CN210715176U - 一种分子泵底盘 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种分子泵底盘，包括底座、分水环、隔水套和主轴座，所述底座中心设有通孔，所述底座上设有进水口和出水口，所述进水口与竖直设置在底座内部的上水槽连通，所述隔水套设置在底座上方，所述隔水套的中心竖直设有安装孔，所述隔水套的外侧上部设有螺旋水槽，所述主轴座套装在隔水套的外围，所述分水环设置在主轴座与隔水套之间，所述主轴座的内壁上竖直设有冷却槽，所述冷却槽的底部通过隔水套上竖直设置的开槽与上水槽连通，所述螺旋水槽的底部开口通过竖直设置在隔水套内的回水槽与出水口连通，本实用新型设有隔水套，隔水套上设有螺旋水槽，利用螺旋水槽充分冷却，从上到下依次冷却位于不同位置的部件，冷却时间长效果好。

Description

一种分子泵底盘

技术领域

本实用新型涉及真空泵技术领域，具体涉及一种分子泵底盘。

背景技术

分子泵是一种用于获得高真空及超高真空的真空泵。其原理是通过高速旋转的转子叶片击打气体分子，使气体分子逐级压缩，实现排气功能。分子泵底盘作为承载分子泵主轴，转子的重要零件，一方面要具有排气的接口，一方面要驱动转子高速旋转，是分子泵内一种复杂的零部件。

分子泵工作需要电机高速旋转，会产生大量的热，现有的分子泵底盘虽然也设有冷却系统，但是冷却的效果并不是很好，不能完全冷却各个部件。

实用新型内容

为解决上述问题，本实用新型的目的是提供一种分子泵底盘，设有隔水套，隔水套上设有螺旋水槽，水从进水口进入直接引入螺旋水槽的顶端，利用螺旋水槽充分冷却，从上到下依次冷却位于不同位置的部件，冷却时间长效果好。

本实用新型的目的是通过以下技术方案来实现：包括底座、分水环、隔水套和主轴座，所述底座中心设有通孔，所述通孔的底部设有底部盖板，所述底座上设有进水口和出水口，所述进水口与竖直设置在底座内部的上水槽连通，所述隔水套设置在底座上方，所述隔水套的中心竖直设有安装孔，所述安装孔与底座中心的通孔相连通形成用于安装主轴以及电机定子的安装腔，所述隔水套的外侧上部设有螺旋水槽，所述主轴座套装在隔水套的外围，所述分水环设置在主轴座与隔水套之间用于隔离螺旋水槽，所述主轴座的内壁上竖直设有冷却槽，所述冷却槽的顶部与螺旋水槽的顶部开口连通，所述冷却槽的底部通过隔水套上竖直设置的开槽与上水槽连通，所述螺旋水槽的底部开口通过竖直设置在隔水套内的回水槽与出水口连通。

在优选的实施方案中，所述分水环的顶端与螺旋水槽顶部开口的底端齐平。

在优选的实施方案中，所述分水环的底部设有连通螺旋水槽和回水槽的穿孔。

在优选的实施方案中，所述底部盖板上设有油杯。

在优选的实施方案中，所述底座上设有进油孔，所述进油孔通过进油槽与油杯连通。

在优选的实施方案中，所述油杯的底部设有出油孔，所述出油孔上设有放油旋钮。

在优选的实施方案中，所述油杯由透明材料制成，所述底座的外侧设有与油杯位置相对应的油窗。

在优选的实施方案中，所述底座的顶部环绕主轴座设有一圈凹槽，所述凹槽与设置在底座外侧的排气口相连。

本实用新型的有益效果为：设有隔水套，隔水套上设有螺旋水槽，水从进水口进入直接引入螺旋水槽的顶端，利用螺旋水槽充分冷却，从上到下依次冷却位于不同位置的部件，冷却时间长效果好。

附图说明

下面根据附图对本实用新型作进一步详细说明。

图1是本实用新型实施例所述的分子泵底盘的内部结构图；

图2是本实用新型实施例所述的主轴座的内部结构图；

图3是本实用新型实施例所述的隔水套的结构图；

图4是本实用新型实施例所述的分子泵底盘的外部结构图；

图5是本实用新型实施例所述的油杯部分的内部结构图。

图中：

1、底座；2、隔水套；3、分水环；4、主轴座；5、主轴；6、电机定子；7、底部盖板；8、油杯；9、进水口；10、上水槽；11、开槽；12、冷却槽；13、螺旋水槽；14、凹槽；15、回水槽；16、排气口；17、进油孔；18、出水口；19、油窗；20、穿孔；21、出油孔；22、放油旋钮。

具体实施方式

为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本实用新型实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。因此，以下对在附图中提供的本实用新型的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本实用新型的范围，而是仅仅表示本实用新型的选定实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。下面详细描述本实用新型的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。

