CN210837652U - 激光退火光路模组及退火装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供了一种激光退火光路模组，包括底座、第一调整支架、第二调整支架、第一调整框架、第二调整框架、镜框、透镜和反射镜；透镜安装于镜框内，镜框竖向可调节地设于第一调整框架内；第一调整框架安装于第一调整支架上，第一调整框架能够可调节地绕第一轴和第二轴转动，第一调整支架安装于底座上；反射镜安装于第二调整框架内，第二调整框架安装于第二调整支架上，第二调整框架能够可调节地绕第三轴和第四轴转动，第二调整支架安装于底座上；本实用新型还提供了一种退火装置，包括上述方案述及的激光退火光路模组。本实用新型提供的激光退火光路模组及退火装置，能实现对透镜和反射镜的多自由度调节，调节精度高。

Description

激光退火光路模组及退火装置

技术领域

本实用新型属于激光退火技术领域，更具体地说，是涉及一种激光退火光路模组及退火装置。

背景技术

退火是一种材料热处理工艺，指的是将材料缓慢加热到一定温度，保持足够时间，然后以适宜速度冷却。退火的目的是降低材料的硬度，改善切削加工性；降低残余应力，稳定尺寸，减少变形与裂纹倾向；细化晶粒，调整组织，消除组织缺陷。

随着集成电路的发展，对其损伤区、电学参数恢复程度以及注入离子电激活率的要求也越来越高。常规的热退火方法不能完全消除缺陷，对高剂量注入晶片的电激活率不够高，还会产生二次缺陷，并且在热退火过程中，整个晶片(包括注入层和衬底)都要经受一次高温处理，增加了表面污染，特别是高温长时间的热退火会导致明显的杂质再分布，破坏粒子注入技术固有的优点，限制了其在VLSI中的应用。

激光退火主要是利用高能量密度的激光束辐照退火材料表面，从而引起被照区域的温度突然升高，达到退火效果；激光束的能量密度、材料的吸收系数、热传导系数、反射系数和注入层的厚度都会影响激光退火的效果。激光退火的退火区域受热时间非常短，因而损伤区中杂质几乎不扩散，衬底材料中的少数载流子寿命及其它电学参数基本不受影响，退火效果好。激光退火能对材料的局部退火；通过选择激光的波长和能量密度，可在注入深度上和横截面上进行不同的退火过程，因而可以在同一硅片上制造出不同结深或者不同击穿电压的器件。

现有技术中的激光退火设备在对待退火产品进行退火时，反射镜和透镜只能在一个或两个方向上调节，导致透镜不能精确聚焦或扩束，反射镜不能精确地将激光器发射的激光反射至透镜或产品的待退火区域，调节精度低，影响了产品的退火质量；在透镜对激光进行多次调节及反射镜对激光的多次反射中，延长了激光光路，增大了退火设备的体积，增大了退火设备的占地面积。

实用新型内容

本实用新型的目的之一在于提供一种激光退火光路模组，以解决现有技术中存在的激光调节精度低的技术问题。

为实现上述目的，本实用新型采用的技术方案是：提供一种激光退火光路模组，包括底座、第一调整支架、第二调整支架、第一调整框架、第二调整框架、镜框、透镜和反射镜；

所述透镜安装于所述镜框内，所述镜框竖向可调节地设于所述第一调整框架内；所述第一调整框架安装于所述第一调整支架上，所述第一调整框架能够可调节地绕第一轴和第二轴转动，所述第一轴与所述第二轴垂直，所述第一调整支架安装于所述底座上；

所述反射镜安装于所述第二调整框架内，所述第二调整框架安装于所述第二调整支架上，所述第二调整框架能够可调节地绕第三轴和第四轴转动，所述第三轴和所述第四轴垂直，所述第二调整支架安装于所述底座上；

所述透镜和所述反射镜用于将激光器发射的激光导向待退火产品。

进一步地，所述第一调整支架上设有第一调节孔、第二调节孔、第一定位孔和多个第一连接孔，所有所述第一连接孔分布于所述第一轴和所述第二轴上，所述第一定位孔设于所述第一轴与所述第二轴的相交处；

