CN211320057U - 槽式湿法刻蚀装置 - Google Patents

Abstract

一种槽式湿法刻蚀装置包括：工艺槽，至少一个酸液供应罐，连接管道和支撑部件，其中，所述工艺槽的位置低于酸液供应罐的位置，所述酸液供应罐通过连接管道与所述工艺槽连通，所述连接管道至少包括连接的横向管道和纵向管道，所述横向管道的入口端与所述酸液供应罐连接，所述纵向管道的出口端与所述工艺槽连接，所述酸液供应罐用于存储酸液以及将存储的酸液通过连接管道供应到工艺槽中，所述工艺槽用于将所述酸液供应罐供应的酸液稀释或者将供应的多种酸液混合，以进行刻蚀工艺；所述支撑部件与所述横向管道接触，用于使得所述横向管道保持水平。本实用新型槽式湿法刻蚀装置保证每次换酸后酸的浓度能保持稳定。

Description

槽式湿法刻蚀装置

技术领域

本实用新型涉及半导体领域，尤其涉及一种槽式湿法刻蚀装置。

背景技术

刻蚀工艺是按照掩模图形或设计要求对半导体衬底表面或表面覆盖的薄膜进行选择性腐蚀或剥离的工艺。刻蚀工艺不仅是半导体器件和集成电路的基本制造工艺，而且还应用于薄膜电路、印刷电路和其他微细图形的加工。

目前，最主要的刻蚀方法有两种：湿法刻蚀和干法等离子刻蚀。在湿法刻蚀中，刻蚀剂是液态化学混合物，它与晶圆衬底发生化学反应，产生可溶性物质，从而溶解于溶液中，例如，用含有氢氟酸的溶液刻蚀二氧化硅薄膜，用磷酸刻蚀铝薄膜等。槽式湿法刻蚀设备作为湿法刻蚀工艺的主要设备，通常将晶圆放置于槽式刻蚀设备的酸槽或工艺槽中，利用酸槽或工艺槽的刻蚀溶液或酸液浸没晶圆一段特定的时间，便可刻蚀去除晶圆上不需要的材料层。

现有通常通过专门的酸液供应装置向酸槽或工艺槽供应酸液，以在酸槽或工艺槽中形成稀释的氢氟酸为例，通过一酸液供应罐将一定体积的未稀释的氢氟酸(比如摩尔浓度为49％的氢氟酸)供入酸槽或工艺槽，同时通过一纯水供应装置将一定体积的纯水供入酸槽或工艺槽，两者混合，在酸槽或工艺槽形成稀释的氢氟酸。

但是前述在酸槽或工艺槽形成稀释的氢氟酸的方式，容易使得形成的氢氟酸的浓度偏低或偏高，不利于刻蚀工艺的进行，并且为了消除浓度报警费时费力。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是怎样提高晶圆翘曲度监测的准确性。

本实用新型提供了一种槽式湿法刻蚀装置，包括：工艺槽，至少一个酸液供应罐，连接管道和支撑部件，其中，

所述工艺槽的位置低于酸液供应罐的位置，所述酸液供应罐通过连接管道与所述工艺槽连通，所述连接管道至少包括连接的横向管道和纵向管道，所述横向管道的入口端与所述酸液供应罐连接，所述纵向管道的出口端与所述工艺槽连接，所述酸液供应罐用于存储酸液以及将存储的酸液通过连接管道供应到工艺槽中，所述工艺槽用于将所述酸液供应罐供应的酸液稀释或者将供应的多种酸液混合，以进行刻蚀工艺；

所述支撑部件与所述横向管道接触，用于使得所述横向管道保持水平。

可选的，所述横向管道包括入口端和出口端，所述纵向管道包括入口端和出口端，所述横向管道的入口端与酸液供应罐连接，所述横向管道的出口端与纵向管道的入口端连接，所述横向管道从入口端向出口端的方向向上倾斜，所述支撑部件与所述横向管道接触，通过支撑部件减小横向管道向上倾斜的角度，使得所述横向管道保持水平。

