25TPI。

该环件附着力提高，放电频率降低，使用过程中异常率降低，寿命变长。

实施例4

本实施例提供了一种环件，所述环件表面设有棱台状花纹。

进一步地，所述环件的材质包括钽。

进一步地，所述棱台状花纹包括四棱台状花纹。

进一步地，所述棱台状花纹中上底面设有褶皱。

进一步地，所述花纹的深度为0.4mm；所述花纹的大小为25TPI。

该环件附着力提高，放电频率降低，使用过程中异常率降低，寿命变长。

实施例5

本实施例提供了一种环件，所述环件表面设有棱台状花纹。

进一步地，所述环件的材质包括钽。

进一步地，所述棱台状花纹包括五棱台状花纹。

进一步地，所述棱台状花纹中上底面设有褶皱。

进一步地，所述花纹的深度为0.42mm；所述花纹的大小为25TPI。

该环件附着力提高，放电频率降低，使用过程中异常率降低，寿命变长。

实施例6

本实施例提供了一种环件，所述环件表面设有棱台状花纹。

进一步地，所述环件的材质包括钽。

进一步地，所述棱台状花纹包括四棱台状花纹。

进一步地，所述棱台状花纹中上底面设有褶皱。

进一步地，所述花纹的深度为0.44mm；所述花纹的大小为25TPI。

该环件附着力提高，放电频率降低，使用过程中异常率降低，寿命变长。

实施例7

本实施例提供了一种环件，所述环件表面设有棱台状花纹。

进一步地，所述环件的材质包括钽。

进一步地，所述棱台状花纹包括五棱台状花纹。

进一步地，所述棱台状花纹中上底面设有褶皱。

进一步地，所述花纹的深度为0.5mm；所述花纹的大小为25TPI。

该环件附着力提高，放电频率降低，使用过程中异常率降低，寿命变长。

实施例8

本实施例提供了一种环件，所述环件表面设有棱台状花纹。

进一步地，所述环件的材质包括钽。

进一步地，所述棱台状花纹包括四棱台状花纹。

进一步地，所述棱台状花纹中上底面设有褶皱。

进一步地，所述花纹的深度为0.48mm；所述花纹的大小为25TPI。

该环件附着力提高，放电频率降低，使用过程中异常率降低，寿命变长。

实施例9

本实施例提供了一种环件，所述环件表面设有棱台状花纹。

进一步地，所述环件的材质包括钽。

进一步地，所述棱台状花纹包括五棱台状花纹。

进一步地，所述棱台状花纹中上底面设有褶皱。

进一步地，所述花纹的深度为0.46mm；所述花纹的大小为25TPI。

该环件附着力提高，放电频率降低，使用过程中异常率降低，寿命变长。

实施例10

本实施例提供了一种环件，所述环件表面设有棱台状花纹。

进一步地，所述环件的材质包括钽。

进一步地，所述棱台状花纹包括四棱台状花纹。

进一步地，所述棱台状花纹中上底面设有褶皱。

进一步地，所述花纹的深度为0.36mm；所述花纹的大小为25TPI。

该环件附着力提高，放电频率降低，使用过程中异常率降低，寿命变长。

对比例1

本对比例提供了一种环件，与实施例1的区别仅在于所述环件的表面花纹设为金字塔状花纹。

该环件顶部呈尖头，容易发生放点，并且表面光滑没有很好的附着力，溅射层脱落导致环件制程提前结束，无法长久使用。

对比例2

本对比例提供了一种环件，与实施例1的区别仅在于所述环件的表面花纹设为半球状花纹。

该环件顶部呈弧形，表面光滑没有很好的附着力，溅射层脱落导致环件制程提前结束，无法长久使用。

对比例3

本对比例提供了一种环件，与实施例1的区别仅在于所述环件的表面花纹设为四棱柱状花纹。

该环件表面光滑没有很好的附着力，溅射层脱落导致环件制程提前结束，无法长久使用。

申请人声明，本实用新型通过上述实施例来说明本实用新型的详细结构特征，但本实用新型并不局限于上述详细结构特征，即不意味着本实用新型必须依赖上述详细结构特征才能实施。所属技术领域的技术人员应该明了，对本实用新型的任何改进，对本实用新型所选用部件的等效替换以及辅助部件的增加、具体方式的选择等，均落在本实用新型的保护范围和公开范围之内。

以上详细描述了本实用新型的优选实施方式，但是，本实用新型并不限于上述实施方式中的具体细节，在本实用新型的技术构思范围内，可以对本实用新型的技术方案进行多种简单变型，这些简单变型均属于本实用新型的保护范围。

另外需要说明的是，在上述具体实施方式中所描述的各个具体技术特征，在不矛盾的情况下，可以通过任何合适的方式进行组合，为了避免不必要的重复，本实用新型对各种可能的组合方式不再另行说明。

此外，本实用新型的各种不同的实施方式之间也可以进行任意组合，只要其不违背本实用新型的思想，其同样应当视为本实用新型所公开的内容。

Claims (1)

1.一种环件，其特征在于，所述环件表面设有棱台状花纹；所述棱台状花纹包括四棱台状花纹、五棱台状花纹或六棱台状花纹中的1种；所述棱台状花纹中上底面设有褶皱；所述花纹的深度为0.35-0.5mm；所述花纹的大小为25TPI。

Images