CN211955369U - 气体检测模块 - Google Patents

Abstract

一种气体检测模块，通过基座的侧壁面形成进气凹面及出气凹面，并于基座表面形成进气槽区及出气槽区，将进气凹面与进气槽区相通，出气凹面与出气槽区相通，再以薄膜封盖进气槽区与出气槽区，得以实现利用侧面进气以及侧面出气的效果。

Description

气体检测模块

技术领域

本案关于一种气体检测模块，尤指一种极薄型，且用以与可携式电子装置或行动装置结合的气体检测模块。

背景技术

近年来人们对于生活环境的要求逐渐提升，出门前，除了确认气象信息之外，空气品质的好坏也越来越受到重视，然而目前的空气品质信息皆必须仰赖行政院环保署所设置的监测站，但仅能提供大地区的空气品质信息，无法详细提供小范围的空气品质信息。

有鉴于此，如何提供一种气体检测模块，并且能够将气体检测模块得以与现在人必备的可携式电子装置结合，让只需要可携式电子装置在手，就可以获取空气品质信息，实乃目前需要解决的问题。

实用新型内容

本案的主要目的是提供一种气体检测模块，包含基座、微型泵、驱动电路板及气体传感器以构成一模块，使其轻易的嵌设于行动装置或可携式电子装置实施应用。

本案的一广义实施态样为一种气体检测模块，包含：一基座，包含：一第一表面；一第二表面，相对于该第一表面；多个侧壁面，自该第一表面侧边纵向延伸至该第二表面侧边所形成，其中一该侧壁面凹陷一进气凹面及一出气凹面，该进气凹面及该出气凹面之间为间隔设置；一容置空间，自该第二表面朝该第一表面凹陷在该侧壁面之内区域空间所形成，该容置空间并区隔出一微型泵承载区、一检测区及一导气通路区，且该微型泵承载区与该导气通路区通过一通气缺口相互连通，以及该检测区与该导气通路区通过一连通开口相互连通；一进气槽区，自该第一表面凹陷形成，并设置一进气通孔，与该导气通路区连通，以及设置有一通气凹槽，连通到该侧壁面的该进气凹面；以及一出气槽区，自该第一表面凹陷形成，并设置一出气通孔，与该微型泵承载区连通，以及设置有一出气凹槽，连通到该侧壁面的该出气凹面；一微型泵，容设于该微型泵承载区，而封盖该出气通孔；一驱动电路板，封盖贴合该基座的该第二表面上，以构成该容置空间的该微型泵承载区、该检测区及该导气通路区形成气体得由该进气槽区的该进气通孔，进入再由该出气槽区的该出气通孔排出的一导气路径；一气体传感器，定位设置于该驱动电路板上电性连接，并对应容设于该检测区，以对通过气体做检测；以及一薄膜，贴附封盖该进气槽区及该出气槽区，使气体得由该侧壁面的该进气凹面侧面进气，并通过该通气凹槽连通进入该进气槽区，再由该进气通孔进入依该导气路径，再由该出气槽区的该出气通孔排出，并通过该出气凹槽与该侧壁面的该出气凹面连通而形成侧面排气；其中，该气体检测模块其长度介于2mm至4mm之间，宽度介于2mm至4mm之间，厚度介于1mm至3.5mm之间，以该微型泵驱动加速导送外部气体由该侧壁面的该进气凹面形成侧面进气导入该导气通路区，并通过该检测区之内该气体传感器做检测，导入气体再通过该微型泵导送，再由该出气槽区的该出气通孔排出，并通过该出气凹槽与该侧壁面的该出气凹面连通形成侧面排气。