所述第一调整框架上设有竖向延伸的调距孔和与所述第一连接孔对应的第二连接孔，所述第一调整支架和所述第一调整框架通过穿设于所述第一连接孔和所述第二连接孔内的第一固定螺丝连接，所述第一固定螺丝上套设有第一弹簧，所述第一弹簧用于带动所述第一调整支架靠近所述第一调整框架；

所述第一调节孔内穿设有用于抵接所述第一调整框架的第一调节顶丝，所述第二调节孔内穿设有用于抵接所述第一调整框架的第二调节顶丝，所述第一定位孔内穿设有用于抵接所述第一调整框架的第一定位顶丝，所述调距孔内穿设有用于抵接所述镜框的竖向调节顶丝。

进一步地，所述第一调整框架上设有与所述第一调节孔对应的第一盲孔、与所述第二调节孔对应的第二盲孔和与所述第一定位孔对应的第二定位孔；

所述第一调节顶丝伸入所述第一盲孔，所述第二调节顶丝伸入所述第二盲孔，所述第一定位顶丝伸入所述第二定位孔。

进一步地，所述第一调整支架包括第一支撑板和安装于所述底座上的第一支座，所述第一支撑板上设有第一安装孔，所述第一支撑板与所述第一支座通过穿设于所述第一安装孔和所述第一支座的第一紧固螺丝连接，处于拧松状态的所述第一紧固螺丝能够沿第一水平方向滑动；

所述第一调整框架安装于所述第一支撑板上。

进一步地，所述第一支座上设有第二安装孔，所述第一支座和所述底座通过穿设于所述第二安装孔和所述底座的第二紧固螺丝连接，处于拧松状态的所述第二紧固螺丝能够沿第二水平方向滑动；

所述第一水平方向与所述第二水平方向垂直。

进一步地，所述第二调整支架上设有第三调节孔、第四调节孔、第三定位孔和多个第三连接孔，所有所述第三连接孔分布于所述第三轴和所述第四轴上，所述第三定位孔设于所述第三轴与所述第四轴的相交处；

所述第二调整框架上与所述第三连接孔对应的第四连接孔，所述第二调整支架和所述第二调整框架通过穿设于所述第三连接孔和所述第四连接孔内的第二固定螺丝连接，所述第二固定螺丝上套设有第二弹簧，所述第二弹簧用于带动所述第二调整支架靠近所述第二调整框架；

所述第三调节孔内穿设有用于抵接所述第二调整框架的第三调节顶丝，所述第四调节孔内穿设有用于抵接所述第二调整框架的第四调节顶丝，所述第三定位孔内穿设有用于抵接所述第二调整框架的第二定位顶丝。

进一步地，所述底座上设有通光孔，所述第二调整支架设有多个；

所述第二调整支架包括安装板和安装于所述底座上的第二支撑板，部分所述第二调整支架中安装板竖向安装于所述第二支撑板上，以使位于其上的所述反射镜将所述激光器发射的激光反射于所述底座的同侧；余下所述第二调整支架中安装板倾斜安装于所述第二支撑板上，以使位于其上的所述反射镜将所述激光器发射的激光通过所述通光孔反射于所述底座的另一侧；

所述第二调整框架安装于所述安装板上，所述第二支撑板与所述安装板一一对应。

进一步地，所述第二调整框架设有多个，部分所述第二调整框架为竖直调整框架，余下所述第二调整框架为倾斜调整框架；

所述竖直调整框架用于安装所述反射镜的安装面与用于安装所述竖直调整框架的所述安装板的安装面相交；所述倾斜调整框架用于安装所述反射镜的安装面与用于安装所述倾斜调整框架的所述安装板的安装面平行。

进一步地，所述第二支撑板上设有第三安装孔，所述第二支撑板和底座通过穿设于所述第三安装孔和所述底座的第三紧固螺丝连接，处于拧松状态的所述第三紧固螺丝能够沿第三水平方向滑动。

