CN211306987U - 一种单线锯金刚线电火花放电硅棒加工装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种单线锯金刚线电火花放电硅棒加工装置，包括基座、设置在基座一端的立柱、以及设置在基座另一端的脉冲电源。所述立柱和脉冲电源之间有平行设置的两个工作台，所述立柱面向所述工作台一侧设有滑板，滑板上设有切割头架。本实用新型通过两个进电轮对金刚线进电，使进电位置距离切割区更近，减小了进电位置与切割区之间的电阻，进而减小了放电回路的电阻，增大放电电流，提高切割效率。

Description

一种单线锯金刚线电火花放电硅棒加工装置

技术领域

本实用新型属于硅棒加工技术领域，具体地说涉及一种单线锯金刚线电火花放电硅棒加工装置。

背景技术

由于半导体的特殊导电性，进电金属与半导体之间会形成接触电阻，接触电阻会降低放电电流，甚至阻碍放电的进行。同时，由于金刚线自身具有切割性能，传统电火花线切割机床所采用的以导电块为线电极进电的方式将使电阻变大，切割时面临困难，同时导电块磨损较快。

实用新型内容

针对现有技术的种种不足，发明人在长期实践中研究设计出一种单线锯金刚线电火花放电硅棒加工装置。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种单线锯金刚线电火花放电硅棒加工装置，包括基座、设置在基座一端的立柱、以及设置在基座另一端的脉冲电源；所述立柱和脉冲电源之间有平行设置的两个工作台；所述立柱面向所述工作台一侧设有滑板，滑板上设有切割头架，切割头架两端底部设有进电棒；所述进电棒底部设有进电轮，所述切割头架两端端部均设有张紧轮，所述切割头架顶部设有动力轮。

进一步地，所述工作台顶部放置一圆弧形进电金属。

进一步地，所述脉冲电源负极处设有负极进电线，负极进电线另一端连接所述进电棒。

进一步地，所述脉冲电源正极处设有正极进电线，正极进电线另一端连接所述进电金属。

进一步地，金刚线套设在所述进电轮、张紧轮和动力轮外。

本实用新型的有益效果是：

通过两个进电轮对金刚线进电，使进电位置距离切割区更近，减小了进电位置与切割区之间的电阻，进而减小了放电回路的电阻，增大放电电流，提高切割效率；同时，通过圆弧形进电金属的设置以及硅棒支撑部位两侧同时进电，可以使接触面积更大，接触电阻更小，进电更均匀；另外，通过滚动方式实现进电，将工具电极与进电部件之间的滑动摩擦变为滚动摩擦，减小了摩擦力，减缓了进电金属的磨损速度，同时也减轻了进电部件对金刚线的磨损。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图。

附图中：1-基座、2-工作台、21-立柱、22-滑板、23-切割头架、3-正极进电线、4-进电金属、5-进电轮、6-进电棒、7-张紧轮、8-动力轮、9-金刚线、10-负极进电线、11-P型硅、12-脉冲电源。

具体实施方式

为了使本领域的人员更好地理解本实用新型的技术方案，下面结合本实用新型的附图，对本实用新型的技术方案进行清楚、完整的描述。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的其它类同实施例，都应当属于本申请保护的范围。此外，以下实施方式中提到的方向用词，例如“上”“下”“左”“右”等仅是参考附图的方向，因此，使用的方向用词是用来说明而非限制本实用新型创造。

下面结合附图和较佳的实施例对本实用新型作进一步说明。

参见图1，本实用新型的一种单线锯金刚线电火花放电硅棒加工装置，包括基座1、设置在基座1一端的立柱21、以及设置在基座1另一端的脉冲电源12。在立柱21和脉冲电源12之间有平行设置的两个工作台2。立柱21面向工作台2一侧设有滑板22，滑板22上设有切割头架23。

两个工作台2顶部设置一圆弧形进电金属4，切割头架两端底部设有进电棒6。在脉冲电源12负极处设有负极进电线10，负极进电线10另一端连接进电棒6。在脉冲电源12正极处设有正极进电线3，正极进电线3另一端连接进电金属4。

在进电棒6底部设有一进电轮5，在切割头架两端端部均设有一张紧轮7，在切割头架顶部设有动力轮8，动力轮8后端连接有驱动电机，为动力轮8提供动力。金刚线9套设在进电轮5、张紧轮7和动力轮8外。

当动力轮8由驱动电机带动开始转动，金刚线9随着动力轮8的转动开始移动，进而带动张紧轮7和进电轮5转动，从而使金刚线作单向或往复运动，切割硅棒。本实施例金刚线最低可达进电金属4处，将硅棒从上到下切断，同时进电金属4为金刚线预留了空间，并不与金刚线直接接触。

本实用新型的硅棒加工装置在使用时，将P型硅放置在圆弧形进电金属4的顶部，并通过固定件将P型硅固定在工作台上，进电金属4通过正极进电线3与脉冲电源12正极连接，进电轮5通过进电棒6与脉冲电源12的负极进电线10连接，金刚线9通过进电轮5进电，从而构成电火花放电回路；当启动驱动电机，动力轮8开始转动，金刚线9作单向或往复运动，通过线锯磨削和电火花放电的方式切割P型硅。

以上已将本实用新型做一详细说明，以上所述，仅为本实用新型之较佳实施例而已，当不能限定本实用新型实施范围，即凡依本申请范围所作均等变化与修饰，皆应仍属本实用新型涵盖范围内。

Claims (5)

1.一种单线锯金刚线电火花放电硅棒加工装置，其特征在于，包括基座(1)、设置在基座(1)一端的立柱(21)、以及设置在基座(1)另一端的脉冲电源(12)；所述立柱(21)和脉冲电源(12)之间有平行设置的两个工作台(2)；所述立柱(21)面向所述工作台(2)一侧设有滑板(22)，滑板(22)上设有切割头架(23)，切割头架(23)两端底部设有进电棒(6)；所述进电棒(6)底部设有进电轮(5)，所述切割头架两端端部均设有张紧轮(7)，所述切割头架顶部设有动力轮(8)。

2.根据权利要求1所述的一种单线锯金刚线电火花放电硅棒加工装置，其特征在于，所述工作台(2)顶部设有圆弧形进电金属(4)。

3.根据权利要求2所述的一种单线锯金刚线电火花放电硅棒加工装置，其特征在于，所述脉冲电源(12)负极处设有负极进电线(10)，负极进电线(10)另一端连接所述进电棒(6)。

4.根据权利要求3所述的一种单线锯金刚线电火花放电硅棒加工装置，其特征在于，所述脉冲电源(12)正极处设有正极进电线(3)，正极进电线(3)另一端连接所述进电金属(4)。

5.根据权利要求4所述的一种单线锯金刚线电火花放电硅棒加工装置，其特征在于，金刚线(9)套设在所述进电轮(5)、张紧轮(7)和动力轮(8)外。

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