CN212627447U - 一种半导体洁净机器人用电机散热导热机构 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种半导体洁净机器人用电机散热导热机构，包括壳体，壳体的内壁通过支架固定有电机，电机上分布有散热翅片，壳体的内壁上滑动紧贴有环形座，环形座内设置有环形槽，环形槽内连通有贯穿壳体的管道，环形槽上固定嵌入有出风口，出风口的数量为散热翅片的数量相同，且位置错位分布，使得出风口排出的风，能够经过相邻两个散热翅片之间，增加气流流动，将电机产生的热量快速排出。通过马达带动叶片产生气流，使得出风口可以送风，对相邻散热翅片之间吹风，从而加速空气流动，将电机产生的热量带走，提高电机的散热效果。
Description
技术领域
本实用新型属于电机散热导热机构技术领域，具体为一种半导体洁净机器人用电机散热导热机构。
背景技术
集成电路用洁净机械手主要用于集成电路生产过程中各个工艺模块间的晶圆传送工作，也可以与loadport，pre-aligner等组成sorter或EFEM形成半导体生产专用设备。洁净机械人一般由控制器、电机、传动机构、执行机构等部分组成，是集成电路生产过程中的核心部件。
根据授权公告号CN207645351U一种液晶面板搬运洁净机器人装载移动平台装置，包括支撑桁架和导向桁架，所述导向桁架安装设置在支撑桁架侧边上，所述支撑桁架上端两侧安装固定有直线导轨，支撑桁架上方设置有装载平台，装载平台下端两侧安装固定有与直线导轨滑动配合的导轨滑块，所述导向桁架上方设置有与装载平台固定连接的驱动支架，驱动支架上安装设置有驱动机构，驱动机构底部的输出轴穿过驱动支架并安装有驱动齿轮，所述导向桁架上安装设置有与驱动齿轮啮合的导向齿条，所述导向桁架上铺设有电缆拖链，电缆拖链上端部与装载平台上的拖链支架固定连接。本实用新型能够精准调节装载平台水平，确保良好运行平稳性能，防护措施到位，使用安全可靠。
但是，这类机器人在驱动时，为了保证生产的持续运行，电机一般会长时间处于工作状态，这样很容易导致电机出现温度过高的情况，常规的散热方式，仅通过散热翅片导热，散热效果差，大大降低了电机的工作效率。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种半导体洁净机器人用电机散热导热机构，以解决电机散热效果差的问题。
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种半导体洁净机器人用电机散热导热机构，包括壳体，所述壳体的内壁通过支架固定有电机，电机为常规伺服电机，且通过导线与室内220V或380V电源插排插接通电，所述电机上分布有散热翅片，所述壳体的内壁上滑动紧贴有环形座，所述环形座内设置有环形槽，所述环形槽内连通有贯穿壳体的管道，所述环形槽上固定嵌入有出风口，出风口的数量为散热翅片的数量相同，且位置错位分布，使得出风口排出的风，能够经过相邻两个散热翅片之间，增加气流流动，将电机产生的热量快速排出，所述壳体上固定有筒体，所述筒体内固定有马达，马达通过导线与电机的电路并联接入，电机工作，马达同时启动，所述马达的转轴上固定有叶片，所述筒体的内壁上固定有第一防尘网。
优选的，所述环形座上固定有衔接块，所述壳体与衔接块通过螺纹旋钮连接，衔接块上设置有螺纹槽，壳体上设置有螺纹孔，螺纹旋钮与螺纹孔和螺纹槽螺纹设置。
优选的，所述电机的转轴上通过联轴器固定有驱动轴，所述壳体上固定嵌入有轴套，驱动轴与轴套转动设置，保证电机的驱动部分可以正常的运动。
优选的，所述壳体的内壁上滑动塞入有板框，板框上固定嵌入有第二防尘网，能够避免灰尘进入到壳体内。
优选的，所述第一防尘网和第二防尘网均有不锈钢材料制成，且孔径大小不超过0.2毫米，能够在空气流动时，起到一个防尘效果。
优选的，所述板框上设置有拨叉槽，拨叉槽内滑动设置有拨叉块，拨叉块与拨叉槽通过弹簧连接，拨叉块上固定有拨销，保证拨销能够正常的伸缩。
优选的，所述壳体的内壁两侧均设置有凹槽，拨叉块与凹槽插入设置，便于第二防尘网的安装和拆卸。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：通过马达带动叶片产生气流，使得出风口可以送风，对相邻散热翅片之间吹风，从而加速空气流动，将电机产生的热量带走，提高电机的散热效果。
附图说明
图1为本实用新型的整体结构示意图；
图2为本实用新型的出风口和散热翅片分布示意图。
图中：1、壳体；11、电机；12、散热翅片；13、环形座；14、环形槽；15、管道；16、筒体；17、马达；18、叶片；19、第一防尘网；110、出风口；2、衔接块；21、螺纹旋钮；3、驱动轴；31、轴套；4、板框；41、第二防尘网；5、拨叉槽；51、弹簧；52、拨叉块；53、拨销；54、凹槽。
