CN212517878U - 一种即插式的锥形激光放大装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种即插式的锥形激光放大装置,包括主框架,还包括设置在主框架上的第一激光功率放大单元和第二激光功率放大单元,第一激光功率放大单元中的第一组激光功率放大基本单元,以及第二激光功率放大单元中的第三组激光功率放大基本单元和第四组激光功率放大基本单元均包括第一放大器固定相位延迟片、第二放大器固定相位延迟片、第一激光隔离器、第二激光隔离器、锥形激光放大器、放大器偏振分光棱镜、光电探测器。本实用新型一方面解决了传统光学平台光路中缺乏标准、稳定性差、占用空间大、不可搬运、不可备份等问题,另一方面解决了专用仪器光路可升级性差、可替换性差、适用范围窄等问题。
Description
技术领域
本实用新型属于原子分子光物理研究领域,尤其是涉及冷原子物理领域,具体涉及一种用于模块化光学系统的锥形激光放大装置。
背景技术
锥形激光放大器(TA)属于易损易老化光学设备,常需要更换维护。对传统的、放置于光学平台上,由TA和大量光学器件组成的光学系统,每次进行这种维护都会影响后面光路的光学参数,包括但不限于光学路径、激光功率、光斑质量等。这些参数的变化一方面意味着实验条件发生改变,实验研究中不确定性因素增加;另一方面,需要研究人员花大量的时间和精力对这些参数进行恢复和优化。而用于成套设备上的集成化光学系统的各光学参数已经固定,因此,很难具备参数进一步优化的功能。
伴随着实验研究的深入,实验研究所需求的功能越来越复杂。为了满足这种实验功能上的需求,往往需要不断地增加光学器件,并不断改进;与此同时,当前很多实验对稳定性要求也越来越高,特别是精密测量实验,往往需要进行数十小时甚至几十天长时间连续稳定的积分测量。因此,如何在光学系统复杂度和不确定因素增加的情况下,设计出满足稳定性要求、且具备一定可改进的光学系统,是当前原子分子光物理研究领域面临的一个待解决的问题。
基于上述的需求,我们设计了一种时分复用、多种用途、光纤即插即用式的TA装置,该装置可用于研究型的激光冷却原子实验中。相比于使用传统光路中的TA系统,使用本装置具有以下四个优点:一、按功能模块化设计,使需要进行调整和改进的研究型光学系统能实现自由组合、可搬运;二、即插即用、标准化设计,便于大量生产,作为备份可迅速替换问题模块,极大提高实验室工作效率;三、一体化设计,便于进行环境整体化控制,减少外界电磁噪声的干扰、也能够较好地进行温度、功率等参数的监控与反馈控制,确保稳定性;四、功能多样,同时具备时分复用、激光合束等功能,满足作为光源时面临的各种需求。即,该装置具备集成光学系统便携、稳定的特点,又具备传统光学系统可改进的优势。
本实用新型兼顾模块化、可改进的特点,可作未来大型光学系统长期连续运行、并需要进行调整改进的可替换、标准化组件;也可作为激光功率放大的基本元件,与其它功能模块灵活组合,构建出不同功能的光学系统;同时,还可作为单一功能模块,满足原子分子光物理研究领域其它激光功率放大的需求。以长基线原子干涉仪为例:基于激光冷却和囚禁中性原子技术发展起来的原子干涉仪技术,已经被应用于重力、重力梯度、转动等惯性物理量的精密测量领域。简要来说,原子干涉仪利用频差等于原子两个下能级超精细劈裂的一对激光(或称为一束双频激光,在原子物理领域称之为拉曼光)对被激光冷却的(热运动极其微弱的)原子进行分束、反射以及合束操作,并将对空间敏感的激光相位写入原子的态叠加相位,最终通过测量原子的态叠加相位得到原子在空间中的运动状态从而计算出参考系的重力或转动信息。随着原子干涉仪测量精度的提高,国际上有多个国家提出利用长基线原子干涉仪来检测引力波的计划,如文献(Resonant mode for gravitational wavedetectors based on atom interferometry,Peter W.Graham,Physical Review D,第94卷(104022)1—10页,2016年)。中国精密测量创新与技术研究院计划在湖北鄂州沼山建立300米长基线原子干涉仪用于引力波探测,等效原理检验等。光学系统是原子干涉仪的重要组成部分,而在如此大规模的基于原子干涉仪的精密测量系统中,必定涉及到庞大复杂的光路系统。该系统最大埋深超过300米,且臂长超过10公里,如文献(ZAIGA:ZhaoshanLong—baseline Atom Interferometer Gravitation Antenna,Ming—Sheng Zhan等,International Journal of Modern Physics D第28卷(1940005),1—20页,2019年)。
