CN211586058U - 一种混合气配制装置 - Google Patents

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张秋昀粲
孙旭辉
鲁一江
张永超
刘德山
林路路
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冯磊
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Abstract

本实用新型提供了一种混合气配制装置,涉及气体配制领域。本实用新型包括多个气体支回路和气体主回路,其中,气体支回路包括进气口和出气口,沿气体的流向依次设置有单向阀、泄压阀和流量调节装置,流量调节装置用于调节气体的流量,气体主回路与多个气体支回路的出气口均相连,用于将从多个气体支回路流出的气体混合。本实用新型通过流量调节装置来调节各回路的气体流量从而改变混合气体的浓度。另外,本实用新型在每条气体支回路中均设置有泄压阀,可以提高气体支回路的安全性。

Description

一种混合气配制装置
技术领域
本实用新型涉及气体配制领域,特别是涉及一种混合气配制装置。
背景技术
现有技术中的自动配气系统不能在实验过程中随时更改混合气体的浓度,以得到更多的试验数据。另外,现有技术中的自动配气系统安全性较低。
实用新型内容
本实用新型的目的是要提供一种混合气配制装置,解决现有技术中不能在实验过程中随时更改混合气体的浓度的技术问题。
特别地,本实用新型提供的一种混合气配制装置,包括:
多个气体支回路,包括进气口和出气口,沿气体的流向依次设置有单向阀、泄压阀和流量调节装置,所述流量调节装置用于调节所述气体的流量;
气体主回路,与多个所述气体支回路的出气口均相连,用于将从多个所述气体支回路流出的气体混合。
可选地,还包括:气体存储装置,与所述气体支回路可拆卸连接。
可选地,还包括:配气柜,所述气体主回路和多个所述气体支回路均设置在所述配气柜内,并且多个所述气体支回路的进气口和所述气体主回路的出气口均形成在所述配气柜的外部。
可选地,所述气体主回路上设置有温湿度传感器,所述温湿度传感器用于检测所述气体主回路中混合气体的温度和湿度。
可选地,所述流量调节装置为质量流量计。
可选地,还包括:
测试气箱,所述气体主回路的出气口与所述测试气箱通过气管连接。
可选地,所述配气柜上设有触摸显示屏。
可选地,所述配气柜上还设有通风散热孔。
可选地,所述气体存储装置与所述气体支回路通过快速接头连接。
可选地,多个所述气体支回路的数量为五个。
本实用新型包括多个气体支回路和气体主回路,其中,气体支回路包括进气口和出气口,沿气体的流向依次设置有单向阀、泄压阀和流量调节装置,流量调节装置用于调节气体的流量,气体主回路与多个气体支回路的出气口均相连,用于将从多个气体支回路流出的气体混合。本实用新型通过流量调节装置来调节各回路的气体流量从而改变混合气体的浓度。另外,本实用新型在每条气体支回路中均设置有泄压阀,可以提高气体支回路的安全性。
根据下文结合附图对本实用新型具体实施例的详细描述,本领域技术人员将会更加明了本实用新型的上述以及其他目的、优点和特征。
附图说明
后文将参照附图以示例性而非限制性的方式详细描述本实用新型的一些具体实施例。附图中相同的附图标记标示了相同或类似的部件或部分。本领域技术人员应该理解,这些附图未必是按比例绘制的。附图中:
图1是根据本实用新型一个实施例的混合气配制装置的示意性结构图;
图2是根据本实用新型另一个实施例的混合气配制装置的示意性正视图;
图3是根据本实用新型另一个实施例的混合气配制装置的示意性左视图。
具体实施方式
下面详细描述本实用新型的实施例,所述实施例的示例在附图中示出,其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的,旨在用于解释本实用新型,而不能理解为对本实用新型的限制。
图1是根据本实用新型一个实施例的混合气配制装置的示意性结构图,图2是根据本实用新型另一个实施例的混合气配制装置的示意性正视图,图3是根据本实用新型另一个实施例的混合气配制装置的示意性左视图。如图1-3所示,混合气配制装置100一般性地可包括多个气体支回路1和气体主回路2,其中,每个气体支回路1均包括进气口11和出气口12,沿气体的流向依次设置有单向阀13、泄压阀14和流量调节装置15,流量调节装置15用于调节气体的流量。气体主回路2与多个气体支回路1的出气口12均相连,用于将从多个气体支回路1流出的气体混合。其中,流量调节装置15为质量流量计,可以确保配制气体的精准,误差可以达到≤1%,气体支回路1的出气口12通过三通接头或者二通接头与气体主回路2连接。
本实用新型通过流量调节装置15来调节各气体支回路1的气体流量从而改变气体混合后的浓度。另外,本实用新型在每条气体支回路1中均设置有泄压阀14,可以提高气体支回路1的安全性。并且,本实用新型中的气体支回路1中设置有单向阀13,可以防止气体回流。
进一步地,混合气配制装置100还包括气体存储装置(图中未示出),其与气体支回路1可拆卸连接。具体地,多个气体存储装置里存储有不同的气体,气体存储装置通过快速接头与气体支回路1的进气口11连接。本实用新型可以进行多种气体配制混合气体,也可以单种气体持续稳定供气,不会因进气口压力突然增大而出现浓度波动。
具体地,混合气配制装置100还包括配气柜6,气体主回路2和多个气体支回路1均设置在配气柜内,并且多个气体支回路1的进气口和气体主回路2的出气口均形成在配气柜6的外部。
进一步地,气体主回路2上设置有温湿度传感器5,温湿度传感器5用于检测气体主回路2中混合气体的温度和湿度。具体地,温湿度传感器5检测到的混合气体的温度和湿度可以显示在配气柜6的外部,通过显示屏显示温度和湿度。
在另一个实施例中,气体主回路2的出气口22与测试气箱4连接。具体地,气体主回路2的出气口与测试气箱4通过不锈钢气管管道连接,测试气箱4分为上下两个金属盖,中间为石英罩,金属盖通过密封圈和真空胶进行密封。测试气箱4用于测试混合气的性能。
具体地,混合气配制装置100还包括控制器3,其与流量调节装置15信号连接,用于控制流量调节装置15调节气体的流量。也就是说,控制器3与每条气体支回路1上的流量调节装置15均信号连接,在混合气配制的过程中,当需要改变多种气体的流量配比或者需要改变多种气体的浓度配比时只要控制流量调节装置15调节气体的流量即可。因此,本实用新型能够实现多种气体混合配制精准浓度混合气体并持续稳定供气,可随时更换混合气体的浓度配比,大大节省了工时。
进一步地,控制器3还与泄压阀14连接,用于在气体支回路1的压力大于预设阈值压力时控制泄压阀14开启,以降低气体支回路1的压力。本实用新型可以防止气体支回路1中的气压过大从而损坏流量调节装置15,提高了气体支回路1的安全性。
在一个实施例中,多个气体支回路1的数量为五个。本实用新型中使用快速接头将五个气体储存装置与五个气体支回路1相连,五个气体支回路1的进气均可以单独控制,可以任意打开一路或者几路气体支回路1,各气体支回路1的气体依次通过单向阀13、泄压阀14和流量调节装置15,之后流进气体主回路2从而配制成目标混合气。这里,气体支回路1的进气是利用控制器3控制流量调节装置15来进行的,当某个气体支回路1不需要进气时,则控制器3控制该气体支回路1上的流量调节装置15关闭,从而关闭该气体支回路1的进气。因此,本实用新型在控制器3中设定程序,可以根据具体需求改变气体支回路1的流量,从而配制不同浓度的混合气,可实现超低浓度配比[ppb(part per billion十亿分比浓度)级别],并且在程序设定后可无人值守,大大节省工时。
另外,配气柜6上还设有通风散热孔8和触摸显示屏7,触摸显示屏7与控制器3连接,用于显示控制操作等信息。通风散热孔8用来散热。
至此,本领域技术人员应认识到,虽然本文已详尽示出和描述了本实用新型的多个示例性实施例,但是,在不脱离本实用新型精神和范围的情况下,仍可根据本实用新型公开的内容直接确定或推导出符合本实用新型原理的许多其他变型或修改。因此,本实用新型的范围应被理解和认定为覆盖了所有这些其他变型或修改。