本实用新型提供的激光退火光路模组的有益效果在于：与现有技术相比，本实用新型激光退火光路模组，用于安装透镜的镜框竖向可调地设于第一调整框架内，第一调整框架还能可调节地绕第一轴和第二轴转动，第一轴和第二轴垂直，以便通过竖向直线调节和转动调节的配合，对透镜进行三自由度调节，以提高对透镜的调节精度；用于安装反射镜的第二调整框架能可调节地绕第三轴和第四轴转动，第三轴和第四轴垂直，通过调节第二调整框架的转动，以提高反射镜的调节精度；通过提高透镜和反射镜的调节精度，以提高对激光的调节精度。

本实用新型的目的之二在于提供一种退火装置，以解决现有技术中存在的退火装置体积大的技术问题。

为实现上述目的，本实用新型采用的技术方案是：提供一种退火装置，包括退火平台、用于发射激光的激光器和上述任一技术方案述及的激光退火光路模组，所述反射镜和所述透镜均位于所述底座的上方，所述退火平台位于所述底座的下方，所述退火平台用于放置待退火产品。

本实用新型提供的退火装置的有益效果在于：与现有技术相比，本实用新型退火装置通过对反射镜和透镜的多自由度调节，提高了激光的调节精度，以便激光能精确地照射于退火平台上，用于对退火平台上的待退火产品进行精确退火；反射镜和透镜位于底座的上方，退火平台位于底座的下方，缩短了底座上方的光路，以便减小退火装置的体积，同时增大了退火平台用于放置待退火产品的空间，避免了第一调整支架、第二调整支架、第一调整框架等机构干涉在退火平台上放置待退火产品。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型实施例提供的激光退火光路模组的结构示意图；

图2为图1中第一调整支架和第一调整框架用于安装透镜的结构示意图；

图3为图2中第一调整支架的结构示意图；

图4为图2中第一调整框架的结构示意图；

图5为图1中第二调整支架和第二调整框架用于安装反射镜的结构示意图一；

图6为图1中第二调整支架和第二调整框架用于安装反射镜的结构示意图二。

其中，图中各附图标记：

1、底座；11、通光孔；2、第一调整支架；21、第一支撑板；211、第一调节孔；212、第二调节孔；213、第一定位孔；214、第一连接孔；215、第一安装孔；22、第一支座；221、第二安装孔；3、第一调整框架；31、第一盲孔；32、第二盲孔；33、第二定位孔；34、第二连接孔；35、调距孔；4、第二调整支架；41、安装板；411、第三调节孔；412、第四调节孔；413、第三定位孔；414、第三连接孔；42、第二支撑板；5、第二调整框架；51、竖直调整框架；52、倾斜调整框架；6、镜框；7、透镜；8、反射镜；9、退火平台；10、产品。

具体实施方式

为了使本实用新型所要解决的技术问题、技术方案及有益效果更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。

需要说明的是，当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者间接在该另一个元件上。当一个元件被称为是“连接于”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或间接连接至该另一个元件上。

需要理解的是，术语“长度”、“宽度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。

请参阅图1、图2及图5，现对本实用新型提供的激光退火光路模组进行说明。激光退火光路模组，包括底座1、第一调整支架2、第二调整支架4、第一调整框架3、第二调整框架5、镜框6、透镜7和反射镜8；

透镜7安装于镜框6内，镜框6竖向可调节地设于第一调整框架3内；第一调整框架3安装于第一调整支架2上，第一调整框架3能够可调节地绕第一轴和第二轴转动，第一轴与第二轴垂直，第一调整支架2安装于底座1上；

反射镜8安装于第二调整框架5内，第二调整框架5安装于第二调整支架4上，第二调整框架5能够可调节地绕第三轴和第四轴转动，第三轴和第四轴垂直，第二调整支架4安装于底座1上；

透镜7和反射镜8用于将激光器发射的激光导向待退火产品10。

本实用新型提供的激光退火光路模组，与现有技术相比，用于安装透镜7的镜框6竖向可调地设于第一调整框架3内，第一调整框架3还能可调节地绕第一轴和第二轴转动，第一轴和第二轴垂直，以便通过竖向直线调节和转动调节的配合，对透镜7进行三自由度调节，以提高对透镜7的调节精度；用于安装反射镜8的第二调整框架5能可调节地绕第三轴和第四轴转动，第三轴和第四轴垂直，通过调节第二调整框架5的转动，以提高反射镜8的调节精度；通过提高透镜7和反射镜8的调节精度，以提高对激光的调节精度。

