CN212135142U - 一种用于涂胶显影设备的废液收集系统 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种用于涂胶显影设备的废液收集系统，包括：废液收集箱、储液柜；废液收集箱顶部设有第一进液口，废液收集箱下部设有第一出液口，废液收集箱外壁上设有第一液位计；储液柜内固定连接水平隔板，水平隔板将储液柜分隔为第一隔层、第二隔层；第二隔层内设有储液箱，储液箱外壁上设有第二液位计；储液箱的下部设有第二出液口，第二出液口处设有阀门；储液箱顶部设有第二进液口，第二进液口通过第一管道连通有气动泵，气动泵通过第二管道与第一出液口连通；第一隔层内设有控制装置，控制装置分别与第一液位计、第二液位计、气动泵电连接，控制装置还电连接有液位警报装置。本实用新型能够及时提示工作人员对废液进行处理。

Description

一种用于涂胶显影设备的废液收集系统

技术领域

本实用新型涉及废液收集装置领域，尤其涉及一种用于涂胶显影设备的废液收集系统。

背景技术

目前，半导体设备的废液收集与排放分为人工参与收集以及系统自动收集。人工收集时，由于设备运作时产生的废液不集中，处理繁杂，且废液有较强的腐蚀性、黏着性，人工进行收集很大难度。另一方面，现有的设备具有自动收集系统但也只是笼统的将废液收集，在废液存储到一定程度时不能及时提示工作人员进行处理。

实用新型内容

为了解决上述背景技术中所提到的问题，本实用新型提供了一种用于涂胶显影设备的废液收集系统，能够收集涂胶显影设备的废液，且能够及时提示工作人员对废液进行处理。

一种用于涂胶显影设备的废液收集系统，包括：废液收集箱、储液柜；

所述废液收集箱顶部设有第一进液口，所述废液收集箱下部设有第一出液口，所述废液收集箱外壁上设有第一液位计；

所述储液柜内固定连接有水平隔板，所述水平隔板将储液柜分隔为第一隔层、第二隔层，所述第二隔层位于第一隔层下方；

所述第二隔层内设有储液箱，所述储液箱外壁上设有第二液位计；所述储液箱的下部设有第二出液口，所述第二出液口处设有阀门；所述储液箱顶部设有第二进液口，所述第二进液口通过第一管道连通有气动泵，所述气动泵通过第二管道与第一出液口连通；

所述第一隔层内设有控制装置，所述控制装置分别与第一液位计、第二液位计、气动泵电连接，所述控制装置还电连接有液位警报装置，所述液位警报装置设在储液柜的外壁上。

进一步地，所述第二隔层两侧内壁上均设有滑轨，所述储液箱两侧外壁上设有与滑轨相配合的第一滑槽。

进一步地，所述第二隔层底部开口，所述储液箱底部设有若干个滚轮。

进一步地，所述废液收集箱底部固定连接有开口朝上的托盘，所述托盘的底部内壁上固定连接有漏液传感器，所述漏液传感器与控制装置电连接，所述控制装置电连接有漏液警报装置，所述漏液警报装置设在储液柜的外壁上。

进一步地，所述液位警报装置、漏液警报装置均为警报灯。

进一步地，所述水平隔板上固定连接有气缸，所述气缸与控制装置电连接，所述控制装置电连接有调节按钮，所述调节按钮设在储液柜的外壁上；

所述第一管道包括硬管、软管，所述软管的两端分别与气动泵、硬管连通，所述硬管外部固定套接有固定环，所述固定环通过第一连接杆与气缸的伸缩杆顶部连接；所述硬管的出口端活动贯穿水平隔板伸入到第二隔层内部，所述硬管在气缸的驱动下穿过第二进液口伸入到储液箱内或上升至储液箱的上方。

进一步地，所述固定环远离气缸的一侧设有限位板，所述限位板固定连接在水平隔板上，所述限位板与固定环相对的一侧设有第二滑槽，所述固定环通过第二连接杆连接有滑块，所述滑块与第二滑槽滑动配合。

