CN211852125U - 一种压电微泵及气体控制装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及流体控制领域，具体涉及一种压电微泵及气体控制装置。一种压电微泵，包括：共振件，所述共振件由外到内依次为板件部、连接部和共振部，所述共振件的一个面为平面，在所述共振件的另一个面上，所述共振部的中部形成凹陷结构，所述连接部上分布有出气孔；压电振子，所述压电振子与所述共振件层叠设置，所述压电振子靠近所述共振件的平面，所述压电振子上设置有进气孔，所述进气孔正对所述共振部的凹陷结构。解决了现有技术中存在的很难同时提高压电微泵输出流量和输出压力即能量转换效率低的技术问题。

Description

一种压电微泵及气体控制装置

技术领域

本实用新型涉及流体控制领域，具体涉及一种压电微泵及气体控制装置。

背景技术

随着便携式和穿戴电子设备的发展，电子设备体积缩小很多，尤其厚度要求更薄，这便需要更小的基础元件。压电微泵在电子设备中的应用越来越广泛，小型化对压电微泵提出了更高的要求，低电压、微型化且高输出性能。但是现有技术中的压电微泵如需实现微型化和低电压，则会使得压电泵输出能力(输出压力和输出流量)降低。恒定功率驱动的压电微泵，输出流量越大，输出压力越小，反之亦然。因此，在低功率且微型化的前提下，同时提高压电泵的输出流量和输出压力即能量转换效率具有重大意义。

实用新型内容

为了解决现有技术中存在的很难同时提高压电微泵输出流量和输出压力即能量转换效率低的技术问题，本实用新型提出一种压电微泵及气体控制装置，有效解决了上述技术问题。本实用新型的技术方案如下：

一种压电微泵，包括：共振件，所述共振件由外到内依次为板件部、连接部和共振部，所述共振件的一个面为平面，在所述共振件的另一个面上，所述共振部的中部形成凹陷结构，所述连接部上分布有出气孔；压电振子，所述压电振子与所述共振件层叠设置，所述压电振子靠近所述共振件的平面，所述压电振子上设置有进气孔，所述进气孔正对所述共振部的凹陷结构。

通过共振部外周的连接部刚度小，且共振部的中部形成凹陷结构，连接部和凹陷结构区域刚度小，共振件在压电振子的作用下，可等效为两两自由度振动系统。当压电振子朝向远离共振件的方向弯曲变形时，共振部的刚度较大的外周向靠近压电振子弯曲变形方向变形，共振部上的凹陷结构向远离压电振子弯曲变形方向变形，压电微泵进气。进气过程中，共振部的刚度较大的外周向靠近压电振子弯曲变形，共振部的外周与压电振子贴合更紧密，吸入气体时反向泄漏更少；当压电振子朝向靠近共振件的方向弯曲变形时，共振部的刚度较大的外周向远离压电振子弯曲变形方向变形，共振部上的凹陷结构向靠近压电振子弯曲变形方向变形，压电微泵排气。在排气过程中，凹陷结构向靠近压电振子弯曲变形方向变形，压电振子中心与共振部的凹陷结构贴合更紧密，进气孔被完全封闭，排出气体时反向泄漏少，如此压电微泵输出压力可实现剧增。此外，共振件的连接部和凹陷结构刚度小，可实现振幅的增大，振幅的增大可提高吸入和排出的气体量，进而提高压电微泵的输出流量。

进一步地，所述连接部相对于相邻的板件部和共振部呈凹陷状。

进一步地，所述共振部及其上的凹陷结构均为圆形，所述共振部和所述凹陷结构同轴并设置在所述板件部的中部。

进一步地，所述进气孔与所述共振部同轴设置，所述压电振子的靠近所述共振件的面上围绕所述进气孔设置有凹槽。

进一步地，所述凹槽为环形，所述凹槽与所述进气孔同轴线设置，所述共振部的外径小于所述凹槽的外径且大于所述凹槽的内径。

进一步地，所述压电振子包括层叠设置的基板和压电元件，所述基板位于所述压电元件和所述共振件之间，所述压电振子的远离所述共振板的一端设置有电极组件来为所述压电元件供电。

