CN212622201U - 固体废弃物锅炉炉内温度和碱金属浓度的在线测量装置 - Google Patents
固体废弃物锅炉炉内温度和碱金属浓度的在线测量装置 Download PDFInfo
- Publication number
- CN212622201U CN212622201U CN202020669592.7U CN202020669592U CN212622201U CN 212622201 U CN212622201 U CN 212622201U CN 202020669592 U CN202020669592 U CN 202020669592U CN 212622201 U CN212622201 U CN 212622201U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- alkali metal
- solid waste
- temperature
- metal concentration
- measurement
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 239000002910 solid waste Substances 0.000 title claims abstract description 68
- 229910052783 alkali metal Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 60
- 150000001340 alkali metals Chemical class 0.000 title claims abstract description 58
- 230000005855 radiation Effects 0.000 claims abstract description 40
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims abstract description 39
- 238000002485 combustion reaction Methods 0.000 claims abstract description 23
- 238000009529 body temperature measurement Methods 0.000 claims abstract description 17
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 claims abstract description 16
- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims abstract description 12
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 18
- 239000000523 sample Substances 0.000 claims description 10
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 claims description 8
- 229910052700 potassium Inorganic materials 0.000 claims description 8
- 239000011591 potassium Substances 0.000 claims description 8
- 229910052708 sodium Inorganic materials 0.000 claims description 8
- 239000011734 sodium Substances 0.000 claims description 8
- 239000000835 fiber Substances 0.000 claims description 7
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 claims description 7
- 238000009434 installation Methods 0.000 claims description 4
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 claims description 3
- -1 sodium alkali metal Chemical class 0.000 claims 2
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 abstract description 4
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 abstract description 3
- 238000004891 communication Methods 0.000 abstract description 2
- 238000012545 processing Methods 0.000 abstract description 2
- DGAQECJNVWCQMB-PUAWFVPOSA-M Ilexoside XXIX Chemical compound C[C@@H]1CC[C@@]2(CC[C@@]3(C(=CC[C@H]4[C@]3(CC[C@@H]5[C@@]4(CC[C@@H](C5(C)C)OS(=O)(=O)[O-])C)C)[C@@H]2[C@]1(C)O)C)C(=O)O[C@H]6[C@@H]([C@H]([C@@H]([C@H](O6)CO)O)O)O.[Na+] DGAQECJNVWCQMB-PUAWFVPOSA-M 0.000 description 7