具体实施方式
请参阅图1和图2，一种半导体洁净机器人用电机散热导热机构，包括壳体1，壳体1的内壁通过支架固定有电机11，电机11为常规伺服电机，且通过导线与室内220V或380V电源插排插接通电，电机11上分布有散热翅片12，壳体1的内壁上滑动紧贴有环形座13，环形座13内设置有环形槽14，环形槽14内连通有贯穿壳体1的管道15，环形槽14上固定嵌入有出风口110，出风口110的数量为散热翅片12的数量相同，且位置错位分布，使得出风口110排出的风，能够经过相邻两个散热翅片12之间，增加气流流动，将电机11产生的热量快速排出，壳体1上固定有筒体16，筒体16内固定有马达17，马达17通过导线与电机11的电路并联接入，电机11工作，马达17同时启动，马达17的转轴上固定有叶片18，筒体16的内壁上固定有第一防尘网19。
参阅图1，环形座13上固定有衔接块2，壳体1与衔接块2通过螺纹旋钮21连接，衔接块2上设置有螺纹槽，壳体1上设置有螺纹孔，螺纹旋钮21与螺纹孔和螺纹槽螺纹设置。
参阅图1，电机11的转轴上通过联轴器固定有驱动轴3，壳体1上固定嵌入有轴套31，驱动轴3与轴套31转动设置，保证电机11的驱动部分可以正常的运动。
参阅图1，壳体1的内壁上滑动塞入有板框4，板框4上固定嵌入有第二防尘网41，能够避免灰尘进入到壳体1内。
参阅图1，第一防尘网19和第二防尘网41均有不锈钢材料制成，且孔径大小不超过0.2毫米，能够在空气流动时，起到一个防尘效果。
参阅图1，板框4上设置有拨叉槽5，拨叉槽5内滑动设置有拨叉块52，拨叉块52与拨叉槽5通过弹簧51连接，拨叉块52上固定有拨销53，保证拨销53能够正常的伸缩。
参阅图1，壳体1的内壁两侧均设置有凹槽54，拨叉块52与凹槽54插入设置，便于第二防尘网41的安装和拆卸。
本方案的工作原理是：当电机11工作时，此时马达17同时启动，电机11工作产生的热量，会经过散热翅片12导出，马达17带动叶片18产生气流，进入到环形槽14内，冷风会从多个出风口110送出，并经过相邻两个散热翅片12之间，加速空气的流动，使得散热翅片12快速降温散热，从而达到电机11散热的效果。
两个防尘网可以在气流流动时，避免灰尘进入到壳体1内对电机11造成影响。
当需要清理第二防尘网41，按压拨销53，使得拨销53带动拨叉块52压缩弹簧51进入到拨叉槽5内，并与凹槽54脱开，从而实现板框4与壳体1的分离。
Claims (7)
1.一种半导体洁净机器人用电机散热导热机构，包括壳体(1)，其特征在于：所述壳体(1)的内壁通过支架固定有电机(11)，所述电机(11)上分布有散热翅片(12)，所述壳体(1)的内壁上滑动紧贴有环形座(13)，所述环形座(13)内设置有环形槽(14)，所述环形槽(14)内连通有贯穿壳体(1)的管道(15)，所述环形槽(14)上固定嵌入有出风口(110)，所述壳体(1)上固定有筒体(16)，所述筒体(16)内固定有马达(17)，所述马达(17)的转轴上固定有叶片(18)，所述筒体(16)的内壁上固定有第一防尘网(19)。
2.根据权利要求1所述的一种半导体洁净机器人用电机散热导热机构，其特征在于：所述环形座(13)上固定有衔接块(2)，所述壳体(1)与衔接块(2)通过螺纹旋钮(21)连接。
3.根据权利要求1所述的一种半导体洁净机器人用电机散热导热机构，其特征在于：所述电机(11)的转轴上通过联轴器固定有驱动轴(3)，所述壳体(1)上固定嵌入有轴套(31)，驱动轴(3)与轴套(31)转动设置。
4.根据权利要求1所述的一种半导体洁净机器人用电机散热导热机构，其特征在于：所述壳体(1)的内壁上滑动塞入有板框(4)，板框(4)上固定嵌入有第二防尘网(41)。
5.根据权利要求4所述的一种半导体洁净机器人用电机散热导热机构，其特征在于：所述第一防尘网(19)和第二防尘网(41)均有不锈钢材料制成，且孔径大小不超过0.2毫米。
6.根据权利要求4所述的一种半导体洁净机器人用电机散热导热机构，其特征在于：所述板框(4)上设置有拨叉槽(5)，拨叉槽(5)内滑动设置有拨叉块(52)，拨叉块(52)与拨叉槽(5)通过弹簧(51)连接，拨叉块(52)上固定有拨销(53)。
7.根据权利要求6所述的一种半导体洁净机器人用电机散热导热机构，其特征在于：所述壳体(1)的内壁两侧均设置有凹槽(54)，拨叉块(52)与凹槽(54)插入设置。
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