进一步地，请参阅图2至图4，作为本实用新型提供的激光退火光路模组的一种具体实施方式，第一调整支架2上设有第一调节孔211、第二调节孔212、第一定位孔213和多个第一连接孔214，所有第一连接孔214分布于第一轴和第二轴上，第一定位孔213设于第一轴与第二轴的相交处。

第一调整框架3上设有竖向延伸的调距孔35和与第一连接孔214对应的第二连接孔34，第一调整支架2和第一调整框架3通过穿设于第一连接孔214和第二连接孔34内的第一固定螺丝连接，第一固定螺丝上套设有第一弹簧，第一弹簧用于带动第一调整支架2靠近第一调整框架3。

第一调节孔211内穿设有用于抵接第一调整框架3的第一调节顶丝，第二调节孔212内穿设有用于抵接第一调整框架3的第二调节顶丝，第一定位孔213内穿设有用于抵接第一调整框架3的第一定位顶丝，调距孔35内穿设有用于抵接镜框6的竖向调节顶丝。

在调节第一调整框架3绕第一轴或第二轴转动之前，先拧松第一固定螺丝，以减小套设于第一固定螺丝上的第一弹簧的弹力，使得第一调整框架3具有一定的转动余量，避免第一弹簧弹力过大而无法调节第一调节顶丝或第二调节顶丝；通过拧动第一调节顶丝，使得第一调整框架3以第一定位顶丝为基点绕第一轴转动，通过拧动第二调节顶丝，使得第一调整框架3以第一定位顶丝为基点绕第二轴转动，通过拧动竖向调节顶丝，使得镜框6沿竖向直线运动，从而实现对透镜7的三自由度调节；多个第一固定螺丝能将第一调整支架2与第一调整框架3连接的更牢固、稳定，同时还能提高第一调整框架3的转动精度。

进一步地，请参阅图2至图4，作为本实用新型提供的激光退火光路模组的一种具体实施方式，第一调整框架3上设有与第一调节孔211对应的第一盲孔31、与第二调节孔212对应的第二盲孔32和与第一定位孔213对应的第二定位孔33；第一调节顶丝伸入第一盲孔31，第二调节顶丝伸入第二盲孔32，第一定位顶丝伸入第二定位孔33。第一盲孔31能限制第一调节顶丝在竖向平面内的移动范围，第二盲孔32能限制第二调节顶丝在竖向平面内的移动范围，第二定位孔33能限制第一定位顶丝在竖向平面内的移动范围，从而使得第一调整支架2与第一调整框架3的连接更加稳定。

具体地，第一调节顶丝能在第一盲孔31内竖向移动，第二调节顶丝能在第二盲孔32内沿第一轴移动，以为第一调整框架3提供转动余量，避免第一调节顶丝卡死于第一盲孔31或第二顶丝卡死于第二盲孔32内，而使得第一调整框架3不能转动。

具体地，请参阅图4，第一盲孔31为腰形孔，第二盲孔32为直径大于第二调节顶丝的圆孔，第二盲孔32能补偿第一调整框架3与第一调整支架2之间的装配误差，避免第一调整框架3卡死不能转动。

进一步地，请参阅图2及图3，作为本实用新型提供的激光退火光路模组的一种具体实施方式，第一调整支架2包括第一支撑板21和安装于底座1上的第一支座22，第一支撑板21上设有第一安装孔215，第一支撑板21与第一支座22通过穿设于第一安装孔215和第一支座22的第一紧固螺丝连接，处于拧松状态的第一紧固螺丝能够沿第一水平方向滑动；第一调整框架3安装于第一支撑板21上。通过调节第一支撑板21的在第一水平方向上的位置，使得第一紧固螺丝在第一安装孔215内滑动，以调节第一支撑板21在第一水平方向的位置，从而形成对透镜7的四自由度调节，提高透镜7的调节精度。

