CN212063618U - 一种磁控溅射用自动切换器 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种磁控溅射用自动切换器，包括箱体和电源，箱体的侧面与电源的侧面活动连接，箱体的侧面固定连接有固定座，固定座的顶部固定连接有固定筒，固定筒的内表面开设有侧槽，侧槽的内表面固定连接有相互连接的第一连接块和卡块，本实用新型涉及磁控溅射技术领域。该磁控溅射用自动切换器，需要切换电源时，通过绝缘的保护球带动调节杆移动，保障安全性，使调节杆与所需电源对应的卡块紧密接触，通过第一连接块、第二连接块和第一电性，实现调节杆与所需使用电源电性连接，从而实现箱体内部工作部件与所需使用电源电性连接，操作方便，解决了常见的磁控溅射装置在切换电源时，操作不便，存在安全隐患的问题。

Description

一种磁控溅射用自动切换器

技术领域

本实用新型涉及磁控溅射技术领域，具体为一种磁控溅射用自动切换器。

背景技术

磁控溅射是物理气相沉积的一种，一般的溅射法可被用于制备金属、半导体、绝缘体等多材料，且具有设备简单、易于控制、镀膜面积大和附着力强等优点，而上世纪70年代发展起来的磁控溅射法更是实现了高速、低温、低损伤，因为是在低气压下进行高速溅射，必须有效地提高气体的离化率，磁控溅射通过在靶阴极表面引入磁场，利用磁场对带电粒子的约束来提高等离子体密度以增加溅射率。

同一磁控溅射装置在不同的工作情况下，需要使用不同的种类电源，如：直流电源、低频电源、高频电源等，正常工作时，需要根据使用情况进行更换连接的电源，一般更换方式是通过拔插连接线实现更换电源，操作不便，存在安全隐患，多次拔插容易损坏连接口，增加维修成本，而且不同磁控溅射装置常用的电源不同，所以常备的电源不同，当某一磁控溅射装置需要使用其它电源时，需要把所需电源固定在该磁控溅射装置上面，但是常见的对电源进行固定的方式不便于拆卸，稳定性不佳。

实用新型内容

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种磁控溅射用自动切换器，解决了常见的磁控溅射装置在切换电源时，操作不便，存在安全隐患和对电源的固定方式不便于拆卸的问题。

为实现以上目的，本实用新型通过以下技术方案予以实现：一种磁控溅射用自动切换器，包括箱体和电源，所述箱体的侧面与电源的侧面活动连接，所述箱体的侧面固定连接有固定座，所述固定座的顶部固定连接有固定筒，所述固定筒的内表面开设有侧槽，所述侧槽的内表面固定连接有相互连接的第一连接块和卡块，所述固定筒的内腔活动连接有调节杆，所述调节杆的顶端固定连接有保护球，所述第一连接块的内表面卡接有第二连接块，所述第二连接块的侧面固定连接有与电源的内部固定连接的第一电线，所述调节杆的底部通过连接装置固定连接有第二电线，所述第二电线的一端与箱体的内部固定连接。

优选的，所述固定筒的内腔开设有球槽，所述球槽的内表面转动连接有球体，所述调节杆的顶部贯穿球体的内部。

优选的，所述箱体的侧面固定连接有侧板，所述侧板的侧面固定连接有第一固定杆、第二固定杆和固定L型板。

优选的，所述第一固定杆的顶部转动连接有转动L型板，所述转动L型板的顶部和固定L型板的顶部均与电源的底部压接。

优选的，所述第二固定杆的顶部与转动L型板的底部压接，所述第二固定杆的侧面固定连接有拉绳，所述拉绳的左端与转动L型板的底部固定连接。

优选的，所述固定座的内部开设有凹槽，所述第二电线的外表面与凹槽的内表面滑动连接。

有益效果

本实用新型提供了一种磁控溅射用自动切换器。与现有的技术相比具备以下有益效果：

1、该磁控溅射用自动切换器，通过在箱体的侧面固定连接有固定座，固定座的顶部固定连接有固定筒，固定筒的内表面开设有侧槽，侧槽的内表面固定连接有相互连接的第一连接块和卡块，固定筒的内腔活动连接有调节杆，调节杆的顶端固定连接有保护球，第一连接块的内表面卡接有第二连接块，第二连接块的侧面固定连接有与电源的内部固定连接的第一电线，调节杆的底部通过连接装置固定连接有第二电线，第二电线的一端与箱体的内部固定连接，需要切换电源时，通过绝缘的保护球带动调节杆移动，保障安全性，使调节杆与所需电源对应的卡块紧密接触，通过第一连接块、第二连接块和第一电性，实现调节杆与所需使用电源电性连接，从而实现箱体内部工作部件与所需使用电源电性连接，操作方便，解决了常见的磁控溅射装置在切换电源时，操作不便，存在安全隐患的问题。

2、该磁控溅射用自动切换器，通过在箱体的侧面固定连接有侧板，侧板的侧面固定连接有第一固定杆、第二固定杆和固定L型板，第一固定杆的顶部转动连接有转动L型板，转动L型板的顶部和固定L型板的顶部均与电源的底部压接，第二固定杆的顶部与转动L型板的底部压接，第二固定杆的侧面固定连接有拉绳，拉绳的左端与转动L型板的底部固定连接，放置电源时，首先通过第一固定杆旋转L型板，便于电源进入放置位置，然后放下电源，松开转动L型板，转动L型板压在第二固定杆上面，通过转动L型板和固定L型板对电源进行支撑，同时从侧面对电源进行限位，保障电源放置的稳定，便于拆卸，解决了常见的磁控溅射装置对电源的固定方式不便于拆卸的问题。

