CN210918649U - 一种具有垂直升降功能的自动开关门装置 - Google Patents

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张爽
魏猛
郭聪
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Shenyang Xinda Semiconductor Equipment Co ltd
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Abstract

本实用新型公开一种具有垂直升降功能的自动开关门装置,轴承c利用转轴c与轴承固定块连接,轴承a直接或间接与轴承c连接固定,气缸或电缸与轴承固定块分别安装在连接板的相应位置,连接板与气动滑台或电动滑台的滑块连接固定,气动滑台或电动滑台安装在门框组件相应位置,连接杆通过转轴a和转轴b分别与轴承a和轴承b相连接,轴承b与气缸或电缸活动杆相连,门板安装于连接杆上,通过气缸或电缸活动杆的伸缩运动及轴承a、b、c的联动配合,来实现门板的开关动作,之后通过气动滑台或电动滑台的滑块上下运动,实现门板垂直升降的功能。

Description

一种具有垂直升降功能的自动开关门装置
技术领域
本实用新型涉及半导体设备中物料进出需要自动开关门,特别涉及一种具有垂直升降功能的自动开关门装置。
背景技术
在半导体设备中,有物料进出的部位,需要设置供物料进出的通道,公知的半导体设备中,物料进出部位的通道,一种是完全敞开式,一种是带有平行开关门装置,敞开式的通道不能满足半导体设备洁净度的要求,而带有平行开关门装置,占用空间较大,结构繁琐。
实用新型内容
为解决上述技术问题,本实用新型的目的是提供一种具有垂直升降功能的自动开关门装置,具体技术方案如下:
一种具有垂直升降功能的自动开关门装置,包括门板、连接杆、气动滑台或电动滑台、轴承a、轴承b、轴承c、轴承固定块,气缸或电缸和连接板;
所述轴承c通过转轴c与轴承固定块相连接;
轴承a与轴承c直接连接固定或通过部件间接连接固定。
所述连接板可任意形状,气缸或电缸与轴承固定块分别固定在连接板上下两端;
所述轴承b通过转轴b与连接杆相连;
所述轴承a通过转轴a与连接杆相连;
所述气缸或电缸活动杆与轴承b连接;
所述连接板与设置在所述气动滑台或电动滑台上的滑块连接固定;
所述气动滑台或电动滑台固定在门框组件上;
所述门板安装在连接板上;
所述门板组件开有供物料进出的通道口。
所述的一种具有垂直升降功能的自动开关门装置,其优选方案为与轴承固定块连接的轴承c数量可以任意选择,轴承c数量为一个时,可布置在轴承固定块的任意一侧,轴承c的数量为两个时,布置在轴承固定块的两侧,轴承c可以是任意结构。
所述的一种具有垂直升降功能的自动开关门装置,其优选方案为所述的轴承c与轴承固定块的连接方式为通过转轴C铰接的形式连接,或通过任意种形式连接。
所述的一种具有垂直升降功能的自动开关门装置,其优选方案为气缸或电缸中的气缸具有接气口a和接气口b,电缸无接气口。
气缸或电缸活动杆具有伸缩功能,且活动杆可以为杆状或板状。
所述的一种具有垂直升降功能的自动开关门装置,其优选方案为所述气动滑台或电动滑台中的气动滑台具有接气口c和接气口d,电动滑台无接气口。
所述的一种具有垂直升降功能的自动开关门装置,其优选方案为连接杆通过转轴a或其他任意方式与轴承a连接,连接杆通过转轴b 或任意方式与轴承b连接。
一种具有垂直升降功能的自动开关门装置的工作原理:该装置初始状态为气缸或电缸活动杆处于伸出状态,气动滑台或电动滑台的滑块处于气动滑台的上限位处,通过轴承a,轴承b和轴承c与连接杆的互相作用,使连接杆带动门板处于门框组件的通道口处,即物料进出通道口处于封闭状态,当门板需要打开时,气缸或电缸活动杆做回缩运动,此时门板以特定角度打开,然后气动滑台或电动滑台的滑块向下运动,带动门板同时向下运动,从而使通道口敞开。
本实用新型的有益效果:本实用新型结构简单,节约成本。通过气缸或电缸活动杆做伸缩运动,带动门板以特定角度打开或者关闭,再经过气动滑台或电动滑台滑块的上下运动,带动门板上升或下降。该装置配合巧妙,结构简单,易于实现,并能节省空间。因此采用此结构具有重大的社会效益和经济效益。
附图说明
图1为一种具有垂直升降功能的自动开关门装置前视图;
图2为一种具有垂直升降功能的自动开关门装置侧视图(通道口关闭);
图3为一种具有垂直升降功能的自动开关门装置后视图;
图4为门板以特定角度打开状态;
图5为门板打开后下降到滑块下限位的状态(通道口打开)。
图中,1为门板,2为连接杆,3为轴承a,4为接气口c,5为转轴a,6为连接板,7为转轴b,8为轴承b,9为气动滑台或电动滑台,10为接气口d,11为滑块,12为轴承固定块,13为轴承c,14 为转轴c,15为接气口a,16为接气口b,17为气缸或电缸,18为气缸或电缸活动杆,19为门框组件,20为通道口。
具体实施方式
如图1-5所示一种具有垂直升降功能的自动开关门装置,包括门板1、连接杆2、气动滑台或电动滑台9、轴承a3、轴承b8、轴承c13、轴承固定块12,气缸或电缸17和连接板6;
所述轴承c13通过转轴c14与轴承固定块相连接;
轴承a3与轴承c13直接连接固定或通过其件间接连接固定。
所述连接板6可任意形状,气缸或电缸17与轴承固定块12分别固定在连接板6上下两端;
所述轴承b8通过转轴b7与连接杆2相连;
所述轴承a3通过转轴a5与连接杆2相连;
所述气缸或电缸活动杆18与轴承b8连接;
所述连接板6与设置在所述气动滑台或电动滑台9上的滑块11 连接固定;
所述气动滑台或电动滑台9固定在门框组件19上;
所述门板1安装在连接板6上;
所述门板组件19开有供物料进出的通道口20。
与轴承固定块12连接的轴承c13数量可以任意选择,轴承c13 数量为一个时,可布置在轴承固定块12的任意一侧,轴承c13的数量为两个时,布置在轴承固定块12的两侧,轴承c13可以是任意结构。
所述的轴承c13与轴承固定块12的连接方式为通过转轴C14铰接的形式连接,或通过任意种形式连接。
气缸或电缸17中的气缸具有接气口a15和接气口b16,电缸无接气口。
气缸或电缸活动杆18具有伸缩功能,且活动杆可以为杆状或板状或形式。
所述气动滑台或电动滑台9中的气动滑台具有接气口c4和接气口 d10,电动滑台无接气口。
连接杆2通过转轴a5或其他任意方式与轴承a3连接,连接杆2 通过转轴b7或其他任意方式与轴承b8连接。
该装置的初始状态如图1,图2,图3所示,气动滑台或电动滑台9的滑块处于上限位,气缸或电缸的活动杆处于伸出状态。此时,门板1处于门框组件19的通道口处,将通道口封闭。当有物料进出,需要打开通道口时,首先,气缸或电缸活动杆通过气控或电控做回缩运动,通过连接杆2与轴承a3的回转运动、轴承固定块12与轴承c13 的回转运动、连接杆2与轴承8的回转运动,三种回转运动的联动,使连接杆2带动门板1以特定的角度离开门框组件19,如图4所示。然后气动滑台或电动滑台9的滑块11通过气控或电动从初始的上限位,向下运动,运动到下限位为止,滑块11的向下运动过程中,带动连接板6、连接杆2及门板1等一系列部件同时向下运动,进而将门板组件19的通道口20打开,供物料进出使用,如图5所示。同理,当需要关闭通道口时,滑块11带动连接板6、连接杆2及门板1等一系列部件同时向上运动,到达上限位,然后气缸或电缸活动杆18 通过气控或电控做伸出运动,通过连接杆2与轴承a3的回转运动、轴承固定块12与轴承c13的回转运动、连接杆2与轴承8的回转运动,三种回转运动的联动,使连接杆2带动门板1以特定运动路线运动到门框组件19的通道口20处,如图4所示,此时将通道口20封闭,回到初始状态。

