CN210801977U - 具有内置翻转调节机构的二氧化铪真空烧结炉 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及真空烧结技术领域，尤其是一种具有内置翻转调节机构的二氧化铪真空烧结炉，包括内置电加热设备和外接抽真空机的烧结炉本体。本实用新型的具有内置翻转调节机构的二氧化铪真空烧结炉在烧结炉本体纵向内侧面上设置有内部调节盘，在内部调节盘上固定有活动连接内部收纳盒的横向连杆，通过在烧结炉本体左侧内壁和侧向炉盖左侧面上分别焊接有内、外部导向座来对横向连杆两端进行支撑和固定，在侧向炉盖内部设置有伸缩限位杆，在右端设置有用于控制伸缩限位杆的外置旋转把手，通过旋转内部调节盘来调节横向连杆与内部收纳盒的高度和位置，加热方式更加多样化，调节操作简单方便，使得二氧化铪的烧结效率大大提升。
Description
技术领域
本实用新型涉及真空烧结技术领域，尤其是一种具有内置翻转调节机构的二氧化铪真空烧结炉。
背景技术
二氧化铪(HfO2)是铪元素的一种氧化物，常温常压下为白色固体。为了方便生产，需要使用到真空烧结炉，烧结炉是指使粉末压坯通过烧结获得所需的物理、力学性能以及微观结构的专用设备。烧结炉用于烘干硅片上的浆料、去除浆料中的有机成分、完成铝背场及栅线烧结。目前市面上应用于二氧化铪的烧结炉的堆料方式和位置单一局限，导致加热效率不高。
实用新型内容
本实用新型要解决的技术问题是：为了解决上述背景技术中存在的问题，提供一种改进的具有内置翻转调节机构的二氧化铪真空烧结炉，解决目前市面上应用于二氧化铪的烧结炉的堆料方式和位置单一局限，导致加热效率不高的问题。
本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：一种具有内置翻转调节机构的二氧化铪真空烧结炉，包括内置电加热设备和外接抽真空机的烧结炉本体，所述的烧结炉本体右侧设有开口，所述的烧结炉本体右侧开口位置设置有侧向炉盖，所述的烧结炉本体内底面上开设右侧开口的底部平移槽，所述的侧向炉盖为L型结构盖体，所述的侧向炉盖下端从底部平移槽插入烧结炉本体内部和烧结炉本体滑动连接，所述的侧向炉盖纵向内侧面上设置有内部调节盘，所述的内部调节盘上位置近边缘位置开设有多个内置横向连杆的装配通孔，所述的横向连杆下方设置有用于盛放二氧化铪原料的内部收纳盒，所述的内部收纳盒通过上表面两侧的活动连接架套在横向连杆上和横向连杆活动连接。
进一步地，为了提升内部稳定性，所述的烧结炉本体左侧内壁上焊接固定有向右凸起的内部导向座，所述的侧向炉盖内侧面焊接固定有向左凸起的外部导向座，所述的内部导向座右侧面和外部导向座左侧面上均开设有与横向连杆相配合的导向盲孔，所述的侧向炉盖通过插入底部平移槽内部和控制横向连杆插入内部导向孔和内、外部导向座相连接。
进一步地，为了方便调节，所述的侧向炉盖左侧面中心位置轴向固定连接有内部导向杆，所述的内部调节盘中心位置开设有与内部导向杆相配合的中心通孔，所述的内部调节盘通过中心通孔套在内部导向杆上和侧向炉盖活动连接。
进一步地，为了方便调节和控制调节，所述的侧向炉盖外侧面上开设有多个内置伸缩限位杆的侧向伸缩孔，所述的侧向炉盖右侧面中心位置开设有内置外置旋转把手的外部调节盲孔，所述的外置旋转把手通过左侧端横置连杆插入外部调节盲孔内部和伸缩限位杆啮合传动。
进一步地，为了配合密封限位，所述的烧结炉本体内侧面位于右侧开口位置开设有与伸缩限位杆相配合的内部限位孔。
进一步地，为了方便传动调节，所述的伸缩限位杆包括与外置旋转把手左侧横置连杆相啮合的外螺纹传动杆和与外螺纹传动杆螺纹连接的内螺纹伸缩管，所述外置旋转把手左侧的横置连杆顶端和外螺纹传动杆顶端均具有一体结构锥形齿轮头，所述外置旋转把手左侧的横置连杆和外螺纹传动杆之间通过锥形齿轮头啮合传动，所述的侧向伸缩孔内侧面和内螺纹伸缩管外侧面之间没有间隙，所述的侧向伸缩孔横截面为非圆型结构。