- ZLMJMSJWJFRBEC-UHFFFAOYSA-N Potassium Chemical compound [K] ZLMJMSJWJFRBEC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 5
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 5
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 5
- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 5
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-M Chloride anion Chemical compound [Cl-] VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 4
- 238000010186 staining Methods 0.000 description 4
- ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N Chlorine atom Chemical compound [Cl] ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000003513 alkali Substances 0.000 description 3
- 229910052801 chlorine Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000000460 chlorine Substances 0.000 description 3
- 239000000446 fuel Substances 0.000 description 3
- UGFAIRIUMAVXCW-UHFFFAOYSA-N Carbon monoxide Chemical compound [O+]#[C-] UGFAIRIUMAVXCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 241000282414 Homo sapiens Species 0.000 description 2
- 241001465754 Metazoa Species 0.000 description 2
- FAPWRFPIFSIZLT-UHFFFAOYSA-M Sodium chloride Chemical compound [Na+].[Cl-] FAPWRFPIFSIZLT-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- 239000000443 aerosol Substances 0.000 description 2
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000003546 flue gas Substances 0.000 description 2
- 239000008187 granular material Substances 0.000 description 2
- 239000010813 municipal solid waste Substances 0.000 description 2
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 2
- 238000001556 precipitation Methods 0.000 description 2
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 2
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 1
- 229910001514 alkali metal chloride Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010868 animal carcass Substances 0.000 description 1
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 238000004737 colorimetric analysis Methods 0.000 description 1
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 210000003608 fece Anatomy 0.000 description 1
- 239000010881 fly ash Substances 0.000 description 1
- 235000013305 food Nutrition 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 238000012806 monitoring device Methods 0.000 description 1
- 239000002893 slag Substances 0.000 description 1
- 239000010802 sludge Substances 0.000 description 1
- 239000011780 sodium chloride Substances 0.000 description 1
- 239000010888 waste organic solvent Substances 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Control Of Combustion (AREA)