附图说明

图1A为本案气体检测模块的外观示意图。

图1B为本案气体检测模块的薄膜在基座上封盖位置的分解示意图。

图1C为本案气体检测模块的相关构件分解示意图。

图2为本案气体检测模块的基座上组装结合微型泵示意图。

图3为本案气体检测模块的气体路径剖面示意图。

图4为本案气体检测模块的另一角度视得气体路径剖面示意图。

图5A为本案气体检测模块的微型泵分解示意图。

图5B为本案气体检测模块的微型泵另一角度视得分解示意图。

图6A为本案气体检测模块的微型泵剖面示意图。

图6B为本案气体检测模块的微型泵另一实施例剖面示意图。

图6C至图6E为图6A的微型泵作动示意图。

图7A为微机电泵剖面示意图。

图7B为微机电泵分解示意图。

图8A至图8C为微机电泵作动示意图。

图9为本案气体检测模块嵌设配置在行动装置示意图。

图10为本案气体检测模块组合配置在可携式电子装置的剖面示意图。

附图标记说明

1：基座

11：第一表面

12：第二表面

13：侧壁面

13a：进气凹面

13b：出气凹面

14：容置空间

14a：微型泵承载区

14b：检测区

14c：导气通路区

14d：通气缺口

14e：连通开口

15：进气槽区

15a：进气通孔

15b：进气凹槽

16：出气槽区

16a：出气通孔

16b：出气凹槽

2：微型泵

21：进气板

211：进气孔

212：汇流排槽

213：汇流腔室

22：共振片

221：中空孔

23：压电致动器

231：悬浮板

232：外框

233：支架

234：压电元件

235：空隙

236：凸部

24：第一绝缘片

25：导电片

26：第二绝缘片

27：腔室空间

2a：微机电泵

21a：第一基板

211a：流入孔

212a：第一表面

213a：第二表面

22a：第一氧化层

221a：汇流通道

222a：汇流腔室

23a：第二基板

231a：硅晶片层

2311a：致动部

2312a：外周部

2313a：连接部

2314a：流体通道

232a：第二氧化层

2321a：振动腔室

233a：硅材层

2331a：穿孔

2332a：振动部

2333a：固定部

2334a：第三表面

2335a：第四表面

24a：压电组件

241a：下电极层

242a：压电层

243a：绝缘层

244a：上电极层

3：驱动电路板

4：气体传感器

5：薄膜

6：可携式电子装置

7：行动装置7a：进气入口

7b：出气出口

L：长度

W：宽度

H：厚度

具体实施方式

体现本案特征与优点的一些典型实施例将在后段的说明中详细叙述。应理解的是本案能够在不同的态样上具有各种的变化，其皆不脱离本案的范围，且其中的说明及图示在本质上当作说明之用，而非用以限制本案。

请参阅图1A至图1C所示，本案提供一种气体检测模块，包含一基座1、一微型泵2、一驱动电路板3、一气体传感器4以及一薄膜5；基座1包含有一第一表面11、一第二表面12、四向侧壁面13、一容置空间14、一进气槽区15及一出气槽区16，第一表面11与第二表面12为相对的两表面，四向侧壁面13为第一表面11的侧边纵向延伸至第二表面12侧边所形成，四向侧壁面13其中之一向侧壁面13凹陷一进气凹面13a及一出气凹面13b，进气凹面13a与出气凹面13b间隔设置；容置空间14自第二表面12朝向第一表面11凹陷在侧壁面13之内区域空间所形成，容置空间14区隔出一微型泵承载区14a、一检测区14b及一导气通路区14c，而微型泵承载区14a与导气通路区14c通过一通气缺口14d相互连通，检测区14b与导气通路区14c通过一连通开口14e相互连通。

上述进气槽区15自第一表面11凹陷形成，包含有一进气通孔15a及一进气凹槽15b，进气通孔15a连通至导气通路区14c，进气凹槽15b连接于进气通孔15a与进气凹面13a之间，并使进气通孔15a与进气凹面13a相互连通。

上述出气槽区16自第一表面11凹陷形成，包含有一出气通孔16a及一出气凹槽16b，出气通孔16a连通至微型泵承载区14a，出气凹槽16b连接于出气通孔16a与出气凹面13b之间，并使出气通孔16b与出气凹面13b相互连通。

请同时参阅图1C及图2所示，微型泵2容设于容置空间14的微型泵承载区14a内，并且封盖住出气通孔16a，此外，微型泵2与驱动电路板3电性连接，微型泵2作动受驱动电路板3所提供的驱动信号控制，微型泵2的驱动信号(未图示)由驱动电路板3上提供。

请继续参阅图1C所示，驱动电路板3封盖贴合基座1的第二表面12，以构成容置空间14的微型泵承载区14a、检测区14b及导气通路区14c，促使气体得由进气槽区15的进气通孔15a再由出气槽区16的出气通孔16a排出的一导气路径。

上述气体传感器4定位设置于驱动电路板3上，且与驱动电路板3电性连接，当驱动电路板3贴合至基座1的第二表面12时，气体传感器4对应容设于容置空间14的检测区14b，并检测检测区14b内的气体信息。

上述薄膜5贴附于基座1的第一表面上，且封盖进气槽区15及出气槽区16，促使气体得由侧壁面的进气凹面13a侧面进气，并通过进气凹槽15b连通进入进气槽区15，再由进气通孔15a进入导气路径，再由出气槽区16的出气通孔16a排出，并通过出气凹槽16b与侧壁面13的出气凹面13b连通而形成侧面排气。