进一步地，所述电极组件的远离所述压电振子的一端设置有底板，所述底板上开有进气通孔，所述底板的内表面形成有延伸至所述进气通孔的凹部。

一种气体控制装置，包括：压电微泵；漏气阀，所述漏气阀设置在所述共振件的远离所述压电振子的一侧，经所述压电微泵的出气孔流出的气体进入到所述漏气阀中。

进一步地，所述漏气阀包括阀壳，所述阀壳内设置有隔膜结构，所述隔膜结构将阀壳的内腔分隔为进气侧和出气侧，所述隔膜结构上设有质量块和气流通道，位于进气侧的阀壳上开有进气口，位于出气侧的阀壳上开有储气口和出气口，所述质量块位于出气侧且对准所述出气口，还包括控制气流通道的气流通断的单向截止结构，当进气侧的气压大于所述出气侧的气压时，所述单向截止结构控制所述进气侧气流经气流通道流通至出气侧，所述质量块被推动覆盖关闭所述出气口。

进一步地，所述漏气阀包括阀壳，所述阀壳内设置有隔膜结构，所述隔膜结构将阀壳的内腔分隔为进气侧和出气侧，位于进气侧的阀壳上开有两个进气口，位于出气侧的阀壳上开有储气口和出气口，一个进气口对准出气口设置以使隔膜结构在气压作用下覆盖关闭所述出气口，另一个进气口对应的隔膜结构上设置有气流通道，所述气流通道内设置有悬臂梁阀片，另一个所述进气口朝向所述悬臂梁阀片凸起并抵靠在所述悬臂梁阀片上以实现气流通道在气压作用下的单向流通。

进一步地，所述漏气阀朝向所述压电微泵的一端外周延伸有凸起结构，所述凸起结构与所述压电微泵连接以使所述漏气阀和所述压电微泵之间形成腔体，所述出气孔和进气口均与所述腔体连通。

基于上述技术方案，本实用新型所能实现的技术效果为：

1.本实用新型的压电微泵，通过共振部外周的连接部，且共振部的中部形成凹陷结构，连接部和凹陷结构区域刚度小，共振件在压电振子的作用下，可等效为二自由度振动系统。当压电振子朝向远离共振件的方向弯曲变形时，共振部的刚度较大的外周向靠近压电振子弯曲变形方向变形，共振部上的凹陷结构向远离压电振子弯曲变形方向变形，压电微泵进气。进气过程中，共振部的刚度较大的外周向靠近压电振子弯曲变形的方向变形，共振部的外周与压电振子贴合更紧密，吸入气体时反向泄漏更少；当压电振子朝向靠近共振件的方向弯曲变形时，共振部的刚度较大的外周向远离压电振子弯曲变形方向变形，共振部上的凹陷结构向靠近压电振子弯曲变形方向变形，压电微泵排气。在排气过程中，凹陷结构向靠近压电振子弯曲变形方向变形，压电振子中心与共振部的凹陷结构贴合更紧密，进气孔被完全封闭，排出气体时反向泄漏少，如此压电微泵输出压力可实现剧增。此外，共振件的连接部和凹陷结构刚度小，可实现振幅的增大，振幅的增大可提高吸入和排出的气体量，进而提高压电微泵的输出流量；

2.本实用新型的压电微泵，连接部刚度较小的情况下，由连接部和共振部组成的二自由度振动系统，可以在小刚度和小质量下，具有更高的固有频率，使振动产生的声音离人耳可听的范围更远，从而有效消除人耳可听的噪声；此外，连接部刚度较小，具有隔振作用，当共振件共振时，高频振动对压电微泵其他部件影响很小，避免了压电微泵与外界接触时发生撞击，不会产生其他噪音；