进一步地，所述控制装置为PLC控制器。

进一步地，所述储液箱的前侧外壁上固定连接有把手。

进一步地，所述水平隔板上设有第一通孔，所述第一通孔用于穿过软管，所述储液柜侧壁上设有第二通孔，所述第二通孔用于穿过第二管道。

本实用新型的有益效果是：

1、本实用新型设有第二液位计及液位警报装置，能够在废液收集到一定程度时及时提示工作人员将储液箱内的废液进行排放。

2、本实用新型设有托盘、漏液传感器、漏液警报装置，当废液收集箱内发生漏液时，能够及时提示工作人员进行处理。

附图说明

图1为废液收集箱的结构示意图。

图2为储液柜的结构示意图。

图3为储液柜的另一结构示意图。

图4为储液柜及储液箱的结构示意图。

图5为储液柜的内部结构示意图。

图6为图5的A处放大图。

其中，1为废液收集箱，101为第一进液口，102为第一出液口，2为储液柜，201为第一隔层，202为第二隔层，203为滑轨，204为第二通孔，205为柜门，3为第一液位计，4为水平隔板，401为第一通孔，5为储液箱，501为第二进液口，6为第二液位计，701为硬管， 702为软管，8为气动泵，9为第二管道，10为控制装置，11为液位警报装置，12为滚轮， 13为托盘，14为漏液传感器，15为漏液警报装置，16为气缸，1701为向上调节按钮，1702 为向下调节按钮，18为固定环，19为第一连接杆，20为限位板，2001为第二滑槽，21为第二连接杆，22为滑块，23为把手。

具体实施方式

下面结合附图，通过具体实施例对本实用新型做进一步详细说明。

如附图所示的一种用于涂胶显影设备的废液收集系统，包括：废液收集箱1、储液柜2；

废液收集箱1顶部设有第一进液口101，废液收集箱1下部设有第一出液口102，废液收集箱1外壁上设有第一液位计3；其中，第一进液口101设有两个。

储液柜2内固定连接有水平隔板4，水平隔板4将储液柜2分隔为第一隔层201、第二隔层202，第二隔层202位于第一隔层201下方；

第二隔层202内设有储液箱5，储液箱5外壁上设有第二液位计6；储液箱5的下部设有第二出液口(附图未示出)，第二出液口处设有阀门(附图未示出)；储液箱5顶部设有第二进液口501，第二进液口501通过第一管道连通有气动泵8，气动泵8通过第二管道9与第一出液口102连通；其中，第二隔层202前端开口，且第二隔层202的前端开口处通过转轴转动连接有柜门205。

第一隔层201内设有控制装置10，控制装置10分别与第一液位计3、第二液位计6、气动泵8电连接，控制装置10还电连接有液位警报装置11，液位警报装置11设在储液柜2的外壁上。

其中，第二隔层202两侧内壁上均设有滑轨203，储液箱5两侧外壁上设有与滑轨203 相配合的第一滑槽。

第二隔层202底部开口，储液箱5底部设有若干个滚轮12。滚轮12设有四个，分别设在储液箱5底部四个角的位置。

废液收集箱1底部固定连接有开口朝上的托盘13，托盘用于收集漏液，托盘13的底部内壁上固定连接有漏液传感器14，漏液传感器14与控制装置10电连接，控制装置10电连接有漏液警报装置15，漏液警报装置15设在储液柜2的外壁上。

其中，液位警报装置11、漏液警报装置15均为警报灯。

其中，水平隔板4上固定连接有气缸16，气缸16与控制装置10电连接，控制装置10电连接有调节按钮，调节按钮设在储液柜2的外壁上；调节按钮包括向上调节按钮1701、向下调节按钮1702；向上调节按钮1701用于使气缸16的伸缩杆向上运动，向下调节按钮1702用于使气缸16的伸缩杆向下运动。

第一管道7包括硬管701、软管702，软管702的两端分别与气动泵8、硬管701连通，硬管701外部固定套接有固定环18，固定环18通过第一连接杆19与气缸16的伸缩杆顶部连接，硬管701的出口端活动贯穿水平隔板4伸入到第二隔层202内部，硬管701在气缸16 的驱动下能够穿过第二进液口501伸入到储液箱5的内部或上升至储液箱5的上方。

固定环18远离气缸16的一侧设有限位板20，限位板20固定连接在水平隔板4上，限位板20与固定环18相对的一侧设有第二滑槽2001，固定18环通过第二连接杆21连接有滑块22，滑块22与第二滑槽2001滑动配合。