由上述说明可知，可以借由驱动微型泵2来加速导送气体检测模块外部气体，并由侧壁面13形成侧面进气再导入至导气通路区14c，通过位于检测区14b内的气体传感器4检测出气体信息，而导入气体再通过微型泵2导送，可以由出气槽区16的出气通孔16a排出，并通过出气凹槽16b与侧壁面13的出气凹面13b连通形成侧面排气；其中，前述的气体传感器4为挥发性有机物传感器，但不以此限。当然，薄膜5不贴附于基座1的第一表面上，促使气体得直接由进气通孔15a进入导气路径，再由出气槽区16的出气通孔16a排出，形成垂直面进气与排气，本案提供气体检测模块可是实际需求来选择侧面进气侧面排气或者垂直面进气与排气的应用。

请同时参阅图3及图4所示，驱动电路板3提供驱动信号控制微型泵2作动，微型泵2开始吸取微型泵承载区14a内的气体，并由出气通孔16a排出，此时，微型泵承载区14a呈现负压状态，使得通过通气缺口14d与其相通的导气通路区14c的气体由通气缺口14d进入微型泵承载区14a，并且开始由进气槽区15的进气通孔15a汲取气体进入导气通路区14c，而进入导气通路区14c的气体除了进入微型泵承载区14a之外，亦有部分气体由连通开口14e进入检测区14b，供位于检测区14b内的气体传感器4检测出气体信息。

请参阅图5A及图5B所示，微型泵2包含有包括一进气板21、一共振片22、一压电致动器23、一第一绝缘片24、一导电片25及第二绝缘片26等结构，其中，压电致动器23对应于共振片22而设置，并使进气板21、共振片22、压电致动器23、第一绝缘片24、导电片25及第二绝缘片26等依序堆叠设置。

如图5A、图5B及图6C所示，上述进气板21具有至少一进气孔211、至少一汇流排槽212及一汇流腔室213，于本实施例中，进气孔211的数量以4个为较佳，但不以此为限。进气孔211是贯穿进气板21，用以供气体顺应大气压力的作用而自进气孔211流入微型泵2内。进气板21上具有至少一汇流排槽212，其数量与位置与进气板21另一表面的进气孔211对应设置，本实施例的进气孔211其数量为4个，与其对应的汇流排槽212其数量亦为4个；汇流腔室213位于进气板21的中心处，前述的4个汇流排槽212的一端连通于对应的进气孔211，其另一端则连通于进气板21的中心处的汇流腔室213，借此可将自进气孔211进入汇流排槽212的气体引导并汇流集中至汇流腔室213。于本实施例中，进气板21具有一体成型的进气孔211、汇流排槽212及汇流腔室213。于一些实施例中，进气板21的材质可为不锈钢材质所构成，但不以此为限。于另一些实施例中，汇流腔室213的深度与汇流排槽212的深度相同，但不以此为限。

上述共振片22是由一可挠性材质所构成，但不以此为限，且于共振片22上具有一中空孔221，是对应于进气板21的汇流腔室213而设置，供气体通过。于另一些实施例中，共振片22是可由一铜材质所构成，但不以此为限。

上述压电致动器23是由一悬浮板231、一外框232、至少一支架233以及一压电元件234所共同组装而成；悬浮板231为一正方形型态，并可弯曲振动，外框232环绕悬浮板231设置，至少一支架233连接于悬浮板231与外框232之间，提供弹性支撑的效果，压电元件234亦为正方形型态，贴附于悬浮板231的一表面，用以施加电压产生形变以驱动悬浮板231弯曲振动，且压电元件234的边长小于或等于悬浮板231的边长；其中，悬浮板231、外框232及支架233之间具有多个空隙235，空隙235供气体通过；此外，压电致动器23更包含一凸部236，凸部236设置于悬浮板231的另一表面，并与压电元件234相对设置于悬浮板231的两表面。

如图6A所示，进气板21、共振片22、压电致动器23、第一绝缘片24、导电片25、第二绝缘片26依序推叠设置，压电致动器23的悬浮板231其厚度小于外框232的厚度，当共振片22堆叠于压电致动器23时，压电致动器23的悬浮板231、外框232与共振片22之间可形成一腔室空间27。