3.本实用新型的气体控制装置，通过漏气阀和压电微泵配合，可实现漏气阀的气流的稳定传输。漏气阀的隔膜结构上设置有质量块，减小隔膜结构的固有频率，消除较高频率自激共振，实现不产生尖锐啸叫的效果；将较低频率自激共振改变为频率低于20Hz的自激共振，实现不产生可听噪音的效果；通过设置气流通道和控制气流通道启闭的单向截止结构，只有当进气侧的气压大于出气侧气压时，进气侧的气流才可经过气流通道流通至出气侧，反之，气流无法经气流通道从出气侧流通至进气侧，实现了在压力差的作用下，气流的单向输送，无需其它控制部件，结构简单；通过在隔膜结构上设置单向截止结构，或在阀壳上设置与隔膜结构配合的单向截止结构，进气过程中，进气侧的气压大于出气侧气压，进气侧的气压推动单向截止结构或者分离单向截止结构与隔膜本体，导通气流通道，在此过程中，会产生一定的压降，如此使得隔膜结构的出气侧的气压小于进气侧的气压，在压力差的作用下，隔膜本体上的质量块会被压紧在出气口上，使出气口关闭；

4.本实用新型的气体控制装置，漏气阀还可采用位于进气侧的阀壳上开有两个进气口，一个进气口对准出气口来使隔膜结构在气压作用下覆盖关闭出气口，另一个进气口对应隔膜结构上的悬臂梁阀片设置，通过进气口凸起抵靠在悬臂梁阀片上来实现气流的单向流通，进气过程中，气流经进气口顶开悬臂梁阀片时有流阻，会产生一定的压降，使出气侧内的气压小于进气侧内的气压，在压力差的作用下，隔膜结构会被压紧在出气口上，使出气口关闭；

5.本实用新型的气体控制装置，漏气阀的朝向压电微泵的一端外周延伸有凸起结构，可形成腔体以隔开压电微泵和漏气阀，如此不影响压电微泵的共振件的振动，还能保证压电微泵流出的气流进入到漏气阀中。

附图说明

图1为本实用新型的压电微泵的爆炸图；

图2为压电振子的结构示意图；

图3为底板的结构示意图；

图4为本实用新型的压电微泵的剖面图；

图5为本实用新型的压电微泵的进气状态图；

图6为本实用新型的压电微泵的出气状态图；

图7为本实用新型的共振件的主振型；

图8为本实用新型的气体控制装置的爆炸图；

图9为本实用新型的气体控制装置的剖面图；

图10为气体控制装置的另一实施例中漏气阀的剖面图；

图中：1-共振件；11-板件部；12-连接部；121-出气孔；13-共振部；131-凹槽结构；2-压电振子；21-基板；211-第一通孔；212-凹槽； 22-压电元件；221-第二通孔；3-电极组件；31-第一导电部；311-第一电极；32-第二导电部；321-第二电极；322-内部电极；33-绝缘部； 4-底板；41-进气通孔；42-凹部；5-隔板；6-漏气阀；61-泵壳；611- 进气口；612-出气口；613-储气口；62-隔膜结构；621-质量块；622- 凸块；623-气流通道；63-悬臂梁阀片；631-阀片本体；632-悬臂。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。以下对至少一个示例性实施例的描述实际上仅仅是说明性的，决不作为对本实用新型及其应用或使用的任何限制。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

需要注意的是，这里所使用的术语仅是为了描述具体实施方式，而非意图限制根据本申请的示例性实施方式。如在这里所使用的，除非上下文另外明确指出，否则单数形式也意图包括复数形式，此外，还应当理解的是，当在本说明书中使用术语“包含”和/或“包括”时，其指明存在特征、步骤、操作、器件、组件和/或它们的组合。

除非另外具体说明，否则在这些实施例中阐述的部件和步骤的相对布置、数字表达式和数值不限制本实用新型的范围。同时，应当明白，为了便于描述，附图中所示出的各个部分的尺寸并不是按照实际的比例关系绘制的。对于相关领域普通技术人员已知的技术、方法和设备可能不作详细讨论，但在适当情况下，所述技术、方法和设备应当被视为授权说明书的一部分。在这里示出和讨论的所有示例中，任何具体值应被解释为仅仅是示例性的，而不是作为限制。因此，示例性实施例的其它示例可以具有不同的值。应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步讨论。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，方位词如“前、后、上、下、左、右”、“横向、竖向、垂直、水平”和“顶、底”等所指示的方位或位置关系通常是基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，在未作相反说明的情况下，这些方位词并不指示和暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位或者以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型保护范围的限制；方位词“内、外”是指相对于各部件本身的轮廓的内外。