可选的，所述工艺槽的顶部具有顶部基座，所述纵向管道穿过顶部基座向工艺槽中工艺酸液。

可选的，所述支撑部件为支撑件，所述支撑件的一端与横向管道固定连接，所述支撑件的另一端与所述顶部基座固定连接。

可选的，所述支撑部件为悬挂件，所述悬挂件的一端与横向管道固定连接，所述悬挂件的另一端与所述酸液供应罐的外壁固定连接。

可选的，所述支撑部件与所述横向管道固定的位置与所述酸液供应罐的距离小于所述横向管道总长度的1/2。

可选的，所述支撑部件与所述横向管道固定的位置与所述酸液供应罐的距离为所述横向管道总长度的1/4-1/3。

可选的，所述酸液供应罐与所述横向管道之间具有控制阀，所述控制阀用于控制酸液供应罐向所述工艺槽中供应酸液的通断，每次换酸开始时，所述控制阀打开，换酸结束时，所述控制阀关闭，每次换酸结束控制阀关闭后，所述横向管道中剩余的酸液的量相同。

可选的，还包括纯水供应端，用于向所述工艺槽中供应纯水，以稀释工艺槽中的酸液。

可选的，所述酸液供应罐供应的酸液为氢氟酸，所述纯水将供应到工艺槽中的氢氟酸稀释。

可选的，所述酸液供应罐的数量大于等于两个时，大于等于两个的所述酸液供应罐通过不同的连接管道与所述工艺槽连通。

可选的，大于等于两个的所述酸液供应罐酸液供应罐用于供应不同类型的酸液。

可选的，大于等于两个的所述酸液供应罐的容量相同或不同。

与现有技术相比，本实用新型技术方案具有以下优点：

本实用新型的槽式湿法刻蚀装置包括：工艺槽，至少一个酸液供应罐，连接管道和支撑部件，其中，所述工艺槽的位置低于酸液供应罐的位置，所述酸液供应罐通过连接管道与所述工艺槽连通，所述连接管道至少包括连接的横向管道和纵向管道，所述横向管道的入口端与所述酸液供应罐连接，所述纵向管道的出口端与所述工艺槽连接，所述酸液供应罐用于存储酸液以及将存储的酸液通过连接管道供应到工艺槽中，所述工艺槽用于将所述酸液供应罐供应的酸液稀释或者将供应的多种酸液混合，以进行刻蚀工艺；所述支撑部件与所述横向管道接触，用于使得所述横向管道保持水平。本实用新型中通过设置支撑部件，所述支撑部件与所述横向管道接触，通过支撑部件使得所述横向管道保持水平，由于横向管道是保持水平的，因而每次在进行换酸结束，酸液供应罐停止向工艺槽中供应酸液时，所述横向管道不会影响和阻碍连接管道中剩余的酸液在重力的作用下流入工艺槽中，使得横向管道中残余的酸液的量在每次换酸后保持相同或者相差较小，即横向管道中残余的酸液的停止位置是固定的或者变化较小，从而保证每次换酸时加入工艺槽中的酸的量是一定的，使得工艺槽中酸的浓度达到设定浓度值，酸的浓度能保持稳定，利于刻蚀工艺的进行，极大的减少或避免了槽式湿法刻蚀装置出现酸液浓度偏高或偏低的报警，保证槽式湿法刻蚀装置工作稳定性，提高了槽式湿法刻蚀装置的产量，并且节省了人力和物力。

进一步，所述支撑架与所述横向管道固定的位置与所述酸液供应罐的距离为所述横向管道总长度的1/4-1/3，能更方便和更好的保持连接管道中的横向管道保持水平，并防止连通管道变形，从而使得所述横向管道能更好的不会影响和阻碍横向管道中剩余的酸液在重力的作用下流入工艺槽中，使得横向管道中残余的酸液的量在每次换酸后能更好的保持相同或者相差较小。

