CN210954603U - 一种纳米压印设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种纳米压印设备，包括腔体，腔体的内腔固定连接有托盘，托盘的顶侧壁装配有基板，腔体的内腔装配有紫外灯罩，紫外灯罩的内腔装配有紫外灯，压板的底侧壁装配有软模具，软模具的底侧壁装配有夹具，紫外灯罩的底侧壁装配有遮光板，遮光板的外侧壁对称固定连接有凹块，凹块的内腔装配有凸块，凸块的外侧壁固定连接有弹簧，弹簧的外侧壁固定连接有侧杆，侧杆的外侧壁与支架固定连接。本实用新型设置一种纳米压印设备，通过弹簧推动凸块，将遮光板进行固定，然后进行纳米压印，该过程在不更换软模具的情况下，仅需更换基板，实现循环操作，而且避免发生溢胶现象，防止造成基板粘在托盘上难以分离。

Description

一种纳米压印设备

技术领域

本实用新型涉及纳米压印技术领域，具体为一种纳米压印设备。

背景技术

纳米压印技术是通过光刻胶辅助，将模板上的微纳结构转移到待加工材料上的技术，纳米压印根据固化方式、压印面积、模板等，可分成热压印、紫外压印、微接触压印、步进压印等，基于此，各种滴胶压印和旋涂设备层出不穷，中国专利201720147545.4公开了一种新型纳米压印设备，该设备中包括托板，托板上设有环形槽与真空泵相接通，使用时基板和环形槽形成密闭空间，通过真空泵将密闭空间中的空气吸出，从而固定基板，但在实际操作中，一旦发生溢胶现象，真空泵打开后会将溢出的胶体吸入环形槽，胶体在环形槽中流动固化，会造成基板粘在托板上难以分离。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种纳米压印设备，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种纳米压印设备，包括腔体，所述腔体的内腔固定连接有托盘，所述托盘的顶侧壁装配有基板，所述腔体的内腔装配有紫外灯罩，所述紫外灯罩的内腔装配有紫外灯，所述腔体的内腔对称固定连接有支架，所述支架的底侧壁固定连接有压板，所述压板的底侧壁装配有软模具，所述软模具的底侧壁装配有夹具，所述紫外灯罩的底侧壁装配有遮光板，所述遮光板的外侧壁对称固定连接有凹块，所述凹块的内腔装配有凸块，所述凸块的外侧壁固定连接有弹簧，所述弹簧的外侧壁固定连接有侧杆，所述侧杆的外侧壁与支架固定连接。

优选的，所述凸块的顶侧壁固定连接有外杆，所述外杆的外侧壁与支架间隙配合。

优选的，所述支架的外侧壁固定连接有加强杆，所述加强杆的顶侧壁与腔体固定连接。

优选的，所述紫外灯罩的内腔对称固定连接有内杆，所述内杆的顶侧壁固定连接有螺纹杆，所述螺纹杆的外侧壁装配有空心块，所述螺纹杆的外侧壁螺纹连接有螺纹块，所述螺纹块的顶侧壁与空心块的相贴合，所述空心块的侧壁与紫外灯固定连接。

优选的，所述腔体的外侧壁装配有套板，所述套板的底侧壁固定连接有螺孔板。

优选的，所述套板的顶侧壁固定连接有套块，所述套块的内腔装配有滚珠，所述滚珠的侧壁与腔体相贴合。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本实用新型设置一种纳米压印设备，通过弹簧推动凸块，将遮光板进行固定，然后进行纳米压印，该过程在不更换软模具的情况下，仅需更换基板，实现循环操作，而且避免发生溢胶现象，防止造成基板粘在托盘上难以分离。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图。

图2为图1中凹块和凸块的结构细节图。

图3为图1中紫外灯罩的结构细节图。

图中：1、腔体，2、托盘，3、基板，4、紫外灯罩，5、紫外灯，6、支架，7、压板，8、软模具，9、夹具，10、遮光板，11、凹块，12、凸块，13、弹簧，14、侧杆，15、外杆，16、加强杆，17、内杆，18、螺纹杆，19、空心块，20、螺纹块，21、套板，22、螺孔板，23、套块，24、滚珠。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-3，本实用新型提供一种技术方案：一种纳米压印设备，包括腔体1，腔体1的内腔固定连接有托盘2，托盘2的顶侧壁装配有基板3，腔体1的内腔装配有紫外灯罩4，紫外灯罩4的内腔装配有紫外灯5，腔体1的内腔对称固定连接有支架6，支架6的底侧壁固定连接有压板7，压板7的底侧壁装配有软模具8，软模具8的底侧壁装配有夹具9，紫外灯罩4的底侧壁装配有遮光板10，遮光板10的外侧壁对称固定连接有凹块11，凹块11的内腔装配有凸块12，凸块12的外侧壁固定连接有弹簧13，弹簧13的外侧壁固定连接有侧杆14，侧杆14的外侧壁与支架6固定连接，将软模具8先通过真空吸附在压板6下方，然后将夹具8通过磁力固定在压板6下方，对软模具8起到夹紧固定作用，将基板3放置在托盘2上，通过真空固定在托盘2中央，滴入光刻胶，根据基板3大小尺寸更换遮光板10，将遮光板10放置在紫外线灯罩4底部，遮光板11中间设有与基板3大小一致的镂空形状，并可随时更换，通过弹簧13推动凸块12，通过凸块12与遮光板10外侧的凹块11扣合，将遮光板10进行固定，固定在支架6上，然后进行纳米压印，打开紫外灯5，紫外线透过遮光板10镂空部分、压板7透明部分、软模具8及夹具9镂空部分，作用在光刻胶上，使其固化，该过程在不更换软模具8的情况下，仅需更换基板3，实现循环操作，而且避免发生溢胶现象，防止造成基板3粘在托盘2上难以分离。