下面将参照附图和具体实施例对本实用新型作进一步的说明。

如图1-5所示，本实用新型实施例的一种分子泵底盘，包括底座1、分水环3、隔水套2和主轴座4，底座1中心设有通孔，所述通孔的底部设有底部盖板7，底座1上设有进水口9和出水口18，进水口9与竖直设置在底座1内部的上水槽10连通，隔水套2设置在底座1上方，隔水套2的中心竖直设有安装孔，所述安装孔与底座1中心的通孔相连通形成用于安装主轴5以及电机定子6的安装腔，安装腔的顶部设有盖板，隔水套2的外侧上部设有螺旋水槽13，隔水套2分为上部圆柱形的分隔部和下部形成凸台的安装部，螺旋水槽13从隔水套2的顶部向下延伸至分隔部的底端，主轴座4套装在隔水套2的外围，主轴座4的外侧通过螺旋封盖将主轴座4、隔水套2与底座1连接。分水环3设置在主轴座4与隔水套2之间用于隔离螺旋水槽13，分水环3为环形的分隔板，主轴座4的内壁上竖直设有冷却槽12，分水环3用于将冷却槽12与螺旋水槽13分隔开，保证冷却水可以直接引入螺旋水槽13的顶端，冷却槽12的顶部与螺旋水槽13的顶部开口连通，分水环3的顶端与螺旋水槽13顶部开口的底端齐平，确保冷却槽12的水能进入到螺旋水槽13内，冷却槽12的底部通过隔水套2上竖直设置的开槽11与上水槽10连通，螺旋水槽13的底部开口通过竖直设置在隔水套2内的回水槽15与出水口18连通，分水环3的底部设有连通螺旋水槽13和回水槽15的穿孔20。

分子泵底盘为全密封处理，在底座1与隔水槽2之间、隔水槽2与分水环3之间、分水环3与主轴座4之间、隔水槽2与主轴座4之间均设有密封圈。

冷却水从底座1上的进水口9进入，通过上水槽10、开槽11、冷却槽12直接进入螺旋水槽13的顶部开口，用来冷却位于主轴座4顶部的轴承，冷却水顺着螺旋水槽13向下流，冷却位于主轴座4中部的电机以及下轴承，然后冷却水从螺旋水槽13的底部开口通过分水环3的穿孔20进入回水槽15然后从出水口18流出。进水口9连接外部的水源。

底部盖板7上设有油杯8。油杯8内的油通过吸油嘴进入主轴5用以润滑。底座1上设有进油孔17，进油孔17通过进油槽与油杯8连通。

油杯8的底部设有出油孔21，出油孔21上设有放油旋钮22。

油杯8由透明材料制成，透明材料可以是塑料或者玻璃等，底座1的外侧设有与油杯8位置相对应的油窗19，可以随时从外部看到油杯8内油的多少。

底座1的顶部环绕主轴座4设有一圈凹槽14，凹槽14与设置在底座1外侧的排气口16相连。排气口16用以分子泵的排气，分子泵其原理是通过高速旋转的转子叶片击打气体分子，使气体分子逐级压缩，实现排气功能，气体从上部进入凹槽14然后从排气口16排出。

最后应说明的是：以上所述的各实施例仅用于说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或全部技术特征进行等同替换；而这些修改或替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的范围。

Claims (8)

1.一种分子泵底盘，其特征在于：包括底座、分水环、隔水套和主轴座，所述底座中心设有通孔，所述通孔的底部设有底部盖板，所述底座上设有进水口和出水口，所述进水口与竖直设置在底座内部的上水槽连通，所述隔水套设置在底座上方，所述隔水套的中心竖直设有安装孔，所述安装孔与底座中心的通孔相连通形成用于安装主轴以及电机定子的安装腔，所述隔水套的外侧上部设有螺旋水槽，所述主轴座套装在隔水套的外围，所述分水环设置在主轴座与隔水套之间用于隔离螺旋水槽，所述主轴座的内壁上竖直设有冷却槽，所述冷却槽的顶部与螺旋水槽的顶部开口连通，所述冷却槽的底部通过隔水套上竖直设置的开槽与上水槽连通，所述螺旋水槽的底部开口通过竖直设置在隔水套内的回水槽与出水口连通。

2.根据权利要求1所述的分子泵底盘，其特征在于：所述分水环的顶端与螺旋水槽顶部开口的底端齐平。

3.根据权利要求1所述的分子泵底盘，其特征在于：所述分水环的底部设有连通螺旋水槽和回水槽的穿孔。

4.根据权利要求1所述的分子泵底盘，其特征在于：所述底部盖板上设有油杯。

5.根据权利要求4所述的分子泵底盘，其特征在于：所述底座上设有进油孔，所述进油孔通过进油槽与油杯连通。

6.根据权利要求4所述的分子泵底盘，其特征在于：所述油杯的底部设有出油孔，所述出油孔上设有放油旋钮。

7.根据权利要求4所述的分子泵底盘，其特征在于：所述油杯由透明材料制成，所述底座的外侧设有与油杯位置相对应的油窗。

8.根据权利要求1所述的分子泵底盘，其特征在于：所述底座的顶部环绕主轴座设有一圈凹槽，所述凹槽与设置在底座外侧的排气口相连。

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