进一步，还包括纯水供应端，用于向所述工艺槽中供应纯水，以稀释工艺槽中的酸液，使得本实用新型的槽式湿法刻蚀装置的工艺槽中能提供浓度稳定的稀释酸液。

进一步，大于等于两个的所述酸液供应罐酸液供应罐用于供应不同类型的酸液，使得本实用新型的槽式湿法刻蚀装置的工艺槽中能提供浓度稳定的混合酸液。

附图说明

图1为本实用新型一实施例槽式湿法刻蚀装置的结构示意图；

图2为本实用新型另一实施例槽式湿法刻蚀装置的流程示意图；

图3为本实用新型又一实施例槽式湿法刻蚀装置的流程示意图。

具体实施方式

如背景技术所言，但是前述在酸槽或工艺槽形成稀释的氢氟酸的方式，容易使得形成的氢氟酸的浓度偏低或偏高，不利于刻蚀工艺的进行，并且为了消除浓度报警费时费力。

研究发现，在酸槽或工艺槽形成稀释的氢氟酸时，槽式湿法刻蚀设备会检测酸槽或工艺槽中氢氟酸的浓度。当酸槽或工艺槽中氢氟酸的浓度偏高(测量浓度值大于设定浓度值)或偏低(测量浓度值小于设定浓度值)时会给出相应的报警，停止刻蚀工艺的进行。当出现这样的报警时，设备人员通常需要进行手动换酸操作，以使得酸槽或工艺槽中氢氟酸中的浓度达到设定浓度，以消除报警。具体的以处理酸槽或工艺槽中氢氟酸的浓度偏低报警为例，设备人员需要先将酸槽或工艺槽中的氢氟酸排掉，然后进行第一次手动换酸，向酸槽或工艺槽补入新酸(向工艺槽中补入新酸的同时向工艺槽中补入纯水，每次换酸时所述补入的新酸的量和纯水的量是固定的，具体的根据槽式湿法刻蚀装置中的换酸程序设定)，第一次换酸后，设备会出现酸槽或工艺槽中氢氟酸的浓度偏高的报警，这时需要再次排掉酸槽或工艺槽中的氢氟酸，然后进行第二次手动换酸操作，再次向酸槽或工艺槽补入新酸和相应量的纯水，这时，酸槽或工艺槽中氢氟酸的浓度与设定浓度值相等或相当，酸槽或工艺槽中氢氟酸的浓度偏高的报警消除，可以进行正常的刻蚀工艺。这种消除浓度报警的方式需要手动两次换酸，费时费力，并且严重影响机台的产量。

进一步研究发现，现有需要进行两次换酸才能消除报警的真正原因为：请参考图1，图1为一实施例中槽式刻蚀装置的结构示意图，所述槽式刻蚀装置包括工艺槽100，酸液供应罐102，连接管道103，其中，所述工艺槽100的位置低于酸液供应罐102的位置，所述酸液供应罐102通过连接管道103与所述工艺槽100连通，所述连接管道103至少包括连接的横向管道1031和纵向管道1032，所述横向管道1031的入口端与所述酸液供应罐102连接，所述纵向管道1032的出口端与所述工艺槽100连接，所述酸液供应罐102用于存储酸液以及将存储的酸液通过连接管道103供应到工艺槽100中，所述工艺槽100用于将所述酸液供应罐102供应的酸液稀释或者将供应的多种酸液混合，以进行刻蚀工艺；还包括纯水供应管106，用于向工艺槽100中供应纯水；所述横向管道1031与酸液供应罐102之间还具有控制阀104，以控制酸液供应的通断，控制阀104打开时，所述酸液供应罐102通过连接管道103向工艺槽100中供应酸液，控制阀关闭时，所述酸液供应罐102停止向工艺槽100中供应酸液。在实际使用中，由于管道安装等因素的影响，所述横向管道1031的出口端(出口端为与纵向管道1032连接的一端)会向上倾斜，在控制阀104关闭时，连通管道103中部分酸液通过重力的作用流入工艺槽100中，部分酸液仍会残留在横向管道1031中，但是由于横向管道1031的一端向上倾斜，向上倾斜的横向管道1031会影响和阻碍横向管道1031中的酸液流向工艺槽100中。每次换酸后，横向管道1031中残留的酸液的量会不同，即残留的酸液在横向管道1031中停留的位置105会不同，因而设备人员在手动进行换酸时，加入到工艺槽100中的酸量为新酸量和横向管道1031中残留的酸量的总和，新酸量是固定的，而横向管道1031中残留的酸量是不固定的，使得每次换酸时加入到工艺槽100中的酸量是不固定的，因而需要至少两次手动换酸才能使得工艺槽100中的酸液110的浓度达到设定浓度值。具体的，当出现酸液浓度偏低的报警时，此时向上倾斜的横向管道1031中残留的酸的量会大于正常时候的量，进行第一次手动换酸时，加入工艺槽100中的酸的量为补入的新酸量和横向管道中残留的酸量之后，因而第一次手段换酸后，工艺槽100中酸液的浓度会偏高，这时需要将工艺槽100中的酸液再次排掉，进行第二次手动换酸，在进行第二次手动换酸时，由于第一次手动换酸时，横向管道中残留的过量的酸液已排出，第一次手动换酸后，横向管道中残留的酸液已经很少，因而第二次手段换酸后，工艺槽100中的酸液的浓度值达到设定浓度值。