具体而言，凸块12的顶侧壁固定连接有外杆15，外杆15的外侧壁与支架6间隙配合，在弹簧13推动凸块12移动时，外杆15可以在支架6内腔滑动，可以时弹簧13的推动更平稳，避免弹簧13推动时出现偏移，防止影响凸块12与凹块11的扣合固定。

具体而言，支架6的外侧壁固定连接有加强杆16，加强杆16的顶侧壁与腔体1固定连接，加强杆16用来加固支架6与腔体1的连接，可以使整体的连接更牢固。

具体而言，紫外灯罩4的内腔对称固定连接有内杆17，内杆17的顶侧壁固定连接有螺纹杆18，螺纹杆18的外侧壁装配有空心块19，螺纹杆18的外侧壁螺纹连接有螺纹块20，螺纹块20的顶侧壁与空心块19的相贴合，空心块19的侧壁与紫外灯5固定连接，在使用前可以进行转动螺纹块20，通过螺纹的特性，螺纹块20会在螺纹杆18外壁移动，同时进行推动空心块19，可以将紫外灯5的位置进行改变，使缩小照射面积，增大照射强度。

具体而言，腔体1的外侧壁装配有套板21，套板21的底侧壁固定连接有螺孔板22，套块21可以套接在腔体1外壁，可以起到固定功能，同时可以通过螺丝贯穿螺孔板22进行固定，可以使整体的固定效果更好。

具体而言，套板21的顶侧壁固定连接有套块23，套块23的内腔装配有滚珠24，滚珠24的侧壁与腔体1相贴合，在装配套板21时，滚珠24可以在套块23内腔转动，可以使套板21的装配更流畅，避免装配套板21与腔体1产生磨损。

工作原理：将软模具8先通过真空吸附在压板6下方，滴入光刻胶，根据基板3大小尺寸更换遮光板10，通过弹簧13推动凸块12，将遮光板10进行固定，然后进行纳米压印，打开紫外灯5，紫外线透过遮光板10镂空部分、压板7透明部分、软模具8及夹具9镂空部分，作用在光刻胶上，使其固化，该过程在不更换软模具8的情况下，仅需更换基板3，实现循环操作，而且避免发生溢胶现象，防止造成基板3粘在托盘2上难以分离。

对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。

Claims (6)

1.一种纳米压印设备，包括腔体(1)，其特征在于：所述腔体(1)的内腔固定连接有托盘(2)，所述托盘(2)的顶侧壁装配有基板(3)，所述腔体(1)的内腔装配有紫外灯罩(4)，所述紫外灯罩(4)的内腔装配有紫外灯(5)，所述腔体(1)的内腔对称固定连接有支架(6)，所述支架(6)的底侧壁固定连接有压板(7)，所述压板(7)的底侧壁装配有软模具(8)，所述软模具(8)的底侧壁装配有夹具(9)，所述紫外灯罩(4)的底侧壁装配有遮光板(10)，所述遮光板(10)的外侧壁对称固定连接有凹块(11)，所述凹块(11)的内腔装配有凸块(12)，所述凸块(12)的外侧壁固定连接有弹簧(13)，所述弹簧(13)的外侧壁固定连接有侧杆(14)，所述侧杆(14)的外侧壁与支架(6)固定连接。

2.根据权利要求1所述的一种纳米压印设备，其特征在于：所述凸块(12)的顶侧壁固定连接有外杆(15)，所述外杆(15)的外侧壁与支架(6)间隙配合。

3.根据权利要求1所述的一种纳米压印设备，其特征在于：所述支架(6)的外侧壁固定连接有加强杆(16)，所述加强杆(16)的顶侧壁与腔体(1)固定连接。

4.根据权利要求1所述的一种纳米压印设备，其特征在于：所述紫外灯罩(4)的内腔对称固定连接有内杆(17)，所述内杆(17)的顶侧壁固定连接有螺纹杆(18)，所述螺纹杆(18)的外侧壁装配有空心块(19)，所述螺纹杆(18)的外侧壁螺纹连接有螺纹块(20)，所述螺纹块(20)的顶侧壁与空心块(19)的相贴合，所述空心块(19)的侧壁与紫外灯(5)固定连接。

5.根据权利要求1所述的一种纳米压印设备，其特征在于：所述腔体(1)的外侧壁装配有套板(21)，所述套板(21)的底侧壁固定连接有螺孔板(22)。

6.根据权利要求5所述的一种纳米压印设备，其特征在于：所述套板(21)的顶侧壁固定连接有套块(23)，所述套块(23)的内腔装配有滚珠(24)，所述滚珠(24)的侧壁与腔体(1)相贴合。

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