本实用新型的有益效果是，本实用新型的具有内置翻转调节机构的二氧化铪真空烧结炉在烧结炉本体纵向内侧面上设置有内部调节盘，在内部调节盘上固定有活动连接内部收纳盒的横向连杆，通过在烧结炉本体左侧内壁和侧向炉盖左侧面上分别焊接有内、外部导向座来对横向连杆两端进行支撑和固定，在侧向炉盖内部设置有伸缩限位杆，在右端设置有用于控制伸缩限位杆的外置旋转把手，通过旋转内部调节盘来调节横向连杆与内部收纳盒的高度和位置，加热方式更加多样化，调节操作简单方便，使得二氧化铪的烧结效率大大提升。
附图说明
下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。
图1是本实用新型的结构示意图。
图2是本实用新型中侧向炉盖位置的连接剖视图。
图中:1.烧结炉本体，2.侧向炉盖，3.底部平移槽，4.内部调节盘，5.横向连杆，6.内部收纳盒，7.活动连接架，8.内部导向座，9.外部导向座，10.内部导向杆，11.伸缩限位杆，12.侧向伸缩孔，13.外置旋转把手，14.横置连杆，15.内部限位孔，16.外螺纹传动杆，17.内螺纹伸缩管，18.锥形齿轮头。
具体实施方式
现在结合附图对本实用新型作进一步详细的说明。这些附图均为简化的示意图，仅以示意方式说明本实用新型的基本结构，因此其仅显示与本实用新型有关的构成。
图1和图2所示的一种具有内置翻转调节机构的二氧化铪真空烧结炉，包括内置电加热设备和外接抽真空机的烧结炉本体1，烧结炉本体1右侧设有开口，烧结炉本体1右侧开口位置设置有侧向炉盖2，烧结炉本体1内底面上开设右侧开口的底部平移槽3，侧向炉盖2为L型结构盖体，侧向炉盖2下端从底部平移槽3插入烧结炉本体1内部和烧结炉本体1滑动连接，侧向炉盖2纵向内侧面上设置有内部调节盘4，内部调节盘4上位置近边缘位置开设有多个内置横向连杆5的装配通孔，横向连杆5下方设置有用于盛放二氧化铪原料的内部收纳盒6，内部收纳盒6通过上表面两侧的活动连接架7套在横向连杆5上和横向连杆5活动连接。
进一步地，为了提升内部稳定性，烧结炉本体1左侧内壁上焊接固定有向右凸起的内部导向座8，侧向炉盖2内侧面焊接固定有向左凸起的外部导向座9，内部导向座8右侧面和外部导向座9左侧面上均开设有与横向连杆5相配合的导向盲孔，侧向炉盖2通过插入底部平移槽3内部和控制横向连杆5插入内部导向孔和内、外部导向座相连接，进一步地，为了方便调节，侧向炉盖2左侧面中心位置轴向固定连接有内部导向杆10，内部调节盘4中心位置开设有与内部导向杆10相配合的中心通孔，内部调节盘4通过中心通孔套在内部导向杆10上和侧向炉盖2活动连接，进一步地，为了方便调节和控制调节，侧向炉盖2外侧面上开设有2个内置伸缩限位杆11的侧向伸缩孔12，侧向炉盖2右侧面中心位置开设有内置外置旋转把手13的外部调节盲孔，外置旋转把手12通过左侧端横置连杆14插入外部调节盲孔内部和伸缩限位杆11啮合传动，进一步地，为了配合密封限位，烧结炉本体1内侧面位于右侧开口位置开设有与伸缩限位杆11相配合的内部限位孔15，进一步地，为了方便传动调节，伸缩限位杆11包括与外置旋转把手13左侧横置连杆14相啮合的外螺纹传动杆16和与外螺纹传动杆16螺纹连接的内螺纹伸缩管17，外置旋转把手13左侧的横置连杆14顶端和外螺纹传动杆16顶端均具有一体结构锥形齿轮头18，外置旋转把手13左侧的横置连杆14和外螺纹传动杆16之间通过锥形齿轮头18啮合传动，侧向伸缩孔12内侧面和内螺纹伸缩管17外侧面之间没有间隙，侧向伸缩孔12横截面为非圆型结构，本实用新型的具有内置翻转调节机构的二氧化铪真空烧结炉在烧结炉本体1纵向内侧面上设置有内部调节盘4，在内部调节盘4上固定有活动连接内部收纳盒6的横向连杆5，通过在烧结炉本体1左侧内壁和侧向炉盖2左侧面上分别焊接有内、外部导向座来对横向连杆5两端进行支撑和固定，在侧向炉盖2内部设置有伸缩限位杆11，在右端设置有用于控制伸缩限位杆11的外置旋转把手13，通过旋转内部调节盘4来调节横向连杆5与内部收纳盒6的高度和位置，加热方式更加多样化，调节操作简单方便，使得二氧化铪的烧结效率大大提升。