虽然,研究人员及工程师们已经研制出用于实用化原子干涉仪的专用仪器光路,如文献(A portable laser system for high—precision atom interfer-
-ometry experiments,M.Schmidt等,Applied Physics B,第102卷,11—18页,2011年)。该光学系统采用了四个模块以实现重力测量所需的冷却光、回泵光、拉曼光以及探测光,占用了19英寸机柜中的四层机位。然而,该光学系统中构成拉曼光的双频成分的光强比例缺乏远程调节的手段,而该光强比例的稳定性直接决定了测量结果的稳定性,因此无法在实现光强比例的反馈锁定,不利于远程测量。为了提高光学系统的集成度和稳定性,还有研究人员提出并实现了一种简化的光学系统方案,即去掉了原子的二维预冷却(物理领域称为二维磁光阱或2D—MOT)功能和原子喷泉功能(不令原子先上抛再下落,而是直接原地释放),如文献(A cold atom pyramidal gravimeter with a single laser beam,Q.Bodart等,Appl.Phys.Lett.第96卷,134101页,2010年)以及文献(Realization of acompact one—seed laser system for atom interferometer—based gravimeters,J.Fang等,Optics Express,第26卷,1586—1596页2018年)。然而,由原子干涉仪的测量原理可知,对于三脉冲原子干涉仪,原子干涉条纹的相移△Φ(同噪声水平下等效于最终的测量灵敏度)与在测量过程中原子的自由飞行时间T的平方成正比,公式表示为△Φ=keff·gT2,其中keff为激光的波矢量。由此可知,在相同尺寸的干涉区域内,释放型原子干涉仪的测量灵敏度仅为喷泉型原子干涉仪的1/4。而去掉二维预冷却装置又成倍地降低了冷原子的制备速度,虽然降低了整个实验过程中的激光功率需求,但同时延长了测量耗费的时间,也导致测量灵敏度的下降(测量灵敏度反比于测量总时间的平方根)。同时,作为专用仪器光路,它们都面临着可升级性差、难以替换、适用范围窄,维护复杂等问题;难以满足未来长基线原子干涉仪这种庞大系统的激光性能需求。
本实用新型是一种可监控、可调节、多功能的即插即用的TA装置,能保证大型光学系统的高性能和长期稳定工作需求。由于其功能的多样性和可靠性,该装置还可用于激光光谱、原子冷却与操控、量子精密测量等研究领域。
实用新型内容
本实用新型的目的是为针对现有技术存在的上述问题,提供一种即插式的锥形激光放大装置。
本实用新型的上述目的通过以下具体技术手段实现:
一种即插式的锥形激光放大装置,包括主框架,还包括设置在主框架上的第一声光移频单元,主框架上设置有光学标度孔,
第一声光移频单元包括第一组激光功率放大基本单元、第一光纤耦合器、第二光纤耦合器、第三光纤耦合器、第一液晶玻片、第一偏振分光棱镜、第二偏振分光棱镜、第一固定相位延迟片、第二固定相位延迟片、第三固定相位延迟片、第一反射镜、第二反射镜、第三反射镜、第四反射镜、第一声光移频器和第二声光移频器,
激光由第一光纤耦合器入射,依次经过第一组激光功率放大基本单元、第一液晶玻片后再经过第一偏振分光棱镜分为两路,一路反射激光经过第一固定相位延迟片后,从第二偏振分光棱镜中反射;再由第三反射镜与第四反射镜反射后,通过第一声光移频器移频;移频后产生的一级光经过第二固定相位延迟片后,由第二光纤耦合器合进光纤,另一路透射激光由第一反射镜与第二反射镜反射后,通过第二声光移频器移频;移频后产生的一级光经过第三固定相位延迟片后,由第三光纤耦合器耦合进光纤。
一种即插式的锥形激光放大装置,还包括设置在主框架上的第二声光移频单元,
