CN211478536U

CN211478536U - 一种芯粒测试装置

Info

Publication number: CN211478536U
Application number: CN201922132154.7U
Authority: CN
Inventors: 蔡家豪; 滕兰; 张家豪
Original assignee: Anhui Sanan Optoelectronics Co Ltd
Current assignee: Anhui Sanan Optoelectronics Co Ltd
Priority date: 2019-12-03
Filing date: 2019-12-03
Publication date: 2020-09-11
Anticipated expiration: 2029-12-03

Abstract

本实用新型属于半导体测试领域，尤其涉及一种芯粒测试装置，包括载盘、真空机构、积分球、寻边器、点测针、遮蔽机构、加热机构、加湿机构、感测机构和控制器，所述载盘设置有真空吸孔，加热机构设置于真空吸孔中，真空机构对真空吸孔抽真空；积分球、寻边器和加湿机构均设置于载盘的上方；点测针与寻边器连接；遮蔽机构设置于积分球的下端；感测机构设置于遮蔽机构的外侧；控制器控制整个测试装置的运行。本实用新型能提供可控的温湿度环境，对芯粒进行的光电参数检验及其快速老化检测。

Description

一种芯粒测试装置

技术领域

本实用新型属于半导体测试领域，尤其涉及一种芯粒测试装置。

背景技术

目前在LED芯粒运用于实际点测过程中，将芯粒蓝膜放在载盘上，通过载盘上真空吸孔的吸力吸住蓝膜，再由探针点测，积分球进行感光收集。

由于芯粒经常要测试在不同温度、湿度下的参数变化，还要测试高温、高湿下的老化能力，而当前测试机只能给予恒温恒湿环境，无法提供测试环境的温度和湿度的变化，无法给予LED芯粒老化能力测试的温湿度需求，测出的光电性能也只是一个恒温恒湿下的参数。

因此，研究并设计出一种芯粒测试装置是非常有必要的。

发明内容

本实用新型的目的在于提供一种芯粒测试装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种芯粒测试装置，用于测量不同温湿度环境下芯粒的光电性能参数，包括，载盘，用于放置芯粒，所述载盘设置有真空吸孔；真空机构，对所述真空吸孔抽真空，用于吸附芯粒；积分球，设置于所述载盘的上方，用于感测光电性能参数；还包括，寻边器，设置于所述载盘的上方，用于对芯粒定位；点测针，与所述寻边器连接，用于点测芯粒；遮蔽机构，设置于所述积分球的下端，用于罩住芯粒，形成一封闭空间；加热机构，设置于真空吸孔中，用于加热芯粒；加湿机构，设置于载盘的上方，用于对封闭空间内喷洒水蒸汽；感测机构，设置于遮蔽机构的外侧，用于监测芯粒所处的温湿度环境；控制器，与真空机构、积分球、寻边器、遮蔽机构、加热机构、加湿机构和感测机构连接，用于控制整个测试装置的运行。

优选的，所述遮蔽机构为两端均开口的中空结构，所述中空结构的下端开口罩住若干芯粒。

优选的，所述遮蔽机构上设置有通孔，加湿机构伸入通孔中对封闭空间内喷洒水蒸汽。

优选的，所述遮蔽机构是由导杆和若干折叠部构成的伸缩结构。

优选的，还包括吸头，位于载盘的一侧，用于吸取测试完毕的芯粒。

优选的，所述加湿机构包括调节结构和管道，调节结构位于管道上，用于调节管道的水汽输出量。

优选的，所述加热机构为针状结构，包括针头和针身，在加热升温时，针头接触芯粒底部，针身周围设置有隔热层。

优选的，所述感测机构包括湿度传感器和温度传感器，分别用于感测湿度和温度。

优选的，所述温度传感器为红外温度传感器。

本实用新型能提供可控的温湿度环境，能给予高温、高湿的条件，对芯粒进行的光电参数检验及其快速老化进行检测。在芯粒高温点测时，可直接给予芯粒高温条件，不同于现有技术中通过热辐射提供温度，避免了热量的损失。同时，通过设置遮蔽机构，避免被测芯粒发出的光从边缘漏出，使得积分球尽可能的感应光。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图。

图2为本实用新型A处的放大图。

图3为本实用新型遮蔽机构的展开时的结构示意图。

图4为本实用新型遮蔽机构的收缩时的结构示意图。

标注：1、芯粒；2、载盘；3、积分球；4、控制器；5、真空吸孔；6、寻边器；7、点测针；8、遮蔽机构；9、加热机构；10、加湿机构；11、调节机构；12、管道；13、感测机构；14、吸头；15、真空机构；16、隔热层；17、导杆；18、折叠部。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

参看附图1，本实施例提出一种芯粒测试装置，用于测量不同温湿度环境下芯粒1的光、电性能参数，其包括载盘2、真空机构15、积分球3、寻边器6、点测针7、遮蔽机构8、加热机构9、加湿机构10、感测机构13和控制器4。

其中，载盘2设置有真空吸孔5，载盘2用于放置带有蓝膜的芯粒1，每颗芯粒1均对应一处真空吸孔5；真空机构15能对真空吸孔5抽真空，用于吸附芯粒1；积分球3用于感测芯粒1的光电性能参数；点测针7用于点测芯粒1，通过接触芯粒1的电极，能将芯粒1点亮；寻边器6用于确定需要点测芯粒1的位置，并将点测针7送至芯粒1的电极处；遮蔽机构8用于将芯粒1罩住，形成一封闭空间；加热机构9用于加热芯粒1，进行温度的给予；加湿机构10用于对封闭空间内喷洒水蒸汽，进行湿度的给予；感测机构13用于监测芯粒1所处的温湿度环境，并将数据信号反馈给控制器4；控制器4用于控制整个测试装置的运行。

进一步，控制器4为整个装置的控制核心，其可以是PC电脑，或以单片机、微控制器、微处理器为核心的驱动器。控制器4与积分球3、寻边器6、遮蔽机构8、真空机构15、加热机构9、加湿机构10和感测机构13连接，能够控制整个测试装置的运行。通过控制器4设定好需要测试的温度和湿度，发送信号给加热机构9和加湿机构10进行控制，控制器4实时获取的传感器的温湿度参数反馈，结合调整控制算法，从而实现快速，高精度的温湿度控制，可以设定温湿度曲线，具有灵活的自动化控制功能，同时，接收积分球3的数据信号，得出芯粒1的光电性能。

具体参看附图2，图2为本实用新型A处的放大图。

载盘2设置真空吸孔5，真空机构15设置于载盘2的下方，该真空机构15能真空吸孔5抽真空。将芯粒1蓝膜放置于载盘2上，每颗芯粒1均对应一处真空吸孔5，真空吸孔5的大小占芯粒1三分之一的面积且位于芯粒1底部的正中间，通过真空吸孔5的吸力吸附住蓝膜。在真空吸孔5内设置有可伸缩的加热机构9，当进行加热测试时，加热机构9向上伸出并接触芯粒1底部，给予温度。

其中，加热机构9为针状结构，包括针头和针身。其中针头戳破芯粒1下的蓝膜，直接接触芯粒1底部，对芯粒1进行温度加热，能够将热量迅速有效的传递给被测芯粒1。该针状结构的针头是留有温度的，是直接给予芯粒1温度的部分，而针身周围是设置有隔热层16，热能仅能通过针头散出，且由于针头是直接接触芯粒1的，从而避免了一些热能的损失，同时，避免针状结构刺穿蓝膜后，针身对蓝膜的影响。加热机构9会接触芯粒1的底部，直接给予芯粒1温度，不同于现有技术中通过热辐射的温度提供，避免了热量的损失，作用于芯粒1上的温度即为给予的温度值。另外，加热器位于载盘2的下方，加热器与加热机构9连接，用于提供加热机构9加热的热能。

载盘2的上方还设置加湿机构10，加湿机构10用于提供水蒸汽喷洒。加湿机构10能提供雾状液体，即喷雾形态，该加湿机构10受控制器4控制。加湿机构10包括调节结构11和管道12，调节结构11位于管道12上，用于调节管道12的水汽输出量。具体为，调节结构11减小其功率，减小水输出的雾化量，从而减小喷雾量；调节结构11增大其功率，增加水的雾化量，从而增大喷雾量，增加环境的湿度。由管道12将水雾化的液体输送到积分球3和遮蔽机构8构成的封闭空间中，管道12伸入遮蔽机构8上的通孔中，为测试封闭空间内提供水蒸汽喷洒，提供可控的湿度环境。

寻边器6设置有两个且位于载盘2的上方，寻边器6连接有点测针7，通过寻边器6对芯粒1定位，使得点测针7接触芯粒1的正、负极。在通电测试时，电流顺着点测针7从正极流入芯粒1后沿负极从点测针7流出，从而点亮芯粒1。

现有技术中积分球3通常会与被点测的芯粒1之间存在一段距离，被测试芯粒1发出的光容易从边缘漏出，导致积分球3获取的光会出现亮度的损失。因此，本实用新型的积分球3位于载盘2的上方，且在积分球3下端增设遮蔽机构8，该遮蔽机构8为两端均开口的中空结构，遮蔽机构8的上端开口与积分球3的下端连接，该中空结构的下端开口能罩住多颗芯粒1，例如为4颗芯粒1，芯粒1的个数本实用新型不作特别限制。通过积分球3配合遮蔽机构8，由驱动机构驱动积分球3及遮蔽机构8运动，该驱动机构能进行角度和升降调节，使得测试的芯粒1被罩住，提供一个封闭的测试环境，让积分球3尽可能收集被测芯粒1发出的光。

具体参看附图3和4，进一步，该遮蔽机构8可为由导杆17和若干折叠部18构成的伸缩结构，相邻折叠部18之间设有折向相反的内向折痕，该伸缩结构受控制器4控制，通过导杆17以驱动遮蔽机构8的收缩和展开。

感测机构13设置于遮蔽机构8的外侧，而非设置于遮蔽机构8的内侧，避免感测机构13设置于内侧对积分球3收光存在影响。遮蔽机构8上相对于感测机构13的位置设置有通孔，感测机构13能通过该通孔监测到积分球3及遮蔽机构8形成的密闭空间内的温度和湿度状况，并将数据信号反馈给控制器4。感测机构13包括湿度传感器和红外温度传感器，湿度传感器监测湿度情况，红外温度传感器不直接接触芯粒1即可测出芯粒1的温度。

芯粒1在经过高温、高湿的光电及老化测试后，芯粒1表面会残留水露，因此通过在载盘2的一侧设置吸头14，采用真空吸取的方式吸取芯粒1，进行再处理。

整个测试装置采用金属壳体包裹，在壳体内分布设置有滑轨，寻边器6、加湿机构10、吸头14和积分球3的驱动机构上均对应设有与滑轨匹配的滑轮，滑轮在滑轨内滑动，从而实现各个部件的位置调整。

在具体使用时，待测芯粒1放置于载盘2上，在寻边器6的定位下，点测针7直接与芯粒1的电极接触。由驱动机构驱动积分球3及遮蔽机构8下降直至罩住被测试的芯粒1，为芯粒1提供一个封闭的测试环境。通过控制器4设定好需要测量的温度值或者湿度值，红外温度传感器或者湿度传感器实时监测并反馈信号给控制器4，同时加热机构9或者加湿机构10启动，提供相当的温湿度环境，当监测并反馈信号到控制器4的温度或者达到设定的温度值或者湿度值，加热机构9或者加湿机构10停止工作。此时，电流通过点测针7流入芯粒1，从而将芯粒1点亮，芯粒1发散出的光被积分球3收集，测得芯粒1的光电性能。测试结束后，驱动机构驱动积分球3及遮蔽机构8上升，吸头14会移动至芯粒1上方，对芯粒1进行吸取。

本实用新型能提供可控的温湿度环境，能给予高温、高湿的条件，对芯粒1进行的光电参数检验及其快速老化进行检测。在芯粒1高温点测时，可直接给予芯粒1高温条件，不同于现有技术中通过热辐射提供温度，避免了热量的损失。同时，通过设置遮蔽机构8，避免被测芯粒1发出的光从边缘漏出，使得积分球3尽可能的感应光。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims

1.一种芯粒测试装置，用于测量不同温湿度环境下芯粒的光电性能参数，包括，

载盘，用于放置芯粒，所述载盘设置有真空吸孔；

真空机构，对所述真空吸孔抽真空，用于吸附芯粒；

积分球，设置于所述载盘的上方，用于感测光电性能参数；

其特征在于：还包括，

寻边器，设置于所述载盘的上方，用于对芯粒定位；

点测针，与所述寻边器连接，用于点测芯粒；

遮蔽机构，设置于所述积分球的下端，用于罩住芯粒，形成一封闭空间；

加热机构，设置于真空吸孔中，用于加热芯粒；

加湿机构，设置于载盘的上方，用于对封闭空间内喷洒水蒸汽；

感测机构，设置于遮蔽机构的外侧，用于监测芯粒所处的温湿度环境；

控制器，与真空机构、积分球、寻边器、遮蔽机构、加热机构、加湿机构和感测机构连接，用于控制整个测试装置的运行。

2.根据权利要求1所述的一种芯粒测试装置，其特征在于：所述遮蔽机构为两端均开口的中空结构，所述中空结构的下端开口罩住若干芯粒。

3.根据权利要求1所述的一种芯粒测试装置，其特征在于：所述遮蔽机构上设置有通孔，加湿机构伸入通孔中对封闭空间内喷洒水蒸汽。

4.根据权利要求1所述的一种芯粒测试装置，其特征在于：所述遮蔽机构是由导杆和若干折叠部构成的伸缩结构。

5.根据权利要求1所述的一种芯粒测试装置，其特征在于：还包括吸头，位于载盘的一侧，用于吸取测试完毕的芯粒。

6.根据权利要求1所述的一种芯粒测试装置，其特征在于：所述加湿机构包括调节结构和管道，调节结构位于管道上，用于调节管道的水汽输出量。

7.根据权利要求1所述的一种芯粒测试装置，其特征在于：所述加热机构为针状结构，包括针头和针身，在加热升温时，针头接触芯粒底部，针身周围设置有隔热层。

8.根据权利要求1所述的一种芯粒测试装置，其特征在于：所述感测机构包括湿度传感器和温度传感器，分别用于感测湿度和温度。

9.根据权利要求8所述的一种芯粒测试装置，其特征在于：所述温度传感器为红外温度传感器。