CN210803772U - 一种用于微机电系统光开关的光波导器件 - Google Patents
一种用于微机电系统光开关的光波导器件 Download PDFInfo
- Publication number
- CN210803772U CN210803772U CN201921706783.XU CN201921706783U CN210803772U CN 210803772 U CN210803772 U CN 210803772U CN 201921706783 U CN201921706783 U CN 201921706783U CN 210803772 U CN210803772 U CN 210803772U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- optical
- waveguide
- waveguides
- optical switch
- coupled
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Mechanical Light Control Or Optical Switches (AREA)
Abstract
本实用新型公开了一种用于微机电系统光开关的光波导器件，连接光开关和光纤阵列，包括：位于同一平面的两根相互平行的直波导，所述直波导的首端与所述光开关耦合，尾端与所述光纤阵列耦合；位于两根所述直波导之间的多根弯曲波导，各所述弯曲波导的首端与所述光开关耦合，尾端与所述光纤阵列耦合。采用集成光学中的平面光波导技术来实现光路的靠拢和分开，将光纤阵列的大间距缩小到与微机电系统光开关相匹配的小间距。
Description
技术领域
本实用新型涉及光通信技术领域，尤其涉及用于微机电系统光开关的光波导器件。
背景技术
微机电系统(MEMS，Micro-Electro-Mechanical System)光开关广泛应用于光通信系统的信号切换。该系统采用微镜的方案将光路经过特定角度反射，改变光信号传输端口实现信道的切换。此光开关系统的输入端与输出端都是与常规光纤连接。由于MEMS光开关的微镜尺寸和旋转角度的限制，通常MESM光开关的输入端或者输出端的间距较小，通常在30微米至50微米之间，而标准光纤的直径是125微米，两者是无法直接连接耦合的。现有的方案是将直径为125微米普通光纤的包层进行腐蚀，直径腐蚀减小到与MESM相匹配，再将光纤捆扎在一起与MEMS光开关耦合。此方法工艺复杂，捆扎定位难度较高。
发明内容
本实用新型的目的在于提供一种用于微机电系统光开关的光波导器件，采用集成光学中的平面光波导技术来实现光路的靠拢和分开，将光纤阵列的大间距缩小到与微机电系统光开关相匹配的小间距。
实现上述目的的技术方案是：
一种用于微机电系统光开关的光波导器件，连接光开关和光纤阵列，包括：
位于同一平面的两根相互平行的直波导，所述直波导的首端与所述光开关耦合，尾端与所述光纤阵列耦合；以及
位于两根所述直波导之间的多根弯曲波导，各所述弯曲波导的首端与所述光开关耦合，尾端与所述光纤阵列耦合。
优选的，各所述弯曲波导首端平行，且相邻两根所述弯曲波导的首端的间距为40微米；
各所述弯曲波导尾端平行，且相邻两根所述弯曲波导的尾端的间距为127微米或250微米；
两根所述直波导的尾端与各自相邻的所述弯曲波导的尾端的间距为127微米或250微米。
优选的，所述弯曲波导的弯曲半径为15毫米；所述光波导器件的折射率差为0.45％。
优选的，包括：多层套刻以构成立体结构的多个波导组件，每个所述波导组件包括同一平面的两根所述直波导和多根所述弯曲波导。
本实用新型的有益效果是：本实用新型采用集成光学中的平面光波导技术缩小改变了各个光路之间的间距，将光纤阵列的大间距缩小到与微机电系统光开关相匹配的小间距，从而实现了MEMS光开关与光纤阵列的耦合。可以替代现有腐蚀光纤包层以减小光路间距的方案，具有集成度高、可靠性好、间距可定制等优点。
附图说明
图1是本实用新型的用于微机电系统光开关的光波导器件的应用示意图；
图2是本实用新型的用于微机电系统光开关的光波导器件的结构图；
图3是本实用新型中光波导器件实现立体结构的示意图。
具体实施方式
下面将结合附图对本实用新型作进一步说明。
请参阅图1和图2，本实用新型的用于微机电系统光开关的光波导器件，连接光开关2和光纤阵列3。
光波导器件1包括两根直波导6和多根弯曲波导7。
两根直波导6位于同一平面并相互平行。直波导6的首端与光开关2耦合，尾端与光纤阵列3耦合。用于对准和测试。
多根弯曲波导7位于两根直波导6之间。各弯曲波导7的首端4与光开关2耦合，各弯曲波导7的尾端5与光纤阵列3耦合。
典型的光开关2的输出间距是40微米，而光纤阵列3的间距是127微米或者250微米。本实用新型通过平面光波的设计将波导的间距由一端的40微米间距扩展到了127微米(或250微米)间距。即：各弯曲波导7首端(间距较小端)平行，且相邻两根弯曲波导7的首端的间距为40微米；各弯曲波导7尾端(间距较大端)平行，且相邻两根弯曲波导7的尾端的间距为127微米或250微米。
两根直波导6的尾端与各自相邻的弯曲波导7的尾端5的间距为127微米或250微米。实际光路耦合时只需将两根直波导6耦合入光路。由于波导制作精度由光刻保证，只要直波导与光路对准，其他光路也就同时对准。
弯曲波导7的弯曲半径为15毫米，光波导器件1的折射率差为0.45％。这样可以保证整体的弯曲损耗极小，同时又可以保证光波导器件1与光纤阵列3和光开关2极低的耦合损耗。
也可以采用立体的结构，在制作完成一层平面光波导之后，采用套刻工艺在其之上再制作一层或者几层光波导，即：设置多个波导组件8(相当于图1中光波导器件1)，每个波导组件8包括同一平面的两根直波导6和多根弯曲波导7。多个波导组件8多层套刻以构成立体结构的，如图3。MESN光开关端采用立体光路耦合，类似于捆扎腐蚀光纤的方案。光纤阵列端采用类似多层MPO(multifiber push-on)结构实现立体耦合。
以上实施例仅供说明本实用新型之用，而非对本实用新型的限制，有关技术领域的技术人员，在不脱离本实用新型的精神和范围的情况下，还可以作出各种变换或变型，因此所有等同的技术方案也应该属于本实用新型的范畴，应由各权利要求所限定。
Claims (4)
1.一种用于微机电系统光开关的光波导器件，连接光开关和光纤阵列，其特征在于，包括：
位于同一平面的两根相互平行的直波导，所述直波导的首端与所述光开关耦合，尾端与所述光纤阵列耦合；以及
位于两根所述直波导之间的多根弯曲波导，各所述弯曲波导的首端与所述光开关耦合，尾端与所述光纤阵列耦合。
2.根据权利要求1所述的用于微机电系统光开关的光波导器件，其特征在于，各所述弯曲波导首端平行，且相邻两根所述弯曲波导的首端的间距为40微米；