第二声光移频单元包括第三组激光功率放大基本单元、第四组激光功率放大基本单元、第七光纤耦合器、第八光纤耦合器、第九光纤耦合器、第十光纤耦合器、第二液晶玻片、第三液晶玻片、第三偏振分光棱镜、第四固定相位延迟片、第五固定相位延迟片、第五反射镜、第六反射镜、第七反射镜、第八反射镜、第九反射镜、第十反射镜、第三声光移频器和第四声光移频器,
激光由第七光纤耦合器入射,依次经过第三组激光功率放大基本单元、第二液晶玻片后再由第五反射镜与第六反射镜反射进入第三偏振分光棱镜,由第三偏振分光棱镜后为两路,一路从第三偏振分光棱镜透射形成第一待合束激光,一路由第三偏振分光棱镜反射形成第二待合束激光,
激光由第八光纤耦合器入射,依次经过第四组激光功率放大基本单元、第三液晶玻片来调节相位,再由第九反射镜反射后经第三偏振分光棱镜后为两路,一路从第三偏振分光棱镜透射形成第三待合束激光,一路由第三偏振分光棱镜反射形成第四待合束激光,
第一待合束激光与第四待合束激光合束,合束后形成第一合束激光,第一合束激光依次通过第七反射镜与第八反射镜反射后,通过第四声光移频器移频;移频后产生的一级光经过第五固定相位延迟片后,由第十光纤耦合器耦合进光纤,
第二待合束激光与第三待合束激光合束,合束后形成第二合束激光,第二合束激光由第十反射镜反射后,通过第三声光移频器移频;移频后产生的一级光经过第四固定相位延迟片后,由第九光纤耦合器耦合进光纤。
如上所述的第一组激光功率放大基本单元、第三组激光功率放大基本单元和第四组激光功率放大基本单元均包括第一放大器固定相位延迟片、第二放大器固定相位延迟片、第一激光隔离器、第二激光隔离器、锥形激光放大器、放大器偏振分光棱镜、光电探测器,
激光依次经过第一放大器固定相位延迟片一激光隔离器、锥形激光放大器、第二激光隔离器和第二放大器固定相位延迟片后入射放大器偏振分光棱镜,并由放大器偏振分光棱镜分为两路,一路透射激光出射后,进入后续光路;另一路反射激光入射光电探测器,转化为电信号输出作为监测信号。
本实用新型相对于现有技术,具有以下优点和积极效果:
1、主框架由一整块材料加工而成,结构上包含有基板和侧壁,基板和侧壁连成一体;从力学角度分析,这种连体结构可以极大提高侧壁的强度,可以提高安装于侧壁之上的各个光纤耦合器的位置和角度的稳定性,同时侧壁对基板也起到加固作用,减少自重及外力作用下的形变量。
2、相较于在光学平台上的光路,将光路集成到光学盒子中,提高了光学系统的稳定性:便于本实用新型的温度控制,利于光路清洁;节省了空间。且可搬运,可替换。
3、本实用新型将激光功率放大单元,可满足各种激光功率的需求,具有更多调节空间,可实现激光放大模块的快速替换。
4、可通过调节液晶玻片,远程更改输出功率和光学路径,使激光放大模块得到充分有效的利用。
本实用新型一方面解决了传统光学平台光路中缺乏标准、稳定性差、占用空间大、不可搬运、不可备份等问题,另一方面解决了专用仪器光路可升级性差、可替换性差、适用范围窄等问题。
附图说明
图1为激光功率放大基本单元的结构示意图;
图2为第一声光移频单元的结构示意图;
图3为第二声光移频单元的结构示意图。
具体实施方案
为了便于本领域普通技术人员理解和实施本实用新型,下面结合实施例对本实用新型作进一步的详细描述,应当理解,此处所描述的实施示例仅用于说明和解释本实用新型,并不用于限定本实用新型。
以下结合基于85Rb、87Rb双组份原子干涉仪对激光功率的要求,结合两个实施例具体阐述本实用新型的工作原理。
实施例一
一种即插式的锥形激光放大装置,包括主框架和第一声光移频单元。
主框架包括基板和设置在基板四侧的侧壁,侧壁上设置有光电接口和光学标度孔,主框架整体采用“凹”形结构。光电接口用于输出控制信号与输出监控信号。光学标度孔类似于一把刻在侧壁上的尺子,便于激光的调节。光纤耦合器也安装在侧壁上,基板上设置有第一激光功率放大单元(除第一光纤耦合器211、第二光纤耦合器212和第三光纤耦合器213),第一光纤耦合器211、第二光纤耦合器212和第三光纤耦合器213设置在侧壁上。
第一声光移频单元包括第一组激光功率放大基本单元301、第一光纤耦合器211、第二光纤耦合器212、第三光纤耦合器213、第一液晶玻片221、第一偏振分光棱镜231、第二偏振分光棱镜232、第一固定相位延迟片241、第二固定相位延迟片242、第三固定相位延迟片243、第一反射镜251、第二反射镜252、第三反射镜253、第四反射镜254、第一声光移频器261和第二声光移频器262。
如图2,激光由第一光纤耦合器211入射,依次经过第一组激光功率放大基本单元301、第一液晶玻片221来调节方向与相位;再经过第一偏振分光棱镜231分为两路。一路反射激光经过第一固定相位延迟片241后,从第二偏振分光棱镜232中反射;再由第三反射镜253与第四反射镜254反射后,通过第一声光移频器261移频;移频后产生的一级光经过第二固定相位延迟片242后,由第二光纤耦合器212耦合进光纤。另一路透射激光由第一反射镜251与第二反射镜252反射后,通过第二声光移频器262移频;移频后产生的一级光经过第三固定相位延迟片243后,由第三光纤耦合器213耦合进光纤。
其中,通过改变第一液晶玻片221的输入电压,从而改变激光偏振;使得经过第一偏振分光棱镜231的透射光与入射光的功率改变,从而改变第二光纤耦合器212与第三光纤耦合器213的输出功率;达到一束高功率激光可以分时满足非同时过程对高功率激光的需求。而通过控制第一声光移频器261移频与第二声光移频器262射频关断,使得激光经过第一声光移频器261移频或第二声光移频器262后不存在一级衍射光,从而快速使得本装置由第二光纤耦合器212与第三光纤耦合器213输出的激光功率为零
基板上还设置有与第一声光移频单元对称分布的对称声光移频单元(除第四光纤耦合器214、第五光纤耦合器215和第六光纤耦合器216),第四光纤耦合器214、第五光纤耦合器215和第六光纤耦合器216设置在侧壁上,对称声光移频单元的元件与第一声光移频单元相同且对称分布。
如图2的下半部分,激光由第四光纤耦合器214入射,由第五光纤耦合器215与第六光纤耦合器216出射,对称声光移频单元中的光路结构与第一声光移频单元中的光路结构完全对称。
在该实施例中,可以实现多束激光进行功率放大,并实现锥形激光放大器的时分复用。在实验系统,是将激光器种子光放大后,用作87Rb、85Rb原子的冷却光,探测光、回泵光及态制备光。
实施例二
在实施例一的基础上,基板上还设置有第二声光移频单元(除第七光纤耦合器217、第八光纤耦合器218、第九光纤耦合器219和第十光纤耦合器2110),第七光纤耦合器217、第八光纤耦合器218、第九光纤耦合器219和第十光纤耦合器2110设置在侧壁上,第二声光移频单元包括第三组激光功率放大基本单元303、第四组激光功率放大基本单元304、第七光纤耦合器217、第八光纤耦合器218、第九光纤耦合器219、第十光纤耦合器2110、第二液晶玻片222、第三液晶玻片223、第三偏振分光棱镜233、第四固定相位延迟片244、第五固定相位延迟片245、第五反射镜255、第六反射镜256、第七反射镜257、第八反射镜258、第九反射镜259、第十反射镜2510、第三声光移频器263和第四声光移频器264。
如图3,激光由第七光纤耦合器217入射,依次经过第三组激光功率放大基本单元303、第二液晶玻片222来调节相位,再由第五反射镜255与第六反射镜256反射后经第三偏振分光棱镜233后为两路。一路从第三偏振分光棱镜233透射形成第一待合束激光,一路由第三偏振分光棱镜233反射形成第二待合束激光。
激光由第八光纤耦合器218入射,依次经过第四组激光功率放大基本单元304、第三液晶玻片223来调节相位,再由第九反射镜259反射后经第三偏振分光棱镜233后为两路。一路从第三偏振分光棱镜233透射形成第三待合束激光,一路由第三偏振分光棱镜233反射形成第四待合束激光。
最终,第一待合束激光与第四待合束激光合束,合束后形成第一合束激光。第一合束激光由第七反射镜257与第八反射镜258反射后,通过第四声光移频器264移频;移频后产生的一级光经过第五固定相位延迟片245后,由第十光纤耦合器2110耦合进光纤。而在第四声光移频器264的射频输入关断时,第四声光移频器264无法使第一合束激光移频;第一合束激光的光学路径从而发生改变,从而第一合束激光无法由第十光纤耦合器2110耦合进光纤。第二待合束激光与第三待合束激光合束,合束后形成第二合束激光。第二合束激光由第十反射镜2510反射后,通过第三声光移频器263移频;移频后产生的一级光经过第四固定相位延迟片244后,由第九光纤耦合器219耦合进光纤。同样,在关闭第三声光移频器263的射频输入后,第二合束激光无法由第九光纤耦合器219耦合进光纤;从而使输出的激光功率变为零。
