CN211276968U - 一种微秒激光加工装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型设计一种微秒激光加工装置，包括Z轴直线电机、准直器支架、准直器、凸透镜支架、凸透镜、X轴直线电机、X轴滑台、立柱、Z轴滑块、微秒激光器、基座、Y轴滑台、Y轴直线电机，其特征是微秒激光器、立柱、Y轴直线电机安装在基座上，由Y轴直线电机控制Y轴滑台在Y轴方向移动，由X轴直线电机控制X轴滑台在X轴方向移动；立柱8上装有Z轴直线电机，由Z轴直线电机控制Z轴滑块在Z轴上运动，激光从微秒激光器中发出，经光纤在准直器中调整为平行光，由凸透镜聚焦，照射到工件上；Z轴直线电机通过控制Z轴滑块在Z轴的上下移动从而控制激光与工件间的离焦量。
Description
技术领域
本实用新型涉及激光加工设备技术领域，具体涉及一种微秒激光加工装置。
背景技术
激光表面微织构技术可用于提高材料表面的硬度、耐磨、耐高温、抗氧化等性能，具有效率高、成本低、无污染、非接触式、尺寸控制精度高等优点。目前，通常采用微秒、皮秒、飞秒等激光对材料表面进行微织构加工，在加工时，由于不同工件厚度不同，且加工不同形貌的织构所需离焦量不同，需要调整工件与凸透镜之间的离焦量。现有的微秒激光加工装置一般为手动控制凸透镜焦点位置在Z轴上移动，操作费时且精度低，影响实验结果。
发明内容
本实用新型目的在于解决上述背景技术中存在的问题，提出一种微秒激光加工装置，加工时可以实现X、Y、Z三轴联动，在加工不同厚度材料的织构和不同形貌的织构时，具有较大加工优势。
本实用新型的技术方案是：
一种微秒激光加工装置，包括Z轴直线电机1、准直器支架2、准直器3、凸透镜支架4、凸透镜5、X轴直线电机6、X轴滑台7、立柱8、Z轴滑块9、微秒激光器10、基座11、Y 轴滑台12、Y轴直线电机13，其特征是微秒激光器10、立柱8、Y轴直线电机13安装在基座11上；Y轴滑台12安装在Y轴直线电机13的动子上，由Y轴直线电机13控制Y轴滑台 12在Y轴方向移动；X轴直线电机6安装在Y轴滑台12上，X轴滑台7安装在X轴直线电机6的动子上，由X轴直线电机6控制X轴滑台7在X轴方向移动；工件装夹在X轴滑台7 上；立柱8上装有Z轴直线电机1，Z轴滑块9安装在Z轴直线电机1的动子上，由Z轴直线电机1控制Z轴滑块9在Z轴上运动，准直器3和凸透镜5分别被准直器支架2和凸透镜支架4安装到Z轴滑块9上，激光从微秒激光器10中发出，经光纤在准直器3中调整为平行光，由凸透镜5聚焦，照射到工件上；Z轴直线电机1通过控制Z轴滑块9在Z轴的上下移动从而控制激光与工件间的离焦量，实现精确调焦。
本实用新型具有以下优点：
(1)结构简单，成本低廉。
(2)精度高，操作、调试简便。
(3)可实现Z向伺服电机调节离焦量。
附图说明
图1为本实用新型的三维结构示意图。
图中，1.Z轴直线电机，2.准直器支架，3.准直器，4.凸透镜支架，5.凸透镜，6.X轴直线电机，7.X轴滑台，8.立柱，9.Z轴滑块，10.微秒激光器，11.基座，12.Y轴滑台，13.Y轴直线电机。
具体实施方式
下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步说明。
如图1所示。
一种微秒激光加工装置，包括Z轴直线电机1、准直器支架2、准直器3、凸透镜支架4、凸透镜5、X轴直线电机6、X轴滑台7、立柱8、Z轴滑块9、微秒激光器10、基座11、Y 轴滑台12、Y轴直线电机13，其特征是微秒激光器10、立柱8、Y轴直线电机13安装在基座11上；Y轴滑台12安装在Y轴直线电机13的动子上，由Y轴直线电机13控制Y轴滑台 12在Y轴方向移动；X轴直线电机6安装在Y轴滑台12上，X轴滑台7安装在X轴直线电机6的动子上，由X轴直线电机6控制X轴滑台7在X轴方向移动；工件装夹在X轴滑台7 上；立柱8上装有Z轴直线电机1，Z轴滑块9安装在Z轴直线电机1的动子上，由Z轴直线电机1控制Z轴滑块9在Z轴上运动，准直器3和凸透镜5分别被准直器支架2和凸透镜支架4安装到Z轴滑块10上，激光从微秒激光器10中发出，经光纤在准直器3中调整为平行光，由凸透镜5聚焦，照射到工件上；Z轴直线电机1通过控制Z轴滑块9在Z轴的上下移动从而控制激光与工件间的离焦量，实现精确调焦。
工作过程：
将加工工件装夹在X轴滑台7上，启动电源，激光从微秒激光器10中发出，经光纤，在准直器3中调整为平行光，通过凸透镜5聚焦后，照射到工件上，Z轴直线电机1调节Z 轴滑块9上下移动，调节工件离焦量。X轴直线电机6控制X轴滑台7在X轴方向移动，Y 轴直线电机13控制Y轴滑台12在Y轴方向移动，从而移动工件，使得激光可以在工件表面加工出符合实验要求的织构。
Claims (1)
1.一种微秒激光加工装置，包括Z轴直线电机(1)、准直器支架(2)、准直器(3)、凸透镜支架(4)、凸透镜(5)、X轴直线电机(6)、X轴滑台(7)、立柱(8)、Z轴滑块(9)、微秒激光器(10)、基座(11)、Y轴滑台(12)、Y轴直线电机(13)，其特征是微秒激光器(10)、立柱(8)、Y轴直线电机(13)安装在基座(11)上；Y轴滑台(12)安装在Y轴直线电机(13)的动子上，由Y轴直线电机(13)控制Y轴滑台(12)在Y轴方向移动；X轴直线电机(6)安装在Y轴滑台(12)上，X轴滑台(7)安装在X轴直线电机(6)的动子上，由X轴直线电机(6)控制X轴滑台(7)在X轴方向移动；工件装夹在X轴滑台(7)上；立柱(8)上装有Z轴直线电机(1)，Z轴滑块(9)安装在Z轴直线电机(1)的动子上，由Z轴直线电机(1)控制Z轴滑块(9)在Z轴上运动，准直器(3)和凸透镜(5)分别被准直器支架(2)和凸透镜支架(4)安装到Z轴滑块(9)上，激光从微秒激光器(10)中发出，经光纤在准直器(3)中调整为平行光，由凸透镜(5)聚焦，照射到工件上；Z轴直线电机(1)通过控制Z轴滑块(9)在Z轴的上下移动从而控制激光与工件间的离焦量，实现精确调焦。
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| CN201921760649.8U CN211276968U (zh) | 2019-10-18 | 2019-10-18 | 一种微秒激光加工装置 |
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Publications (1)
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Family Applications (1)
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2019
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