为了便于描述，在这里可以使用空间相对术语，如“在……之上”、“在……上方”、“在……上表面”、“上面的”等，用来描述如在图中所示的一个器件或特征与其他器件或特征的空间位置关系。应当理解的是，空间相对术语旨在包含除了器件在图中所描述的方位之外的在使用或操作中的不同方位。例如，如果附图中的器件被倒置，则描述为“在其他器件或构造上方”或“在其他器件或构造之上”的器件之后将被定位为“在其他器件或构造下方”或“在其他器件或构造之下”。因而，示例性术语“在……上方”可以包括“在……上方”和“在……下方”两种方位。该器件也可以其他不同方式定位(旋转90度或处于其他方位)，并且对这里所使用的空间相对描述作出相应解释。

此外，需要说明的是，使用“第一”、“第二”等词语来限定零部件，仅仅是为了便于对相应零部件进行区别，如没有另行声明，上述词语并没有特殊含义，因此不能理解为对本实用新型保护范围的限制。

实施例一

如图1-9所示，本实施例公开了一种压电微泵，包括共振件1和压电振子2，共振件1和压电振子2层叠设置，共振件1在压电振子 2的带动下振动，实现进气和出气。

共振件1整体呈板状，共振件1由外到内依次划分为板件部11、连接部12和共振部13，本实施例中板件部11的外轮廓为正方形，除此之外还可设置为圆形、长方形等其它形状。连接部12呈环形，连接部12的外端与板件部11相接，连接部12的内端与共振部13 相接，连接部12上分布有出气孔121，出气孔121可设置为多个，沿周向均匀分布在连接部12上；共振部13呈圆形，共振部13的中部设置有凹陷结构131，整体而言，共振件1靠近压电振子2的面为平面，共振件1的另一个面上，连接部12相对于与其相接的板件部11和共振部13呈凹陷状；凹陷结构131也设置在这个面上。优选地，凹陷结构131呈圆形，凹陷结构131、共振部13和连接部12同轴并设置在板件部11的中部。通过上述凹陷结构131和连接部12的设置，使凹陷结构131处和连接部12两处的刚度较小，可形成一个二自由度振动系统；此外，二自由度振动系统可以在小刚度和小质量下，具有更高的固有频率，使振动产生的声音离人耳可听的范围更远，从而有效消除人耳可听的噪声；其次连接部刚度较小，具有隔振作用，共振件共振时，高频振动对压电微泵其他部件影响很小，避免了压电微泵与外界接触时发生撞击，不会产生其他噪音。优选地，凹陷结构 131处的共振件1的厚度和连接部12处的厚度相等。

压电振子2包括基板21和压电元件22，基板21靠近共振件1 设置，压电元件22层叠设置在基板21的远离共振件1的一面。压电振子2上设置有进气孔，进气孔具体包括相互连通的第一通孔211和第二通孔221，第一通孔211设置在基板21上，第二通孔221设置在压电元件22上，第一通孔211和第二通孔221相通形成压电振子 2的进气孔。优选地，基板21呈方形板件，基板21的外周和共振件 1的外周连接，压电元件22的外径小于基板21的边长，第一通孔211 的孔径小于第二通孔221的孔径，第一通孔211和第二通孔221同轴连通。

进一步地，基板21的靠近共振件1的端面上绕第二通孔221开有凹槽212，凹槽212为环形，凹槽212与第二通孔221同轴线设置。为了保证压电微泵在工作过程中不会出现漏气情况，保证气体的稳定传输，凹槽212的内径小于共振部13的外径，凹槽212的外径大于共振部13的外径。

