CN211256080U - 立式镀膜设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了立式镀膜设备，包括真空腔体和电控设备，第二真空室上端的动力装置带动下端的传动杆，传动杆带动侧壁上套接的第一齿轮，第一齿轮与第二齿轮啮合连接，达到电动锁紧第二真空室与第一真空室，第一真空室侧壁开设的密封槽与第二真空室侧壁上安装的密封圈相互匹配，当第二真空室与第一真空室关闭锁紧时，密封圈卡进密封槽，达到密闭效果，且密封圈正面安装了橡胶垫，在原有的密封效果上，再次增加一层密封保护，使真空腔体内部在真空时不会出现漏气现象，当真空腔体内部开始加热时，第二真空室内腔侧壁安装的玻璃纤维为隔热材质，当工人不小心误触到真空腔体外壁时，也不会出现被烫伤的情况，有效的保护工人在工作时的安全。

Description

立式镀膜设备

技术领域

本实用新型涉及镀膜设备技术领域，具体为立式镀膜设备。

背景技术

立式镀膜设备，主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积等很多种。

然而现在大多立式镀膜设备，在镀膜时密封效果不好，传统的镀膜门锁紧时还是靠人工手动锁紧镀膜门。

针对上述密封效果不好和传统的镀膜门锁紧时还是靠人工手动锁紧镀膜门的问题。为此，提出立式镀膜设备。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供立式镀膜设备，通过在第二真空室的上端安装有动力装置，动力装置带动下端的传动杆，传动杆带动侧壁上套接的第一齿轮，第一齿轮与第二齿轮啮合连接，达到电动锁紧镀膜门，从而解决了上述背景中的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：立式镀膜设备，包括真空腔体和电控设备，真空腔体的侧面安装有电控设备，所述真空腔体包括支撑柱、第一真空室、第二真空室、连接件、观察窗、拉手和抽排系统，支撑柱的上端安装有第一真空室和第二真空室，第一真空室和第二真空室的侧面通过连接件连接，第一真空室的正面开设观察窗，第一真空室的正面安装拉手，第二真空室的背面安装有抽排系统，抽排系统的侧面安装有电控设备；

所述电控设备包括电控箱，电源开关、操作屏、温度显示计、压力显示计和线束保护箱，电控箱的正面依次开设电源开关、操作屏、温度显示计、压力显示计和线束保护箱，电控箱的上端安装有线束保护箱。

优选的，所述第二真空室包括操作台、密封圈、紧固柱、玻璃纤维和动力装置，第二真空室的内腔底面安装有操作台，第二真空室侧壁安装有密封圈和紧固柱，第二真空室的内腔侧壁安装有玻璃纤维，第二真空室的上端安装有动力装置。

优选的，所述密封圈的正面安装有橡胶垫。

优选的，所述紧固柱包括螺栓和第二齿轮，螺栓的侧壁套接第二齿轮。

优选的，所述动力装置包括电机、传动杆和第一齿轮，电机的下端安装有传动杆，传动杆的侧壁套接第一齿轮。

优选的，所述第一齿轮与第二齿轮啮合连接。

优选的，所述第一真空室包括螺孔、密封槽和加热装置，第一真空室的侧壁开设螺孔和密封槽，第一真空室的内腔安装有加热装置。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：

1、本实用新型提出的立式镀膜设备，第二真空室上端安装有动力装置，动力装置带动下端的传动杆，传动杆带动侧壁上套接的第一齿轮，第一齿轮与第二齿轮啮合连接，达到电动锁紧第二真空室与第一真空室。

2、本实用新型提出的立式镀膜设备，第一真空室侧壁开设的密封槽与第二真空室侧壁上安装的密封圈相互匹配，当第二真空室与第一真空室关闭锁紧时，密封圈卡进密封槽，达到密闭效果，且密封圈正面安装了橡胶垫，在原有的密封效果上，再次增加一层密封保护，使真空腔体内部在真空时不会出现漏气现象。

3、本实用新型提出的立式镀膜设备，当真空腔体内部开始加热时，第二真空室内腔侧壁安装的玻璃纤维为隔热材质，当工人不小心误触到真空腔体外壁时，也不会出现被烫伤的情况，有效的保护工人在工作时的安全。

附图说明

图1为本实用新型的整体结构示意图；

图2为本实用新型的真空腔体结构示意图；

图3为本实用新型的真空腔体结构内部示意图；

图4为本实用新型的动力装置结构示意图；

图5为本实用新型的电控设备结构示意图。

图中：1、真空腔体；11、支撑柱；12、第一真空室；121、螺孔；122、密封槽；123、加热装置；13、第二真空室；131、操作台；132、密封圈；1321、橡胶垫；133、紧固柱；1331、螺栓；1332、第二齿轮；134、玻璃纤维；135、动力装置；1351、电机；1352、传动杆；1353、第一齿轮；14、连接件；15、观察窗；16、拉手；17、抽排系统；2、电控设备；21、电控箱； 22、电源开关；23、操作屏；24、温度显示计；25、压力显示计；26、线束保护箱。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-4，立式镀膜设备，包括真空腔体1和电控设备2，真空腔体1的侧面安装有电控设备2，真空腔体1包括支撑柱11、第一真空室12，第一真空室12包括螺孔121、密封槽122和加热装置123，第一真空室12的侧壁开设螺孔121和密封槽122，第一真空室12的内腔安装有加热装置123，第一真空室12侧壁开设的密封槽122与第二真空室13侧壁上安装的密封圈132相互匹配，当第二真空室13与第一真空室12关闭锁紧时，密封圈132卡进密封槽122，达到密闭效果，且密封圈132正面安装了橡胶垫1321，在原有的密封效果上，再次增加一层密封保护，使真空腔体1内部在真空时不会出现漏气现象，第二真空室13包括操作台131、密封圈132，密封圈132的正面安装有橡胶垫1321，紧固柱133包括螺栓1331 和第二齿轮1332，螺栓1331的侧壁套接第二齿轮1332，玻璃纤维134和动力装置135，动力装置135包括电机1351、传动杆1352和第一齿轮1353，电机1351的下端安装有传动杆 1352，传动杆1352的侧壁套接第一齿轮1353，第二真空室13上端安装的动力装置135，动力装置135带动下端的传动杆1352，传动杆1352带动侧壁上套接的第一齿轮1353，第一齿轮1353与第二齿轮1332啮合连接，达到电动锁紧第二真空室13与第一真空室12，第二真空室13的内腔底面安装有操作台131，第二真空室13侧壁安装有密封圈132和紧固柱133，第二真空室13的内腔侧壁安装有玻璃纤维134，第二真空室13的上端安装有动力装置135，当真空腔体1内部开始加热时，第二真空室13内腔侧壁安装的玻璃纤维134为隔热材质，当工人不小心误触到真空腔体1外壁时，也不会出现被烫伤的情况，有效的保护工人在工作时的安全，连接件14、观察窗15、拉手16和抽排系统17，支撑柱11的上端安装有第一真空室12和第二真空室13，第一真空室12和第二真空室13的侧面通过连接件14连接，第一真空室12的正面开设观察窗15，第一真空室12的正面安装拉手16，第二真空室13的背面安装有抽排系统17，抽排系统17的侧面安装有电控设备2。

请参阅图5，立式镀膜设备，电控设备2包括电控箱21，电源开关22、操作屏23、温度显示计24、压力显示计25和线束保护箱26，电控箱21的正面依次开设电源开关22、操作屏23、温度显示计24、压力显示计25和线束保护箱26，电控箱21的上端安装有线束保护箱26。

综上所述：本实用新型提供了立式镀膜设备，第二真空室13上端安装有动力装置135，动力装置135带动下端的传动杆1352，传动杆1352带动侧壁上套接的第一齿轮1353，第一齿轮1353与第二齿轮1332啮合连接，达到电动锁紧第二真空室13与第一真空室12，第一真空室12侧壁开设的密封槽122与第二真空室13侧壁上安装的密封圈132相互匹配，当第二真空室13与第一真空室12关闭锁紧时，密封圈132卡进密封槽122，达到密闭效果，且密封圈132正面安装了橡胶垫1321，在原有的密封效果上，再次增加一层密封保护，使真空腔体1内部在真空时不会出现漏气现象，当真空腔体1内部开始加热时，第二真空室13内腔侧壁安装的玻璃纤维134为隔热材质，当工人不小心误触到真空腔体1外壁时，也不会出现被烫伤的情况，有效的保护工人在工作时的安全。

需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含,从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (7)

1.立式镀膜设备，包括真空腔体(1)和电控设备(2)，真空腔体(1)的侧面安装有电控设备(2)，其特征在于：所述真空腔体(1)包括支撑柱(11)、第一真空室(12)、第二真空室(13)、连接件(14)、观察窗(15)、拉手(16)和抽排系统(17)，支撑柱(11)的上端安装有第一真空室(12)和第二真空室(13)，第一真空室(12)和第二真空室(13)的侧面通过连接件(14)连接，第一真空室(12)的正面开设观察窗(15)，第一真空室(12)的正面安装拉手(16)，第二真空室(13)的背面安装有抽排系统(17)，抽排系统(17)的侧面安装有电控设备(2)；

所述电控设备(2)包括电控箱(21)，电源开关(22)、操作屏(23)、温度显示计(24)、压力显示计(25)和线束保护箱(26)，电控箱(21)的正面依次开设电源开关(22)、操作屏(23)、温度显示计(24)、压力显示计(25)和线束保护箱(26)，电控箱(21)的上端安装有线束保护箱(26)。

2.根据权利要求1所述的立式镀膜设备，其特征在于：所述第二真空室(13)包括操作台(131)、密封圈(132)、紧固柱(133)、玻璃纤维(134)和动力装置(135)，第二真空室(13)的内腔底面安装有操作台(131)，第二真空室(13)侧壁安装有密封圈(132)和紧固柱(133)，第二真空室(13)的内腔侧壁安装有玻璃纤维(134)，第二真空室(13)的上端安装有动力装置(135)。

3.根据权利要求2所述的立式镀膜设备，其特征在于：所述密封圈(132)的正面安装有橡胶垫(1321)。

4.根据权利要求2所述的立式镀膜设备，其特征在于：所述紧固柱(133)包括螺栓(1331)和第二齿轮(1332)，螺栓(1331)的侧壁套接第二齿轮(1332)。

5.根据权利要求2所述的立式镀膜设备，其特征在于：所述动力装置(135)包括电机(1351)、传动杆(1352)和第一齿轮(1353)，电机(1351)的下端安装有传动杆(1352)，传动杆(1352)的侧壁套接第一齿轮(1353)。

6.根据权利要求5所述的立式镀膜设备，其特征在于：所述第一齿轮(1353)与第二齿轮(1332)啮合连接。

7.根据权利要求1所述的立式镀膜设备，其特征在于：所述第一真空室(12)包括螺孔(121)、密封槽(122)和加热装置(123)，第一真空室(12)的侧壁开设螺孔(121)和密封槽(122)，第一真空室(12)的内腔安装有加热装置(123)。

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