各所述弯曲波导尾端平行，且相邻两根所述弯曲波导的尾端的间距为127微米或250微米；
两根所述直波导的尾端与各自相邻的所述弯曲波导的尾端的间距为127微米或250微米。
3.根据权利要求1所述的用于微机电系统光开关的光波导器件，其特征在于，所述弯曲波导的弯曲半径为15毫米；所述光波导器件的折射率差为0.45％。
4.根据权利要求1所述的用于微机电系统光开关的光波导器件，其特征在于，包括：多层套刻以构成立体结构的多个波导组件，每个所述波导组件包括同一平面的两根所述直波导和多根所述弯曲波导。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201921706783.XU CN210803772U (zh) | 2019-10-12 | 2019-10-12 | 一种用于微机电系统光开关的光波导器件 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201921706783.XU CN210803772U (zh) | 2019-10-12 | 2019-10-12 | 一种用于微机电系统光开关的光波导器件 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN210803772U true CN210803772U (zh) | 2020-06-19 |
Family
ID=71227915
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201921706783.XU Active CN210803772U (zh) | 2019-10-12 | 2019-10-12 | 一种用于微机电系统光开关的光波导器件 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN210803772U (zh) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110515158A (zh) * | 2019-10-12 | 2019-11-29 | 上海鸿辉光通科技股份有限公司 | 一种用于微机电系统光开关的光波导器件 |
| CN115755273A (zh) * | 2022-10-31 | 2023-03-07 | 北京自动化控制设备研究所 | 硅基光分路集成芯片、集成化光纤陀螺、制备及连接方法 |
-
2019
- 2019-10-12 CN CN201921706783.XU patent/CN210803772U/zh active Active
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110515158A (zh) * | 2019-10-12 | 2019-11-29 | 上海鸿辉光通科技股份有限公司 | 一种用于微机电系统光开关的光波导器件 |
| CN115755273A (zh) * | 2022-10-31 | 2023-03-07 | 北京自动化控制设备研究所 | 硅基光分路集成芯片、集成化光纤陀螺、制备及连接方法 |
| CN115755273B (zh) * | 2022-10-31 | 2024-05-03 | 北京自动化控制设备研究所 | 硅基光分路集成芯片、集成化光纤陀螺、制备及连接方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP3521881B1 (en) | Optical connector | |
| EP1237019B1 (en) | Optical coupling between optical wiring substrates | |
| US8295667B2 (en) | Hole arranged photonic crystal fiber for low loss, tight fiber bending applications | |
| US5675683A (en) | Optical coupler constructed using optical fiber ferrules | |
| CN210803772U (zh) | 一种用于微机电系统光开关的光波导器件 | |
| US7324728B2 (en) | Optical connector with total internal reflection abutting surface | |
| JPH08201644A (ja) | 定偏波光ファイバ用４心フェルールおよび前記フェルールを用いた光分岐結合器 | |
| CN204925448U (zh) | 2×2保偏光纤分束器 | |
| JP2016529549A (ja) | マルチコアファイバ用光カプラ | |
| CN100380150C (zh) | 具有多根光纤的装置 | |
| CN201051161Y (zh) | 一种单光纤准直器 | |
| CN109212670A (zh) | 一种波分复用器件以及相应的光模块 | |
| CN113721323B (zh) | 新型多芯光纤耦合装置及制备方法 | |
| JP2002365566A (ja) | ノンブロッキング機械式光ファイバマトリクススイッチ | |
| CN203502622U (zh) | ２×２机械光开关 | |
| CN111025474B (zh) | 一种基于折射率调控的覆盖su-8包层的硅波导模式耦合器 | |
| CN111897057A (zh) | 一种基于多层波导阵列的光开关 | |
| WO2003098290A1 (en) | Fibre optic connector | |
| CN103487893B (zh) | ２×２机械光开关 | |
| JP6411899B2 (ja) | マルチコアファイバ接続装置およびシステム | |
| CN215728939U (zh) | 一种基于热扩芯阵列尾纤的多芯光纤扇入扇出器 | |
| CN214225489U (zh) | 实现反射式紧凑型多端口的集成机械式光开关装置 | |
| CN110515158A (zh) | 一种用于微机电系统光开关的光波导器件 | |
| CN102621636A (zh) | 基于双芯光纤的光纤隔离器 | |
| CN219799833U (zh) | 宽带宽全光纤型模式转换器 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant |