CN211404450U - 一种基于惰性气体对样品进行防护的扫描电镜样品台 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种基于惰性气体对样品进行防护的扫描电镜样品台，其技术方案要点包括包括样品载台，所述样品载台下方设置有横块；所述横块两侧分别设置有导气装置；所述导气装置包括设置于横块侧面且向外延伸的平行设置的两根密封条；所述密封条之间设置有导气管；所述导气管一端延伸至密封条外侧与接口连接；所述接口与导气管连通。所述密封条下侧设置有密封板；所述密封板向外延伸；所述密封板上表面设置有弧形板；所述弧形板与样品载台紧贴；所述密封板另一端与横块紧贴；所述密封条、密封板、横块以及弧形板之间形成一个密封空腔，本实用新型具有通过输入惰性气体，从而保护了对水分空气敏感的样品有益效果，从而实现观测精确，减少误差。

Description

一种基于惰性气体对样品进行防护的扫描电镜样品台

技术领域

本实用新型涉及一种扫描电镜样品台，更具体地说它涉及一种基于惰性气体对样品进行防护的扫描电镜样品台。

背景技术

扫描电镜即扫描电子显微镜，扫描电镜将聚焦的高能电子束轰击样品表面，通过对电子束与样品相互作用产生的二次电子、背散射电子等信号的分析，可对试样表面以及断口形貌进行观察和分析；扫描电镜具有高分辨率，高放大倍数，景深大、视野大、成像富有立体感的优点，搭配X射线能谱仪，同时可进行形貌观察和微区成分分析；扫描电镜是锂电池材料领域的一种重要的表征分析手段，可用于研究正负极材料的形貌以及成分，观测材料粒径大小，球形度以及不同锂化物的含量和分布等，此外，扫描电镜还可用于观测分析循环后电池材料的变化，电芯材料异常点问题等，在锂电池领域应用十分广泛；但是对于一些对水或空气敏感的一些材料来说，扫描电镜传统的直接在空气中制样方法可能会导致观测或分析结果误差过大，如高镍三元材料制样过程中，高镍三元材料接触空气和水分会发生变化，会导致物质的形貌的变化，嵌锂的负极片，以及涂有锂金属的材料等暴露在空气中会放热甚至燃烧，不仅物质形貌成分发生变化，而且存在一定的危险性；由此，设计一种可隔绝空气的样品台，对水分空气敏感的样品的扫描电镜测试是至关重要的。

实用新型内容

针对现有技术存在的不足，本实用新型在于提供一种基于惰性气体对样品进行防护的扫描电镜样品台，具有通过输入惰性气体，从而保护了对水分空气敏感的样品有益效果，从而实现观测精确，减少误差。

为实现上述目的，本实用新型提供了如下技术方案：一种基于惰性气体对样品进行防护的扫描电镜样品台，包括样品载台，其特征在于：所述样品载台下方设置有横块；所述横块两侧分别设置有导气装置；所述导气装置包括设置于横块侧面且向外延伸的平行设置的两根密封条；所述密封条之间设置有导气管；所述导气管一端延伸至密封条外侧与接口连接；所述接口与导气管连通。

通过上述设置，接口可以与惰性气体的输入气管连接，然后将惰性气体输入导气管内。

本实用新型进一步设置为：所述密封条下侧设置有密封板；所述密封板向外延伸；所述密封板上表面设置有弧形板；所述弧形板与样品载台紧贴；所述密封板另一端与横块紧贴；所述密封条、密封板、横块以及弧形板之间形成一个密封空腔。

通过上述设置，因为弧形板与样品载台的外周面紧贴，从而形成一个密封空腔，内部容纳惰性气体，与外部空气隔绝。

本实用新型进一步设置为：所述导气管上设置有若干个通气孔；所述弧形板上设置有若干个条形凹槽；所述条形凹槽上下两端分别连通密封空腔以及外界。

通过上述设置，通过条形凹槽与样品载台之间形成一个通道，然后可以将密封空腔内的惰性气体输送至上方的样品载台上端，从而对对水分空气敏感的样品进行保护，隔绝空气。

本实用新型进一步设置为：所述条形凹槽上端侧面从里向外设置有45度的倒角。

通过上述设置，倒角的设置可以缓冲惰性气体的速度，防止对样品造成冲击，同时又能保证惰性气体对样品的保护。

本实用新型进一步设置为：所述接口外侧设置有外螺纹从而与惰性气体的输入气管螺纹连接。

通过上述设置，还可以在接口端面设置密封橡胶圈，从而实现螺纹密封连接，防止气体泄漏。

综上所述，本实用新型具有以下有益效果：通过导气装置和样品载台的配合，将惰性气体源源不断的输送至放置样品的样品载台的上端面，从而实现了隔绝空气的作用，实现了对样品的保护，进而提高了观察的精度。

附图说明

图1是本实施例结构示意图；

图2是本实施例俯视图；

图3是本实施例剖视图。

附图标记：1、样品载台；2、横块；3、密封条；4、导气管；5、接口；6、密封板；7、弧形板；8、密封空腔；9、条形凹槽；10、外螺纹。

具体实施方式

以下结合附图对本实用新型作进一步详细说明。

本实施例公开了一种基于惰性气体对样品进行防护的扫描电镜样品台，如图1至图3所示，具有通过输入惰性气体，从而保护了对水分空气敏感的样品有益效果，从而实现观测精确，减少误差。包括样品载台1，所述样品载台1下方设置有横块2；所述横块2两侧分别设置有导气装置；所述导气装置包括设置于横块2侧面且向外延伸的平行设置的两根密封条3；所述密封条3之间设置有导气管4；所述导气管4一端延伸至密封条3外侧与接口5连接；所述接口5与导气管4连通。接口5可以与惰性气体的输入气管连接，然后将惰性气体输入导气管4内。

所述密封条3下侧设置有密封板6；所述密封板6向外延伸；所述密封板6上表面设置有弧形板7；所述弧形板7与样品载台1紧贴；所述密封板6另一端与横块2紧贴；所述密封条3、密封板6、横块2以及弧形板7之间形成一个密封空腔8。因为弧形板7与样品载台1的外周面紧贴，从而形成一个密封空腔8，内部容纳惰性气体，与外部空气隔绝。

所述导气管4上设置有若干个通气孔；所述弧形板7上设置有若干个条形凹槽9；所述条形凹槽9上下两端分别连通密封空腔8以及外界。通过条形凹槽9与样品载台1之间形成一个通道，然后可以将密封空腔8内的惰性气体输送至上方的样品载台1上端，从而对对水分空气敏感的样品进行保护，隔绝空气。

所述条形凹槽9上端侧面从里向外设置有45度的倒角。倒角的设置可以缓冲惰性气体的速度，防止对样品造成冲击，同时又能保证惰性气体对样品的保护。

所述接口5外侧设置有外螺纹10从而与惰性气体的输入气管螺纹连接。还可以在接口5端面设置密封橡胶圈，从而实现螺纹密封连接，防止气体泄漏。

综上所述，本实用新型具有以下有益效果：通过导气装置和样品载台1的配合，将惰性气体源源不断的输送至放置样品的样品载台1的上端面，从而实现了隔绝空气的作用，实现了对样品的保护，进而提高了观察的精度。

以上所述仅为本实用新型的较佳实施例，并不用于限制本实用新型，凡在本实用新型的设计构思之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (5)

1.一种基于惰性气体对样品进行防护的扫描电镜样品台，包括样品载台(1)，其特征在于：所述样品载台(1)下方设置有横块(2)；所述横块(2)两侧分别设置有导气装置；所述导气装置包括设置于横块(2)侧面且向外延伸的平行设置的两根密封条(3)；所述密封条(3)之间设置有导气管(4)；所述导气管(4)一端延伸至密封条(3)外侧与接口(5)连接；所述接口(5)与导气管(4)连通。

2.根据权利要求1所述的基于惰性气体对样品进行防护的扫描电镜样品台，其特征在于：所述密封条(3)下侧设置有密封板(6)；所述密封板(6)向外延伸；所述密封板(6)上表面设置有弧形板(7)；所述弧形板(7)与样品载台(1)紧贴；所述密封板(6)另一端与横块(2)紧贴；所述密封条(3)、密封板(6)、横块(2)以及弧形板(7)之间形成一个密封空腔(8)。

3.根据权利要求2所述的基于惰性气体对样品进行防护的扫描电镜样品台，其特征在于：所述导气管(4)上设置有若干个通气孔；所述弧形板(7)上设置有若干个条形凹槽(9)；所述条形凹槽(9)上下两端分别连通密封空腔(8)以及外界。

4.根据权利要求3所述的基于惰性气体对样品进行防护的扫描电镜样品台，其特征在于：所述条形凹槽(9)上端侧面从里向外设置有45度的倒角。

5.根据权利要求1所述的基于惰性气体对样品进行防护的扫描电镜样品台，其特征在于：所述接口(5)外侧设置有外螺纹(10)从而与惰性气体的输入气管螺纹连接。

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