压电振子2的远离共振件1的一端设置有电极组件3来为压电元件22供电。具体地，电极组件3包括第一导电部31、第二导电部32 和绝缘部33，第一导电部31、绝缘部33和第二导电部32依次由近及远叠设在基板21的远离共振板1的端面上。第一导电部31、第二导电部32和绝缘部33的中部均开有直径较大的圆孔，压电元件22 的外径小于第一导电部31的圆孔的孔径，如此压电元件22可位于第一导电部31的圆孔内。第一导电部31的外周延伸有第一电极311，第一导电部31通过基板21将电流传输至压电元件22的与基板21 相贴的面上；第二导电部32的外周延伸有第二电极321，第二导电部32的内周延伸有内部电极322，内部电极322与压电元件22的远离基板21的面相接，当第一电极311和第二电极321接通电源时，即可为压电元件22供电。

电极组件3的远离压电振子2的一端还设置有底板4，底板4可封住第二导电部32的圆孔，底板4上开有进气通孔41，以方便外界气流进入到底板4和电极组件3之间。进一步地，为了方便气流的进入，进气通孔41可为至少两个，底板4的内表面上还设置有凹部42，凹部42延伸至进气通孔41处，方便气流的进入。

本实施例的压电微泵在工作过程中，共振件1上连接部12与凹陷结构131对应的区域刚度小，容易发生形变，将共振件1等效为两两自由度振动系统，系统固有频率为ω₁、ω₂：

其中：k₁为连接部的等效刚度，m₁为连接部与共振部除凹陷结构对应部分外的等效质量，k₂为凹陷结构对应共振部的等效刚度，m₂为凹陷结构对应共振部的等效质量。

当外界驱动频率为ω₂时，共振件1发生共振，振型为较高频率的主振型，如图7所示。此时，共振部13的外周和凹陷结构131处的弯曲方向相反，共振部13的外周向上运动时，凹陷结构131向下弯曲；共振部13的外周向下运动，凹陷结构131向上弯曲。

当外界驱动频率为ω₂时，压电振子2向远离共振件1方向弯曲变形时，共振部13的外周向靠近压电振子2弯曲变形方向变形，凹陷结构131向远离压电振子2弯曲变形方向变形，压电微泵吸入气体；压电振子2向靠近共振件1方向弯曲变形时，共振部13的外周向远离振子弯曲变形方向变形，凹陷结构131向靠近压电振子2弯曲变形方向变形，压电微泵排出气体；两个过程交替往复形成连续出流。

本实施例还提供了一种气体控制装置，包括上述的压电微泵和漏气阀6，漏气阀6设置在共振件1的远离压电振子2的一侧，经压电微泵的出气孔121流出的气体进入到漏气阀6中。

漏气阀6包括阀壳61，阀壳61内设置有隔膜结构62，隔膜结构 62将阀壳61的内腔分隔为进气侧和出气侧，隔膜结构62上设有质量块621和气流通道623，位于进气侧的阀壳61上开有进气口611，位于出气侧的阀壳61上开有储气口613和出气口612，质量块621 位于出气侧且对准出气口612，还包括控制气流通道623的气流通断的单向截止结构，当进气侧的气压大于出气侧的气压时，单向截止结构控制进气侧气流经气流通道623流通至出气侧，质量块621被推动覆盖关闭出气口612。

具体地，质量块621的外端面靠近出气口612或与出气口612接触；优选地，质量块621与出气口612中心对齐，出气口612可为圆形气口、三角形气口、方形气口等，质量块621的截面可呈多种形状，当质量块621覆盖出气口612时，质量块621的边缘到出气口612 的边缘的最近距离D的范围是0.1mm≤D≤1mm。如质量块621的边缘到出气口612的边缘的最近距离太小，则在进气过程中，质量块 621可能无法很好地封闭出气口612；如质量块621的边缘到出气口 612的边缘的最近距离太大，则会降低过流能力。单向截止结构包括安装在隔膜结构62上的凸块622，凸块622在进气侧延伸且凸块622 的外端抵靠在阀壳61的内壁上，气流通道623设置在凸块622上。初始状态下，凸块622的外端抵靠在阀壳61上关闭气流通道623，当进气侧的气压大于出气侧气压时，隔膜结构62产生变形，凸块622 的外端离开阀壳61，进气侧的气流可经凸块622上的气流通道623 流通至出气侧。出气时，进气孔停止进气，储气口613连通的储气装置中的气流经储气口613流入至阀壳61内的出气侧，此时，出气侧的气压大于进气侧的气压，在压力差的作用下，凸块622被压紧在阀壳61上，气流通道623被关闭；同时，隔膜结构62在压力差的作用下产生形变，质量块621的端面离开出气孔612，出气孔612打开，出气侧的气流经出气孔612流出漏气阀6，实现气流的单向输送。除了上述的漏气阀6的结构，还可采用申请号为CN201920360661.3的专利中的漏气阀结构进行替换。