请再参阅图6B，微型泵2的另一实施例，其元件与前一实施例(图6A)相同，故不加以赘述，其差异在于，压电致动器23的悬浮板231以冲压成型以远离共振片22的方向延伸，并未与外框位于同一水平；进气板21、共振片22、压电致动器23、第一绝缘片24、导电片25、第二绝缘片26依序堆叠结合后，其中，悬浮板231一表面与共振片22之间形成一腔室间距，腔室间距将会影响微型泵2的传输效果，故维持一固定的腔室间距对于微型泵2提供稳定的传输效率是十分重要，如此微型泵2对悬浮板231采用冲压方式成型，使其凹陷，让悬浮板231一表面与外框232一表面两者为非共平面，亦即悬浮板231一表面与外框232一表面不同平面，形成落差，且悬浮板231一表面远离外框232一表面，使得压电致动器23的悬浮板231凹陷形成一空间得与共振片22构成一可调整的腔室间距，直接通过将上述压电致动器23的悬浮板231采以成形凹陷构成一腔室空间的结构改良，如此一来，所需的腔室间距得以通过调整压电致动器23的悬浮板231成形凹陷距离来完成，有效地简化了调整腔室间距的结构设计，同时也达成简化制程，缩短制程时间等优点。

为了了解上述微型泵2提供气体传输的输出作动方式，请继续参阅图6C至图6E所示，请先参阅图6C，压电致动器23的压电元件234被施加驱动电压后产生形变带动悬浮板231向上位移，此时腔室空间27的容积提升，于腔室空间27内形成了负压，便汲取汇流腔室213内的气体进入腔室空间27内，同时共振片22受到共振原理的影响被同步向上带动，连带增加了汇流腔室213的容积，且因汇流腔室213内的气体进入腔室空间27的关系，造成汇流腔室213内同样为负压状态，进而通过进气孔211及汇流排槽212来吸取气体进入汇流腔室213内；请再参阅图6D，压电元件234带动悬浮板231向下位移，压缩腔室空间27，同样的，共振片22被悬浮板231因共振而向下位移，同步推挤腔室空间27内的气体往下通过空隙235向上输送，将气体由微型泵2排出；最后请参阅图6E，当悬浮板231回复原位时，共振片22仍因惯性而向下位移，此时的共振片22将使压缩腔室空间27内的气体向空隙235移动，并且提升汇流腔室213内的容积，让气体能够持续地通过进气孔211、汇流排槽212来汇聚于汇流腔室213内，通过不断地重复上述图6C至图6E所示的微型泵提供气体传输作动步骤，使微型泵能够使气体连续自进气孔211进入进气板21及共振片22所构成流道产生压力梯度，再由空隙235向上输送，使气体高速流动，达到微型泵2传输气体的效果。

本案的微型泵2的另一实施例可为一微机电泵2a，请参阅图7A及图7B，微机电泵2a包含有一第一基板21a、一第一氧化层22a、一第二基板23a以及一压电组件24a；补充说明，本实施例的微机电泵2a是通过半导体制程中的磊晶、沉积、光刻及蚀刻等制程，理应无法拆解，为了详述其内部结构，特以分解图详述。

第一基板21a为一硅晶片(Si wafer)，其厚度介于150至400微米(μm)之间，第一基板21a具有多个流入孔211a、一第一表面212a、一第二表面213a，于本实施例中，该多个流入孔211a的数量为4个，但不以此为限，且每个流入孔211a皆由第二表面213a贯穿至第一表面212a，而流入孔211a为了提升流入效果，将流入孔211a自第二表面213a至第一表面212a呈现渐缩的锥形。

第一氧化层22a为一二氧化硅(SiO2)薄膜，其厚度介于10至20微米(μm)之间，第一氧化层22a叠设于第一基板21a的第一表面212a上，第一氧化层22a具有多个汇流通道221a以及一汇流腔室222a，汇流通道221a与第一基板21a的流入孔211a其数量及位置相互对应。于本实施例中，汇流通道221a的数量同样为4个，4个汇流通道221a的一端分别连通至第一基板21a的4个流入孔211a，而4个汇流通道221a的另一端则连通于汇流腔室222a，让气体分别由流入孔211a进入之后，通过其对应相连的汇流通道221a后汇聚至汇流腔室222a内。