进一步地，请参阅图2，作为本实用新型提供的激光退火光路模组的一种具体实施方式，第一支座22上设有第二安装孔221，第一支座22和底座1通过穿设于第二安装孔221和底座1的第二紧固螺丝连接，处于拧松状态的第二紧固螺丝能够沿第二水平方向滑动；第一水平方向与第二水平方向垂直。通过调节第一支座22在第二水平方向的位置，使得第二紧固螺丝在第二安装孔221内滑动，以调节第一支座22在第二水平方向的位置，从而形成对透镜7的五自由度调节，提高透镜7的调节精度。

具体地，第一安装孔215和第二安装孔221均为腰形孔。

进一步地，请参阅图1、图5及图6，作为本实用新型提供的激光退火光路模组的一种具体实施方式，第二调整支架4上设有第三调节孔411、第四调节孔412、第三定位孔413和多个第三连接孔414，所有第三连接孔414设于第三轴和第四轴上，第三定位孔413设于多个第三连接孔414之间。

第二调整框架5上与第三连接孔414对应的第四连接孔，第二调整支架4和第二调整框架5通过穿设于第三连接孔414和第四连接孔内的第二固定螺丝连接，第二固定螺丝上套设有第二弹簧，第二弹簧用于带动第二调整支架4靠近第二调整框架5。

第三调节孔411内穿设有用于抵接第二调整框架5的第三调节顶丝，第四调节孔412内穿设有用于抵接第二调整框架5的第四调节顶丝，第三定位孔413内穿设有用于抵接第二调整框架5的第二定位顶丝。

在调节第二调整框架5绕第三轴或第四轴转动之前，先拧松第二固定螺丝，以减小套设于第二固定螺丝上的第二弹簧的弹力，使得第二调整框架5具有一定的转动余量，避免第二弹簧弹力过大而无法调节第三调节顶丝或第四调节顶丝；通过拧动第三调节顶丝，使得第二调整框架5以第二定位顶丝为基点绕第三轴转动，通过拧动第四调节顶丝，使得第二调整框架5以第二定位顶丝为基点绕第四轴转动，从而实现对反射镜8的两自由度调节；多个第二固定螺丝能将第二调整支架4与第二调整框架5连接的更牢固、稳定，同时还能提高第一调整框架3的转动精度。

具体地，第二调整框架5上设有与第三调节孔411对应的第三盲孔、与第四调节孔412对应的第四盲孔和与第三定位孔413对应的第四定位孔；第三调节顶丝伸入第三盲孔内，第四调节顶丝伸入第四盲孔内，以使得第二调整支架4与第二调节框架连接的更稳定。

进一步地，请参阅图1、图5及图6，作为本实用新型提供的激光退火光路模组的一种具体实施方式，底座1上设有通光孔11，第二调整支架4设有多个；

第二调整支架4包括安装板41和安装于底座1上的第二支撑板42，部分第二调整支架4中安装板41竖向安装于第二支撑板42上，以使位于其上的反射镜8将激光器发射的激光反射于底座1的同侧；余下第二调整支架4中安装板41倾斜安装于第二支撑板42上，以使位于其上的反射镜8将激光器发射的激光通过通光孔11反射于底座1的另一侧；第二调整框架5安装于安装板41上，第二支撑板42与安装板41一一对应。

安装板41竖向安装于第二支撑板42上，能使位于其上的反射镜8将激光器发射的激光在反射镜8反射前后均位于底座1的同侧，便于第一调整支架2和第二调整支架4的安装，方便调节激光；安装板41斜向安装于第二支撑板42上，能使位置其上的反射镜8将激光器发射的激光在反射镜8反射前后位于底座1的异侧，该反射镜8能将激光反射于通光孔11内，使得激光通过通光孔11从底座1的一侧到达另一侧，以缩短底座1的一侧的光路的目的。

进一步地，请参阅图5及图6，作为本实用新型提供的激光退火光路模组的一种具体实施方式，第二调整框架5设有多个，部分所述第二调整框架5为竖直调整框架51，余下所述第二调整框架5为倾斜调整框架52。