为此，本实用新型提供了一种槽式湿法刻蚀装置包括：工艺槽，至少一个酸液供应罐，连接管道和支撑部件，其中，所述工艺槽的位置低于酸液供应罐的位置，所述酸液供应罐通过连接管道与所述工艺槽连通，所述连接管道至少包括连接的横向管道和纵向管道，所述横向管道的入口端与所述酸液供应罐连接，所述纵向管道的出口端与所述工艺槽连接，所述酸液供应罐用于存储酸液以及将存储的酸液通过连接管道供应到工艺槽中，所述工艺槽用于将所述酸液供应罐供应的酸液稀释或者将供应的多种酸液混合，以进行刻蚀工艺；所述支撑部件与所述横向管道接触，用于使得所述横向管道保持水平。本实用新型中通过设置支撑部件，所述支撑部件与所述横向管道接触，通过支撑部件使得所述横向管道保持水平，由于横向管道是保持水平的，因而每次在进行换酸结束，酸液供应罐停止向工艺槽中供应酸液时，所述横向管道不会影响和阻碍连接管道中剩余的酸液在重力的作用下流入工艺槽中，使得横向管道中残余的酸液的量在每次换酸后保持相同或者相差较小，即横向管道中残余的酸液的停止位置是固定的或者变化较小，从而保证每次换酸时加入工艺槽中的酸的量是一定的，使得工艺槽中酸的浓度达到设定浓度值，酸的浓度能保持稳定，利于刻蚀工艺的进行，极大的减少或避免了槽式湿法刻蚀装置出现酸液浓度偏高或偏低的报警，保证槽式湿法刻蚀装置工作稳定性，提高了槽式湿法刻蚀装置的产量，并且节省了人力和物力。

为使本实用新型的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本实用新型的具体实施方式做详细的说明。在详述本实用新型实施例时，为便于说明，示意图会不依一般比例作局部放大，而且所述示意图只是示例，其在此不应限制本实用新型的保护范围。此外，在实际制作中应包含长度、宽度及深度的三维空间尺寸。

本实用新型一实施例中提供了一种槽式湿法刻蚀装置，请参考图2，包括：工艺槽100，至少一个酸液供应罐102，连接管道103和支撑部件108，其中，

所述工艺槽100的位置低于酸液供应罐102的位置，所述酸液供应罐102通过连接管道103与所述工艺槽100连通，所述连接管道103至少包括连接的横向管道1031和纵向管道1032，所述横向管道1031的入口端与所述酸液供应罐102连接，所述纵向管道1032的出口端与所述工艺槽100连接，所述酸液供应罐102用于存储酸液以及将存储的酸液通过连接管道103供应到工艺槽100中，所述工艺槽100用于将所述酸液供应罐102供应的酸液稀释或者将供应的多种酸液混合，以进行刻蚀工艺；

所述支撑部件108与所述横向管道1031接触，用于使得所述横向管道1031保持水平。

具体的，所述工艺槽100为进行刻蚀工艺时用的槽，所述工艺槽100中具有用于刻蚀的酸液110，需要进行刻蚀时，通过传送装置将晶圆从工艺槽100外部传送到工艺槽100中，并将晶圆浸没在所述工艺槽100中的酸液中，在特定时间后，将晶圆从工艺槽100中取出进行后续的工艺(比如清洗工艺等)。

所述工艺槽100中的酸液110可以为单一的酸液或者混合酸液，所述单一的酸液可以为稀释的氢氟酸、磷酸溶液、硝酸溶液或者其他的单一酸液，所述混合酸液可以为氢氟酸与硝酸的混合酸液或者其他的混合酸液。

所述工艺槽100的顶部可以具有顶部基板101，所述顶部基板101用于将工艺槽100的开口封闭，并用于固定一些连接管道的一端。

每一个槽式刻蚀装置均对应具有各自的酸液供应罐102，所述酸液供应罐102用于存储酸液以及将存储的酸液通过连接管道103供应到特定槽式刻蚀装置的工艺槽100中，所述酸液供应罐102的通过特定的连接管道可以与厂务供液端连接，厂务供液端通过连接管道可以持续向每一个槽式刻蚀装置对应的酸液供应罐102供应酸液，每一个酸液供应罐102与厂务供液端之间的连接管道上设置有控制阀，也控制供应酸液的通断。