第二氧化层232a为一氧化硅层其厚度介于0.5至2微米(μm)之间，形成于硅晶片层231a上，呈中空环状，并与硅晶片层231a定义一振动腔室2321a。硅材层233a呈圆形，位于第二氧化层232a且结合至第一氧化层22a，硅材层233a为二氧化硅(SiO2)薄膜，厚度介于2至5微米(μm)之间，具有一穿孔2331a、一振动部2332a、一固定部2333a、一第三表面2334a及一第四表面2335a。穿孔2331a形成于硅材层233a的中心，振动部2332a位于穿孔2331a的周边区域，且垂直对应于振动腔室2321a，固定部2333a则为硅材层233a的周缘区域，由固定部2333a固定于第二氧化层232a，第三表面2334a与第二氧化层232a接合，第四表面2335a与第一氧化层22a接合；压电组件24a叠设于硅晶片层231a的致动部2311a。

压电组件24a包含有一下电极层241a、压电层242a、绝缘层243a及上电极层244a，下电极层241a叠置于硅晶片层231a的致动部2311a，而压电层242a叠置于下电极层241a，两者通过其接触的区域做电性连接，此外，压电层242a的宽度小于下电极层241a的宽度，使得压电层242a无法完全遮蔽住下电极层241a，在于压电层242a的部分区域以及下电极层241a未被压电层242a所遮蔽的区域上叠置绝缘层243a，最后在于绝缘层243a以及未被绝缘层243a遮蔽的压电层242a的区域上叠置上电极层244a，让上电极层244a得以与压电层242a接触来电性连接，同时利用绝缘层243a阻隔于上电极层244a及下电极层241a之间，避免两者直接接触造成短路。

请参考第8A至图8C，第8A至8C图为微机电泵2a其作动示意图。请先参考图8A，当压电组件24a的下电极层241a及上电极层244a接收驱动电路板3所传递的驱动电压及驱动信号(未图示)后，将其传导至压电层242a，压电层242a接受驱动电压及驱动信号后，因逆压电效应的影响开始产生形变，会带动硅晶片层231a的致动部2311a开始位移，当压电组件24a带动致动部2311a向上位移拉开与第二氧化层232a之间的距离，此时，第二氧化层232a的振动腔室2321a的容积将提升，让振动腔室2321a内形成负压，用于将第一氧化层22a的汇流腔室222a内的气体通过穿孔2331a吸入其中。请继续参阅图8B，当致动部2311a受到压电组件24a的牵引向上位移时，硅材层233a的振动部2332a会因共振原理的影响向上位移，当振动部2332a向上位移时，会压缩振动腔室2321a的空间并且推动振动腔室2321a内的气体往硅晶片层231a的流体通道2314a移动，让气体能够通过流体通道2314a向上排出，在振动部2332a向上位移来压缩振动腔室2321a的同时，汇流腔室222a的容积因振动部2321a位移而提升，其内部形成负压，将吸取微机电泵2a外的气体由流入孔211a进入其中，最后如图8C所示，压电组件24a带动硅晶片层231a的致动部2311a向下位移时，将振动腔室2321a的气体往流体通道2314a推动，并将气体排出，而硅材层233a的振动部2332a亦受致动部2311a的带动向下位移，同步压缩汇流腔室222a的气体通过穿孔2331a向振动腔室2321a移动，后续再将压电组件24a带动致动部2311a向上位移时，其振动腔室2321a的容积会大幅提升，进而有较高的汲取力将气体吸入振动腔室2321a，再重复以上的动作，以至于通过压电组件24a持续带动致动部2311a上下位移且来连动振动部2332a上下位移，通过改变微机电泵2a的内部压力，使其不断地汲取及排出气体，借此以完成微机电泵2a的动作。

最后请参阅图1A及图9，本案的气体检测模块气体路径的设计为侧面进气及侧面出气，如此可以将气体检测模块嵌设于一行动装置7内应用，而气体检测模块整体结构设计也可以达成薄型化，其长度L可缩减至2mm至4mm之间，宽度W可缩减至2mm至4mm之间，厚度H可降低至1mm至3.5mm之间，特别是通过微机电泵2a作为导气元件时，能够将气体检测模块降至介于2mm至3mm之间、宽度介于2mm至3mm之间、厚度介于1mm至2.5mm之间，搭配于行动装置7上使用，并与行动装置7侧壁上的进气入口7a及出气出口7b对应形成侧面进气及侧面出气，使本案的气体检测模块可轻易地嵌设于行动装置7内实施应用，其中，行动装置7可为智能手机、智能手表等装置；此外，请参阅图10，本案的气体检测模块亦可组装于可携式电子装置6内，可携式电子装置6可为行动电源、空气品质检测装置、空气清净器等装置。