竖直调整框架51用于安装反射镜8的安装面与用于安装竖直调整框架51的安装板41的安装面相交；倾斜调整框架52用于安装反射镜8的安装面与用于安装倾斜调整框架52的安装板41的安装面平行。竖直调整框架51能使得第二支撑板42的安装角度更灵活，倾斜调整框架52的结构相对于竖直调整框架51更简单。

具体地，竖直调整框架51内的反射镜8能使得激光被反射前后均位于底座1的同侧，倾斜调整框架52能将激光反射至通光孔11内，以便将激光从底座1的一侧反射至底座1的另一侧。

进一步地，作为本实用新型提供的激光退火光路模组的一种具体实施方式，第二支撑板42上设有第三安装孔，第二支撑板42和底座1通过穿设于第三安装孔和底座1的第三紧固螺丝连接，处于拧松状态的第三紧固螺丝能够沿第三水平方向滑动。通过调整第二支撑板42在第三水平方向上的位置，使得第三紧固螺丝在第三安装孔内滑动，以调节第二支撑板42在第三水平方向上的位置，从而形成反射镜8的三自由的调节，提高反射镜8的调节精度。

具体地，第三安装孔为腰形孔。

具体地，第一调节孔211、第二调节孔212、第一定位孔213、第二连接孔34、调距孔35、第三调节孔411、第四调节孔412、第三定位孔413、第四连接孔均为螺纹孔，第一连接孔214、第一盲孔31、第二盲孔32、第二定位孔33、第三连接孔414、第三盲孔、第四盲孔、第四定位孔、第一安装孔215、第二安装孔221和第三安装孔均为光孔。

请参阅图1，反射镜8每次反射的入射光与反射光之间的角度为90°，以便形成矩形光路，减小底座1顶部的面积。

请参阅图1，本实用新型还提供一种退火装置，包括退火平台9、用于发射激光的激光器和上述任一实施例述及的激光退火光路模组，反射镜8和透镜7均位于底座1的上方，退火平台9位于底座1的下方，退火平台9用于放置待退火产品10。

本实用新型提供的退火装置，与现有技术相比，通过对反射镜8和透镜7的多自由度调节，提高了激光的调节精度，以便激光能精确地照射于退火平台9上，用于对退火平台9上的待退火产品10进行精确退火；反射镜8和透镜7位于底座1的上方，退火平台9位于底座1的下方，缩短了底座1上方的光路，以便减小退火装置的体积，同时增大了退火平台9用于放置待退火产品10的空间，避免了第一调整支架2、第二调整支架4、第一调整框架3等机构干涉在退火平台9上放置待退火产品10。

以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (10)

1.激光退火光路模组，其特征在于：包括底座、第一调整支架、第二调整支架、第一调整框架、第二调整框架、镜框、透镜和反射镜；

所述透镜安装于所述镜框内，所述镜框竖向可调节地设于所述第一调整框架内；所述第一调整框架安装于所述第一调整支架上，所述第一调整框架能够可调节地绕第一轴和第二轴转动，所述第一轴与所述第二轴垂直，所述第一调整支架安装于所述底座上；

所述反射镜安装于所述第二调整框架内，所述第二调整框架安装于所述第二调整支架上，所述第二调整框架能够可调节地绕第三轴和第四轴转动，所述第三轴和所述第四轴垂直，所述第二调整支架安装于所述底座上；

所述透镜和所述反射镜用于将激光器发射的激光导向待退火产品。

2.根据权利要求1所述的激光退火光路模组，其特征在于：所述第一调整支架上设有第一调节孔、第二调节孔、第一定位孔和多个第一连接孔，所有所述第一连接孔分布于所述第一轴和所述第二轴上，所述第一定位孔设于所述第一轴与所述第二轴的相交处；

所述第一调整框架上设有竖向延伸的调距孔和与所述第一连接孔对应的第二连接孔，所述第一调整支架和所述第一调整框架通过穿设于所述第一连接孔和所述第二连接孔内的第一固定螺丝连接，所述第一固定螺丝上套设有第一弹簧，所述第一弹簧用于带动所述第一调整支架靠近所述第一调整框架；