所述酸液供应罐102的位置高于工艺槽100，所述酸液供应罐102可以设置于供液柜中。本实施例中，所述酸液供应罐102向工艺槽100中供应酸液时，所述酸液是通过重力的作用经过连接管道103流入工艺槽100中。在其他实施例中，所述酸液供应罐102中的酸液可以被施加适当的压力。

所述酸液供应罐102具有特定的容量，具体可以为0.5L，1L，1.5L，2L或其他合适的容量。

本实施例中，所述酸液供应罐102的数量为一个，所述酸液供应罐102中用于供应某一类型的酸液，比如氢氟酸或其他类型的酸。所述槽式湿法刻蚀装置还包括纯水供应端106，用于向所述工艺槽100中供应纯水，以稀释工艺槽100中的酸液。所述纯水供应端106上还可以设置控制阀107，以控制纯水向工艺槽100中工艺的通断。具体的实施例中，在进行刻蚀之前，通过酸液供应罐102向工艺槽100中供应一定体积未稀释的氢氟酸(比如摩尔浓度为49％的HF)，通过纯水供应端106向工艺槽100中供应一定体积的纯水(DIW)，两者混合后形成稀释的氢氟酸(比如稀释的氢氟酸中水和HF的体积比为200:1)。

在其他实施例中，所述酸液供应罐102数量可以大于等于两个，大于等于两个的所述酸液供应罐102通过不同的连接管道与所述工艺槽100连通。在一实施例中，所述酸液供应罐102数量可以大于等于两个时，所述酸液供应罐102的容量可以不同，不同容量的酸液供应槽102中可以存储以及向工艺槽100中供应相同或不同类型的酸液。在另一实施例中，所述酸液供应罐102数量可以大于等于两个时，所述酸液供应罐102的容量可以相同，不同的酸液供应槽102中可以存储以及向工艺槽100中不同类型的酸液，以在工艺槽100中形成用于刻蚀的混酸溶液。

所述酸液供应罐102与所述横向管道103之间具有控制阀104，所述控制阀104用于控制酸液供应罐102向所述工艺槽100中供应酸液的通断，每次换酸开始时，所述控制阀打开，所述酸液供应罐102向所述工艺槽100中供应酸液，换酸结束时，所述控制阀104关闭，所述酸液供应罐102停止向所述工艺槽100中供应酸液。

所述连接管道103至少包括连接的横向管道1031和纵向管道1032，横向管道1031是指管道呈横向排布，纵向管道1032是指管道呈纵向排布，所述横向管道1031包括入口端和出口端，所述纵向管道1032包括入口端和出口端，所述横向管道1031的入口端与酸液供应罐102连接并固定在供液柜或者酸液供应罐102上，所述横向管道1031的出口端与纵向管道1032的入口端连接，所述纵向管道1032的出口端固定在顶部基座101上并穿过顶部基座101深入工艺槽100中，当没有支撑部件支撑时，所述横向管道1031从入口端向出口端的方向向上倾斜(如图1所示。本实用新型实施例中，通过设置支撑部件108，所述支撑部件108与所述横向管道1031接触，通过支撑部件108将减小横向管道1031向上倾斜的角度(具体的所述支撑部件108将横向管道1031靠近入口端的那一部分上台或者将横向管道1031靠近出口端的那一部分下拉)，使得所述横向管道1031保持水平，由于横向管道1031是保持水平的，因而每次在进行换酸结束，酸液供应罐102停止向工艺槽100中供应酸液时(或者每次换酸结束控制阀关闭后)，所述横向管道1031不会影响和阻碍连接管道103中剩余的酸液在重力的作用下流入工艺槽100中，使得横向管道1031中残余的酸液的量在每次换酸后保持相同或者相差较小，即横向管道中残余的酸液的停止位置105是固定的或者变化较小，从而保证每次换酸时加入工艺槽100中的酸的量是一定的，使得工艺槽中酸的浓度达到设定浓度值，酸的浓度能保持稳定，利于刻蚀工艺的进行，极大的减少或避免了槽式湿法刻蚀装置出现酸液浓度偏高或偏低的报警，保证槽式湿法刻蚀装置工作稳定性，提高了槽式湿法刻蚀装置的产量，并且节省了人力和物力。

本实施例中，参考图2，所述支撑部件108为支撑件，所述支撑件105的一端与横向管道1031固定连接，所述支撑件105的另一端与所述顶部基座固定连接。在另一实施例中，请参考图3，所述支撑部件108为悬挂件，所述悬挂件的一端与横向管道1031固定连接，所述悬挂件的另一端与所述酸液供应罐102的外壁或者供液柜的外壁固定连接。