以上述依据本实用新型的理想实施例为启示，通过上述的说明内容，相关工作人员完全可以在不偏离本项实用新型技术思想的范围内，进行多样的变更以及修改。本项实用新型的技术性范围并不局限于说明书上的内容，必须要根据权利要求范围来确定其技术性范围。
Claims (6)
1.一种具有内置翻转调节机构的二氧化铪真空烧结炉，包括内置电加热设备和外接抽真空机的烧结炉本体(1)，其特征是：所述的烧结炉本体(1)右侧设有开口，所述的烧结炉本体(1)右侧开口位置设置有侧向炉盖(2)，所述的烧结炉本体(1)内底面上开设右侧开口的底部平移槽(3)，所述的侧向炉盖(2)为L型结构盖体，所述的侧向炉盖(2)下端从底部平移槽(3)插入烧结炉本体(1)内部和烧结炉本体(1)滑动连接，所述的侧向炉盖(2)纵向内侧面上设置有内部调节盘(4)，所述的内部调节盘(4)上位置近边缘位置开设有多个内置横向连杆(5)的装配通孔，所述的横向连杆(5)下方设置有用于盛放二氧化铪原料的内部收纳盒(6)，所述的内部收纳盒(6)通过上表面两侧的活动连接架(7)套在横向连杆(5)上和横向连杆(5)活动连接。
2.根据权利要求1所述的具有内置翻转调节机构的二氧化铪真空烧结炉，其特征是：所述的烧结炉本体(1)左侧内壁上焊接固定有向右凸起的内部导向座(8)，所述的侧向炉盖(2)内侧面焊接固定有向左凸起的外部导向座(9)，所述的内部导向座(8)右侧面和外部导向座(9)左侧面上均开设有与横向连杆(5)相配合的导向盲孔，所述的侧向炉盖(2)通过插入底部平移槽(3)内部和控制横向连杆(5)插入内部导向孔和内、外部导向座相连接。
3.根据权利要求1所述的具有内置翻转调节机构的二氧化铪真空烧结炉，其特征是：所述的侧向炉盖(2)左侧面中心位置轴向固定连接有内部导向杆(10)，所述的内部调节盘(4)中心位置开设有与内部导向杆(10)相配合的中心通孔，所述的内部调节盘(4)通过中心通孔套在内部导向杆(10)上和侧向炉盖(2)活动连接。
4.根据权利要求1所述的具有内置翻转调节机构的二氧化铪真空烧结炉，其特征是：所述的侧向炉盖(2)外侧面上开设有多个内置伸缩限位杆(11)的侧向伸缩孔(12)，所述的侧向炉盖(2)右侧面中心位置开设有内置外置旋转把手(13)的外部调节盲孔，所述的外置旋转把手(13)通过左侧端横置连杆(14)插入外部调节盲孔内部和伸缩限位杆(11)啮合传动。
5.根据权利要求1所述的具有内置翻转调节机构的二氧化铪真空烧结炉，其特征是：所述的烧结炉本体(1)内侧面位于右侧开口位置开设有与伸缩限位杆(11)相配合的内部限位孔(15)。
6.根据权利要求4所述的具有内置翻转调节机构的二氧化铪真空烧结炉，其特征是：所述的伸缩限位杆(11)包括与外置旋转把手(13)左侧横置连杆(14)相啮合的外螺纹传动杆(16)和与外螺纹传动杆(16)螺纹连接的内螺纹伸缩管(17)，所述外置旋转把手(13)左侧的横置连杆(14)顶端和外螺纹传动杆(16)顶端均具有一体结构锥形齿轮头(18)，所述外置旋转把手(13)左侧的横置连杆(14)和外螺纹传动杆(16)之间通过锥形齿轮头(18)啮合传动，所述的侧向伸缩孔(12)内侧面和内螺纹伸缩管(17)外侧面之间没有间隙，所述的侧向伸缩孔(12)横截面为非圆型结构。
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2019
- 2019-08-02 CN CN201921251893.1U patent/CN210801977U/zh active Active
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