Claims (6)

1.一种具有垂直升降功能的自动开关门装置,其特征在于:包括门板、连接杆、气动滑台或电动滑台、轴承a、轴承b、轴承c、轴承固定块,气缸或电缸和连接板;
所述轴承c通过转轴c与轴承固定块相连接;
轴承a与轴承c直接连接固定或通过部件间接连接固定;
所述连接板可任意形状,气缸或电缸与轴承固定块分别固定在连接板上下两端;
所述轴承b通过转轴b与连接杆相连;
所述轴承a通过转轴a与连接杆相连;
所述气缸或电缸活动杆与轴承b连接;
所述连接板与设置在所述气动滑台或电动滑台上的滑块连接固定;
所述气动滑台或电动滑台固定在门框组件上;
所述门板安装在连接板上;
所述门板组件开有供物料进出的通道口。
2.如权利要求1所述的一种具有垂直升降功能的自动开关门装置,其特征在于:与轴承固定块连接的轴承c数量可以任意选择,轴承c数量为一个时,可布置在轴承固定块的任意一侧,轴承c的数量为两个时,布置在轴承固定块的两侧,轴承c可以是任意结构。
3.如权利要求1所述的一种具有垂直升降功能的自动开关门装置,其特征在于:所述的轴承c与轴承固定块的连接方式为通过转轴C铰接的形式连接,或通过任意种形式连接。
4.如权利要求1所述的一种具有垂直升降功能的自动开关门装置,其特征在于:气缸或电缸中的气缸具有接气口a和接气口b,电缸无接气口;
气缸或电缸活动杆具有伸缩功能,且活动杆可以为杆状或板状。
5.如权利要求1所述的一种具有垂直升降功能的自动开关门装置,其特征在于:所述气动滑台或电动滑台中的气动滑台具有接气口c和接气口d,电动滑台无接气口。
6.如权利要求1所述的一种具有垂直升降功能的自动开关门装置,其特征在于:连接杆通过转轴a与轴承a连接,连接杆通过转轴b与轴承b连接。
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