综上所述，本案所提供的气体检测模块，通过基座的侧壁面形成进气凹面及出气凹面，并于基座表面形成进气槽区及出气槽区，将进气凹面气槽区相通，出气凹面与出气槽区相通，再以薄膜封盖进气槽区与出气槽区，得以实现利用侧面进气以及侧面出气的效果，再辅以微型泵来传输气体，且让本案的基座、微型泵、驱动电路板及气体传感器构成一气体检测模块，能够将长度缩短至2mm至3mm、宽度减小到2mm至3mm、厚度缩减至1mm至2.5mm，使其轻易的嵌设于行动装置或可携式电子装置，与其搭配，极具产业利用性及进步性。

Claims (3)

1.一种气体检测模块，其特征在于，包含：

一基座，包含：

一第一表面；

一第二表面，相对于该第一表面；

多个侧壁面，自该第一表面侧边纵向延伸至该第二表面侧边所形成，其中，一该侧壁面凹陷一进气凹面及一出气凹面，该进气凹面及该出气凹面之间为间隔设置；

一容置空间，自该第二表面朝该第一表面凹陷在该侧壁面之内区域空间所形成，该容置空间并区隔出一微型泵承载区、一检测区及一导气通路区，且该微型泵承载区与该导气通路区通过一通气缺口相互连通，以及该检测区与该导气通路区通过一连通开口相互连通；

一进气槽区，自该第一表面凹陷形成，并设置一进气通孔，与该导气通路区连通，以及设置有一通气凹槽，连通到该侧壁面的该进气凹面；以及

一出气槽区，自该第一表面凹陷形成，并设置一出气通孔，与该微型泵承载区连通，以及设置有一出气凹槽，连通到该侧壁面的该出气凹面；

一微型泵，容设于该微型泵承载区，而封盖该出气通孔；

一驱动电路板，封盖贴合该基座的该第二表面上，以构成该容置空间的该微型泵承载区、该检测区及该导气通路区形成气体得由该进气槽区的该进气通孔，进入再由该出气槽区的该出气通孔排出的一导气路径；

一气体传感器，定位设置于该驱动电路板上电性连接，并对应容设于该检测区，以对通过气体做检测；以及

一薄膜，贴附封盖该进气槽区及该出气槽区，使气体得由该侧壁面的该进气凹面侧面进气，并通过该通气凹槽连通进入该进气槽区，再由该进气通孔进入依该导气路径，再由该出气槽区的该出气通孔排出，并通过该出气凹槽与该侧壁面的该出气凹面连通而形成侧面排气；

其中，该气体检测模块其长度介于2mm至3mm之间，宽度介于2mm至3mm之间，厚度介于1mm至2.5mm之间，以该微型泵驱动加速导送外部气体由该侧壁面的该进气凹面形成侧面进气导入该导气通路区，并通过该检测区之内该气体传感器做检测，导入气体再通过该微型泵导送，再由该出气槽区的该出气通孔排出，并通过该出气凹槽与该侧壁面的该出气凹面连通形成侧面排气；

其中，该微型泵为一微机电泵，包含有：

一第一基板，具有多个流入孔，该多个流入孔呈锥形；

一第一氧化层，叠设该第一基板，该第一氧化层具有多个汇流通道及一汇流腔室，该多个汇流通道连通于该汇流腔室及该多个流入孔之间；

一第二基板，结合至该第一基板，包含：

一硅晶片层，具有：

一致动部，呈圆形；

一外周部，呈中空环状，环绕于该致动部的外围；

多个连接部，分别连接于该致动部与该外周部之间；以及

多个流体通道，环绕于该致动部的外围，且分别位于该多个连接部之间；

一第二氧化层，形成于该硅晶片层上，呈中空环状，并与该硅晶片层定义一振动腔室；

一硅材层，呈圆形，位于该第二氧化层且结合至该第一氧化层，具有：

一穿孔，形成于该硅材层的中心；

一振动部，位于该穿孔的周边区域；以及

一固定部，位于该硅材层的周缘区域；以及

一压电组件，呈圆形，叠设于该硅晶片层的该致动部。

2.如权利要求1所述的气体检测模块，其特征在于，该气体传感器为一挥发性有机物传感器。

3.如权利要求1所述的气体检测模块，其特征在于，该压电组件包含有：

一下电极层；

一压电层，叠置于该下电极层；

一绝缘层，铺设于该压电层的部分表面及该下电极层的部分表面；以及

一上电极层，叠置于该绝缘层及该压电层未设有该绝缘层的其余表面，用以与该压电层电性连接。

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