为了不影响压电微泵的运动，防止气流的泄漏，漏气阀6的朝向压电微泵的一端外周延伸有凸起结构5，凸起结构5与压电微泵连接以使漏气阀6和压电微泵之间形成腔体，出气孔121和进气口611 均与上述腔体连通。优选地，凸起结构5可以与漏气阀6的阀壳61 一体成型，还可以是分体设置，分体设置时，凸起结构5为开有圆孔的隔板，其两端面分别与漏气阀6和压电微泵连接。

实施例二

如图10所示，本实施例与实施例一基本相同，区别仅在于，漏气阀6的结构不同。本实施例中的漏气阀6包括阀壳61，阀壳61内设置有隔膜结构62，隔膜结构62将阀壳61的内腔分隔为进气侧和出气侧，位于进气侧的阀壳62上开有两个进气口611，位于出气侧的阀壳62上开有储气口613和出气口612，一个进气口611对准出气口612设置以使隔膜结构62在气压作用下覆盖关闭出气口612，另一个进气口611对应的隔膜结构62上设置有气流通道623，气流通道623内设置有悬臂梁阀片63，另一个进气口611朝向悬臂梁阀片63凸起并抵靠在悬臂梁阀片63上以实现气流通道623在气压作用下的单向流通。

具体地，出气口612可朝向隔膜结构62凸起设置以在初始状态下抵靠在隔膜结构62上实现关闭出气口612的作用。悬臂梁阀片63 包括阀片本体631和悬臂632，悬臂632至少为两个，阀片本体631 通过悬臂632设置在气流通道623内。具体地，阀片本体631可呈圆形、方形、三角形、多边形等，只要能覆盖对应的进气口611即可，至少两个悬臂632沿阀片本体631边缘均匀分布，悬臂632的一端与阀片本体631连接，悬臂632的另一端与气流通道623的孔壁连接。优选地，悬臂632为3个。

进气时，两个进气口611进气，进气侧的气压大于出气侧气压，气流顶起阀片本体631，悬臂梁阀片63的悬臂632产生弹性变形，阀片本体631与进气口611凸起间产生小间隙，压力气流流经小间隙进入进气侧，再经悬臂梁阀片63进入到出气侧，压力气流克服悬臂梁预紧力且流过小间隙，故产生压降，即出气侧气压小于进气侧气压。在压力差的作用下隔膜本体631朝向出气口612产生弹性变形，覆盖出气口612，由于出气口612关闭，气流只能经过储气口613流入储气装置；

出气时，两个进气口611停止进气，储气装置中气流经储气口 613流入阀壳61内部的出气侧，由于进气侧停止进气，阀壳61内出气侧的气压大于进气侧的气压，阀片结构62在压力差的作用下朝向远离出气口612的方向产生弹性变形，出气口612打开，阀片本体 631覆盖在对应的进气口611上，进气口611关闭，出气侧的气流经出气口612流出漏气阀，实现气流的单向输送。

除了上述的漏气阀的结构，还可采用申请号为CN201920267347.0 的专利中的漏气阀结构进行替换。

上面结合附图对本实用新型的实施方式作了详细说明，但是本实用新型并不限于上述实施方式，在本领域普通技术人员所具备的知识范围内，还可以在不脱离本实用新型的宗旨的前提下做出各种变化。

Claims (11)

1.一种压电微泵，其特征在于，包括：

共振件(1)，所述共振件(1)由外到内依次为板件部(11)、连接部(12)和共振部(13)，所述共振件(1)的一个面为平面，在所述共振件(1)的另一个面上，所述共振部(13)的中部形成凹陷结构(131)，所述连接部(12)上分布有出气孔(121)；