所述支撑部件与所述横向管道固定的位置与所述酸液供应罐的距离小于所述横向管道总长度的1/2，具体的所述支撑架与所述横向管道固定的位置与所述酸液供应罐的距离为所述横向管道总长度的1/4-1/3，能更方便和更好的保持连接管道中的横向管道1031保持水平，并能防止连通管道变形，从而使得所述横向管道1031能更好的不会影响和阻碍横向管道1031中剩余的酸液在重力的作用下流入工艺槽100中，使得横向管道1031中残余的酸液的量在每次换酸后能更好的保持相同或者相差较小。

以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员，在不脱离本实用新型原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。

Claims (13)

1.一种槽式湿法刻蚀装置，其特征在于，包括：工艺槽，至少一个酸液供应罐，连接管道和支撑部件，其中，

所述工艺槽的位置低于酸液供应罐的位置，所述酸液供应罐通过连接管道与所述工艺槽连通，所述连接管道至少包括连接的横向管道和纵向管道，所述横向管道的入口端与所述酸液供应罐连接，所述纵向管道的出口端与所述工艺槽连接，所述酸液供应罐用于存储酸液以及将存储的酸液通过连接管道供应到工艺槽中，所述工艺槽用于将所述酸液供应罐供应的酸液稀释或者将供应的多种酸液混合，以进行刻蚀工艺；

所述支撑部件与所述横向管道接触，用于使得所述横向管道保持水平。

2.如权利要求1所述的槽式湿法刻蚀装置，其特征在于，所述横向管道包括入口端和出口端，所述纵向管道包括入口端和出口端，所述横向管道的入口端与酸液供应罐连接，所述横向管道的出口端与纵向管道的入口端连接，所述横向管道从入口端向出口端的方向向上倾斜，所述支撑部件与所述横向管道接触，通过支撑部件减小横向管道向上倾斜的角度，使得所述横向管道保持水平。

3.如权利要求1所述的槽式湿法刻蚀装置，其特征在于，所述工艺槽的顶部具有顶部基座，所述纵向管道穿过顶部基座向工艺槽中工艺酸液。

4.如权利要求3所述的槽式湿法刻蚀装置，其特征在于，所述支撑部件为支撑件，所述支撑件的一端与横向管道固定连接，所述支撑件的另一端与所述顶部基座固定连接。

5.如权利要求3所述的槽式湿法刻蚀装置，其特征在于，所述支撑部件为悬挂件，所述悬挂件的一端与横向管道固定连接，所述悬挂件的另一端与所述酸液供应罐的外壁固定连接。

6.如权利要求4或5所述的槽式湿法刻蚀装置，其特征在于，所述支撑部件与所述横向管道固定的位置与所述酸液供应罐的距离小于所述横向管道总长度的1/2。

7.如权利要求6所述的槽式湿法刻蚀装置，其特征在于，所述支撑部件与所述横向管道固定的位置与所述酸液供应罐的距离为所述横向管道总长度的1/4-1/3。

8.如权利要求1所述的槽式湿法刻蚀装置，其特征在于，所述酸液供应罐与所述横向管道之间具有控制阀，所述控制阀用于控制酸液供应罐向所述工艺槽中供应酸液的通断，每次换酸开始时，所述控制阀打开，换酸结束时，所述控制阀关闭，每次换酸结束控制阀关闭后，所述横向管道中剩余的酸液的量相同。

9.如权利要求1所述的槽式湿法刻蚀装置，其特征在于，还包括纯水供应端，用于向所述工艺槽中供应纯水，以稀释工艺槽中的酸液。

10.如权利要求9所述的槽式湿法刻蚀装置，其特征在于，所述酸液供应罐供应的酸液为氢氟酸，所述纯水将供应到工艺槽中的氢氟酸稀释。

11.如权利要求1或9所述的槽式湿法刻蚀装置，其特征在于，所述酸液供应罐的数量大于等于两个时，大于等于两个的所述酸液供应罐通过不同的连接管道与所述工艺槽连通。

12.如权利要求11所述的槽式湿法刻蚀装置，其特征在于，大于等于两个的所述酸液供应罐酸液供应罐用于供应不同类型的酸液。

13.如权利要求11所述的槽式湿法刻蚀装置，其特征在于，大于等于两个的所述酸液供应罐的容量相同或不同。

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