- Radiation Pyrometers (AREA)
- Incineration Of Waste (AREA)
Abstract
本实用新型公开了一种固体废弃物锅炉炉内温度和碱金属浓度的在线测量装置,属于固体废弃物锅炉炉内燃烧监测技术领域,在线测量装置包括风冷罩和设置在风冷罩中的:针孔摄像头,收集并传输固体废弃物燃烧时的火焰辐射光;和分束镜组,将火焰辐射光分为三路分别到达测温彩色CCD、碱金属浓度测量模块和光谱测量模块;还包括与测温彩色CCD、碱金属浓度测量模块和光谱测量模块通讯连接的计算机,所述计算机用于处理分析固体废弃物燃烧时的火焰辐射光谱,计算火焰温度分布,并根据温度分布修正碱金属浓度分布。可同时实现固体废弃物锅炉内燃烧火焰的温度和碱金属测量。
Description
技术领域
本实用新型涉及固体废弃物锅炉炉内燃烧监测技术领域,具体地说,涉及一种固体废弃物锅炉炉内温度和碱金属浓度的在线测量装置。
背景技术
固体废弃物是指人类在生产、消费、生活和其他活动中产生的固态、半固态废弃物质(国外的定义则更加广泛,动物活动产生的废弃物也属于此类),通俗地说,就是“垃圾”。主要包括固体颗粒、垃圾、炉渣、污泥、废弃的制品、破损器皿、残次品、动物尸体、变质食品、人畜粪便等。有些国家把废酸、废碱、废油、废有机溶剂等高浓度的液体也归为固体废弃物。
固体废弃物在锅炉内燃烧的过程中,钠、钾、氯等元素含量过高会导致锅炉运行出现如设备腐蚀,炉内结渣等一系列问题,如在燃烧过程中烟气含有NaCl(气溶胶)、KCl(气溶胶)等成分,会加速金属氧化层的腐蚀,这些问题的产生会影响锅炉机组运行的安全性和稳定性。碱金属氯化物在高温下从燃料中挥发出来,然后与飞灰颗粒一起在受热面上凝结形成沉积,炉内固体废弃物的燃烧温度影响碱金属的析出,也影响受热面的碱金属腐蚀。
现有的燃烧锅炉多种多样,如公告号为CN209638992U的中国专利文献公开的一种燃固体废弃物的流化床锅炉,以及公开号为CN102705831A的中国专利文献公开的一种固体废弃物焚烧炉炉体等。但现有的测量技术只在炉内重要位置布置测点,测量受热面壁温,或者炉内烟气温度。
为了对炉内固体废弃物燃烧进行调整,减少碱金属析出,避免受热面的碱金属腐蚀,发展固体废弃物锅炉炉内温度和碱金属浓度在线测量装置是必要的,对固体废弃物燃料的高效、清洁利用具有重要意义。
实用新型内容
本实用新型的目的为提供一种固体废弃物锅炉炉内温度和碱金属浓度的在线测量装置,可实现固体废弃物锅炉炉内温度和碱金属浓度的在线测量,为固体废弃物锅炉的燃烧调整提供有力支撑。
为了实现上述目的,本实用新型提供的固体废弃物锅炉炉内温度和碱金属浓度的在线测量装置,包括风冷罩和设置在所述风冷罩中的:
针孔摄像头,收集并传输固体废弃物燃烧时的火焰辐射光;
和分束镜组,将火焰辐射光分为三路分别到达测温彩色CCD、碱金属浓度测量模块和光谱测量模块。
上述技术方案中,可同时实现固体废弃物锅炉内燃烧火焰的温度和碱金属测量,固体废弃物锅炉炉内温度800~1000℃,为了避免高温对测量设备的损坏和炉内灰颗粒对镜头的玷污,采用针孔镜头对炉内辐射图像进行采集,通过风冷罩对针孔镜头和测量装置进行冷却,同时防止镜头玷污。
为了对炉内碱金属浓度进行测量,可选地,在一个实施例中,所述的碱金属浓度测量模块包括窄带滤波片和CCD相机。
固体废弃物中的碱金属主要有钠和钾,可选地,在一个实施例中,所述的窄带滤波片为碱金属钠对应窄带滤波片波长589nm,带宽1~2nm,或碱金属钾对应窄带滤波片波长769nm,带宽1~2nm。二者可切换使用。而固体废弃物中碱金属一般以氯化物的形式存在,根据碱金属的浓度可计算氯化物的浓度。
由于碱金属浓度测量模块的CCD相机记录的碱金属辐射光强反映碱金属的浓度,但受火焰温度影响,因此燃烧火焰中碱金属浓度根据测温彩色CCD测量的温度进行修正,为了提高修正的准确性,可选地,在一个实施例中,所述测温彩色CCD和所述碱金属浓度测量模块的CCD相机测量视场相同,测量位置一一对应。进一步可根据钠和钾的浓度计算出氯的浓度。
为了获得固体废弃物燃烧的光谱分布,可选地,在一个实施例中,所述的光谱测量模块包括针孔光阑、光纤探头、光纤和光谱仪。光谱仪的波长范围380nm~780nm,光谱分辨率小于0.1nm。为了节省空间,可在被分束到光谱测量模块的辐射光的光路上设置反射镜,使测量装置更紧凑,针孔光阑用来控制物体辐射光进入光纤探头的面积,光纤探头用来接收物体辐射光,光纤用来传输物体辐射光,光谱仪用来测量物体的辐射光谱。
为了提高彩色CCD比色测温的准确性,可选地,在一个实施例中,用光谱仪标定彩色CCD测温模块,光路系统中辐射光经过的所有光学元件对可见光的透过率相等,且固体废弃物燃烧火焰辐射光到三个测量模块的光程相等。同时,被所述测温彩色CCD中心记录的辐射光和所述光纤探头接收的辐射光为固体废弃物燃烧火焰同一位置的辐射光。
可选地,在一个实施例中,所述的风冷罩包括高压空气进口,均流孔板,气流流道和压缩空气小孔出口。由于测量设备CCD和光谱仪需要布置在现场,夏天锅炉周边局部温度可达50~60℃,为了防止超温影响设备运行,冷却针孔镜头和防止镜头玷污的高压空气先流过测量装置,对测量装置进行冷却。
为了对固体废弃物锅炉炉内温度和碱金属浓度进行全方位监测,可以根据测量要求,在固体废弃物锅炉内布置多套。
可选地,在一个实施例中,所述的风冷罩包括用于安装所述针孔摄像头的第一安装部和用于安装其他光学组件的第二安装部,所述第一安装部可伸入固体废弃物锅炉内;所述的压缩空气小孔出口位于所述第一安装部的前端,且兼做所述火焰辐射光的通道。可在固体废弃物锅炉的炉壁上开一小孔,使用时将第一安装部伸入该小孔内进行测量。
为了实现对火焰辐射光进行分束,可选地,在一个实施例中,所述的分束镜组包括沿火焰辐射光光路依次设置的两个分束镜。
与现有技术相比,本实用新型的有益效果为:
本实用新型固体废弃物锅炉炉内温度和碱金属浓度的在线测量装置,能够实现固体废弃物锅炉炉内温度和碱金属浓度的在线测量,可以用来指导燃烧调整,测量原理简单,装置紧凑,应用场景广泛,易推广。