压电振子(2)，所述压电振子(2)与所述共振件(1)层叠设置，所述压电振子(2)靠近所述共振件(1)的平面，所述压电振子(2)上设置有进气孔，所述进气孔正对所述共振部(13)的凹陷结构(131)。

2.根据权利要求1所述的一种压电微泵，其特征在于，所述连接部(12)相对于相邻的板件部(11)和共振部(13)呈凹陷状。

3.根据权利要求1所述的一种压电微泵，其特征在于，所述共振部(13)及其上的凹陷结构(131)均为圆形，所述共振部(13)和所述凹陷结构(131)同轴并设置在所述板件部(11)的中部。

4.根据权利要求1所述的一种压电微泵，其特征在于，所述进气孔与所述共振部(13)同轴设置，所述压电振子(2)的靠近所述共振件(1)的面上围绕所述进气孔设置有凹槽(212)。

5.根据权利要求4所述的一种压电微泵，其特征在于，所述凹槽(212)为环形，所述凹槽(212)与所述进气孔同轴设置，所述共振部(13)的外径小于所述凹槽(212)的外径且大于所述凹槽(212)的内径。

6.根据权利要求1-5任一项所述的一种压电微泵，其特征在于，所述压电振子(2)包括层叠设置的基板(21)和压电元件(22)，所述基板(21)位于所述压电元件(22)和所述共振件(1)之间，所述压电振子(2)的远离所述共振件(1)的一端设置有电极组件(3)来为所述压电元件(22)供电。

7.根据权利要求6所述的一种压电微泵，其特征在于，所述电极组件(3)的远离所述压电振子(2)的一端设置有底板(4)，所述底板(4)上开有进气通孔(41)，所述底板(4)的内表面形成有延伸至所述进气通孔(41)的凹部(42)。

8.一种气体控制装置，其特征在于，包括：

权利要求1-7任一项所述的压电微泵；

漏气阀(6)，所述漏气阀(6)设置在所述共振件(1)的远离所述压电振子(2)的一侧，经所述压电微泵的出气孔(121)流出的气体进入到所述漏气阀(6)中。

9.根据权利要求8所述的一种气体控制装置，其特征在于，所述漏气阀(6)包括阀壳(61)，所述阀壳(61)内设置有隔膜结构(62)，所述隔膜结构(62)将阀壳(61)的内腔分隔为进气侧和出气侧，所述隔膜结构(62)上设有质量块(621)和气流通道(623)，位于进气侧的阀壳(61)上开有进气口(611)，位于出气侧的阀壳(61)上开有储气口(613)和出气口(612)，所述质量块(621)位于出气侧且对准所述出气口(612)，还包括控制气流通道(623)的气流通断的单向截止结构，当进气侧的气压大于所述出气侧的气压时，所述单向截止结构控制所述进气侧气流经气流通道(623)流通至出气侧，所述质量块(621)被推动覆盖关闭所述出气口(612)。

10.根据权利要求8所述的一种气体控制装置，其特征在于，所述漏气阀(6)包括阀壳(61)，所述阀壳(61)内设置有隔膜结构(62)，所述隔膜结构(62)将阀壳(61)的内腔分隔为进气侧和出气侧，位于进气侧的阀壳(61)上开有两个进气口(611)，位于出气侧的阀壳(61)上开有储气口(613)和出气口(612)，一个进气口(611)对准出气口(612)设置以使隔膜结构(62)在气压作用下覆盖关闭所述出气口(612)，另一个进气口(611)对应的隔膜结构(62)上设置有气流通道(623)，所述气流通道(623) 内设置有悬臂梁阀片(63)，另一个所述进气口(611)朝向所述悬臂梁阀片(63)凸起并抵靠在所述悬臂梁阀片(63)上以实现气流通道(623)在气压作用下的单向流通。

11.根据权利要求9-10任一项所述的一种气体控制装置，其特征在于，所述漏气阀(6)朝向所述压电微泵的一端外周延伸有凸起结构(5)，所述凸起结构(5)与所述压电微泵连接以使所述漏气阀(6)和所述压电微泵之间形成腔体，所述出气孔(121)和进气口(611)均与所述腔体连通。

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