其中,通过改变第二液晶玻片222的输入电压,从而改变激光偏振;使得激光经过第三偏振分光棱镜233的透射光与入射光的功率改变。同样,可以通过改变第三液晶玻片223的输入电压,从而改变激光经过第三偏振分光棱镜233的透射光与入射光的功率。从而实现了第九光纤耦合器219与第十光纤耦合器2110输出的激光功率可调。而通过控制第三声光移频器263移频与第四声光移频器264射频关断,可以快速使得本装置由第九光纤耦合器219与第十光纤耦合器2110输出的激光功率为零。
在该实施例中,可以实现对对多束激光放大后经行分束合束,并实现锥形激光放大器的时分复用。在实验系统,是将87Rb与85Rb的冷却光二次放大后合束分束,分别用作二维磁光阱的冷却光与三维磁光阱的冷却光。
如图1所示,第一组激光功率放大基本单元301至第四组激光功率放大基本单元304均包括第一放大器固定相位延迟片101、第二放大器固定相位延迟片102、第一激光隔离器111、第二激光隔离器112、锥形激光放大器120、放大器偏振分光棱镜130、光电探测器140。
激光先经过第一放大器固定相位延迟片101,再依次经过第一激光隔离器111、锥形激光放大器120、第二激光隔离器112和第二放大器固定相位延迟片102,并由放大器偏振分光棱镜130分为两路。一路透射激光出射后,进入后续光路;另一路反射激光入射光电探测器140,转化为电信号输出作为监测信号。通过监测信号,控制锥形激光放大器120的输入电流,达到稳定输出功率的目的;当监测信号远偏离正常值时,可通过关闭锥形激光放大器120来达到保护光路的目的。其中,激光在经过锥形激光放大器120完成功率放大后,可以通过调节第二放大器固定相位延迟片102来改变放大器偏振分光棱镜130的分光比,从而使光电探测器140的初始输出信号为一个合理的值。
综上所述,本实用新型公开了一种即插式锥形激光放大装置,为大型原子干涉仪等项目解决了大型光路的标准化,可替换,可监控,可远程操控的问题。满足了各种激光功率的需求,同时具备鲁棒性强,节省空间,便于校准与维护的优点。为探测引力波、引力红移、弱等效原理的检验,提供了基础硬件设备。
本文中所描述的具体实施例仅仅是对本实用新型精神作举例说明。本实用新型所属技术领域的技术人员可以对所描述的具体实施例做各种各样的修改或补充或采用类似的方式替代,但并不会偏离本实用新型的精神或者超越所附权利要求书所定义的范围。
Claims (3)
1.一种即插式的锥形激光放大装置,包括主框架,其特征在于,还包括设置在主框架上的第一声光移频单元,主框架上设置有光学标度孔,
第一声光移频单元包括第一组激光功率放大基本单元(301)、第一光纤耦合器(211)、第二光纤耦合器(212)、第三光纤耦合器(213)、第一液晶玻片(221)、第一偏振分光棱镜(231)、第二偏振分光棱镜(232)、第一固定相位延迟片(241)、第二固定相位延迟片(242)、第三固定相位延迟片(243)、第一反射镜(251)、第二反射镜(252)、第三反射镜(253)、第四反射镜(254)、第一声光移频器(261)和第二声光移频器(262),
激光由第一光纤耦合器(211)入射,依次经过第一组激光功率放大基本单元(301)、第一液晶玻片(221)后再经过第一偏振分光棱镜(231)分为两路,一路反射激光经过第一固定相位延迟片(241)后,从第二偏振分光棱镜(232)中反射;再由第三反射镜(253)与第四反射镜(254)反射后,通过第一声光移频器(261)移频;移频后产生的一级光经过第二固定相位延迟片(242)后,由第二光纤耦合器(212)耦合进光纤,另一路透射激光由第一反射镜(251)与第二反射镜(252)反射后,通过第二声光移频器(262)移频;移频后产生的一级光经过第三固定相位延迟片(243)后,由第三光纤耦合器(213)耦合进光纤。
2.根据权利要求1所述的一种即插式的锥形激光放大装置,其特征在于,还包括设置在主框架上的第二声光移频单元,