附图说明

图1为本实用新型的外部结构示意图；

图2为本实用新型固定筒俯视方向的剖视图；

图3为本实用新型转动L型板与电源的结构连接示意图；

图4为本实用新型固定筒正面的剖视图。

图中：1、箱体；2、电源；3、固定座；4、固定筒；5、侧槽；6、第一连接块；7、卡块；8、调节杆；9、第二连接块；10、第一电线；11、第二电线；12、球槽；13、球体；14、侧板；15、第一固定杆；16、第二固定杆；17、固定L型板；18、转动L型板；19、拉绳；20、保护球；21、凹槽。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-4，本实用新型提供一种技术方案：一种磁控溅射用自动切换器，包括箱体1和电源2，箱体1的侧面与电源2的侧面活动连接，箱体1的侧面固定连接有固定座3，固定座3的顶部固定连接有固定筒4，固定筒4的内表面开设有侧槽5，侧槽5开设有多个，侧槽5的内表面固定连接有相互连接的第一连接块6和卡块7，固定筒4的内腔活动连接有调节杆8，调节杆8的顶端固定连接有保护球20，保护球20为绝缘材料，通过保护球20带动调节杆8移动，保障安全性，第一连接块6的内表面卡接有第二连接块9，第二连接块9的侧面固定连接有与电源2的内部固定连接的第一电线10，箱体1的侧面固定连接有对第一电线10进行限位的装置，图中未画出，保障线路的整洁，调节杆8的底部通过连接装置固定连接有第二电线11，第二电线11的一端与箱体1的内部固定连接，固定筒4的内腔开设有球槽12，球槽12的内表面转动连接有球体13，调节杆8的顶部贯穿球体13的内部，箱体1的侧面固定连接有侧板14，侧板14的侧面固定连接有第一固定杆15、第二固定杆16和固定L型板17，第一固定杆15的顶部转动连接有转动L型板18，转动L型板18的顶部和固定L型板17的顶部均与电源2的底部压接，第二固定杆16的顶部与转动L型板18的底部压接，第二固定杆16的侧面固定连接有拉绳19，第二固定杆16和拉绳19对转动L型板18的可移动范围进行限定，拉绳19的左端与转动L型板18的底部固定连接，固定座3的内部开设有凹槽21，第二电线11的外表面与凹槽21的内表面滑动连接。

同时本说明书中未作详细描述的内容均属于本领域技术人员公知的现有技术。

使用时，移动转动L型板18，使转动L型板18的底部与第二固定杆16的顶部接触，移动电源2，把电源2放置在转动L型板18和固定L型板17上面，把与电源2连接的第一电线10通过第二连接块9与第一连接块6连接，工作时，通过移动调节杆8，调节杆8朝与所需使用的电源2电性连接的卡块7移动，移动杆8进入该卡块7内，使箱体1内部工作器件与所需使用电源2电性连接，工作结束之后，反向重复上述步骤，断开电源2。

需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (6)

1.一种磁控溅射用自动切换器，包括箱体(1)和电源(2)，所述箱体(1)的侧面与电源(2)的侧面活动连接，其特征在于：所述箱体(1)的侧面固定连接有固定座(3)，所述固定座(3)的顶部固定连接有固定筒(4)，所述固定筒(4)的内表面开设有侧槽(5)，所述侧槽(5)的内表面固定连接有相互连接的第一连接块(6)和卡块(7)，所述固定筒(4)的内腔活动连接有调节杆(8)，所述调节杆(8)的顶端固定连接有保护球(20)，所述第一连接块(6)的内表面卡接有第二连接块(9)，所述第二连接块(9)的侧面固定连接有与电源(2)的内部固定连接的第一电线(10)，所述调节杆(8)的底部通过连接装置固定连接有第二电线(11)，所述第二电线(11)的一端与箱体(1)的内部固定连接。

2.根据权利要求1所述的一种磁控溅射用自动切换器，其特征在于：所述固定筒(4)的内腔开设有球槽(12)，所述球槽(12)的内表面转动连接有球体(13)，所述调节杆(8)的顶部贯穿球体(13)的内部。

3.根据权利要求1所述的一种磁控溅射用自动切换器，其特征在于：所述箱体(1)的侧面固定连接有侧板(14)，所述侧板(14)的侧面固定连接有第一固定杆(15)、第二固定杆(16)和固定L型板(17)。

4.根据权利要求3所述的一种磁控溅射用自动切换器，其特征在于：所述第一固定杆(15)的顶部转动连接有转动L型板(18)，所述转动L型板(18)的顶部和固定L型板(17)的顶部均与电源(2)的底部压接。

5.根据权利要求3所述的一种磁控溅射用自动切换器，其特征在于：所述第二固定杆(16)的顶部与转动L型板(18)的底部压接，所述第二固定杆(16)的侧面固定连接有拉绳(19)，所述拉绳(19)的左端与转动L型板(18)的底部固定连接。

6.根据权利要求1所述的一种磁控溅射用自动切换器，其特征在于：所述固定座(3)的内部开设有凹槽(21)，所述第二电线(11)的外表面与凹槽(21)的内表面滑动连接。

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