附图说明
图1为本实用新型实施例的固体废弃物锅炉炉内温度和碱金属浓度的在线测量装置的结构示意图。
具体实施方式
为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚,以下结合实施例及其附图对本实用新型作进一步说明。
实施例
参见图1,本实施例的固体废弃物锅炉炉内温度和碱金属浓度的在线测量装置包括设置在锅炉内的风冷罩3和设置在风冷罩3内的:针孔镜头组2,分束镜组,测温彩色CCD6,碱金属浓度测量模块和光谱测量模块。测温彩色CCD 6、碱金属浓度测量模块和光谱测量模块分别通讯连接至计算机9。测温彩色CCD记录固体废弃物燃烧火焰的彩色图像,用比色法测温。碱金属浓度测量模块用于测量固体废弃物燃烧火焰中碱金属浓度。光谱测量模块用来测量固体废弃物燃烧火焰辐射光谱。计算机处理分析测量对象的光谱,计算固体废弃物锅炉炉内燃烧火焰温度分布,根据温度分布修正碱金属浓度分布。
其中,分束镜组包括沿火焰辐射光光路依次设置的两个分束镜501和502,将固体废弃物燃烧火焰辐射光分为三路分别到达测温彩色CCD 6,碱金属浓度测量模块和光谱测量模块,测量系统光轴4为火焰辐射光的光轴。碱金属浓度测量模块包括窄带滤波片701和CCD相机702。光谱测量模块包括反射镜801,针孔光阑802,光纤探头803,光纤804和光谱仪805。
固体废弃物燃烧火焰1高温辐射出可见光波,针孔镜头组2传输固体废弃物燃烧火焰可见光至测温彩色CCD 6、碱金属浓度测量模块和光谱测量模块。风冷罩3通过高压空气冷却针孔镜头组和各测量模块,同时防止镜头玷污。测量系统光轴4同针孔镜头组光轴,对应测温彩色CCD 6、CCD相机702和光谱仪的中心。
固体废弃物锅炉炉内温度800~1000℃,为了避免高温对测量设备的损坏和炉内灰颗粒对镜头的玷污,采用针孔镜头组对炉内辐射图像进行采集,设计风冷罩3对针孔镜头组2和测量设备进行冷却,同时防止镜头玷污,风冷罩包括高压空气进口301,均流孔板302,气流流道303和压缩空气小孔出口304。本实施例中,风冷罩包括用于安装针孔摄像头2的第一安装部和用于安装其他光学组件的第二安装部,第一安装部可伸入固体废弃物锅炉内;压缩空气小孔出口304位于第一安装部的前端,且兼做火焰辐射光的通道。在固体废弃物锅炉的炉壁上开一小孔,使用时,将第一安装部伸入该小孔内进行测量。
固体废弃物中的碱金属主要有钠和钾,碱金属浓度测量模块的窄带滤波片701包括碱金属钠对应窄带滤波片波长589nm,带宽1~2nm,和碱金属钾对应窄带滤波片波长769nm,带宽1~2nm,二者可切换使用。而固体废弃物中碱金属一般以氯化物的形式存在,根据碱金属的浓度可计算氯化物的浓度。
为了获得固体废弃物燃烧的光谱分布,光谱仪805的波长范围380nm~780nm,光谱分辨率小于0.1nm。反射镜801用来是测量装置更紧凑,针孔光阑802用来控制物体辐射光进入光纤探头803的面积,光纤探头803用来接收物体辐射光,光纤804用来传输物体辐射光,光谱仪805用来测量物体的辐射光谱。
为了提高测温彩色CCD6的比色测温的准确性,用光谱仪805标定测温彩色CCD6,光路系统中辐射光经过的所有光学元件对可见光的透过率相等,且固体废弃物燃烧火焰辐射光到各个测量模块的光程相等,同时经过测量系统光轴被测温彩色CCD6中心记录的辐射光和光纤探头803接收的辐射光为固体废弃物燃烧火焰同一位置的辐射光。
由于碱金属浓度测量模块的CCD相机702记录的碱金属辐射光强反映碱金属的浓度,但受火焰温度影响,固体废弃物燃烧火焰中碱金属浓度根据测温彩色CCD6的温度进行修正,为了提高修正的准确性,测温彩色CCD6和碱金属浓度测量模块的CCD相机702的测量视场相同,测量位置一一对应。进一步可根据钠和钾的浓度计算出氯的浓度。
由于测量设备CCD和光谱仪需要布置在现场,夏天锅炉周边局部温度可达50~60℃,为了防止超温影响设备运行,冷却针孔镜头组和防止镜头玷污的高压空气先流过测量装置,对测量装置进行冷却。为了对固体废弃物锅炉炉内温度和碱金属浓度进行全方位监测,根据测量要求,可以在固体废弃物锅炉上布置多套测量装置。通过对固体废弃物锅炉炉内温度和碱金属浓度进行在线测量,可以指导燃烧调整,避免受热面的碱金属腐蚀,实现固体废弃物燃料的高效、清洁利用。
Claims (10)
1.一种固体废弃物锅炉炉内温度和碱金属浓度的在线测量装置,其特征在于,包括风冷罩和设置在所述风冷罩中的:
针孔摄像头,收集并传输固体废弃物燃烧时的火焰辐射光;
和分束镜组,将火焰辐射光分为三路分别到达测温彩色CCD、碱金属浓度测量模块和光谱测量模块。
2.根据权利要求1所述的固体废弃物锅炉炉内温度和碱金属浓度的在线测量装置,其特征在于,所述的碱金属浓度测量模块包括窄带滤波片和CCD相机。
3.根据权利要求2所述的固体废弃物锅炉炉内温度和碱金属浓度的在线测量装置,其特征在于,所述的窄带滤波片为碱金属钠对应窄带滤波片波长589nm,带宽1~2nm,或碱金属钾对应窄带滤波片波长769nm,带宽1~2nm。
4.根据权利要求2所述的固体废弃物锅炉炉内温度和碱金属浓度的在线测量装置,其特征在于,所述测温彩色CCD和所述碱金属浓度测量模块的CCD相机测量视场相同,测量位置一一对应。
5.根据权利要求1所述的固体废弃物锅炉炉内温度和碱金属浓度的在线测量装置,其特征在于,所述的光谱测量模块包括针孔光阑、光纤探头、光纤和光谱仪;光谱仪的波长范围380nm~780nm,光谱分辨率小于0.1nm。
6.根据权利要求5所述的固体废弃物锅炉炉内温度和碱金属浓度的在线测量装置,其特征在于,被所述测温彩色CCD中心记录的辐射光和所述光纤探头接收的辐射光为固体废弃物燃烧火焰同一位置的辐射光。
7.根据权利要求1所述的固体废弃物锅炉炉内温度和碱金属浓度的在线测量装置,其特征在于,光路系统中辐射光经过的所有光学元件对可见光的透过率相等,且固体废弃物燃烧火焰辐射光到三个测量模块的光程相等。