其中，控制装置10为PLC控制器。储液箱5的前侧外壁上固定连接有把手23。把手23能够方便将储液箱5从储液柜2中拉出。

另外，水平隔板4上设有第一通孔401，第一通孔401用于穿过软管702，储液柜2侧壁上设有第二通孔204，第二通孔204用于穿过第二管道9。

其中，液位警报装置11、漏液警报装置15、向上调节按钮1701、向下调节按钮1702均设在储液柜2的第一隔层201的前侧外壁上。

本实用新型在具体实施时：将废液收集箱1的第一进液口101通过管路与涂胶显影设备的废液排出口连通。通过控制装置10预先设定废液收集箱1、储液箱5的液位阈值，涂胶显影设备的废液通过第一进液口101进入到废液收集箱1内，当废液收集箱1内的废液达到液位阈值时，第一液位计3将信号传递至控制装置10，控制装置10控制气动泵8启动，将废液收集箱1内的废液输送至储液箱5内，当储液箱5内储存的废液达到液位阈值时，第二液位计6将信号传递至控制装置10，关闭气动泵8，并将信号传递至液位警报装置11，进行提示。然后通过向上调节按钮1701使气缸6的伸缩杆向上运动，从而将硬管701与第二进液口 501分离，打开柜门205，拉动把手23，将储液箱5从储液柜2中拉出，打开阀门，废液由第二出液口排出。当废液收集箱1有漏液时，漏液落至托盘13中，漏液传感器14检测到漏液并将信号传递至控制装置10，控制装置10再将信号传递至漏液警报装置15，进行提示。

以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种用于涂胶显影设备的废液收集系统，其特征在于，包括：废液收集箱、储液柜；

所述废液收集箱顶部设有第一进液口，所述废液收集箱下部设有第一出液口，所述废液收集箱外壁上设有第一液位计；

所述储液柜内固定连接有水平隔板，所述水平隔板将储液柜分隔为第一隔层、第二隔层，所述第二隔层位于第一隔层下方；

所述第二隔层内设有储液箱，所述储液箱外壁上设有第二液位计；所述储液箱的下部设有第二出液口，所述第二出液口处设有阀门；所述储液箱顶部设有第二进液口，所述第二进液口通过第一管道连通有气动泵，所述气动泵通过第二管道与第一出液口连通；

所述第一隔层内设有控制装置，所述控制装置分别与第一液位计、第二液位计、气动泵电连接，所述控制装置还电连接有液位警报装置，所述液位警报装置设在储液柜的外壁上。

2.根据权利要求1所述的用于涂胶显影设备的废液收集系统，其特征在于，所述第二隔层两侧内壁上均设有滑轨，所述储液箱两侧外壁上设有与滑轨相配合的第一滑槽。

3.根据权利要求2所述的用于涂胶显影设备的废液收集系统，其特征在于，所述第二隔层底部开口，所述储液箱底部设有若干个滚轮。

4.根据权利要求1所述的用于涂胶显影设备的废液收集系统，其特征在于，所述废液收集箱底部固定连接有开口朝上的托盘，所述托盘的底部内壁上固定连接有漏液传感器，所述漏液传感器与控制装置电连接，所述控制装置电连接有漏液警报装置，所述漏液警报装置设在储液柜的外壁上。

5.根据权利要求4所述的用于涂胶显影设备的废液收集系统，其特征在于，所述液位警报装置、漏液警报装置均为警报灯。

6.根据权利要求1所述的用于涂胶显影设备的废液收集系统，其特征在于，所述水平隔板上固定连接有气缸，所述气缸与控制装置电连接，所述控制装置电连接有调节按钮，所述调节按钮设在储液柜的外壁上；

所述第一管道包括硬管、软管，所述软管的两端分别与气动泵、硬管连通，所述硬管外部固定套接有固定环，所述固定环通过第一连接杆与气缸的伸缩杆顶部连接；所述硬管的出口端活动贯穿水平隔板伸入到第二隔层内部，所述硬管在气缸的驱动下穿过第二进液口伸入到储液箱内或上升至储液箱的上方。

7.根据权利要求6所述的用于涂胶显影设备的废液收集系统，其特征在于，所述固定环远离气缸的一侧设有限位板，所述限位板固定连接在水平隔板上，所述限位板与固定环相对的一侧设有第二滑槽，所述固定环通过第二连接杆连接有滑块，所述滑块与第二滑槽滑动配合。

8.根据权利要求1-7任一所述的用于涂胶显影设备的废液收集系统，其特征在于，所述控制装置为PLC控制器。

9.根据权利要求1-7任一所述的用于涂胶显影设备的废液收集系统，其特征在于，所述储液箱的前侧外壁上固定连接有把手。

10.根据权利要求6所述的用于涂胶显影设备的废液收集系统，其特征在于，所述水平隔板上设有第一通孔，所述第一通孔用于穿过软管，所述储液柜侧壁上设有第二通孔，所述第二通孔用于穿过第二管道。

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