所述第一调节孔内穿设有用于抵接所述第一调整框架的第一调节顶丝，所述第二调节孔内穿设有用于抵接所述第一调整框架的第二调节顶丝，所述第一定位孔内穿设有用于抵接所述第一调整框架的第一定位顶丝，所述调距孔内穿设有用于抵接所述镜框的竖向调节顶丝。

3.根据权利要求2所述的激光退火光路模组，其特征在于：所述第一调整框架上设有与所述第一调节孔对应的第一盲孔、与所述第二调节孔对应的第二盲孔和与所述第一定位孔对应的第二定位孔；

所述第一调节顶丝伸入所述第一盲孔，所述第二调节顶丝伸入所述第二盲孔，所述第一定位顶丝伸入所述第二定位孔。

4.根据权利要求1所述的激光退火光路模组，其特征在于：所述第一调整支架包括第一支撑板和安装于所述底座上的第一支座，所述第一支撑板上设有第一安装孔，所述第一支撑板与所述第一支座通过穿设于所述第一安装孔和所述第一支座的第一紧固螺丝连接，处于拧松状态的所述第一紧固螺丝能够沿第一水平方向滑动；

所述第一调整框架安装于所述第一支撑板上。

5.根据权利要求4所述的激光退火光路模组，其特征在于：所述第一支座上设有第二安装孔，所述第一支座和所述底座通过穿设于所述第二安装孔和所述底座的第二紧固螺丝连接，处于拧松状态的所述第二紧固螺丝能够沿第二水平方向滑动；

所述第一水平方向与所述第二水平方向垂直。

6.根据权利要求1所述的激光退火光路模组，其特征在于：所述第二调整支架上设有第三调节孔、第四调节孔、第三定位孔和多个第三连接孔，所有所述第三连接孔分布于所述第三轴和所述第四轴上，所述第三定位孔设于所述第三轴与所述第四轴的相交处；

所述第二调整框架上与所述第三连接孔对应的第四连接孔，所述第二调整支架和所述第二调整框架通过穿设于所述第三连接孔和所述第四连接孔内的第二固定螺丝连接，所述第二固定螺丝上套设有第二弹簧，所述第二弹簧用于带动所述第二调整支架靠近所述第二调整框架；

所述第三调节孔内穿设有用于抵接所述第二调整框架的第三调节顶丝，所述第四调节孔内穿设有用于抵接所述第二调整框架的第四调节顶丝，所述第三定位孔内穿设有用于抵接所述第二调整框架的第二定位顶丝。

7.根据权利要求1所述的激光退火光路模组，其特征在于：所述底座上设有通光孔，所述第二调整支架设有多个；

所述第二调整支架包括安装板和安装于所述底座上的第二支撑板，部分所述第二调整支架中安装板竖向安装于所述第二支撑板上，以使位于其上的所述反射镜将所述激光器发射的激光反射于所述底座的同侧；余下所述第二调整支架中安装板倾斜安装于所述第二支撑板上，以使位于其上的所述反射镜将所述激光器发射的激光通过所述通光孔反射于所述底座的另一侧；

所述第二调整框架安装于所述安装板上，所述第二支撑板与所述安装板一一对应。

8.根据权利要求7所述的激光退火光路模组，其特征在于：所述第二调整框架设有多个，部分所述第二调整框架为竖直调整框架，余下所述第二调整框架为倾斜调整框架；

所述竖直调整框架用于安装所述反射镜的安装面与用于安装所述竖直调整框架的所述安装板的安装面相交；所述倾斜调整框架用于安装所述反射镜的安装面与用于安装所述倾斜调整框架的所述安装板的安装面平行。

9.根据权利要求7所述的激光退火光路模组，其特征在于：所述第二支撑板上设有第三安装孔，所述第二支撑板和底座通过穿设于所述第三安装孔和所述底座的第三紧固螺丝连接，处于拧松状态的所述第三紧固螺丝能够沿第三水平方向滑动。

10.退火装置，包括用于发射激光的激光器，其特征在于：还包括退火平台和权利要求1-9任意一项所述的激光退火光路模组，所述反射镜和所述透镜均位于所述底座的上方，所述退火平台位于所述底座的下方，所述退火平台用于放置待退火产品。

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