8.根据权利要求1所述的固体废弃物锅炉炉内温度和碱金属浓度的在线测量装置,其特征在于,所述的风冷罩包括高压空气进口,均流孔板,气流流道和压缩空气小孔出口。
9.根据权利要求8所述的固体废弃物锅炉炉内温度和碱金属浓度的在线测量装置,其特征在于,所述的风冷罩包括用于安装所述针孔摄像头的第一安装部和用于安装光学组件的第二安装部,所述第一安装部可伸入固体废弃物锅炉内;所述的压缩空气小孔出口位于所述第一安装部的前端,且兼做所述火焰辐射光的通道。
10.根据权利要求1所述的固体废弃物锅炉炉内温度和碱金属浓度的在线测量装置,其特征在于,所述的分束镜组包括沿火焰辐射光光路依次设置的两个分束镜。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202020669592.7U CN212622201U (zh) | 2020-04-27 | 2020-04-27 | 固体废弃物锅炉炉内温度和碱金属浓度的在线测量装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202020669592.7U CN212622201U (zh) | 2020-04-27 | 2020-04-27 | 固体废弃物锅炉炉内温度和碱金属浓度的在线测量装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN212622201U true CN212622201U (zh) | 2021-02-26 |
Family
ID=74711404
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN202020669592.7U Active CN212622201U (zh) | 2020-04-27 | 2020-04-27 | 固体废弃物锅炉炉内温度和碱金属浓度的在线测量装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN212622201U (zh) |
-
2020
- 2020-04-27 CN CN202020669592.7U patent/CN212622201U/zh active Active
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US8274560B2 (en) | Flame detector for monitoring a flame during a combustion process | |
US7956326B1 (en) | Infrared imaging sensor | |
CN102706459B (zh) | 一种单ccd成像系统的炉膛内三维温度场检测装置及方法 | |
US8070482B2 (en) | Combustion control system of detection and analysis of gas or fuel oil flames using optical devices | |
CN106093062B (zh) | 一种基于ccd的锅炉受热面积灰结渣智能吹灰系统 | |
US20010035952A1 (en) | Method for monitoring an optical system having a front lens disposed immediately at a combustion chamber, and a device for carrying out the method | |
CN102495473A (zh) | 一种可见光与红外光分光系统 | |
CN102859340A (zh) | 光学火焰传感器 | |
CN108872102B (zh) | 用于测量锅炉二维气相Na浓度场和温度场的装置和方法 | |
CN101441119B (zh) | 复杂环境中高温固体表面长期准确测温系统 | |
CN205957259U (zh) | 一种能检测油烟浓度的油烟机 | |
WO2019144925A1 (zh) | 一种红外、拉曼和激光三通道点对点实时融合的测量系统 | |
CN111551507A (zh) | 固体废弃物锅炉炉内温度和碱金属浓度的在线测量装置 | |
CN105352864A (zh) | 采用光散射法的在线粉尘测量仪 | |
CN212622201U (zh) | 固体废弃物锅炉炉内温度和碱金属浓度的在线测量装置 | |
CN109900364B (zh) | 测温型工业电视系统 | |
Chen et al. | A particle-tracking image pyrometer for characterizing ignition of pulverized coal particles | |
CN106441141A (zh) | 一种燃烧检测系统及其燃烧检测方法 | |
CN212133888U (zh) | 基于辐射光谱的彩色ccd自标定测温装置 | |
KR101743670B1 (ko) | 광학필터와 촬상장치를 이용한 화염 감시 및 구조계측 시스템 및 이에 의한 화염 감시 및 구조계측 방법 | |
Jiang et al. | Visual flame monitoring system based on two-color method | |
CN106595868B (zh) | 一种基于改进三色法的高炉燃烧带温度场检测方法 | |
CN216524101U (zh) | 一种同时测量碳烟颗粒物温度及体积分数的系统 | |
CN216486062U (zh) | 一种加热炉燃烧效能在线智能检测与优化控制系统的装置 | |
CN110530884A (zh) | 激光焊保护镜片缺陷检测装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
GR01 | Patent grant | ||
GR01 | Patent grant |