第二声光移频单元包括第三组激光功率放大基本单元(303)、第四组激光功率放大基本单元(304)、第七光纤耦合器(217)、第八光纤耦合器(218)、第九光纤耦合器(219)、第十光纤耦合器(2110)、第二液晶玻片(222)、第三液晶玻片(223)、第三偏振分光棱镜(233)、第四固定相位延迟片(244)、第五固定相位延迟片(245)、第五反射镜(255)、第六反射镜(256)、第七反射镜(257)、第八反射镜(258)、第九反射镜(259)、第十反射镜(2510)、第三声光移频器(263)和第四声光移频器(264),
激光由第七光纤耦合器(217)入射,依次经过第三组激光功率放大基本单元(303)、第二液晶玻片(222)后再由第五反射镜(255)与第六反射镜(256)反射进入第三偏振分光棱镜(233),由第三偏振分光棱镜(233)后为两路,一路从第三偏振分光棱镜(233)透射形成第一待合束激光,一路由第三偏振分光棱镜(233)反射形成第二待合束激光,
激光由第八光纤耦合器(218)入射,依次经过第四组激光功率放大基本单元(304)、第三液晶玻片(223)来调节相位,再由第九反射镜(259)反射后经第三偏振分光棱镜(233)后为两路,一路从第三偏振分光棱镜(233)透射形成第三待合束激光,一路由第三偏振分光棱镜(233)反射形成第四待合束激光,
第一待合束激光与第四待合束激光合束,合束后形成第一合束激光,第一合束激光依次通过第七反射镜(257)与第八反射镜(258)反射后,通过第四声光移频器(264)移频;移频后产生的一级光经过第五固定相位延迟片(245)后,由第十光纤耦合器(2110)耦合进光纤,
第二待合束激光与第三待合束激光合束,合束后形成第二合束激光,第二合束激光由第十反射镜(2510)反射后,通过第三声光移频器(263)移频;移频后产生的一级光经过第四固定相位延迟片(244)后,由第九光纤耦合器(219)耦合进光纤。
3.根据权利要求2所述的一种即插式的锥形激光放大装置,其特征在于,所述的第一组激光功率放大基本单元(301)、第三组激光功率放大基本单元(303)和第四组激光功率放大基本单元(304)均包括第一放大器固定相位延迟片(101)、第二放大器固定相位延迟片(102)、第一激光隔离器(111)、第二激光隔离器(112)、锥形激光放大器(120)、放大器偏振分光棱镜(130)、光电探测器(140),
激光依次经过第一放大器固定相位延迟片(101)、第一激光隔离器(111)、锥形激光放大器(120)、第二激光隔离器(112)和第二放大器固定相位延迟片(102)后入射放大器偏振分光棱镜(130),并由放大器偏振分光棱镜(130)分为两路,一路透射激光出射后,进入后续光路;另一路反射激光入射光电探测器(140),转化为电信号输出作为监测信号。
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CN111834870A (zh) * | 2020-07-10 | 2020-10-27 | 中国科学院精密测量科学与技术创新研究院 | 一种即插式的锥形激光放大装置 |
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2020
- 2020-07-10 CN CN202021345123.6U patent/CN212517878U/zh active Active
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN111834870A (zh) * | 2020-07-10 | 2020-10-27 | 中国科学院精密测量科学与技术创新研究院 | 一种即插式的锥形激光放大装置 |
CN111834870B (zh) * | 2020-07-10 | 2022-11-01 | 中国科学院精密测量科学与技术创新研究院 | 一种即插式的锥形激光放大装置 |
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GR01 | Patent grant | ||
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