Claims (10)

1.一种混合气配制装置,其特征在于,包括:
多个气体支回路,包括进气口和出气口,沿气体的流向依次设置有单向阀、泄压阀和流量调节装置,所述流量调节装置用于调节所述气体的流量;
气体主回路,与多个所述气体支回路的出气口均相连,用于将从多个所述气体支回路流出的气体混合。
2.根据权利要求1所述的混合气配制装置,其特征在于,还包括:
气体存储装置,与所述气体支回路可拆卸连接。
3.根据权利要求1所述的混合气配制装置,其特征在于,还包括:
配气柜,所述气体主回路和多个所述气体支回路均设置在所述配气柜内,并且多个所述气体支回路的进气口和所述气体主回路的出气口均形成在所述配气柜的外部。
4.根据权利要求1所述的混合气配制装置,其特征在于,
所述气体主回路上设置有温湿度传感器,所述温湿度传感器用于检测所述气体主回路中混合气体的温度和湿度。
5.根据权利要求1所述的混合气配制装置,其特征在于,
所述流量调节装置为质量流量计。
6.根据权利要求3所述的混合气配制装置,其特征在于,还包括:
测试气箱,所述气体主回路的出气口与所述测试气箱通过气管连接。
7.根据权利要求3所述的混合气配制装置,其特征在于,
所述配气柜上设有触摸显示屏。
8.根据权利要求3所述的混合气配制装置,其特征在于,
所述配气柜上还设有通风散热孔。
9.根据权利要求2所述的混合气配制装置,其特征在于,
所述气体存储装置与所述气体支回路通过快速接头连接。
10.根据权利要求1所述的混合气配制装置,其特征在于,
多个所述气体支回路的数量为五个。
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